JPS6315117A - Encoder - Google Patents

Encoder

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Publication number
JPS6315117A
JPS6315117A JP15797786A JP15797786A JPS6315117A JP S6315117 A JPS6315117 A JP S6315117A JP 15797786 A JP15797786 A JP 15797786A JP 15797786 A JP15797786 A JP 15797786A JP S6315117 A JPS6315117 A JP S6315117A
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JP
Japan
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light
encoder
predetermined
rotary plate
laser
Prior art date
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Application number
JP15797786A
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Japanese (ja)
Inventor
Takehiko Miyamoto
宮本 健彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EMUPAIYA EAPOOTO SERVICE KK
Empire Airport Service Co Ltd
Original Assignee
EMUPAIYA EAPOOTO SERVICE KK
Empire Airport Service Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6315117A publication Critical patent/JPS6315117A/en
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Abstract

PURPOSE:To realize an encoder capable of corresponding to all of measures by one kind, by making it possible to form a beam blocking part and a beam transmitting part based on arbitrary resolving power required by the encoder. CONSTITUTION:After a Cr-thin film is on the single surface of a rotary disc 20, the rotary disc 20 is incorporated in an encoder 1. This encoder 1 is fixed to a servo motor 65 and the drive shaft 30 of the encoder 1 is connected to a drive shaft 66 on one side of the servo motor 65. Next, a reference encoder 70 equipped with predetermined resolving power required by a customer is connected to a shaft 67 on the other side of the servo motor 65. Next, the motor driving circuit 81 of a slit forming apparatus 80 is energized to drive a motor 65 and the output from the encoder 70 is detected by a laser control circuit 82. Then, the beam emission of laser 100 is turned ON and OFF in synchronous relation to said detection output and the Cr vapor deposition surface of the rotary disc 20 is selectively burnt off to form slits 21.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、所望の分解能で位置決め等が可能なエンコー
ダに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an encoder that can perform positioning with a desired resolution.

[従来の技術及びその問題点] 近年、ロボット、自励機械の発達とともに、その制御の
ために回転、又は直線上の位置検出装置であるエンコー
ダ(位買付号発生装置)が広く利用され、その種類も多
種多様である。回転角変位計測用のロータリエンコーダ
(回転角位置付号発生製画)として最も一般的に利用さ
れているインクリメンタルロータリエンコーダを例とし
て説明する。
[Prior art and its problems] In recent years, with the development of robots and self-excited machines, encoders (position code generators), which are rotational or linear position detection devices, have been widely used to control them. There are many different types. An example of an incremental rotary encoder that is most commonly used as a rotary encoder for measuring rotational angular displacement (for generating and producing rotational angular position numbers) will be described.

現在、市場では光学式と磁気式の両方式があるが、従来
より最も多く用いられている、光学式ロータリエンコー
ダの光学円板の構成を、第5図に示す。なお、ここでは
説明の便のため、1トラック分についてのみ示す。
Currently, there are both optical and magnetic types on the market, but FIG. 5 shows the configuration of the optical disc of the optical rotary encoder, which is the most commonly used optical rotary encoder. Note that for convenience of explanation, only one track is shown here.

第5図図示の如く、光学円板20は被制御物の動きに対
応して回転する駆動@30に、その回転中心を貫通する
形で固着されている。そして光学日盛20は、中心より
所定半径の全円周22上に中心より見て放射状に所定の
角度α毎に円板20の厚み方向に、光を透過/遮断する
スリット21が配設されている。
As shown in FIG. 5, the optical disk 20 is fixed to a drive @30 that rotates in response to the movement of the object to be controlled so as to pass through the center of rotation thereof. In the optical dial 20, slits 21 for transmitting/blocking light are arranged in the thickness direction of the disk 20 at every predetermined angle α radially when viewed from the center on the entire circumference 22 of a predetermined radius from the center. ing.

なお、従来この光学円板、及び、スリットは、ガラス円
板に例えばCr等の遮光性物質を蒸着等で微厚形成し、
スリット部分(透光性部分)のみをフォトエツチングに
より取り去ることにより製作されていた。
Conventionally, the optical disc and the slit are formed by forming a light-shielding substance such as Cr on a glass disc to a slight thickness by vapor deposition.
It was manufactured by removing only the slit part (light-transmitting part) by photo-etching.

以上のようにして製作された光学円板20に対して、ス
リット列21を挾む形で対向して発光素子10と受光素
子11とを第6図に示す如くに配設し、光学円板20の
回転により、この発光素子10より発光された光がスリ
ット21を透過して受光素子11に到達する場合と、ス
リット21でない部分で遮断されて受光素子11に到達
しない場合とが交互に発生する。従って、受光素子11
でこの光を検出することにより、光学円板20の回転量
を検出することができるものである。
The light emitting element 10 and the light receiving element 11 were disposed facing each other with the slit row 21 in between, as shown in FIG. 20, the light emitted from the light emitting element 10 passes through the slit 21 and reaches the light receiving element 11, and the light is blocked by a portion other than the slit 21 and does not reach the light receiving element 11, alternately occurring. do. Therefore, the light receiving element 11
By detecting this light, the amount of rotation of the optical disc 20 can be detected.

しかし、光学円板20は、フォトエツチング等により製
作されるものであり、各顧客の要望する分解能に従って
スリットを生成するため、要求される分解能毎に、必要
な数のエンコーダを揃えなければならず、非常に多種、
多量の在庫が必要であった。
However, the optical disk 20 is manufactured by photo-etching or the like, and in order to generate slits according to the resolution desired by each customer, it is necessary to prepare the necessary number of encoders for each required resolution. , very diverse,
A large amount of inventory was required.

[発明の目的コ 本発明は上述従来技術の問題点に鑑みなされたもので、
エンコーダの必要とする任意の分解能で遮光部と透光部
とを生成可能とすることにより、1種類であらゆる仕様
に対処できるエンコーダを提供することを目的とする。
[Object of the Invention] The present invention has been made in view of the problems of the prior art described above.
It is an object of the present invention to provide an encoder that can handle all specifications with one type by making it possible to generate a light-shielding part and a light-transmitting part with any resolution required by the encoder.

[実施例] 以下、図面を参照して本発明に係る一実施例を詳細に説
明する。
[Example] Hereinafter, an example according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明に係る一実施例の断面図であり、図中、
1oは第6図と同様の発光素子、11は受光素子、20
はガラス基板で形成され、図の左側の面に遮光効果のあ
るCr薄膜の蒸着された回転円板、30は回転円板20
を回転中心で支持し回転させる駆動軸、40は発光素子
10の発光、及び受光素子11による受光量の検出制御
を行なう制御基板、41はインタフェースケーブル、4
2は制御基板40の所定位置に開けられた透光穴部、5
1は制御基板を保護する保護カバーであり、保護カバー
51には透光穴部42と同様の透光穴部54が穿設され
ている。
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment according to the present invention, and in the figure,
1o is a light emitting element similar to that in FIG. 6, 11 is a light receiving element, 20
30 is a rotating disk made of a glass substrate, with a Cr thin film deposited on the left side of the figure to have a light-shielding effect; 30 is a rotating disk 20;
40 is a control board that controls light emission from the light emitting element 10 and detection of the amount of light received by the light receiving element 11; 41 is an interface cable;
2 is a transparent hole portion formed at a predetermined position of the control board 40;
Reference numeral 1 denotes a protective cover for protecting the control board, and the protective cover 51 has a transparent hole 54 similar to the transparent hole 42 formed therein.

52.53は駆動軸30を回転可能に軸支する本体支持
ベース、及び本体メインベースであり、本体メインベー
ス53にも透光穴部42と同様の透光穴部55が穿設さ
れている。これらの透光穴部42,54.55は、外部
の発光手段、例えば、He−Neガスレーザ100より
の光が直接回転円板20の発光素子10及び受光素子1
1配設位置と同一円周上位置に透過するように互いに整
合して設けられている。
Reference numerals 52 and 53 denote a main body support base that rotatably supports the drive shaft 30, and a main body main base, and the main body main base 53 also has a transparent hole 55 similar to the transparent hole 42. . These light-transmitting holes 42, 54, 55 allow light from an external light-emitting means, for example, a He-Ne gas laser 100, to directly pass through the light-emitting element 10 and light-receiving element 1 of the rotating disk 20.
They are arranged in alignment with each other so as to transmit light at the same circumferential position as the first arrangement position.

以上のJft!戊を備える本実施例のエンコーダ組み立
て工程を、第3図を参照して以下に説明する。
More Jft! The process of assembling the encoder of this embodiment, which is provided with an axle, will be described below with reference to FIG.

回転円板20の片面に公知の方法によりCrの薄膜を蒸
着する。そしてここに、予め該回転円板20の回転の基
準位置を示す所定の位置に透光部である基準位Mマーク
(Zマーク)を形成しておく。この基準位置は全てのエ
ンコーダに共通のもので、回転円板20の1円周上に1
つ形成される。
A thin Cr film is deposited on one side of the rotating disk 20 by a known method. Here, a reference position M mark (Z mark), which is a transparent portion, is formed in advance at a predetermined position indicating the reference position of rotation of the rotary disk 20. This reference position is common to all encoders, and is located on one circumference of the rotating disk 20.
One is formed.

この状態において、ステップS1で第1図に示すロータ
リエンコーダを組立てる。そしてこの状態で、例えばサ
ーボモータ製造メーカに販売される。その後、サーボモ
ータメーカでは、顧客の要求する各種仕様に従い、所定
の分解能によるスリット(第5図21)の生成処理を行
なう。このスリット生成方法として種々考えられるが、
本実施例ではステップS2で第5図に示す如く、顧客の
仕様に関係なくサーボモータ65と本実施例のエンコー
ダ1を一体に組上げておく、即ち、エンコーダ1の本体
メインベース53及び本体支持ベース52を取付金具6
0を介してサーボモータ65に固定し、駆動軸30をサ
ーボモータ65の駆動軸の一方66に連結しておく。
In this state, the rotary encoder shown in FIG. 1 is assembled in step S1. In this state, it is sold, for example, to a servo motor manufacturer. Thereafter, the servo motor manufacturer generates slits (FIG. 5, 21) with a predetermined resolution according to various specifications requested by the customer. Various methods can be considered for creating this slit, but
In this embodiment, as shown in FIG. 5 in step S2, the servo motor 65 and the encoder 1 of this embodiment are assembled together regardless of the customer's specifications, that is, the main body main base 53 of the encoder 1 and the main body support base. 52 to mounting bracket 6
0 to the servo motor 65, and the drive shaft 30 is connected to one of the drive shafts 66 of the servo motor 65.

そして、ステップ33以下で顧客の要求する各種仕様が
決定した段階で、所定の分解能によるスリット(第5図
21)の生成処理を行なう。まずステップS3で、顧客
の要求する所定の分解能のスリットを備えた基準となる
基準エンコーダ70をサーボモータ65の本実施例のエ
ンコーダの取り付けられていない他方の回転軸に組込み
、続くステップS4でスリット生成装置80のモータ駆
動回路81を付勢してモータ65を駆動する。
Then, after the various specifications requested by the customer have been determined in steps 33 and subsequent steps, a slit generation process (FIG. 5, 21) with a predetermined resolution is performed. First, in step S3, the reference encoder 70, which serves as a reference and is equipped with a slit of a predetermined resolution requested by the customer, is assembled into the other rotating shaft of the servo motor 65 to which the encoder of this embodiment is not attached, and in the subsequent step S4, the slit is The motor drive circuit 81 of the generation device 80 is energized to drive the motor 65.

モータ65が駆動されると、ステップS5でスリット生
成装置80のレーザ制御回路82は基準エンコーダ70
よりの出力を検出する。そして、この検出出力に同期し
てレーザ100の発光をオン/オフ制御する。
When the motor 65 is driven, the laser control circuit 82 of the slit generating device 80 switches to the reference encoder 70 in step S5.
Detect the output of Then, the light emission of the laser 100 is controlled on/off in synchronization with this detection output.

なお、本実施例ではレーザ100としてHe−Neガス
レーザを用いているが、炭酸ガスレーザ、アルゴンガス
レーザ、ルビーレーザであっても、またGaAsレーザ
等であってもよく、Cr薄膜を焼き消すことのできるも
のであればよい。
In this embodiment, a He-Ne gas laser is used as the laser 100, but it may also be a carbon dioxide laser, an argon gas laser, a ruby laser, a GaAs laser, etc., which can burn out the Cr thin film. It is fine as long as it is something.

また、レーザ100は第1図に示す如く、該レーザ1つ
Oよりのレーザ光が透光穴部54,42゜53を透光し
、回転円板20のCr蒸着面に直接照射する位置に整合
住設決め固定されている。
Further, as shown in FIG. 1, the laser 100 is located at a position where the laser light from the laser 10 passes through the transparent holes 54, 42° 53 and directly irradiates the Cr-deposited surface of the rotating disk 20. Consistent housing fixtures are fixed.

このため、回転円板20のCr蒸着面のレーザ100よ
りのレーザ光が照射された部分は、このCr薄膜が焼き
消され、透光性を有するようになる。従って、回転円板
20の発光素子10及び受光素子11間の発光素子10
よりの光が照射される部分に所定の分解能でスリットが
生成されることになる。この様に本実施例によれば、エ
ンコーダに外部よりの光を直接回転円板20の所定円周
面に照射可能な整合された穴部を形成しておくだけで、
自由にエンコーダとして組み立て後に所望の分解能でス
リットを形成することができる。
Therefore, the Cr thin film on the Cr-deposited surface of the rotating disk 20 that is irradiated with the laser beam from the laser 100 is burned out and becomes translucent. Therefore, the light emitting element 10 between the light emitting element 10 and the light receiving element 11 of the rotating disk 20
A slit is generated at a predetermined resolution in a portion that is irradiated with light. In this way, according to this embodiment, by simply forming aligned holes in the encoder that can directly irradiate external light onto a predetermined circumferential surface of the rotating disk 20,
Slits can be freely formed with desired resolution after assembly as an encoder.

このようにして1回転分のスリットの生成(書込み)が
終了すると、続くステップS6で当該書込みスリットよ
りの検出出力と基準エンコーダ70よりの検出出力とを
比較し、スリット生成が正常に行なわれたか否かを調べ
、正常に生成されていれば処理を終了し、所定分解能の
エンコーダの製作が終了する。この後穴部54をキャッ
プ等でふさげばよい。
When the slit generation (writing) for one rotation is completed in this way, the detection output from the writing slit is compared with the detection output from the reference encoder 70 in the following step S6 to determine whether the slit generation was performed normally. It is checked whether or not the encoder has been generated normally, and if it has been generated normally, the process is terminated and the manufacture of the encoder with a predetermined resolution is completed. This rear hole 54 may be closed with a cap or the like.

なお、以上の説明では基準エンコーダよりの出力を基に
スリットの書込みを行なう例について述べたが、本発明
はこれに限るものではなく、本実施例のエンコーダをモ
ータと一体に組込まず、正確に回転する回転装置に連結
し、正確に一定回転させ、レーザ制御回路82で、該回
転数を基準として所定の時間周期でレーザ100をオン
/オフし、所定間隔でスリットを生成し、その後にモー
タ等と一体に組込んでもよい。
Although the above explanation describes an example in which slits are written based on the output from the reference encoder, the present invention is not limited to this. The laser control circuit 82 turns on and off the laser 100 at a predetermined time period based on the rotation speed to generate slits at predetermined intervals. It may also be integrated with

また、回転円板20のCr薄膜を焼き消すのに、外部よ
りの照射光を使用せず、エンコーダ内部にスリット生成
用の高出力の光を発光する発光素子を備えてもよい。
Furthermore, in order to burn out the Cr thin film of the rotating disk 20, the encoder may be provided with a light emitting element that emits high-output light for generating slits, instead of using external irradiation light.

当該発光素子を備えた例を第4図に示す。An example equipped with the light emitting element is shown in FIG.

第4図においては、第1図の穴部55位位買高出力の発
光素子56を植設して設け、制御基板40に設けた発光
素子駆動回路により発光制御すればよい。そして、スリ
ットを生成後は不用意に付勢されないよう、発光に対し
てプロテクトが成されることがよい。
In FIG. 4, a light emitting element 56 with a high output power is implanted in the hole 55 in FIG. After the slit is generated, it is preferable to protect the slit from emitting light so that it is not inadvertently energized.

また、この発光素子56への発光駆動制御は1回のみで
あるため、発光駆動回路を制御基板40上に僅えず、発
光素子56の両端子に接続された信号線をインタフェー
スケーブル41を介して外部に出力し、該信号線を外部
の駆動回路に接続して、発光素子56を発光制御しても
よい。
Furthermore, since the light emitting drive control for the light emitting element 56 is performed only once, the light emitting drive circuit is not mounted on the control board 40, and the signal lines connected to both terminals of the light emitting element 56 are connected via the interface cable 41. The light emitting element 56 may be controlled to emit light by outputting the signal to the outside and connecting the signal line to an external drive circuit.

このようにして生成された(書込まれた)スリットは、
公知の3相構造を備えたものに成され、基本出力(A相
)信号、基準出力(A相)信号に対して一定の位相差を
持った信号出力であるB相信号(A相のパルスエツジに
おけるB相の信号レベルによって回転方向を検知するた
めの信号)、及び、1回転に1パルスだけ出力されるZ
相信号の3相の信号を出力する。
The slit generated (written) in this way is
The B-phase signal (pulse edge of the A-phase (a signal for detecting the rotational direction based on the B-phase signal level) and a Z signal that outputs only one pulse per rotation
Outputs three phase signals.

また、本実施例はガラス基板上にCrR膜を蒸着した回
転円板20に限られるものではなく、遮光性を僅えた薄
膜を透光性を備えた基板上に、遮光性の薄膜を形成し、
これを焼き消せばよい。
Furthermore, this embodiment is not limited to the rotating disk 20 in which a CrR film is deposited on a glass substrate, but a thin film with a light-shielding property may be formed on a substrate with a light-transmitting property. ,
You can burn this out.

さらに、回転円板を光デイスク記憶装置の光ディスクと
同様構造とし、該光ディスクに第1図と同様にレーザ1
00よりのレーザ光が透光穴部54.42.53を透光
し、回転円板上に照射されるように構成しこの光により
、又は第4図に示すように内蔵の高出力発光素子56よ
りの光により、光デイスク上にデータを書き込み、これ
を例えば第1図の発光素子10位4に配設された公知の
読取りヘッドにより読み取ればよい。このように41育
成することにより、更に高分解能のエンコーダとするこ
とができる。また、この光ディスクは書き換え可能な4
ユ成でもよいことは勿論である。
Furthermore, the rotating disk has a structure similar to that of an optical disk of an optical disk storage device, and a laser beam 1 is applied to the optical disk as shown in FIG.
The laser beam from 00 passes through the transparent holes 54, 42, 53 and is irradiated onto the rotating disk, or as shown in FIG. Data may be written on the optical disk using light emitted from 56, and read by a known read head disposed, for example, at light emitting element 10 4 in FIG. By growing 41 in this way, an encoder with even higher resolution can be obtained. In addition, this optical disc is rewritable.
Of course, Yusei would also be fine.

[発明の効果] 以上説明した様に本発明によれば、要求される分解能が
多種多様に渡っても、多種の回転円板を仕様に合わせて
製作しておかなくとも、容易に任意の分解能を備える回
転円板とすることができ、汎用性の高いエンコーダを提
供することができる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, even if the required resolutions are diverse, it is possible to easily obtain any resolution without having to manufacture various types of rotating disks according to specifications. It is possible to provide a highly versatile encoder.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る一実施例の回転円板と磁気ヘッド
との関係概略図、 第2図は本実施例の断面略図、 第3図は本実施例の書込み/読出し制御部の概略図、 第4図は本発明に係る他の実施例の断面略図、第5図は
光学式ロータリエンコーダの光学円板の構造を示す図、 第6図は光学式ロータリエンコーダの棉成図である。 図中、10・・・磁気ヘッド、14・・・書込み/読出
し制御回路、16・・・検出回路、2o・・・回転円板
、30・・・駆動軸、40・・・制御基板、52.53
・・・本体プレート、54・・・弾性体、55・・・バ
ックプレート、56・・・高出力発光素子、101・・
・スリット、105・・・発光素子、106・・・受光
素子である。
Fig. 1 is a schematic diagram of the relationship between a rotating disk and a magnetic head in one embodiment of the present invention, Fig. 2 is a schematic cross-sectional diagram of this embodiment, and Fig. 3 is a schematic diagram of the write/read control section of this embodiment. Figure 4 is a schematic cross-sectional view of another embodiment of the present invention, Figure 5 is a diagram showing the structure of an optical disc of an optical rotary encoder, and Figure 6 is a schematic diagram of an optical rotary encoder. . In the figure, 10... Magnetic head, 14... Write/read control circuit, 16... Detection circuit, 2o... Rotating disk, 30... Drive shaft, 40... Control board, 52 .53
...Body plate, 54...Elastic body, 55...Back plate, 56...High output light emitting element, 101...
- Slit, 105... Light emitting element, 106... Light receiving element.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)外部の駆動体に従つて回動する回動板と、該回動
板に所定の分解能で位置情報を書込む書き込み手段と、
該書込み手段により書込まれた位置情報を読取る読取り
手段とを備えることを特徴とするエンコーダ。
(1) a rotating plate that rotates according to an external driving body; a writing device that writes position information on the rotating plate at a predetermined resolution;
An encoder comprising: reading means for reading position information written by the writing means.
(2)回動板は透光性部材を基体とし、該基体の一方面
に遮光性物質を微厚形成してなることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のエンコーダ。
(2) The encoder according to claim 1, wherein the rotary plate has a light-transmitting member as a base, and a light-shielding material is slightly thickly formed on one side of the base.
(3)書込み手段は外部よりの光を回動板の所定回動半
径部分に光を照射可能に整合して開けられた開口部より
成り、該開口部より外部の光を受け付け該外部光により
遮光性物質を焼消して所定の分解能で遮光部と透過部と
を交互に形成可能とするものであることを特徴とする特
許請求の範囲第2項記載のエンコーダ。
(3) The writing means consists of an opening formed in such a way that light from the outside can be irradiated onto a predetermined radius of rotation of the rotating plate, and the writing means receives external light through the opening and uses the external light. 3. The encoder according to claim 2, wherein the encoder can alternately form light-blocking parts and transmitting parts with a predetermined resolution by burning out the light-blocking material.
(4)書込み手段は所定回動半径部分に光を照射する光
照射手段を配設してなり、該光照射手段により遮光性物
質を焼消して所定の分解能で遮光部と透過部とを交互に
形成することを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
エンコーダ。
(4) The writing means is provided with a light irradiation means that irradiates light onto a predetermined turning radius, and the light irradiation means burns out the light-blocking material and alternates between the light-blocking part and the transmitting part at a predetermined resolution. 3. The encoder according to claim 2, wherein the encoder is formed as follows.
(5)読取り手段は回動板の所定回動半径上の対向位置
に配設され該回動板表面に光を照射する発光手段と、前
記回動板を透過した該発光手段よりの光を受光する受光
手段とより成ることを特徴とする特許請求の範囲第1項
より第4項のいずれかに記載のエンコーダ。
(5) The reading means includes a light emitting means disposed at opposing positions on a predetermined rotation radius of the rotary plate and emits light onto the surface of the rotary plate, and a light emitting means that emits light transmitted through the rotary plate. An encoder according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the encoder comprises a light receiving means for receiving light.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59188521A (en) * 1983-04-10 1984-10-25 Omron Tateisi Electronics Co Rotary encoder

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JPS59188521A (en) * 1983-04-10 1984-10-25 Omron Tateisi Electronics Co Rotary encoder

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