JPS63130196U - - Google Patents

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JPS63130196U
JPS63130196U JP2034287U JP2034287U JPS63130196U JP S63130196 U JPS63130196 U JP S63130196U JP 2034287 U JP2034287 U JP 2034287U JP 2034287 U JP2034287 U JP 2034287U JP S63130196 U JPS63130196 U JP S63130196U
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JP
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reverse osmosis
osmosis membrane
ion exchange
membrane device
water
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Landscapes

  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の超純水製造装置
のシステムブロツク図、第２図はその具体的実施
例の構成図である。第３図は従来の超純水製造装
置のシステムブロツク図である。 １１……前処理装置、１２……真空脱気装置、
１３……イオン交換装置、１４……第１の逆浸透
膜装置、１５……第２の逆浸透膜装置、１６……
リターン系路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 イオン交換装置と逆浸透膜装置とを用いた超純
    水製造装置において、 原水をイオン交換するイオン交換装置と、 このイオン交換装置の処理液が供給される第１
    の逆浸透膜装置と、 この第１の逆浸透膜装置の濃縮水が供給される
    第２の逆浸透膜装置と、 この第２の逆浸透膜装置の透過水を原水に再利
    用するリターン系路とを具備することを特徴とす
    る超純水製造装置。
JP2034287U 1987-02-13 1987-02-13 Pending JPS63130196U (ja)

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JP2034287U JPS63130196U (ja) 1987-02-13 1987-02-13

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JPS63130196U true JPS63130196U (ja) 1988-08-25

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JP2034287U Pending JPS63130196U (ja) 1987-02-13 1987-02-13

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020226039A1 (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社 東芝 水処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020226039A1 (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社 東芝 水処理装置
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