JPS6275405U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6275405U
JPS6275405U JP16693585U JP16693585U JPS6275405U JP S6275405 U JPS6275405 U JP S6275405U JP 16693585 U JP16693585 U JP 16693585U JP 16693585 U JP16693585 U JP 16693585U JP S6275405 U JPS6275405 U JP S6275405U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
actuator
rod
displacement
detection device
movable rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16693585U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0720562Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1985166935U priority Critical patent/JPH0720562Y2/ja
Publication of JPS6275405U publication Critical patent/JPS6275405U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0720562Y2 publication Critical patent/JPH0720562Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Actuator (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の原理図、第２図、第３図、第
４図、第５図は実施例の断面図、Ａ矢視図、部分
平面図およびＢ矢視図、第６図は従来例の説明図
である。 １……変位検出装置、２……アクチユエータ（
油圧シリンダ）、５……ピストン、７……ピスト
ンロツド、８……可動ロツド、２９……絶縁体、
３０……固定電極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 流体シリンダ等アクチユエータの変位を検出す
    るための変位検出装置であつて、アクチユエータ
    の可動ロツドの外周部に該ロツドよりも若干径の
    大きい筒状の固定電極をアクチユエータに対し絶
    縁状態で設け、該固定電極と可動ロツドとで該ロ
    ツドの移動によつて生じる静電容量の変化を検出
    する静電容量型変位検出器を構成したことを特徴
    とするアクチユエータの変位検出装置。
JP1985166935U 1985-10-30 1985-10-30 アクチュエータ Expired - Lifetime JPH0720562Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985166935U JPH0720562Y2 (ja) 1985-10-30 1985-10-30 アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985166935U JPH0720562Y2 (ja) 1985-10-30 1985-10-30 アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6275405U true JPS6275405U (ja) 1987-05-14
JPH0720562Y2 JPH0720562Y2 (ja) 1995-05-15

Family

ID=31098388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1985166935U Expired - Lifetime JPH0720562Y2 (ja) 1985-10-30 1985-10-30 アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0720562Y2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02173484A (ja) * 1988-12-26 1990-07-04 Toto Ltd 位置検出機能を有する圧電アクチュエータ
JP2010240833A (ja) * 2009-03-18 2010-10-28 Kobayashi Co Ltd 計測機能付きチャック装置及びロボットチャック装置
JP2012030299A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Kobayashi Co Ltd 計測機能付きチャック装置及びロボットチャック装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53131858A (en) * 1977-04-20 1978-11-17 Meyer Hans Ulrich Measuring apparatus of length
JPS578909U (ja) * 1980-06-18 1982-01-18
JPS5945505U (ja) * 1982-09-17 1984-03-26 株式会社小松製作所 シリンダストロ−ク検出装置
JPS604803A (ja) * 1983-06-15 1985-01-11 ボ−ゲ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツンク ピストンの行程調整装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53131858A (en) * 1977-04-20 1978-11-17 Meyer Hans Ulrich Measuring apparatus of length
JPS578909U (ja) * 1980-06-18 1982-01-18
JPS5945505U (ja) * 1982-09-17 1984-03-26 株式会社小松製作所 シリンダストロ−ク検出装置
JPS604803A (ja) * 1983-06-15 1985-01-11 ボ−ゲ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツンク ピストンの行程調整装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02173484A (ja) * 1988-12-26 1990-07-04 Toto Ltd 位置検出機能を有する圧電アクチュエータ
JP2010240833A (ja) * 2009-03-18 2010-10-28 Kobayashi Co Ltd 計測機能付きチャック装置及びロボットチャック装置
JP2012030299A (ja) * 2010-07-29 2012-02-16 Kobayashi Co Ltd 計測機能付きチャック装置及びロボットチャック装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0720562Y2 (ja) 1995-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6275405U (ja)
JPH0466459U (ja)
JPS5891114U (ja) 静電容量型エンコ−ダ
JPS6247938U (ja)
JPS6379508U (ja)
JPS5952203U (ja) 流体圧シリンダ
JPH0169929U (ja)
JPS6214305U (ja)
JPS6397804U (ja)
JPS61202702U (ja)
JPS63192805U (ja)
JPS63152556U (ja)
JPH0413865U (ja)
JPS6396968U (ja)
JPS62119568U (ja)
JPS6167460U (ja)
JPS63168338U (ja)
JPS6195796U (ja)
JPS6453501U (ja)
JPS6221085U (ja)
JPH0378221U (ja)
JPS6214304U (ja)
JPS61164802U (ja)
JPH01122561U (ja)
JPH0394366U (ja)