JPS6269394U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6269394U JPS6269394U JP16067485U JP16067485U JPS6269394U JP S6269394 U JPS6269394 U JP S6269394U JP 16067485 U JP16067485 U JP 16067485U JP 16067485 U JP16067485 U JP 16067485U JP S6269394 U JPS6269394 U JP S6269394U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent
- predetermined shape
- dielectric film
- transparent dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 2
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- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
第1図はこの考案に係わる薄膜EL素子の一実
施例を示す縦断面図、第2図は同上一実施例にお
いて黒色化背面電極の部分にフオトリソグラフイ
を適用する前の状態を示す縦断面図、第3図はこ
の考案の他の実施例を示す縦断面図、第4図は同
上他の実施例において第2図と同様の状態を示す
縦断面図、第5図は従来の薄膜EL素子を示す縦
断面図、第6図は同上従来例において第2図と同
様の状態を示す縦断面図である。 1……ガラス基板(透明基板)、2……透明電
極、3……第1の誘電体膜、4……発光膜(発光
層)、5……第2の誘電体膜、6……島状吸収体
膜、8……Al金属膜、9……透明誘電体膜、1
1……第3の誘電体膜、100……透明多層膜、
300……黒色化背面電極。
施例を示す縦断面図、第2図は同上一実施例にお
いて黒色化背面電極の部分にフオトリソグラフイ
を適用する前の状態を示す縦断面図、第3図はこ
の考案の他の実施例を示す縦断面図、第4図は同
上他の実施例において第2図と同様の状態を示す
縦断面図、第5図は従来の薄膜EL素子を示す縦
断面図、第6図は同上従来例において第2図と同
様の状態を示す縦断面図である。 1……ガラス基板(透明基板)、2……透明電
極、3……第1の誘電体膜、4……発光膜(発光
層)、5……第2の誘電体膜、6……島状吸収体
膜、8……Al金属膜、9……透明誘電体膜、1
1……第3の誘電体膜、100……透明多層膜、
300……黒色化背面電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 透明基板上に形成された透明電極と、少なくと
も島状吸収体膜、透明誘電体膜、および金属膜が
積層された多層膜が所定形状にパターン化された
背面電極と、該背面電極および前記透明電極の間
に備えられた発光層とを有する薄膜EL素子にお
いて、 前記透明誘電体膜は、弱酸系の蝕刻液により当
該透明誘電体膜を除く前記多層膜の他の構成膜が
前記所定形状に対して過度蝕刻を受けない時間範
囲で、前記所定形状に蝕刻される材質膜で形成さ
れていることを特徴とする薄膜EL素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16067485U JPS6269394U (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16067485U JPS6269394U (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6269394U true JPS6269394U (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=31086272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16067485U Pending JPS6269394U (ja) | 1985-10-22 | 1985-10-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6269394U (ja) |
-
1985
- 1985-10-22 JP JP16067485U patent/JPS6269394U/ja active Pending