JPS6284159U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6284159U JPS6284159U JP17490885U JP17490885U JPS6284159U JP S6284159 U JPS6284159 U JP S6284159U JP 17490885 U JP17490885 U JP 17490885U JP 17490885 U JP17490885 U JP 17490885U JP S6284159 U JPS6284159 U JP S6284159U
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- JP
- Japan
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- cleaning
- cooling water
- equipment
- ion implantation
- bypass valve
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- Pending
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- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案のイオン打込装置の実施例の説
明図、第２図は従来の装置の説明図である。 １…冷却水供給源側配管、６…冷却水排水側配
管、３，４，５…内部冷却部ブロツク。
明図、第２図は従来の装置の説明図である。 １…冷却水供給源側配管、６…冷却水排水側配
管、３，４，５…内部冷却部ブロツク。
Claims (1)
- 冷却水をとり込み装置内の１部を冷却するイオ
ン打込み装置において、装置内の冷却水路の汚れ
を除去するための洗浄液をためる洗浄装置と、こ
の洗浄装置をバイパスするバルブを設け、通常は
洗浄装置とバイパスするバルブに冷却水を流し、
装置を洗浄する場合にはバイパスバルブを閉とし
洗浄装置の入口と出口のバルブを開することによ
り洗浄液を装置本体に流し込めるような冷却水系
を設けたことを特徴とするイオン打込装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17490885U JPS6284159U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17490885U JPS6284159U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284159U true JPS6284159U (ja) | 1987-05-29 |
Family
ID=31113729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17490885U Pending JPS6284159U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284159U (ja) |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP17490885U patent/JPS6284159U/ja active Pending
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