JPS63127893U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63127893U JPS63127893U JP1860787U JP1860787U JPS63127893U JP S63127893 U JPS63127893 U JP S63127893U JP 1860787 U JP1860787 U JP 1860787U JP 1860787 U JP1860787 U JP 1860787U JP S63127893 U JPS63127893 U JP S63127893U
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- JP
- Japan
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- vertical
- balance
- inclined surface
- work head
- cylinder
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の実施例に係る作業ヘツドの
昇降バランス装置の斜視図、第２図は、同装置の
バランスシリンダ部の斜視図、第３図は、同装置
のバランスシリンダ部の空気圧制御回路図、第４
図は、同装置の構造上の特徴を説明するための側
面図、第５図は、同正面図である。 １…作業ヘツド、２…スポツトガン、３…ガイ
ド台、３Ａ…前面側垂直面、３Ｂ…後面側傾斜面
、４…ガイド部、５ａ，５ｂ…バランスシリンダ
、６Ａ，６Ｂ…バランスシリンダ設置部、７…タ
イミングベルト、３５…昇降シリンダ。
昇降バランス装置の斜視図、第２図は、同装置の
バランスシリンダ部の斜視図、第３図は、同装置
のバランスシリンダ部の空気圧制御回路図、第４
図は、同装置の構造上の特徴を説明するための側
面図、第５図は、同正面図である。 １…作業ヘツド、２…スポツトガン、３…ガイ
ド台、３Ａ…前面側垂直面、３Ｂ…後面側傾斜面
、４…ガイド部、５ａ，５ｂ…バランスシリンダ
、６Ａ，６Ｂ…バランスシリンダ設置部、７…タ
イミングベルト、３５…昇降シリンダ。
Claims (1)
- 昇降シリンダと、この昇降シリンダにより駆動
されて昇降作動する作業ヘツドと、この作業ヘツ
ドを上下方向にガイドするガイド台と、上記作業
ヘツドに連結され上記作業ロツドの昇降荷重を減
殺するバランスシリンダとを備えてなる作業ヘツ
ドの昇降バランス装置において、上記ガイド台の
前面側を上下方向垂直面に、他方後面側を該上下
方向垂直面に対応する上下方向傾斜面に各々形成
し、上記前面側上下方向垂直面に上記作業ヘツド
のガイド部を、また上記後面側傾斜面に上記バラ
ンスシリンダ設置部を各々形成する一方、上記バ
ランスシリンダを上記後面側傾斜面の左右両端側
に位置して少なくとも２本設置し、これら２本の
バランスシリンダを各々ガイド可能な可撓性のあ
る連結手段を介して上記作業ヘツドの左右両端部
に連結するとともに上記ガイド部中央位置背後の
上記前面側上下方向垂直面と上記後面側傾斜面と
の間の空間部に上記昇降シリンダを設置したこと
を特徴とする作業ヘツドの昇降バランス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1860787U JPH0344472Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1860787U JPH0344472Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127893U true JPS63127893U (ja) | 1988-08-22 |
| JPH0344472Y2 JPH0344472Y2 (ja) | 1991-09-18 |
Family
ID=30812436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1860787U Expired JPH0344472Y2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0344472Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010030702A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Murata Machinery Ltd | 昇降装置 |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
| US8946830B2 (en) | 2012-04-04 | 2015-02-03 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal oxide protective layer for a semiconductor device |
| US9558931B2 (en) | 2012-07-27 | 2017-01-31 | Asm Ip Holding B.V. | System and method for gas-phase sulfur passivation of a semiconductor surface |
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| US9589770B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-03-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species |
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| US9018111B2 (en) | 2013-07-22 | 2015-04-28 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor reaction chamber with plasma capabilities |
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| US9404587B2 (en) | 2014-04-24 | 2016-08-02 | ASM IP Holding B.V | Lockout tagout for semiconductor vacuum valve |
| US9543180B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-01-10 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus and method for transporting wafers between wafer carrier and process tool under vacuum |
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| US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
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| TW202113936A (zh) | 2019-07-29 | 2021-04-01 | 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 | 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法 |
| KR20210024423A (ko) | 2019-08-22 | 2021-03-05 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법 |
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| KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
-
1987
- 1987-02-10 JP JP1860787U patent/JPH0344472Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010030702A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Murata Machinery Ltd | 昇降装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0344472Y2 (ja) | 1991-09-18 |