JPS6290899A - Electric source for microwave discharge light source - Google Patents

Electric source for microwave discharge light source

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Publication number
JPS6290899A
JPS6290899A JP23083285A JP23083285A JPS6290899A JP S6290899 A JPS6290899 A JP S6290899A JP 23083285 A JP23083285 A JP 23083285A JP 23083285 A JP23083285 A JP 23083285A JP S6290899 A JPS6290899 A JP S6290899A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
switching
power supply
high frequency
magnetron
Prior art date
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Pending
Application number
JP23083285A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
勲 正田
憲治 吉沢
明彦 岩田
正和 滝
名取 茂
児玉 仁史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP23083285A priority Critical patent/JPS6290899A/en
Publication of JPS6290899A publication Critical patent/JPS6290899A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔唯業上の利用分野J この発明は無電極放電ランプをマイクロ波で点灯させる
マイクロ波放電光源装置に関[7.特にそのマイクロ波
を発生させるマグネトロン全駆動する友めの電源装置の
改良に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application J] This invention relates to a microwave discharge light source device for lighting an electrodeless discharge lamp with microwaves [7. In particular, it relates to the improvement of a companion power supply device that fully drives the magnetron that generates the microwaves.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第4因はたとえば特開昭57−55091号公報に示さ
れた従来のマイクロ波放電光源装置用の′電源装置の回
路図でちり.Eは交流電源でおりトランスTの1次巻1
fg I Pに交流′1圧が印加さnる。
The fourth factor is, for example, the circuit diagram of a power supply device for a conventional microwave discharge light source device shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-55091. E is an AC power supply and is the primary winding 1 of transformer T.
AC'1 pressure is applied to fg I P.

トランスTは二つの2次巻線をIS.2Sを有しており
.2次巻線1Sの第1のコンデンサC1  と第1ダイ
オードD1  直列回路、および第2のコンデンサC2
と第1ダイオードと順電流方向を逆にした第2ダイオー
ドD2 の直列回路が並列接続さnており0倍電圧整流
回路が構成さnl、その出力電圧はマグネトロンのアノ
ードおよびカソードに印加される。またトランスTの2
次巻線2Sはマグネトロン+11のカソード(フィラメ
ント)に接続さnる。トランスTは漏洩変圧器を用いら
れる。
The transformer T connects the two secondary windings to IS. It has 2S. A series circuit of the first capacitor C1 and the first diode D1 of the secondary winding 1S, and the second capacitor C2
A series circuit of the first diode and the second diode D2 having the forward current direction opposite to that of the first diode are connected in parallel to form a 0x voltage rectifier circuit, the output voltage of which is applied to the anode and cathode of the magnetron. Also, transformer T 2
The next winding 2S is connected to the cathode (filament) of the magnetron +11. A leaky transformer is used as the transformer T.

以上のような従来の電源装置の動作は次のようにである
。先ず商用周波(50H2または60H1)の交流電源
電圧EがトランスTに印加されると。
The operation of the conventional power supply device as described above is as follows. First, when AC power supply voltage E of commercial frequency (50H2 or 60H1) is applied to transformer T.

トランスでの2次巻線2Sによりマグネトロン(1)の
フィラメントが加熱されると共にトランスTの2次巻線
ISに接続された全波倍′4圧回路により。
The filament of the magnetron (1) is heated by the secondary winding 2S in the transformer, and also by the full wave doubler'4 voltage circuit connected to the secondary winding IS of the transformer T.

マグネトロンに巾“圧が印加さn、マグネトロンfil
に電流が流れて、マイクロ波を発生する。このマイクロ
波エネルギーによって無電極ラングが放電発光させる。
A wide pressure is applied to the magnetron, and the magnetron fil
Electric current flows through it and generates microwaves. This microwave energy causes the electrodeless rung to discharge and emit light.

この時のマイクロ波出力は第5図に示すようにマイクロ
波を発生しない休止期間が。
As shown in Figure 5, the microwave output at this time has a rest period in which no microwave is generated.

1ミリ秒程度ある台形状になる。このマイクロ波出力は
マグネトロン電流に対応するものでマグネトロン電流も
台形状になる。この休止期間が1ミリ秒程度であり、無
電極放電ランプの放電中のガスがこの休止期間内で完全
に中性ガスに戻ることはないので放電が持続するように
なっている。
It becomes a trapezoid shape that lasts about 1 millisecond. This microwave output corresponds to the magnetron current, and the magnetron current also has a trapezoidal shape. This pause period is about 1 millisecond, and the gas being discharged from the electrodeless discharge lamp does not completely return to neutral gas within this pause period, so that the discharge continues.

またマグネトロンの゛1流電圧特性は第6図に示すよう
に電圧の変化に対する電流の変化が大きいので、を原電
圧の変動に対し、マグネトロン電流の変動を小さく抑え
る几めに、漏洩変圧器の定電流特性を利用している。
In addition, as shown in Figure 6, the current voltage characteristic of a magnetron is such that the current changes greatly with respect to changes in voltage. It uses constant current characteristics.

また、この従来例の電源装置においては第1および第2
のコンデンサC1お工びC2の容量を変えることにより
、マグネトロン出力を変えることができる。
In addition, in this conventional power supply device, the first and second
By changing the capacitance of capacitor C1 and C2, the magnetron output can be changed.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記のように従来のマイクロ波放電光源装置の電源装置
においては無電極放電ランプの光量を変えるためすなわ
ち、調光するためには全波倍電圧整流回路のコンデンサ
C1およびC2の容!kを変えることに:つで行なわれ
るが、いくつかのコンデンサを切換えてその容量を変え
るので1段階的調光となり、連続調光はできない。また
マイクロ波出力の休止時間が商用周波数の半サイクルご
とに生じるため、100H26るいは120I(Zのフ
リッカ−があり目に不快を与えるという問題点があった
。またトランスTが商用周波数のものであるため重量が
X(、取扱いが不便で使い勝手が悪いという問題点があ
った。
As mentioned above, in the power supply device of the conventional microwave discharge light source device, in order to change the light intensity of the electrodeless discharge lamp, that is, to perform dimming, the capacitances of capacitors C1 and C2 of the full-wave voltage doubler rectifier circuit must be adjusted. Changing k: This is done by switching several capacitors to change their capacitances, so dimming is done in one step, and continuous dimming is not possible. In addition, because the microwave output pause time occurs every half cycle of the commercial frequency, there is a problem that there is flicker of 100H26 or 120I (Z), which is unpleasant to the eyes.Also, if the transformer T is of the commercial frequency Therefore, there were problems in that it was heavy, inconvenient to handle, and inconvenient to use.

この発明はかかる問題を解決するためになされたもので
、連続調光ができ、目に感じるフリッカ−がなく、軽量
のマイクロ波放電光源装置用のマグネトロンを駆動させ
る高周波インバータ方式の電源装置を得ることを目的と
するものである。
This invention was made to solve this problem, and provides a high-frequency inverter-type power supply device that can continuously control light, has no visible flicker, and is lightweight and drives a magnetron for a microwave discharge light source device. The purpose is to

〔問題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明に係る電源装置は、商用周波数電源を整流平滑
手段と整流平滑した直流を高周波スイッチングする手段
と高周波漏洩トランスと高周波整流手段および任意に設
定したマイクロ波出力になるように、マイクロ波対応す
る高周波スイッチングの時間を制御信号に基いてする制
御手段と具備する高周波インバータ方式の電源装置であ
る、〔作用〕 この発明においては高周波漏洩トランスのトランス2次
側の定電流特性を利用してマグネトロン電流を自己抑制
する高周波漏洩トランスと、予め設定したマイクロ波出
力になる工うマイクロ波出力瞬時の値に対応する信号に
基いて高周波スイッチング手段のスイッチング時間を制
御する制御手段とを併用することにより iJ源電電圧
変動や平滑後の直流電圧の電圧リップルによるマグネト
ロン電流の定電流化が図れ、マグネトロンを駆動するた
めのインバータ方式の電源装置が得られる。
The power supply device according to the present invention converts a commercial frequency power source into a rectifying and smoothing means, a means for high-frequency switching of the rectified and smoothed direct current, a high-frequency leakage transformer, a high-frequency rectifying means, and a microwave-compatible device so that a microwave output can be arbitrarily set. This is a high frequency inverter type power supply device that is equipped with a control means that determines the high frequency switching time based on a control signal. [Function] In this invention, the magnetron current is By using in combination a high frequency leakage transformer that self-suppresses the microwave output and a control means that controls the switching time of the high frequency switching means based on a signal corresponding to the instantaneous value of the microwave output to achieve a preset microwave output. The magnetron current can be made constant due to power supply voltage fluctuations and voltage ripples of the smoothed DC voltage, and an inverter-type power supply device for driving the magnetron can be obtained.

〔実施例J 第1図はこの発明の一実施例を示すマイクロ波放電光源
装置用のマグネトロンを駆動させる電源装置の回路図で
ある。第1図において、(1)はマグネトロンで、Eは
商用周波数電源、(2)は商用交流電源を整流するため
のダイオ−ドブリッチによる整流手段、  Co は整
流さn7’(脈流を平滑するコンデンサであり、(4)
はスイッチング手段で、この実M例で1M08FET(
メタルオキサイド電界効果形トランジスタ〕Q1  お
工びQl およびそのソース−ドレイン間に還流ダイオ
ードD1  およびD2が接続されている。Tは高周波
漏洩変圧器で1次巻線センタータップOの出ているIP
、2Pの巻線を有し巻MAPの一端P1  お工び巻i
2Pの一端P2  はスイッチングトランジスタQ1 
 およびQlのドレインにそnぞn接続さt’L、  
1次巻線IPおよび2Pのセンタータップott平滑コ
ンデンサCoの子端にまた。スイッチングトランジスタ
Q1およびQl ソースは8部分接続され平滑コンデン
サCo の一端に接続される。また、高周波漏洩変圧器
の2次巻線(1S)の一端S1  はコンデンサCお工
びダイオードDを介しても一方端S2 に接続さnる。
[Embodiment J] FIG. 1 is a circuit diagram of a power supply device for driving a magnetron for a microwave discharge light source device, showing one embodiment of the present invention. In Figure 1, (1) is a magnetron, E is a commercial frequency power supply, (2) is a diode brittle rectifier for rectifying the commercial AC power supply, and Co is a rectifier n7' (a capacitor for smoothing pulsating current). and (4)
is the switching means, and in this actual M example, it is 1M08FET (
Metal oxide field effect transistor Q1 Freewheeling diodes D1 and D2 are connected between the metal oxide field effect transistor Q1 and its source and drain. T is a high frequency leakage transformer and is the IP where the primary winding center tap O comes out.
, has a 2P winding, and one end of the winding MAP is P1.
One end P2 of 2P is the switching transistor Q1
and t'L connected to the drain of Ql,
The center tap of the primary windings IP and 2P is also at the terminal of the smoothing capacitor Co. The sources of switching transistors Q1 and Ql are connected in eight parts and connected to one end of a smoothing capacitor Co. Further, one end S1 of the secondary winding (1S) of the high frequency leakage transformer is also connected to one end S2 through a capacitor C and a diode D.

このコンデンサCとダイオードDに高周波の高電圧の整
流手段が構成さする。この実施例では半波倍゛直圧整流
回路が構成され、d端にH6f端に(ト)が発生するの
でdをマグネトロン(1)のカソードKICfをアノー
ドAに接続ざnる。マグネトロンのフィラメントの加熱
は商用交流電源より絶縁変圧器を介して左端エリフィラ
メント電流を流す(図示してない)。
The capacitor C and the diode D constitute a high frequency, high voltage rectifying means. In this embodiment, a half-wave doubler direct voltage rectifier circuit is constructed, and since (g) is generated at the d terminal and the H6f terminal, the cathode KICf of the magnetron (1) is connected to the anode A at d. To heat the magnetron's filament, current is applied to the left end filament from a commercial AC power source via an isolation transformer (not shown).

また6はスイッチング手段のスイッチング時間を制御す
るための制御手段で、この実施例においてに整流平滑後
の直流電圧eo間の電圧に基いて予め設定したマイクロ
波出力になるようにスイッチング時間を制御するように
したものである。
Further, 6 is a control means for controlling the switching time of the switching means, and in this embodiment, the switching time is controlled so that the microwave output is set in advance based on the voltage between the DC voltage eo after rectification and smoothing. This is how it was done.

この実施例においては高周波インバータ電源方式の中で
センターラップ方式と呼ばれるものに属するものであり
、スイッチングトランジスタ(h 。
This embodiment belongs to a high-frequency inverter power supply system called a center-wrap system, and uses a switching transistor (h).

Ql  を交互に0N−OFF  させることによって
By turning Ql ON-OFF alternately.

トランスTの2次側に高周波電圧を得るものである。This is to obtain a high frequency voltage on the secondary side of the transformer T.

このように構成されたこの発明によるマイクロ波放電光
源装置のマグネトロンを駆動する電源装置の動作は次の
ようである。先ず電源Eを印加するとダイオードブリッ
ジDOKより整流さし平滑コンデンサCo に充電され
る。その直流電圧は高周波漏洩トランスTの1次巻線1
Pお工び2Pを介してスイッチングトランジスタQ1 
 お工びQlに印加さrt、Qi  お:びQl のゲ
ート信号電圧を制御回路(6)によりgl 、 g2に
印加することによりQl  およびQlがON、 OF
F  l、て高周波漏洩トランスTの2次巻線1Sにほ
ぼ矩形波の電圧が誘起される。トランスTの1次および
2次巻線の巻き方向を・印で示すと、スイッチングトラ
ンジスタQ1 がONしている時は81  端が(ト)
、S2端が(ハ)になるように電圧が誘起されSにりコ
ンデンサC−ダイオードDを介して電流が流れ、コンデ
ンサCが充電され0次にQl がQF’F’ Ls Q
lがONするとSl  にH,S2に…の電圧が誘起さ
れ。
The operation of the power supply device configured as described above for driving the magnetron of the microwave discharge light source device according to the present invention is as follows. First, when the power source E is applied, the rectifier and smoothing capacitor Co is charged by the diode bridge DOK. The DC voltage is applied to the primary winding 1 of the high frequency leakage transformer T.
Switching transistor Q1 via P-work 2P
By applying the gate signal voltages rt, Qi and Ql to gl and g2 by the control circuit (6), Ql and Ql are turned ON and OF.
At Fl, a substantially rectangular voltage is induced in the secondary winding 1S of the high frequency leakage transformer T. When the winding direction of the primary and secondary windings of the transformer T is indicated by the mark, when the switching transistor Q1 is ON, the 81 end is (T).
, a voltage is induced so that the S2 terminal becomes (c), a current flows through S through capacitor C and diode D, capacitor C is charged, and Ql becomes QF'F' Ls Q
When l is turned on, voltages of H and S2 are induced in Sl and S2, respectively.

ダイオードDは電流が逆方向となり、マグネトロンfi
lOカソードーアノード間にはコンデンサCの電圧とト
ランスTの2次巻線ISに誘起された電圧とが加算さn
、た電圧が印加され、マグネトロンの動作電圧以上とな
り、マグネトロンに電流が流nて、マイクロ波を発振す
る。マグネトロンに電流が流nるとコンデンサCの両端
の電圧が低下し。
The diode D has a current in the opposite direction, and the magnetron fi
The voltage of capacitor C and the voltage induced in secondary winding IS of transformer T are added between lO cathode and anode.
A voltage is applied to the magnetron, which exceeds the magnetron's operating voltage, causing current to flow through the magnetron and oscillating microwaves. When current flows through the magnetron, the voltage across capacitor C drops.

アノード−カソード間電圧が動作電圧よりも低下すると
マグネトロン電流が零になる。次にQl をOFF L
やQl  をONすると再びコンデンサCに充電さn、
再びQl eOFF L、、Ql をONfるとマグネ
トロン(1)電流が流れマイクロ波を発振する。このよ
うにQl  お工びQl  を高周波で交互にON、O
FF  を匍制御することにzつ、高周波で。
When the anode-cathode voltage drops below the operating voltage, the magnetron current becomes zero. Next, turn off Ql
When Ql is turned on, capacitor C is charged again.
When Ql is turned ON again, the magnetron (1) current flows and oscillates microwaves. In this way, Ql is turned ON and OFF alternately at high frequency.
The purpose of controlling the FF is high frequency.

マグネトロンを動作発振させることができる。しかシ1
.マグネトロンに流nる電流は印加電圧の変化に対[7
急激に変化するため、マグネトロン電力即ちマイクロ波
出力の変化はエリ急変する。したがってマイクロ波出力
を設定値にほぼ一定になるよう瞬時的、平均的にも制御
する必要がある。この発明においては第1に高周波トラ
ンスを罰洩変圧器とし、トランスTの1次側に印加さn
る電圧の変動にトランスTの2次側電流を自己抑制する
とともにトランス1次側に印加さnる電圧、即ち整流平
滑者の直流電圧を検知し、この直流電圧の瞬時値に対応
して、スイッチングトランジスタQ1.Q2の0N−O
FFの時間を、設定したマイクロ波出力となるより制御
するようにした。どのように制御するかを図面にしたが
って説明する。先ず高周波漏洩トランスTの漏洩インダ
クタンスとコンデンサCの容量の選択によりコンデンサ
Cの充電及び放電(マグネトロンに流れる電流)がスイ
ッチングトランジスタQ1  お工びQ2 のON時間
内に終るように設定した場合は第2図のようになる。第
2囚は横軸に時間をとりスイッチングトランジスタQ1
 およびQ2 のONおよびOFFサイクルとコンデン
サCに流れる充放電電流を示すものであり0図中t1 
 およびt2 はスイッチにトランジスタの08時間お
よびOFF時間でt5 はQ1Q2  ともOFF し
ている時である。このようにスイッチングトランジスタ
を0N−OFF  されると、コンデンサCに充電する
電流および放電々流は図に示すようになり、スイッチン
グトランジスタがON期間内で充放電が終了する。また
、高周波漏洩トランスに印加さnる直流電圧が変動した
場合、充電々流、放電々流は印加電圧が低い場合は点線
の工うに低くなり、印加電圧が高い場合は一点鎖線のよ
うに高くなる。ここで印加′電圧を検知し、これに基い
て印加電圧が高い場合はスイッチングは周期to を長
くし、印加電圧が低い場合はスイッチング周期to を
短かくする工うに制御回路6にエリマイクロ波出力が設
定値に一定になるようVこjiilj御できる。すなわ
ちスイッチングの08時間一定でスイッチング周波を制
御することになる。
The magnetron can be made to oscillate. Shikashi 1
.. The current flowing through the magnetron changes as the applied voltage changes [7
Because of the sudden change, the magnetron power, that is, the microwave output, changes suddenly. Therefore, it is necessary to control the microwave output both instantaneously and on average so that it remains approximately constant at the set value. In this invention, firstly, the high frequency transformer is a leakage transformer, and the voltage n applied to the primary side of the transformer T is
The secondary current of the transformer T is self-suppressed in response to voltage fluctuations, and the voltage applied to the primary side of the transformer, that is, the DC voltage of the rectifier and smoother, is detected, and in response to the instantaneous value of this DC voltage, Switching transistor Q1. Q2's 0N-O
The FF time was controlled to achieve the set microwave output. How to control it will be explained with reference to the drawings. First, if the leakage inductance of the high-frequency leakage transformer T and the capacitance of the capacitor C are set so that the charging and discharging of the capacitor C (current flowing to the magnetron) is completed within the ON time of the switching transistor Q1 and Q2, the second It will look like the figure. The second prisoner takes time on the horizontal axis and the switching transistor Q1
t1 in the figure shows the ON and OFF cycles of Q2 and the charging/discharging current flowing through capacitor C.
And t2 is 08 hours and OFF time of the transistor in the switch, and t5 is when both Q1 and Q2 are OFF. When the switching transistor is turned ON and OFF in this manner, the current charging the capacitor C and the discharge current become as shown in the figure, and charging and discharging are completed within the ON period of the switching transistor. Furthermore, when the DC voltage applied to the high-frequency leakage transformer changes, the charging current and discharging current will be low as shown by the dotted line when the applied voltage is low, and high as shown by the dashed-dotted line when the applied voltage is high. Become. Here, the applied voltage is detected, and based on this, when the applied voltage is high, the switching period to is lengthened, and when the applied voltage is low, the switching period is shortened. V can be controlled so that it remains constant at the set value. In other words, the switching frequency is controlled to be constant for 08 hours of switching.

また、高周波漏洩トランスTの漏洩インダクタンスとコ
ンデンサCの容量をスイッチ7708時間tQ  工り
も長い充放電時間となるように選んだ場合は第3図に示
すように制御する。すなわち印加電圧が低い場合はコン
デンサCの充放電々流が低く、印加電圧が高い場合は充
放電々流が高くなる。スイッチング周期tp ’4一定
とし、印加電圧が高い場合はスイッチ7708時間tl
  i短かくし、印加電圧が低い場合はスイッチ770
8時間t1  を長くするように印加電圧を検知し、こ
nに基いてスイッチ7708時間t1  をマイクロ波
出力が設定になるエリに制御回路(6)により制御する
Furthermore, when the leakage inductance of the high frequency leakage transformer T and the capacitance of the capacitor C are selected so that the switch 7708 time tQ also has a long charging and discharging time, they are controlled as shown in FIG. That is, when the applied voltage is low, the charging and discharging current of the capacitor C is low, and when the applied voltage is high, the charging and discharging current is high. The switching period tp '4 is constant, and if the applied voltage is high, the switch 7708 time tl
i Shorten the switch 770 when the applied voltage is low.
The applied voltage is detected so as to lengthen the time t1 by 8, and based on this, the control circuit (6) controls the switch 7708 time t1 so that the microwave output is set.

またこの場合はスイッチングOFF時間t3 k印加電
圧が高い場合は長くなる工う、印加電圧が低い場合は短
かくなるよう制御しても設定したマイクロ波出力を得る
ことができる。ま友ξれらの制御は制御回路内で印加さ
れる電圧とたとえばマイクロ波出力に相当する基準電圧
との比較において行うものであり、マイクロ波出力に相
当する基準電圧をポテンショメータ等により連続的に変
えることができるので、無電極放電ランプの光量を連続
調光できる。また、スイッチング周波数を30KHz程
度に選定でき、印加電圧の瞬時値に対応して、マイクロ
波出力を制御しているので、商用周波数の2倍の周波数
の印加電圧のリップルによる光量のフリッカがなくなる
っ またスイッチング周波数30KH2程度高周波に選択で
きるので、高周波溜洩トランスは鉄心にフェライトを用
い、電磁気宇の教えるように寸法・形状小さい鉄心にす
ることができる。
Further, in this case, the set microwave output can be obtained even if the switching OFF time t3k is controlled so that it becomes longer when the applied voltage is high and becomes shorter when the applied voltage is low. These controls are performed by comparing the voltage applied within the control circuit with, for example, a reference voltage corresponding to the microwave output, and the reference voltage corresponding to the microwave output is continuously controlled by a potentiometer, etc. Since the light intensity of the electrodeless discharge lamp can be changed, the light intensity of the electrodeless discharge lamp can be continuously adjusted. In addition, the switching frequency can be selected to around 30 KHz, and the microwave output is controlled according to the instantaneous value of the applied voltage, eliminating flickering in the amount of light due to ripples in the applied voltage at twice the commercial frequency. Furthermore, since the switching frequency can be selected to be a high frequency of about 30KH2, the high frequency leakage transformer can use ferrite for the iron core, and the iron core can be made small in size and shape as taught by electromagnetism.

この実施例にお−で、200V−501(Zの商用電源
を用い、スイッチング周波数を30 KH2とし、入力
電力を1.5KWのマイクロ波放電光源装置用電源装置
とした場合、筒周′e漏洩トランスは鉄心E型(フェラ
イトコア)重量は約0.9Kg となり、電気的特性に
おいては電源電圧を定格電圧の±10%変動に対し、入
力電力の変動は約−9俤、+11%に抑えられ、調光は
入力電力で30チ〜100チまで可能であつ之。なお、
漏洩変圧器は商用周波数用の漏洩変圧器で使用さnてい
るような1次巻線として2次巻線の間にバスコアを入n
ることを採用しなくとも、1次巻線と2次巻線とを重ね
巻きせずに別個に巻いて、鉄心(フェライトコア)に並
べて挿入し1次巻線と2次巻線の接近幅を調節すること
にエリ高周波漏洩変圧器とすることができた。これはフ
ェライトコアーを漏洩変圧器特有の構造にしなくてもよ
いので製作が容易である。
In this example, if a commercial power supply of 200V-501 (Z) is used, the switching frequency is 30KH2, and the input power is 1.5KW, the power supply for the microwave discharge light source device is used. The transformer has an iron core E type (ferrite core) and weighs approximately 0.9 kg, and in terms of electrical characteristics, when the power supply voltage fluctuates by ±10% of the rated voltage, the input power fluctuation is suppressed to approximately -9 yen and +11%. , dimming is possible from 30 to 100 inches depending on the input power.
A leaky transformer uses a bus core between the primary winding and the secondary winding, similar to those used in leaky transformers for commercial frequencies.
Even if the primary winding and the secondary winding are not wound over each other, they can be wound separately and inserted into the iron core (ferrite core) side by side to reduce the closeness of the primary and secondary windings. It was possible to adjust the ELI high frequency leakage transformer. This is easy to manufacture because the ferrite core does not have to have a structure unique to leaky transformers.

以上説明のようにこの実施例においてはインバータ方式
をセンタータップ方式を用いたが、この発明は他のイン
バータ方式たとえばフルグリッチ方式、ノ・−7ブリツ
ヂ方式特にも適用でる。また。
As described above, in this embodiment, a center tap type inverter is used, but the present invention is also applicable to other inverter types such as a full glitch type and a No. 7 bridge type. Also.

スイッチング時間の制御を漏洩変圧器の1次側に印加さ
nる電圧を検知してフイードフオアード制fIlヲ行っ
たが、たとえば光量やマグネトロン電流等を検知してフ
ィードバック制御でもよく、またフィード7オードお工
びフィードバック制御を共方升閉してもよい。
The switching time was controlled by feedback control by detecting the voltage applied to the primary side of the leakage transformer, but it is also possible to use feedback control by detecting the amount of light, magnetron current, etc. 7-order feedback control may be closed simultaneously.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明は以上説明したとおり、高周波漏洩トランスと
マグネトロンから発生するマイクロ波出力に対応した信
号によりマイクロ波出力が予め設定したマイクロ波出力
になるようにスイッチング手段のスイッチング時間を制
御する制御手段とを併用することにより、高周波インバ
ータ方式のマイクロ波放電光源装置用のマグネトロン駆
動用の電源装置が得られ、高周波漏洩トランスが軽量に
なり、高周波にすることで、目に感じるチラッキをなく
すことができ、更にスイッチング時間を制御する制御手
段に与えるマイクロ波出力に相当する基準信号の値を連
続して変えることができるので連続調光ができるという
効果がある。
As explained above, the present invention includes a high frequency leakage transformer and a control means for controlling the switching time of the switching means so that the microwave output becomes a preset microwave output by a signal corresponding to the microwave output generated from the magnetron. When used together, a power supply device for driving a magnetron for a high-frequency inverter-type microwave discharge light source device can be obtained, the high-frequency leakage transformer becomes lightweight, and by using a high frequency, it is possible to eliminate flicker that can be felt by the eyes. Furthermore, since the value of the reference signal corresponding to the microwave output applied to the control means for controlling the switching time can be changed continuously, there is an advantage that continuous dimming can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明によるマイクr:1v放電光源装のマ
グネトロン駆動用電源装置実施例の回路図。 第2図は第1図において、整流後の直流電圧を検知して
、マイクロ波出力をスイッチング周波数制御する場合の
スイッチングON、OFF’  のフローチャートとコ
ンデンサCの充電および放電電流波形を示す図、第3図
は整流後の直流電圧を検知してマイクロ波出力をスイッ
チング周波数制御のスイッチングON、OFF  の7
0−とコンデンサCの充放電々泥波形を示す図。 第4図は従来の商用周波数の電源を用いたマイクロ波放
電光源装置の電源装置の回路図、第5図は第4図に示す
電源装置のマイクロ波出力波形を示す図。 第6図はマイネトロンの電圧−電流特性を示す図である
。 図において、(l)はマグネトロン、(2)は整流手段
。 (3)は平滑手段、(4)はスイッチング手段、Tは高
周波漏洩トランス、(5)は整流手段、(6)はスイッ
チング時間制御手段金示す。 図中同一符号は同−或いは相当部分を示す。 第2図 叶間 し 第3図 時開を 第4図 2り 竿 5 阿 第6図
FIG. 1 is a circuit diagram of an embodiment of a power supply device for driving a magnetron of a microphone R:1V discharge light source device according to the present invention. Figure 2 is a flowchart of switching ON and OFF' when detecting the rectified DC voltage and controlling the switching frequency of the microwave output in Figure 1, and a diagram showing the charging and discharging current waveforms of capacitor C. Figure 3 shows how to detect the DC voltage after rectification and switch the microwave output.Switching frequency control ON/OFF 7
A diagram showing charge/discharge waveforms of capacitor C and capacitor C. FIG. 4 is a circuit diagram of a power supply device of a microwave discharge light source device using a conventional commercial frequency power supply, and FIG. 5 is a diagram showing a microwave output waveform of the power supply device shown in FIG. 4. FIG. 6 is a diagram showing the voltage-current characteristics of the minetron. In the figure, (l) is a magnetron, and (2) is a rectifier. (3) is a smoothing means, (4) is a switching means, T is a high frequency leakage transformer, (5) is a rectifying means, and (6) is a switching time control means. The same reference numerals in the drawings indicate the same or corresponding parts. Figure 2: Kanoma, Figure 3: Time opening, Figure 4: 2 rods, 5 A Figure 6

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)無電極放電ランプをマイクロ波で点灯するマイク
ロ波放電光源装置のマグネトロンを駆動させる電源装置
において、商用周波数の電源を整流手段と、この整流さ
れた電圧を平滑する手段と、上記平滑手段で平滑された
直流を高周波でスイッチングする手段とこのスイッチン
グ手段に1次巻線接続して高周波を得る高周波漏洩トラ
ンスと上記高周波漏洩トランスの2次巻線に接続した高
周波整流回路と、予め設定したマイクロ波出力になるよ
う、マイクロ波出力に対応する信号に基いて、上記スイ
ッチング手段のスイッチング時間を制御する制御手段と
を設けたことを特徴とするマイクロ波放電光源装置用電
源装置。
(1) In a power supply device for driving a magnetron of a microwave discharge light source device for lighting an electrodeless discharge lamp using microwaves, the power supply device includes a means for rectifying a commercial frequency power source, a means for smoothing the rectified voltage, and the smoothing means. means for switching smoothed direct current at high frequency; a high frequency leakage transformer for obtaining a high frequency by connecting a primary winding to the switching means; a high frequency rectifier circuit connected to the secondary winding of the high frequency leakage transformer; A power supply device for a microwave discharge light source device, comprising: a control means for controlling a switching time of the switching means based on a signal corresponding to the microwave output so as to provide a microwave output.
(2)制御手段を平滑後の直流電圧を検知し、それに基
いてマイクロ波出力が予め設定した電力になるようなス
イッチング周波数制御するようにしたことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の電源装置。
(2) The control means detects the smoothed DC voltage and controls the switching frequency so that the microwave output becomes a preset electric power based on the detected DC voltage. power supply.
(3)制御手段を平滑後の直流電圧を検知し、それに基
いてマイクロ波出力が予め設定した電力になるようにス
イッチング手段のスイッチングON時間を制御するよう
にした特許請求の範囲第1項記載の電源装置。
(3) The control means detects the smoothed DC voltage, and based on the detected DC voltage, controls the switching ON time of the switching means so that the microwave output becomes a preset electric power. power supply.
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