JPS63134572A - Manufacture of ceramic material - Google Patents
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】 工 発明の背景 技術分野 本発明はセラミック材料の製造方法に関する。[Detailed description of the invention] Background of the invention Technical field The present invention relates to a method for manufacturing ceramic materials.
先行技術とその問題点
セラミック材料は、電子材料、磁性材料、光学材料、超
硬材料および高温材料として注目され利用されてきてい
る。 このようなセラミック材料の焼結に際しては、近
年、加圧焼結法が登場しており、このような焼結法は、
常圧焼結法に比べて、ｌ）焼結時の緻密化温度が低下す
ること、２）焼結温度の低下に伴い均一で粒子径が小さ
く、かつ理論密度をもった焼結体を作成できるという利
点がある。 また、常圧焼結では作製不能あるいは困難
なものも作製することが可能となる。Prior art and its problems Ceramic materials have been attracting attention and being used as electronic materials, magnetic materials, optical materials, superhard materials, and high-temperature materials. When sintering such ceramic materials, a pressure sintering method has appeared in recent years, and this sintering method is
Compared to the pressureless sintering method, 1) the densification temperature during sintering is lower, and 2) the lower sintering temperature creates a sintered body with uniform particle size and theoretical density. It has the advantage of being possible. Furthermore, it becomes possible to manufacture items that are impossible or difficult to manufacture by pressureless sintering.
このような加圧焼結法の１つとしてホットプレス法が挙
げられる。 ホットプレス法は粉体を−軸加圧する方法
であり、これを実施するためのホットプレス装置では、
パンチ棒と型枠は高温加熱下において、大きな引つ張り
と圧縮荷重を受けるので、熱間強度の高い材料が要求さ
れる。 その他、セラミック材料や雰囲気との反応、加
工の難易さなど、材料の選択には多くの問題点がある。A hot press method is one example of such a pressure sintering method. The hot press method is a method of applying axial pressure to the powder, and the hot press equipment used to carry out this method is
The punch rod and formwork are subjected to large tensile and compressive loads when heated at high temperatures, so materials with high hot strength are required. In addition, there are many problems in the selection of materials, such as reaction with the ceramic material and atmosphere, and difficulty in processing.
一般には高温用の型枠等として、黒鉛、アルミナ、ジル
コニア、ＳｉＣなどが使用されている。 このうち、も
っとも多く使用されているのが黒鉛で、加工が容易で潤
滑性があり、最高使用温度が他と比べて著しく高いなど
の長所を有するが、機械的強度が低く、小型化できず、
大径の材料を得ることができないなどの欠点を有する。Generally, materials such as graphite, alumina, zirconia, and SiC are used as molds for high temperatures. Among these, graphite is the most commonly used, and has advantages such as easy processing, good lubricity, and a significantly higher maximum operating temperature than others, but it has low mechanical strength and cannot be miniaturized. ,
It has drawbacks such as the inability to obtain large-diameter materials.
また、同時に複数のセラミック材料を焼成するには試料
と試料との間や試料と型枠との間にスペーサーやスリー
ブを用いるが、このスペーサーやスリーブの材質にも改
善を加えることにより、さらに大きなセラミック材料が
得られることが望まれている。In addition, to fire multiple ceramic materials at the same time, spacers and sleeves are used between samples and between samples and molds, but by improving the materials of these spacers and sleeves, even larger ceramic materials can be fired. It is desired to obtain ceramic materials.
■ 発明の目的
本発明の主たる目的は、ホットプレス装置の型枠、スペ
ーサーおよびスリーブの型材の厚さを薄くすることがで
き、その結果同一外寸の型枠においても多くのセラミッ
ク材料を焼成することができ、かつセラミック材料の外
径を大きくすることができるセラミック材料の製造方法
を提供することにある。■ Purpose of the Invention The main purpose of the present invention is to reduce the thickness of the molds, spacers, and sleeves of hot press equipment, and as a result, a large amount of ceramic material can be fired even in molds with the same external dimensions. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a ceramic material that can increase the outer diameter of the ceramic material.
■ 発明の開示 このような目的は下記の本発明によって達成される。■Disclosure of invention These objects are achieved by the invention described below.
すなわち、本発明はセラミック材料をホットプレス焼成
する際、ホットプレス装置の型枠、スペーサーおよびス
リーブのうちの少なくとも１箇所にカーボン繊維強化カ
ーボンを使用することを特徴とするセラミック材料の製
造方法である。That is, the present invention is a method for producing a ceramic material, which is characterized in that carbon fiber-reinforced carbon is used in at least one of the formwork, spacer, and sleeve of a hot press device when hot-press firing the ceramic material. .
■ 発明の具体的構成 ゛ 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。■Specific structure of the invention゛ Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be explained in detail.
本発明のセラミック材料の製造方法におし）ては、セラ
ミック材料をホットプレス焼成する際、ホットプレス装
置の型枠、スペーサーおよびスリーブのうちの少なくと
も１箇所にカーボン繊維強化カーボンを使用する。In the method for producing a ceramic material of the present invention, carbon fiber-reinforced carbon is used in at least one of the mold, spacer, and sleeve of the hot press device when hot press firing the ceramic material.
カーボン繊維強化カーボンを使用するのは、型材の強度
が増すため厚さを薄くすることが可能となり、多くのセ
ラミック材料（試料）を同時に焼成することができ、か
つセラミック材料の外径を大きくすることができるから
である。The use of carbon fiber-reinforced carbon increases the strength of the mold material, making it possible to reduce its thickness, allowing many ceramic materials (specimens) to be fired at the same time, and increasing the outer diameter of the ceramic material. This is because it is possible.
また、上記においてスペーサー、スリーブにＢＮをコー
ティングしたカーボン繊維強化カーボンを使用するとな
お一層好ましい。 このようにすることによって焼成後
試料が容易に離形できるからである。Further, in the above, it is even more preferable to use carbon fiber reinforced carbon coated with BN for the spacer and sleeve. This is because by doing so, the sample can be easily released from the shape after firing.
本発明において用いるカーボン繊維強化カーボンとは、
カーボン！ａ維を含有するグラファイトである。The carbon fiber reinforced carbon used in the present invention is
carbon! It is graphite containing a-fibers.
グラファイト中には、径１〜８〇−程度のカーボン長Ｍ
ｌ維が４０〜６０ｗｔ％程度合存されるものが好ましい
。In graphite, carbon length M with a diameter of about 1 to 80
Preferably, about 40 to 60 wt% of l fibers are present.
またＢＮをカーボン繊維強化カーボンにコーティングす
るには、ＢＮをアセトン、エタノール、１，１．１−ト
リクロロエタン等でスラリー化したものをスプレー化す
るなどして用いればよい。Further, in order to coat carbon fiber-reinforced carbon with BN, BN may be slurried with acetone, ethanol, 1,1,1-trichloroethane, etc. and then used as a spray.
ＢＮとしては１〜５Ｐ程度の粒径のものを用いればよい
。As the BN, one having a particle size of about 1 to 5 P may be used.
ＢＮ層の厚さは１０〜１００戸程度とする。The thickness of the BN layer is approximately 10 to 100 units.
以下、本発明の製造方法を図面を用いて説明する。Hereinafter, the manufacturing method of the present invention will be explained using the drawings.
第１図は、本発明の製造方法に好ましく用いられるホッ
トプレス装置の１態様を示す部分断面図である。FIG. 1 is a partial sectional view showing one embodiment of a hot press apparatus preferably used in the manufacturing method of the present invention.
第１図に示されるように、本発明に用いられるホットプ
レス装置１は上部パンチ棒１１、下部パンチ棒１２、型
枠１３、スリーブ１４、およびスペーサー１５を有する
。As shown in FIG. 1, the hot press device 1 used in the present invention includes an upper punch rod 11, a lower punch rod 12, a mold 13, a sleeve 14, and a spacer 15.
そして、試料２は、型枠１３との直接の接触を回避する
ためスリーブ１４を介し、またスペーサー１５を介して
スペーサー１５と交互に複数枚重ねられて型枠１３内に
設置され、上部バンチ棒１１および下部パンチ棒１２に
よって上下方向から加圧されつつ、同時に加熱される。A plurality of samples 2 are placed in the formwork 13 through sleeves 14 and spacers 15 in order to avoid direct contact with the formwork 13, and are stacked alternately with spacers 15. 11 and the lower punch rod 12, while being pressurized from above and below and heated at the same time.
この場合スリーブ１４は、第１図に示されるように、
テーパーを有することが好ましい。 着説が容易になる
からである。In this case, the sleeve 14, as shown in FIG.
It is preferable to have a taper. This is because it becomes easier to understand.
本発明においては、スペーサーの厚さを１〜３ｍｍとす
ることができ、従来に比べて８０〜５０％薄くすること
ができる。 このため、同一型枠においても多く（従来
に比べて５０〜３０％程度多く）の試料を同時に焼成す
ることができる。 また、型枠の厚さも５〜１０ｍｍと
することができ、従来に比べて７５〜５０％薄くするこ
とができる。 従って試料の外径を従来に比べて４０〜
２５％大きくすることができる。In the present invention, the thickness of the spacer can be set to 1 to 3 mm, which is 80 to 50% thinner than the conventional one. Therefore, a large number of samples (approximately 50 to 30% more than conventional methods) can be fired at the same time even in the same mold. Moreover, the thickness of the formwork can also be set to 5 to 10 mm, which is 75 to 50% thinner than conventional molds. Therefore, the outer diameter of the sample is 40~
It can be increased by 25%.
さらに、スペーサー卿よび／またはスリーブにＢＮをコ
ーティングしたカーボン繊維強化カーボンを用いること
により試料の離型性が改善される。Furthermore, by using carbon fiber-reinforced carbon coated with BN for the spacer and/or sleeve, the mold releasability of the sample is improved.
なお、型枠、スペーサー、−スリーブ、パンチ棒等の具
体的な大きさについては所望とする試料の大きさに応じ
て適宜決定すればよい。Note that the specific sizes of the mold, spacer, sleeve, punch rod, etc. may be appropriately determined depending on the desired size of the sample.
加熱方法は、一般に電気加熱式を適用すればよいが、具
体的には、抵抗式間接加熱、高周波式間接加熱、抵抗通
電式直接加熱、高周波式直接加熱等、適宜目的に応じて
選択すればよい。As for the heating method, electric heating may generally be applied, but specifically, resistance indirect heating, high frequency indirect heating, resistance current direct heating, high frequency direct heating, etc. may be selected depending on the purpose. good.
加熱温度は１０００〜３０ｏｏ℃程度とする。The heating temperature is about 1000 to 300°C.
加圧は、一般に油圧加圧方式を適用すわばよいが、具体
的には、第１図に示すような復動式の他、単動式、側圧
式等、適宜目的に応じて選択すればよい。For pressurization, it is generally sufficient to apply a hydraulic pressurization method, but specifically, in addition to the double-acting type shown in Fig. 1, single-acting type, side pressure type, etc. can be selected depending on the purpose. good.
加圧圧力は５０〜１０００Ｋｇ／Ｃａ１２程度とする。The pressurizing pressure is approximately 50 to 1000 kg/Ca12.
本発明の製造方法を適用するのに好ましいセラミック材
料としては、Ａｊ２２０３−ＴｉＣ焼結体が挙げられる
。A preferable ceramic material to which the manufacturing method of the present invention is applied is Aj2203-TiC sintered body.
Ａｊ２２０３−ＴｉＣ焼結体は、所定の割合のＡｘ２
ｏ３の粉末とＴｉＣの粉末との混合物にＧａ、Ｂａ、Ｃ
ｅ％Ｎｂ、Ｔｉ、Ｍｎの酸化物等の１種以上を適宜添加
して焼成してなるものであり、主として磁気へラドスラ
イダ材料として用いられるものである。Aj2203-TiC sintered body has a predetermined ratio of Ax2
Ga, Ba, and C are added to the mixture of o3 powder and TiC powder.
It is made by suitably adding one or more of oxides of e%Nb, Ti, Mn, etc. and firing it, and is mainly used as a magnetic herad slider material.
その詳細については、特願昭５９−２７８８１０号、同
６１−１４４１８２号、同６１−１４９２２５号、同６
１−１５０５３１号などに記載されている。For details, please refer to Japanese Patent Application No. 59-278810, No. 61-144182, No. 61-149225, No. 6
1-150531, etc.
■ 発明の具体的作用効果
本発明によれば、セラミック材料をホットプレス焼成す
る際、ホットプレス装置の型枠、スペーサーおよびスリ
ーブのうちの少なくとも１箇所にカーボン繊維強化カー
ボンを使用しているため、ホットプレス装置の型枠、ス
ペーサー、およびスリーブの型材の厚さを薄くすること
ができ、その結果同一型枠においても多くのセラミック
材料を焼成することができ、かつセラミック材料の外径
を大きくすることができるセラミック材料の製造方法が
得られる。■Specific effects of the invention According to the present invention, when hot press firing a ceramic material, carbon fiber reinforced carbon is used in at least one of the mold, spacer and sleeve of the hot press device. The thickness of the mold, spacer, and sleeve of the hot press equipment can be reduced, and as a result, more ceramic materials can be fired in the same mold, and the outer diameter of the ceramic material can be increased. A method for manufacturing a ceramic material is obtained.
さらに、スペーサーおよび／またはスリーブにＢＮをコ
ーティングしたカーボン繊維強化カーボンを使用するこ
とにより、セラミック材料の離型性が改善される。Furthermore, by using carbon fiber-reinforced carbon coated with BN for the spacer and/or sleeve, the mold releasability of the ceramic material is improved.
また、ＢＮを設層した時の離型性向上は、Ａｌ２Ｏ２−
ＴｉＣ焼結体に適用して効果が大きい。 そしてＢＮを
他の材料、例えばＳｉＣに換えたときにはこのような効
果は実現しない。Furthermore, the improvement in mold releasability when BN is applied is due to Al2O2-
It is highly effective when applied to TiC sintered bodies. Such an effect is not achieved when BN is replaced with another material, for example, SiC.
■ 発明の具体的実施例
以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。(2) Specific Examples of the Invention Hereinafter, specific examples of the present invention will be shown and the present invention will be explained in more detail.
実施例
平均粒径Ｏ，Ｓ戸のＡＩＬ２ｏ３（純度９９．９％）粉
末と平均粒径０．７−のＴｉＣ（純度９９％、炭素含有
量１９％以上でその１％以下は遊離コクエンである）と
を重量比で７＝３の割合で混合したもの１００重量部に
対してＧａＯを２重量部添加し、ボールミルにより２０
時時間式混合を行った。Example AIL2o3 (purity 99.9%) powder with average particle size O, S and TiC (purity 99%, carbon content 19% or more, less than 1% of which is free coquene) ) was mixed in a weight ratio of 7=3, 2 parts by weight of GaO was added to 100 parts by weight, and 20
Hourly mixing was performed.
混合したスラリーを乾燥造粒し、第１図に示すような本
発明の装置１を用いてホットプレス焼成を行フた。 加
熱は高周波式間接加熱によった。 ただし、焼成雰囲気
は真空とし、焼成温度は１５００〜１８００℃、プレス
圧力は２００〜３００ にｇｌａｄとした。The mixed slurry was dried and granulated, and hot press firing was performed using the apparatus 1 of the present invention as shown in FIG. Heating was by high frequency indirect heating. However, the firing atmosphere was a vacuum, the firing temperature was 1500 to 1800°C, and the press pressure was 200 to 300°C.
本発明の装置１において、型枠１３、スリーブ１４およ
びスペーサー１５にはカーボン繊維強化カーボンを使用
し、型枠の外径は１１０＋ｎｍ、テーパー上部内径（ス
リーブ上部外径）は８８１ＩＩｍ、テーパー下部内径（
スリーブ下部外径）は９８ｍｍ、スリーブ内径は７８ｍ
１Ｉ＋とした。 またスペーサーの厚さは３１１１Ｑ＋
とした。In the device 1 of the present invention, carbon fiber-reinforced carbon is used for the formwork 13, sleeve 14, and spacer 15, the outer diameter of the formwork is 110+nm, the inner diameter of the upper part of the taper (outer diameter of the upper part of the sleeve) is 881IIm, and the inner diameter of the lower part of the taper (
Sleeve lower outer diameter) is 98mm, sleeve inner diameter is 78mm
It was set as 1I+. Also, the thickness of the spacer is 3111Q+
And so.
このような装置を用いた製造方法をルート１とする。A manufacturing method using such an apparatus is referred to as route 1.
さらに、ルート１の装置において、型枠、スリーブおよ
びスペーサーの材質をグラファイトとする他は、同様に
構成した装置を使用した製造方法をルート２とする。Furthermore, route 2 is a manufacturing method using an apparatus configured in the same manner as in route 1 except that the material of the mold, sleeve, and spacer is graphite.
ただし、この場合は材質が異なるため、同様の強度を得
るには、型枠の外径を１４０ｍｍ、テーパー上部内径（
スリーブ上部外径）を８８ｍｍ、テーパー下部内径（ス
リーブ下部径）を９８ ｍｍ、スリーブ内径を７８ｍｍ
とした。 また、スペーサーの厚さは６ｍｍとした。However, in this case, the materials are different, so to obtain the same strength, the outer diameter of the formwork should be 140 mm, and the inner diameter of the tapered upper part (
Sleeve upper outer diameter) is 88 mm, tapered lower inner diameter (sleeve lower diameter) is 98 mm, sleeve inner diameter is 78 mm.
And so. Further, the thickness of the spacer was 6 mm.
これらの製造方法を用いた場合の同時に焼成できる試料
の数、型枠の外径、焼成の良否について調べた。When these manufacturing methods were used, the number of samples that could be fired at the same time, the outer diameter of the mold, and the quality of firing were investigated.
結果を以下に示す。The results are shown below.
製造方法 試料の数 径 （ｍ＋ｅ） 焼成結果
ルート１ ２３枚 φ１１０ 良（本発明）
ルート２ １８枚 φ１４０ 良（比 較）
さらに、ルート１の製造方法の装置において、スリーブ
１４およびスペーサー１５にＢＮをコーティングしたカ
ーボン繊維強化カーボンを使用する他は同様の装置を用
いた製造方法をルート３とする。Manufacturing method Number of samples Diameter (m+e) Firing results Route 1 23 pieces φ110 Good (invention) Route 2 18 pieces φ140 Good (comparison) Furthermore, in the apparatus of the manufacturing method of Route 1, BN was added to the sleeve 14 and spacer 15. Route 3 is a manufacturing method using the same equipment except that coated carbon fiber reinforced carbon is used.
なお、ＢＮのコーティングはＢＮをアセトンでスラリー
化したものをスプレーすることにより行った。Note that the BN coating was performed by spraying a slurry of BN with acetone.
寸法はルート１におけるものとほぼ同じとした。 また
ＢＮのコーティングの厚さは２０％とした。The dimensions were almost the same as those for Route 1. Further, the thickness of the BN coating was 20%.
ルート３において、ＢＮのかわりにＳｉＣをコーティン
グしたカーボン繊維強化カーボンを使用した製造方法を
ルート４とする。In route 3, route 4 is a manufacturing method using carbon fiber reinforced carbon coated with SiC instead of BN.
これらルート３．４につき、離型性を評価した。The mold releasability was evaluated for these routes 3.4.
離型性については、焼結体とスペーサの強固に密着した
部分の面積比（％）を測定することにより評価した。The mold releasability was evaluated by measuring the area ratio (%) of the tightly adhered portion between the sintered body and the spacer.
結果を以下に示す。The results are shown below.
製造方法 離型性（密着面積）ルート３
（本発明） ０％ルート４く比 較）
８０％これらの結果から、本発明の効果
は明らかである。Manufacturing method Mold releasability (adhesive area) route 3
(Present invention) 0% route 4 comparisons)
80% From these results, the effect of the present invention is clear.
第１図は本発明のセラミック材料の製造方法に用いられ
るホットプレス装置の１態桟を示す部分断面図である。
符号の説明FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a cross section of a hot press device used in the method of manufacturing a ceramic material of the present invention. Explanation of symbols
Claims (2)
トプレス装置の型枠、スペーサーおよびスリーブのうち
の少なくとも１箇所にカーボン繊維強化カーボンを使用
することを特徴とするセラミック材料の製造方法。(1) A method for producing a ceramic material, which comprises using carbon fiber-reinforced carbon in at least one of a mold, a spacer, and a sleeve of a hot press device when hot-press firing the ceramic material.
うちの少なくとも１箇所にＢＮをコーティングしたカー
ボン繊維強化カーボンを使用する特許請求の範囲第１項
に記載のセラミック材料の製造方法。(2) The method for producing a ceramic material according to claim 1, wherein carbon fiber-reinforced carbon coated with BN is used in at least one of the spacer and sleeve of the hot press device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61280507A JPH0653615B2 (en) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | Manufacturing method of ceramic material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61280507A JPH0653615B2 (en) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | Manufacturing method of ceramic material |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63134572A true JPS63134572A (en) | 1988-06-07 |
| JPH0653615B2 JPH0653615B2 (en) | 1994-07-20 |
Family
ID=17626056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61280507A Expired - Lifetime JPH0653615B2 (en) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | Manufacturing method of ceramic material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0653615B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH098364A (en) * | 1995-06-26 | 1997-01-10 | Saamobonitsuku:Kk | Production of thermoelectric conversion element |
| JP2009249248A (en) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Method for producing ceramic |
| CN105945278A (en) * | 2016-04-29 | 2016-09-21 | 泉州众志金刚石工具有限公司 | Diamond cutter die and disassembling and assembling method thereof |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55100271A (en) * | 1979-01-23 | 1980-07-31 | Kanebo Ltd | Hot press mold and production thereof |
| JPS6158860A (en) * | 1984-08-27 | 1986-03-26 | フアイバー マテリアルズ，インコーポレーテツド | Fiber composite material and forming process |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP61280507A patent/JPH0653615B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55100271A (en) * | 1979-01-23 | 1980-07-31 | Kanebo Ltd | Hot press mold and production thereof |
| JPS6158860A (en) * | 1984-08-27 | 1986-03-26 | フアイバー マテリアルズ，インコーポレーテツド | Fiber composite material and forming process |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105945278A (en) * | 2016-04-29 | 2016-09-21 | 泉州众志金刚石工具有限公司 | Diamond cutter die and disassembling and assembling method thereof |
| CN108097951A (en) * | 2016-04-29 | 2018-06-01 | 泉州众志金刚石工具有限公司 | A kind of diamond cutter mould |
| CN108097951B (en) * | 2016-04-29 | 2020-10-09 | 泉州众志金刚石工具有限公司 | Diamond cutter die |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0653615B2 (en) | 1994-07-20 |
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