JPS6283583U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6283583U JPS6283583U JP17358285U JP17358285U JPS6283583U JP S6283583 U JPS6283583 U JP S6283583U JP 17358285 U JP17358285 U JP 17358285U JP 17358285 U JP17358285 U JP 17358285U JP S6283583 U JPS6283583 U JP S6283583U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- coating liquid
- liquid receiving
- finished
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す要部斜視図、
第２図はスピナーヘツドの例を示す斜視図、第３
図と第４図とは従来技術の説明図である。 １……受皿、２……スピナーヘツド、３……基
板、４……Ｏリング、５……おさえ、６……鏡像
。
第２図はスピナーヘツドの例を示す斜視図、第３
図と第４図とは従来技術の説明図である。 １……受皿、２……スピナーヘツド、３……基
板、４……Ｏリング、５……おさえ、６……鏡像
。
Claims (1)
- 塗布液受皿を鏡面状態にするか、塗布液受皿表
面に鏡面状のものを設置したことを特徴とするス
ピナー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17358285U JPS6283583U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17358285U JPS6283583U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6283583U true JPS6283583U (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=31111175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17358285U Pending JPS6283583U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6283583U (ja) |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP17358285U patent/JPS6283583U/ja active Pending
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