JPS6292640U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6292640U JPS6292640U JP18502185U JP18502185U JPS6292640U JP S6292640 U JPS6292640 U JP S6292640U JP 18502185 U JP18502185 U JP 18502185U JP 18502185 U JP18502185 U JP 18502185U JP S6292640 U JPS6292640 U JP S6292640U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- seal
- resist
- resist supply
- supply container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図はその使用法を示す説明図、第３図は従来の
供給容器とその使用例を示す構成図である。 図中、１は容器、２はレジスト液、６はＯリン
グ、７はシール、８は隔壁、１０ａ，１０ｂは加
圧ガスである。尚、図中同一符号は同一または相
当部分を示す。
２図はその使用法を示す説明図、第３図は従来の
供給容器とその使用例を示す構成図である。 図中、１は容器、２はレジスト液、６はＯリン
グ、７はシール、８は隔壁、１０ａ，１０ｂは加
圧ガスである。尚、図中同一符号は同一または相
当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 容器内部に容器外壁と同心状の隔壁を垂下
して設け、かつ容器の口を膜状のシールにて塞ぎ
、このシールの下方の内部にレジスト液と加圧ガ
スを封入したことを特徴とするレジスト供給容器
。 (2) 容器の口のシール上方の内側面にＯリング
が配設されている実用新案登録請求の範囲第１項
記載のレジスト供給容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18502185U JPS6292640U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18502185U JPS6292640U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6292640U true JPS6292640U (ja) | 1987-06-13 |
Family
ID=31133257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18502185U Pending JPS6292640U (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6292640U (ja) |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP18502185U patent/JPS6292640U/ja active Pending