JPS63115061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63115061U JPS63115061U JP598887U JP598887U JPS63115061U JP S63115061 U JPS63115061 U JP S63115061U JP 598887 U JP598887 U JP 598887U JP 598887 U JP598887 U JP 598887U JP S63115061 U JPS63115061 U JP S63115061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition mask
- film
- mounting plate
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の概略構成図を示し
、同図Ａはその正面図、同図Ｂはその平面断面図
、第２図は第１図による蒸着装置の概略構成図、
第３図は従来の蒸着マスクの概略構成図を示し、
同図Ａはその正面図、同図Ｂはその平面断面図、
第４図は第３図による従来の蒸着装置の概略構成
図である。 ２：ソース、３：シリコン板、３Ａ：成膜部、
５：取付け板、６：熱電対、１０：蒸着マスク、
１１：穴部、１２：格子、１３：空隙。
、同図Ａはその正面図、同図Ｂはその平面断面図
、第２図は第１図による蒸着装置の概略構成図、
第３図は従来の蒸着マスクの概略構成図を示し、
同図Ａはその正面図、同図Ｂはその平面断面図、
第４図は第３図による従来の蒸着装置の概略構成
図である。 ２：ソース、３：シリコン板、３Ａ：成膜部、
５：取付け板、６：熱電対、１０：蒸着マスク、
１１：穴部、１２：格子、１３：空隙。
Claims (1)
- 取付け板と、この取付け板上に取付けられた被
成膜物と、この被成膜物の所定の位置に蒸発物を
蒸着させる穴部を設けた蒸着マスクと、前記取付
け板と被成膜物および蒸着マスクとを加熱するヒ
ータとを有する成膜装置において、前記蒸着マス
クの穴部に一体的に形成された格子を備え、この
格子と前記被成膜物との間に空隙を設けたことを
特徴とする蒸着マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP598887U JPS63115061U (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP598887U JPS63115061U (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63115061U true JPS63115061U (ja) | 1988-07-25 |
Family
ID=30788082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP598887U Pending JPS63115061U (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63115061U (ja) |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP598887U patent/JPS63115061U/ja active Pending