JPS63145333U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63145333U JPS63145333U JP17681286U JP17681286U JPS63145333U JP S63145333 U JPS63145333 U JP S63145333U JP 17681286 U JP17681286 U JP 17681286U JP 17681286 U JP17681286 U JP 17681286U JP S63145333 U JPS63145333 U JP S63145333U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lane
- handler
- sliding
- gas outlet
- moved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図および第2図はそれぞれ本考案の一実施
例を示すレーン構造の斜視図およびそのA―A′
断面図である。 1……レーン、2……IC滑走面、3……IC
、4……ガス噴出口、5……ガス導入パイプ、6
……制御弁、7……ガスボンベ。
例を示すレーン構造の斜視図およびそのA―A′
断面図である。 1……レーン、2……IC滑走面、3……IC
、4……ガス噴出口、5……ガス導入パイプ、6
……制御弁、7……ガスボンベ。
Claims (1)
- レーン上にICを滑らせて移動させる構造のI
Cハンドラーにおいて、前記レーンのIC滑走面
に小さなガス噴出口を配設したことを特徴とする
ICハンドラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17681286U JPS63145333U (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17681286U JPS63145333U (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63145333U true JPS63145333U (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=31117422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17681286U Pending JPS63145333U (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63145333U (ja) |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP17681286U patent/JPS63145333U/ja active Pending