JPS63105328U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63105328U JPS63105328U JP19822786U JP19822786U JPS63105328U JP S63105328 U JPS63105328 U JP S63105328U JP 19822786 U JP19822786 U JP 19822786U JP 19822786 U JP19822786 U JP 19822786U JP S63105328 U JPS63105328 U JP S63105328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting
- hole
- vacuum vessel
- mounting structure
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の拡大断面図、第２
図ａは従来の真空容器の一例の側断面図、第２図
ｂは第２図ａのボルト締付部の拡大断面図、第３
図は実施例の取付部材外観図である。 １ａ……めくらねじ穴内の空気、１ｂ……真空
容器内の空気、２……ボルト、３……真空容器底
部、４……部材、５……めくらねじ穴、６……真
空容器、７，８……バルブ、９……真空ポンプ、
１０……給気孔、１１……排気孔、１２……給気
手段、１３……ボルト、１５……貫通孔、ａ，ｂ
，ｃ，ｄ……取付部材。
図ａは従来の真空容器の一例の側断面図、第２図
ｂは第２図ａのボルト締付部の拡大断面図、第３
図は実施例の取付部材外観図である。 １ａ……めくらねじ穴内の空気、１ｂ……真空
容器内の空気、２……ボルト、３……真空容器底
部、４……部材、５……めくらねじ穴、６……真
空容器、７，８……バルブ、９……真空ポンプ、
１０……給気孔、１１……排気孔、１２……給気
手段、１３……ボルト、１５……貫通孔、ａ，ｂ
，ｃ，ｄ……取付部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 軸方向貫通穴を軸中心部に有する取付部材
により真空容器の内壁面に設けためくら穴からな
る取付穴に取付けたことを特徴とする真空容器内
における部材取付け構造。 (2) 螺合手段により前記取付部材と取付穴の取
付を行なうようにした実用新案登録請求の範囲第
１項記載の真空容器内における部材取付け構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19822786U JPS63105328U (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19822786U JPS63105328U (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63105328U true JPS63105328U (ja) | 1988-07-08 |
Family
ID=31158718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19822786U Pending JPS63105328U (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63105328U (ja) |
-
1986
- 1986-12-25 JP JP19822786U patent/JPS63105328U/ja active Pending