JPS6261220B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6261220B2
JPS6261220B2 JP58036008A JP3600883A JPS6261220B2 JP S6261220 B2 JPS6261220 B2 JP S6261220B2 JP 58036008 A JP58036008 A JP 58036008A JP 3600883 A JP3600883 A JP 3600883A JP S6261220 B2 JPS6261220 B2 JP S6261220B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polysilane
moiety
formula
atoms
titanoxane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP58036008A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS59161430A (en
Inventor
Yoshio Hasegawa
Mitsuhiko Sato
Kyoto Okamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ube Industries Ltd filed Critical Ube Industries Ltd
Priority to JP58036008A priority Critical patent/JPS59161430A/en
Publication of JPS59161430A publication Critical patent/JPS59161430A/en
Publication of JPS6261220B2 publication Critical patent/JPS6261220B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明はポリシランとチタンアルコキシドから
誘導された新規な高分子物質及びその製造方法に
関する。 TiCはSiCV同様に高硬度を有し、優れた耐熱
材料として有望であるが、SiCが、主鎖骨格が
The present invention relates to a novel polymeric material derived from polysilane and titanium alkoxide, and a method for producing the same. Like SiCV, TiC has high hardness and is promising as an excellent heat-resistant material.

【式】より成るポリカルボシランを前駆体と し、繊維状あるいは種々の成型体に成型して焼成
することにより広範な用途が開発されており、そ
のような技術は例えば特開昭51―126300号、特開
昭51―139929号、特開昭54―61299号、特開昭54
―82435号、特開昭54―102311号等に開示されて
いる通りであるのに対して、TiCについては従来
のCVD法や無機化学的手法が行なわれているた
めに、有機物を前駆体とするSiCに比べその応用
は限られていた。 本発明者らは先に特開昭56―5828号、特開昭56
―9209号、特開昭56―74126号、特開昭56―88877
号、特開昭56―128315号で、ポリカルボシランと
ポリチタノキサンあるいはチタンアルコキシドの
反応生成物がSiC―TiC系の無機物に転換でき、
繊維やその他の成型体の前駆体として有用である
ことを示したが、これはSiCが主成分であること
が避けられず、TiCを主成分とする更に機能的な
無機材料の開発の原料としては限界があることが
明らかとなつた。 そこで本発明者らは、TiCを主成分とする無機
材料の原料に関する研究を行つた結果、分子量が
100〜600のポリシラン構造を有する有機ケイ素化
合物とチタンアルコキシドとの反応生成物が、非
酸化性雰囲気中で焼成することによりTiとCと
Oより主としてなるTiC型結晶構造を有する無機
物に転換し、しかも、繊維状および種々の成型体
に成型でき、無機材料の前駆体として有用である
ことを見出し、本発明に到達した。 本発明によれば、式 (A): (但しRは水素原子、メチル基、エチル基、フ
エニル基、水酸基又はハロゲン) (B): (但しR′はアルキル基) の(A)および(B)なる構造単位から主としてなり、 (A)の構造単位は分子量が100〜600の式 (nは2〜10) の構造式を有するポリシラン部分を形成し、ただ
しポリシラン部分は少量のカルボシラン結合また
はシロキサン結合を含むことができ、 (B)の構造単位は、式 (mは1〜10) の構造式を有するチタノキサン部分を形成し、 該ポリシラン部分と該チタノキサン部分とから
形成される式 の構造で表され、分子量2×102〜107で、場合に
よつては分枝構造を含む高分子物質であり、可視
吸収スペクトルにおいて370〜1200nmに吸収を有
し着色し、加水分解性に優れ、加水分解後、有機
溶媒に不溶となり、かつ加熱により溶融しなくな
り、分子量が100〜600で、かつSi原子を2〜10含
むポリシラン部分が、Ti(OR′)4から誘導される
Ti原子を1〜10含むチタノキサン部分と1:1
の比で結合し、非酸化性雰囲気で焼成するとTi
とCとOより成るTiC型結晶構造を有する無機物
に転換することを特徴とする高分子物質が提供さ
れる。 さらに、本発明によれば前記ポリシラン及び前
記チタンアルコキシドを、ポリシラン中のSi原子
数に対するチタンアルコキシド中のTi原子数の
比が5:1〜1:1になる量比で加え、反応に対
して不活性な雰囲気中において必要により少量の
水を加えて加熱する。前記高分子物質の製造方法
が提供される。 以下本発明を詳細に説明する。 本発明の高分子物質は、一般に下記の構造でそ
の特徴を表わすことができ、ここでnは2〜10、
mは 1〜10であり、ポリシラン部分の分子量は100〜
600であるが、ポリシラン部分は鎖状である必要
はなく原料ポリシランとして何を用いるかにより
分岐状、環状、かご状のいずれであり得、またチ
タノキサン部分は、このようなポリチタノキサン
だけではなく、該高分子物質が可視吸収スペクト
ルにおいて370〜1200nmに吸収を有し着色するこ
とからも明らかなように、6配位のTiを含むチ
タンアルコキシド多量体やその類似物も形成され
ていると推定され、例えば下記のような構造が考
えられる(R′は省略してあるが、反応の際離脱
している部分もあることが赤外吸収スペクトルよ
り推定される。)。また反応の際 少量の水を加えることによりチタノキサン結合が
導入されることも明らかであり、実際にはチタン
アルコキシド多量体を含むチタノキサン結合であ
り、このチタノキサン部分中のTi原子は1〜10
である。 ポリシランおよびチタンアルコキシド自体は公
知であるが、本発明における、ポリシランとチタ
ンアルコキシドから誘導される高分子物質はこれ
まで知られておらず、ゲルバーミエーシヨンクロ
マトグラフイー(GPC)の測定結果から、分子
量2×102〜107の高分子物質であり、原料ポリシ
ランの分子量よりはるかに大きな値を示す。ま
た、該高分子物質の赤外吸収スペクトルおよび該
高分子物質を合成する際に副生成物として得られ
る低沸点生成物の赤外吸収スペクトル、およびガ
スクロマトグラフイーによる測定結果より、原料
ポリシランにおいて反応に対して活性な部分は特
にSi―H、Si―OHであり、低温でも反応により
消失することが明らかとなり、さらに高温になる
とSi―CH3等のアルキル基やハロゲン、フエニル
基が反応し、それぞれ対応する化合物、例えば
R′OH、R′H、H2O、H2、CH4、C6H6を生成する
が特に注目すべき点は、チタンアルコキシドのア
ルコールから誘導されるケトンと、H2、CH4等の
ガスが生成することであり、反応の複雑さを示し
ているが、これは、ポリシラン部分とチタノキサ
ン部分との結合の生成が、原料ポリシランのSi原
子上のどの置換基が離脱して生ずるかによるため
であることがわかつた。 本発明の高分子物質を製造するための方法は、
無溶媒又は有機溶媒中で、反応に対して不活性な
雰囲気中において、ポリシランとチタンアルコキ
シドを加熱し、ポリシラン部分とチタノキサン部
分を結合させる方法であり、用いるポリシランが
通常液体であるため、無溶媒で反応させることが
できるが、原料ポリシランが高粘度であるから、
あるいは固体であつたり、チタンアルコキシドが
高級アルコールのアルコキシドで固体状であり、
均一に混合することができない場合に有機溶媒を
用いると有利であり、好ましい溶媒としてはヘキ
サン、ベンゼン、トルエン、キシレン等がある。 反応に対して不活性な雰囲気としては例えば水
素、アルゴンが好適であり、空気中では酸化が生
じ、減圧下では原料ポリシランやチタンアルコキ
シが反応前に留出し好ましくない。 反応温度は、有機溶媒を用いる場合はその沸点
で、有機溶媒を用いない場合は到達温度で還流さ
せる温度が必要であり、その後、溶媒あるいは未
反応物を留出させ200〜450℃で加熱することが必
要であり、一般にゲル化を避けるために400℃以
下にすることが好ましい。 反応時間は特に重要ではなく、分子量は反応温
度によつて調節するのが好ましい。 本発明の方法において新規高分子物質を製造す
るための出発原料の一つであるポリシランは分子
量100〜600の下記の構造式 (但しRは水素原子、メチル基、エチル基、フ
エニル基、水酸基又はハロゲン) で表わされ、場合によつては上記構造単位がカル
ボシラン結合あるいはシロキサン結合により結合
されたポリシランであり、また、分岐状、環状、
かご状のいずれの構造であつてもさしつかえな
く、また末端基は前記側鎖と同じであるが、該ポ
リシラン単位がカルボシラン結合あるいはシロキ
サン結合により結合されている場合、このポリシ
ラン部分中のSi原子の数は後述するように2〜10
であることが好ましく、これらのポリシランの製
造方法自体は公知であり、特に本発明の原料とし
て用いるポリシランとして好適であるのは、重合
度が大きい鎖状ポリジメチルシランを500℃以下
で熱分解して留出させて得られる低沸点のポリシ
ランであり、このポリシランは分子中にわずかの
カルボシラン結合を有するが、Si原子上に水素原
子を置換基として有しているため反応性に富む点
で有利であり、しかもこのようなポリシランを容
易に入手できる方法としても優れている。 本発明のもう一つの出発原料は一般式Ti
(OR′)4(ただしR′はアルキル基)で表わされそ
の製造方法は公知であるが、たとえば、R′がプ
ロピル、イソプロピル、n―ブチル基が好まし
く、また、チタンジイソプロポキシビスアセチル
アセトネート等も用いることができる。 本発明の方法においては、前記ポリシラン中の
全Si原子数に対するチタンアルコキシド中の全Ti
原子数の比が5:1〜1:1になる量比で加え加
熱して高分子物質を製造するが、この反応によ
り、分子量が100〜600でかつSi原子を2〜10含む
ポリシラン部分がTi(OR′)4から誘導されるTi原
子を1〜10含むチタノキサン部分と1:1の比で
結合した高分子物質が得られる。本発明の高分子
物質は、チタノキサン部分が他の鎖のポリシラン
部分と結合する分枝構造をもとりうる。 上記方法により得られる高分子物質中のポリシ
ラン部分中のSi原子数が10より大きくなつたり、
チタノキサン部分中のTi原子数が10より大きく
なると、焼成して得られる無機物の収量が小さく
なつたり、TiC型構造の無機物が得られなくな
り、SiCやSiO2およびTiO2〜TiOの間の酸化物の
生成が主となり、さらにTiC型構造の無機物を得
るためには全Si原子数に対する全Ti原子数の比が
5:1〜1:1であることが必要であることが明
らかとなり、その理由は後述の通りである。 本発明の方法で製造される新規高分子物質は、
分子量が2×102〜107であり、通常流動性を有す
る粘稠な液体あるいは室温以上で加熱すると軟化
あるいは溶融する熱可塑性物質であり、またトル
エン、キシレン、テトラヒドロフラン等の溶媒に
可溶であるが、空気中の水分あるいは溶媒中の水
分により加水分解を受けやすく、GPCにより分
子量分布を測定するとその分子量分布は時間の経
過とともに低分子量側へ移動し、また空気中に放
置あるいは空気中で低温加熱すると加水分解およ
びゲル化が同時に進行し、溶媒に不溶となり、
又、加熱による軟化も示さなくなることが明らか
となつた。この現象は水分の不存在下では起こら
ない。これは、前記高分子物質を構成するチタノ
キサン部分が加水分解を受けやすいためであると
推定されるが、この性質は無機材料の前駆体とし
て該高分子物質を用いる際該高分子物質を成型あ
るいは成型体の焼結助剤とした後焼成して種々の
形状の成型体を加熱による軟化の為に変形するこ
となく形状を保たせて得る際にきわめて有用であ
る。 本発明の新規高分子物質は、真空中、不活性ガ
ス雰囲気中のような非酸化性雰囲気中で焼成する
ことによりTiとCとOより主として成るTiC型結
晶構造を有する無機物に転換することが大きな特
徴であり、そのためには、原料ポリシラン中の全
Si原子数に対するチタンアルコキシド中の全Ti原
子数の比が5:1〜1:1になる量比で加えて反
応させてなければならず、この量比の時に、分子
量が100〜600で、かつSi原子を2〜10含むポリシ
ラン部分がチタンアルコキシドから誘導される
Ti原子を1〜10含むチタノキサン部分と1:1
で結合した高分子物質が形成される。 本発明における前記高分子量物質が焼成すると
TiとCとOより主として成るTiC型結晶構造を有
する無機物に転換する機構は必ずしも明らかでは
ないが、該高分子物質を構成するポリシラン部分
は600℃までの熱処理により完全に熱分解し多数
のラジカル、例えば―S〓iR2、R・、H・を生成
し、これらのラジカルがTiと反応しまたTi原子
の周囲の酸素と反応して還元作用を示しTiCを形
成し、またポリチタノキサンのみを熱分解した時
に生成するTiO2〜TiOのTiO2から酸素が不足し
た酸化物、例えばTi7O13、Ti6O11、Ti8O15といつ
た組成のTi酸化物(比較例1)が還元されて生
成したTiOとTiCにTiOが固溶した相とTiOに
TiCが固溶した相の混合相を形成し、実施例で示
したようなTiとCとOより成るTiC型結晶構造を
有する無機物に転換すると推定され、この際ポリ
シラン部分がケイ素原子を10より多く含んでいて
もよい場合もあるが、一般にその時には得られる
無機物の収量が低くなつたり、ポリシラン部分の
熱分解によりポリカルボシランが形成されそのポ
リカルボシランが焼成によりSiCを生成すること
があるので好ましくない。またポリシラン部分の
ケイ素原子が1の場合にはやはり熱分解生成物の
収量が低かつたり、収量が高いフエニル基を有す
る場合(比較例2)には焼成により多量のケイ素
の酸化物、炭素、さらに高温に加熱することによ
つてこれらの反応生成物であるSiCが生成して好
ましくない。 一方チタノキサン部分のTi原子数は1〜10が
好ましく、それ以上では前述したようなTiOより
酸素原子が多い酸化物が生成し好ましくない。 さらに前記高分子物質を形成するポリシラン部
分の分子量が600より大きくてもよいが、該高分
子物質が焼成される時熱分解により大部分が飛散
する部分であるから、無機物の収量を高める上で
100〜600が好ましく、このようなポリシランは置
換基が実質的にメチル基、エチル基でありさらに
少量の水素、フエニル基、水酸基、ハロゲンであ
る。 本発明の製造方法により得られる前記高分子物
質は、加熱により軟化あるいは溶融する固体であ
つたり、また粘稠な液体であるから種々な形状を
有する成形体としたり、成形体の焼結助剤として
用いることが出来、これを上記の加水分解および
焼成処理に付することにより性能の良好な無機質
の材料を得ることができ、例えば繊維、フイル
ム、超微粒子などや、その他複雑な形状の成型体
の原料として有用である。 以下本発明を実施例によつて説明する。 実施例 1 重合度約35のポリジメチルシラン、(―
SiMe2o、を1000g窒素雰囲気中室温より450℃
まで加熱し分解し、生成する低沸点物を留出さ
せ、約750gの分子量範囲が60〜600のポリシラン
を得た。このポリシランはSi原子上の置換基とし
てメチル基以外に約17%の水素を有することが赤
外吸収スペクトル、核磁気共鳴スペクトルより確
認され、また紫外吸収スペクトルの装定を含め、
このポリシラン中にはほとんどカルボシラン結合
がないことが確認された。 次に上記ポリシラン60gにチタンテトラブトキ
シ340gを加え窒素雰囲気中でカクハンしながら
加熱し210℃に温度が上昇するまで還流させ、次
に低沸点の反応生成物および未反応物を留出させ
て250℃まで加熱し冷却し、SiとTiの比が1:1
の分子量300〜2×106の黒緑色の固体の高分子物
質を137g得た。 ここで得られた高分子物質を真空中100℃・h-1
で1400℃まで加熱し1400℃で0.5時間焼成した無
機物の収率は62%であり、この物質のCuK〓線
を用いたX線粉末回折測定の結果は、2θが36.2
゜、42.1゜、60.8゜、72.7゜、76.6゜で各々TiC
の(111)、(200)、(220)、(113)、(222)の回

線に相当する回折ピークが得られたが、この回折
線は従来のTiCに観測される回折線より高角度側
にシフトあるいは高角度側にもう一つの回折線の
重なりを示しており、これはTiCにTiOが固溶し
た低角度側に回折線を示す相とTiOにTiCが固溶
した高角度側に回折線を示す相であり、しかもい
ずれもTiC型結晶構造であり、同様な焼成条件で
1200℃まで焼成した無機物の回折ピークはより半
値巾の広い同様な回折線を示すことからTiとC
とOより成るTiC型結晶構造を有する無機物によ
ると推定される。 実施例 2 実施例1で得られたポリシランのうち90〜310
℃までの沸点を有する分子量200〜600のポリシラ
ン120gにチタンテトライソプロポキシドを190g
を加え窒素雰囲気中で撹拌しながら180℃に温度
が上昇するまで還流し、次に低沸点の反応生成物
および未反応物を留出させて280℃まで加熱した
後冷却して、SiとTiの比が3:1の分子量1000〜
107の暗緑色の半固体状の高分子物質を129g得
た。 この高分子物質を実施例1と同様に1400℃で焼
成して得られた無機物は収率37%でやはりTiと
CとOより成るTiC型結晶構造を有する無機物に
よると推定されるX線回折図形を与えた。 実施例 3 実施例1で得られたポリシラン120gにチタン
テトライソプロポキシドを114g加え窒素雰囲気
中でカクハンしながら205℃になるまで還流さ
せ、次に低沸点の反応生成物および未反応物を留
出させ350℃まで加熱した後冷却して、SiとTiの
比が5:1の分子量200〜5×106の黒青色の半固
体状の高分子物質を108g得た。 この高分子物質を200c.c.・min-1の流速のAr気
流中で100℃×h-1の昇温速度で1400℃まで加熱
し、1400℃で0.5時間焼成して得られた無機物は
収率31%でやはりTiとCとOより成るTiC型結晶
構造を有する無機物によると推定されるX線回折
図形を与えた。 実施例 4 ジメチルジクロロシラン1モルとジフエニルジ
クロロシラン2モルを金属Na4モルでキシレン中
で脱塩素縮合させ平均組成がCl―SiPh2―SiMe2
―SiPh2―Clなるポリシランを生成させこれを加
水分解させHO―SiPh2―SiMe2―SiPh2―OHなる
ジシラノールとした後このポリシラン114gに対
してチタンテトラブトキシド85gを加えさらにキ
シレン150gを加えて窒素雰囲気中でカクハンし
ながら加熱し還流後、キシレン、低沸点生成物を
留出させ200℃まで加熱しその後冷却し、SiとTi
の比が3:1の分子量1000〜3×106の褐色の固
体状の高分子物質を130g得た。 この高分子物質を実施例3と同様の条件で1400
℃で焼成して得られた無機物は収率58%でやは
り、TiとCとOより成るTiC型結晶構造を有する
無機物によると推定されるX線回折図形を与え
た。 実施例 5 実施例2で得た高分子物質を10gテトラヒドロ
フラン10c.c.に溶解し、空気中で24時間放置して加
水分解後、テトラヒドロフランを蒸発させ溶媒不
溶の褐色の樹脂状物を得た。このものは加熱によ
り軟化せず、実施例1と同様の方法で1400℃で焼
成すると収率50%でTiとCとOより成るTiC型結
晶構造を有する無機物と微量のSiO2によると推
定させるX線回折図形を与えた。 比較例 1 チタンテトライソプロポキシド284gを窒素雰
囲気中30℃に加熱してカクハンしながら、水17.4
gをイソプロピルアルコール100c.c.に溶かして2
時間で滴下しその後低沸点の反応生成物を留出さ
せながら240℃まで加熱し、134gのポリチタノキ
サンを得た。これを実施例1と同様の方法で1200
℃、および1400℃で焼成したものの収率はそれぞ
れ53%、49%であつたが、そのX線回折図形はい
ずれもTi7O13、Ti6O11、Ti8O15が主成分であり、
TiC型結晶構造は認められなかつた。 比較例 2 チタンテトライソプロポキシド35.5gとジフエ
ニルシランジオール81gを混合し、窒素雰囲気
中、カクハンしながら180℃まで加熱しSiとTiの
比が3:1のポリチタノシロキサン78gを得た。
これを実施例1と同様の方法で1200℃および1400
℃で焼成したものの収率はそれぞれ41%、27%で
あつたがそのX線回折図形はTiC型結晶構造以外
にβ―SiCが主成分として観測され、1200℃では
多量のSiO2およびCが認められた。
A wide range of applications have been developed by using polycarbosilane consisting of [formula] as a precursor, molding it into a fibrous shape or various molded bodies, and firing it. , JP-A-51-139929, JP-A-54-61299, JP-A-54
-82435, JP-A-102311, etc. However, for TiC, conventional CVD methods and inorganic chemical methods are used, so it is difficult to use organic matter as a precursor. Compared to SiC, its applications were limited. The present inventors previously published Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-5828,
-9209, JP-A-56-74126, JP-A-56-88877
No. 56-128315, the reaction product of polycarbosilane and polytitanoxane or titanium alkoxide can be converted into SiC-TiC-based inorganic materials,
Although it has been shown that it is useful as a precursor for fibers and other molded bodies, it is inevitable that SiC is the main component, and it can be used as a raw material for the development of even more functional inorganic materials with TiC as the main component. It has become clear that there are limits. Therefore, the present inventors conducted research on raw materials for inorganic materials containing TiC as the main component, and found that the molecular weight
A reaction product of an organosilicon compound having a polysilane structure of 100 to 600 and titanium alkoxide is converted into an inorganic substance having a TiC type crystal structure mainly composed of Ti, C and O by firing in a non-oxidizing atmosphere, Moreover, it has been found that it can be molded into fibrous shapes and various molded bodies, and is useful as a precursor for inorganic materials, leading to the present invention. According to the invention, formula (A): (However, R is a hydrogen atom, methyl group, ethyl group, phenyl group, hydroxyl group, or halogen) (B): (However, R' is an alkyl group) It is mainly composed of structural units (A) and (B), and the structural unit (A) is a formula with a molecular weight of 100 to 600. (n is 2 to 10), provided that the polysilane moiety can contain a small amount of carbosilane bond or siloxane bond, and the structural unit of (B) has the formula (m is 1 to 10) A titanoxane moiety having the structural formula is formed, and the formula is formed from the polysilane moiety and the titanoxane moiety. It is a polymeric substance with a molecular weight of 2 × 10 2 to 10 7 and in some cases contains a branched structure. The polysilane moiety, which is insoluble in organic solvents after hydrolysis and does not melt when heated, has a molecular weight of 100 to 600, and contains 2 to 10 Si atoms, is derived from Ti(OR') 4.
1:1 with titanoxane moiety containing 1 to 10 Ti atoms
When fired in a non-oxidizing atmosphere, Ti
Provided is a polymeric substance that is characterized by being converted into an inorganic substance having a TiC type crystal structure consisting of , C and O. Furthermore, according to the present invention, the polysilane and the titanium alkoxide are added in a quantitative ratio such that the ratio of the number of Ti atoms in the titanium alkoxide to the number of Si atoms in the polysilane is 5:1 to 1:1. Heat in an inert atmosphere, adding a small amount of water if necessary. A method for producing the polymeric substance is provided. The present invention will be explained in detail below. The polymeric substance of the present invention can generally be characterized by the following structure, where n is 2 to 10,
m is 1 to 10, and the molecular weight of the polysilane part is 100 to 10.
600, but the polysilane part does not have to be chain-like, and can be branched, cyclic, or cage-like depending on what polysilane is used as the raw material, and the titanoxane part is not limited to such polytitanoxane. As is clear from the fact that the polymer substance has absorption in the visible absorption spectrum from 370 to 1200 nm and is colored, it is presumed that titanium alkoxide polymers containing six-coordinated Ti and their analogues are also formed. For example, the following structure can be considered (R' is omitted, but it is estimated from the infrared absorption spectrum that some parts are separated during the reaction.) Also, during the reaction It is also clear that adding a small amount of water introduces a titanoxane bond, which is actually a titanoxane bond containing a titanium alkoxide polymer, and the Ti atoms in this titanoxane moiety are 1 to 10.
It is. Although polysilane and titanium alkoxide themselves are known, the polymeric substance derived from polysilane and titanium alkoxide in the present invention has not been known so far, and from the measurement results of gel vermiaction chromatography (GPC), It is a polymer substance with a molecular weight of 2×10 2 to 10 7 , which is much larger than the molecular weight of the raw material polysilane. In addition, from the infrared absorption spectrum of the polymeric substance, the infrared absorption spectrum of the low-boiling point product obtained as a by-product during the synthesis of the polymeric substance, and the measurement results by gas chromatography, it was determined that the reaction occurred in the raw material polysilane. It has become clear that Si-H and Si-OH are active moieties in particular, and they disappear through reaction even at low temperatures.At higher temperatures, alkyl groups such as Si- CH3 , halogens, and phenyl groups react. Each corresponding compound, e.g.
It generates R′OH, R′H, H 2 O, H 2 , CH 4 , C 6 H 6 , but what is particularly noteworthy is the ketone derived from the alcohol of titanium alkoxide, H 2 , CH 4 , etc. gas is produced, indicating the complexity of the reaction. This is because the formation of the bond between the polysilane moiety and the titanoxane moiety is caused by which substituent on the Si atom of the raw material polysilane is released. It turned out that this was due to the following. The method for producing the polymeric substance of the present invention includes:
This is a method in which polysilane and titanium alkoxide are heated in an atmosphere inert to the reaction, without a solvent or in an organic solvent, to bond the polysilane part and the titanoxane part.Since the polysilane used is usually liquid, it is a method that does not require a solvent. However, since the raw material polysilane has a high viscosity,
Or it is solid, or titanium alkoxide is a higher alcohol alkoxide and is solid,
When uniform mixing is not possible, it is advantageous to use an organic solvent, and preferred solvents include hexane, benzene, toluene, xylene, and the like. For example, hydrogen or argon is suitable as an inert atmosphere for the reaction; oxidation occurs in air, and raw material polysilane and titanium alkoxy are distilled out before the reaction under reduced pressure, which is not preferable. The reaction temperature is the boiling point when an organic solvent is used, and the reflux temperature required when no organic solvent is used.Then, the solvent or unreacted substances are distilled off and heated at 200 to 450°C. Generally, the temperature is preferably below 400°C to avoid gelation. The reaction time is not particularly important, and the molecular weight is preferably controlled by the reaction temperature. Polysilane, which is one of the starting materials for producing the new polymeric substance in the method of the present invention, has the following structural formula with a molecular weight of 100 to 600. (However, R is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a hydroxyl group, or a halogen), and in some cases, the above structural units are polysilanes bonded by carbosilane bonds or siloxane bonds, shaped, circular,
Any cage-like structure is acceptable, and the terminal group is the same as the side chain, but if the polysilane unit is bonded by a carbosilane bond or a siloxane bond, the Si atom in this polysilane moiety is The number is 2 to 10 as described later.
The method for producing these polysilanes is known per se. Particularly suitable as the polysilane used as a raw material in the present invention is a method in which linear polydimethylsilane with a high degree of polymerization is thermally decomposed at 500°C or less. This polysilane has a small number of carbosilane bonds in the molecule, but it is advantageous in that it has high reactivity because it has a hydrogen atom as a substituent on the Si atom. Moreover, it is an excellent method for easily obtaining such polysilane. Another starting material for the present invention has the general formula Ti
(OR') 4 (where R' is an alkyl group) and its manufacturing method is known, but for example, R' is preferably a propyl, isopropyl, or n-butyl group, and titanium diisopropoxybisacetyl Acetonate and the like can also be used. In the method of the present invention, the total Ti in the titanium alkoxide relative to the total number of Si atoms in the polysilane is
A polymer material is produced by adding and heating in a quantity ratio such that the ratio of the number of atoms is 5:1 to 1:1. Through this reaction, a polysilane moiety with a molecular weight of 100 to 600 and containing 2 to 10 Si atoms is produced. A polymer material is obtained which is bonded in a 1:1 ratio with a titanoxane moiety containing 1 to 10 Ti atoms derived from Ti(OR') 4 . The polymeric material of the present invention may have a branched structure in which the titanoxane moiety is bonded to the polysilane moiety of another chain. If the number of Si atoms in the polysilane moiety in the polymer material obtained by the above method is greater than 10,
When the number of Ti atoms in the titanoxane moiety is greater than 10, the yield of inorganic materials obtained by firing becomes small, or inorganic materials with a TiC type structure cannot be obtained, resulting in SiC, SiO 2 and oxides between TiO 2 and TiO. It has become clear that the ratio of the total number of Ti atoms to the total number of Si atoms must be 5:1 to 1:1 in order to obtain an inorganic substance with a TiC type structure. is as described below. The new polymeric substance produced by the method of the present invention is
It has a molecular weight of 2 x 10 2 to 10 7 and is usually a fluid viscous liquid or a thermoplastic substance that softens or melts when heated above room temperature, and is soluble in solvents such as toluene, xylene, and tetrahydrofuran. However, it is susceptible to hydrolysis due to moisture in the air or moisture in the solvent, and when the molecular weight distribution is measured by GPC, the molecular weight distribution shifts to the lower molecular weight side with the passage of time. When heated at low temperature, hydrolysis and gelation proceed simultaneously, making it insoluble in solvents,
It was also revealed that the material did not show any softening due to heating. This phenomenon does not occur in the absence of moisture. This is presumed to be due to the fact that the titanoxane moiety constituting the polymeric material is susceptible to hydrolysis, but this property may be caused by molding or It is extremely useful when used as a sintering aid for molded bodies and then fired to obtain molded bodies of various shapes that maintain their shapes without being deformed due to softening due to heating. The novel polymeric substance of the present invention can be converted into an inorganic substance having a TiC-type crystal structure mainly composed of Ti, C, and O by firing in a non-oxidizing atmosphere such as a vacuum or an inert gas atmosphere. This is a major feature, and in order to achieve this, all of the raw material polysilane must be
The ratio of the total number of Ti atoms in the titanium alkoxide to the number of Si atoms must be added and reacted at a quantitative ratio of 5:1 to 1:1. At this quantitative ratio, the molecular weight is 100 to 600, and the polysilane moiety containing 2 to 10 Si atoms is derived from titanium alkoxide.
1:1 with titanoxane moiety containing 1 to 10 Ti atoms
A bonded polymer substance is formed. When the high molecular weight substance in the present invention is fired,
Although the mechanism of conversion into an inorganic substance with a TiC-type crystal structure consisting mainly of Ti, C, and O is not necessarily clear, the polysilane part that makes up the polymer substance is completely thermally decomposed by heat treatment up to 600°C, producing a large number of radicals. , for example, generates S〓iR 2 , R・, H・, and these radicals react with Ti and react with oxygen around the Ti atom to exhibit a reducing action and form TiC, and only polytitanoxane is heated. Oxygen-deficient oxides from TiO 2 of TiO 2 to TiO produced when decomposed, such as Ti oxides with compositions such as Ti 7 O 13 , Ti 6 O 11 , and Ti 8 O 15 (Comparative Example 1), are reduced. A solid solution phase of TiO and TiO are formed in TiO and TiC.
It is estimated that TiC forms a mixed phase in which TiC is a solid solution and transforms into an inorganic substance having a TiC-type crystal structure consisting of Ti, C, and O as shown in the example. In some cases, it may be possible to contain a large amount, but in general, the yield of inorganic substances obtained may be low, or polycarbosilane may be formed due to thermal decomposition of the polysilane portion, and the polycarbosilane may generate SiC upon firing. So I don't like it. In addition, when the polysilane moiety has one silicon atom, the yield of thermal decomposition products is still low, and when it has a phenyl group with a high yield (Comparative Example 2), a large amount of silicon oxide, carbon, Further heating to a high temperature produces SiC, which is a reaction product of these, which is undesirable. On the other hand, the number of Ti atoms in the titanoxane portion is preferably 1 to 10; if it is more than that, an oxide having more oxygen atoms than TiO as described above is formed, which is not preferable. Furthermore, the molecular weight of the polysilane part forming the polymeric material may be greater than 600, but since most of the polysilane portion is dispersed due to thermal decomposition when the polymeric material is fired, this is effective in increasing the yield of inorganic materials.
100 to 600 is preferable, and the substituents of such polysilanes are substantially methyl groups and ethyl groups, with small amounts of hydrogen, phenyl groups, hydroxyl groups, and halogens. The polymeric substance obtained by the production method of the present invention is a solid that softens or melts when heated, or is a viscous liquid, so it can be made into molded bodies of various shapes, or it can be used as a sintering aid for molded bodies. By subjecting it to the above-mentioned hydrolysis and calcination treatment, inorganic materials with good performance can be obtained, such as fibers, films, ultrafine particles, and other complex-shaped molded bodies. It is useful as a raw material for The present invention will be explained below with reference to Examples. Example 1 Polydimethylsilane with a degree of polymerization of about 35, (-
SiMe 2 ) o , 1000g in nitrogen atmosphere from room temperature to 450℃
The resulting product was heated to decompose and the low boiling point products produced were distilled off to obtain about 750 g of polysilane with a molecular weight range of 60 to 600. It was confirmed from infrared absorption spectrum and nuclear magnetic resonance spectrum that this polysilane has approximately 17% hydrogen as a substituent on the Si atom in addition to the methyl group.
It was confirmed that there were almost no carbosilane bonds in this polysilane. Next, 340 g of titanium tetrabutoxy was added to 60 g of the above polysilane, heated while stirring in a nitrogen atmosphere, and refluxed until the temperature rose to 210°C. Next, low-boiling reaction products and unreacted substances were distilled out to 250°C. Heating to ℃ and cooling until the Si to Ti ratio is 1:1.
137 g of a black-green solid polymer substance with a molecular weight of 300 to 2×10 6 was obtained. The polymer material obtained here was heated at 100℃・h -1 in vacuum.
The yield of the inorganic material heated to 1400℃ and calcined at 1400℃ for 0.5 hours is 62%, and the result of X-ray powder diffraction measurement using CuK rays of this material shows that the 2θ is 36.2
TiC at ゜, 42.1゜, 60.8゜, 72.7゜, 76.6゜ respectively.
Diffraction peaks corresponding to (111), (200), (220), (113), and (222) diffraction lines were obtained, but these diffraction lines were at higher angles than those observed for conventional TiC. It shows a shift to the side or an overlap of another diffraction line on the high angle side, and this is due to the phase showing the diffraction line on the low angle side where TiO is solid dissolved in TiC and the phase showing the diffraction line on the high angle side where TiC is solid dissolved in TiO. These are phases that show diffraction lines, and both have a TiC type crystal structure, and under similar firing conditions.
The diffraction peaks of inorganic materials calcined to 1200°C show similar diffraction lines with wider half-value widths, so Ti and C
It is presumed that this is caused by an inorganic substance having a TiC-type crystal structure consisting of and O. Example 2 90 to 310 of the polysilane obtained in Example 1
190 g of titanium tetraisopropoxide to 120 g of polysilane with a molecular weight of 200 to 600 and a boiling point of up to ℃.
was added and refluxed under stirring in a nitrogen atmosphere until the temperature rose to 180°C. Next, low-boiling reaction products and unreacted substances were distilled off, heated to 280°C, and then cooled to remove Si and Ti. Molecular weight 1000~ with a ratio of 3:1
129 g of a dark green semi-solid polymeric substance of 10 7 was obtained. The inorganic material obtained by calcining this polymeric material at 1400°C in the same manner as in Example 1 had a yield of 37%, which was also estimated to be due to the inorganic material having a TiC type crystal structure consisting of Ti, C, and O. given the shape. Example 3 114 g of titanium tetraisopropoxide was added to 120 g of the polysilane obtained in Example 1 and refluxed under stirring in a nitrogen atmosphere until the temperature reached 205°C. Next, low-boiling reaction products and unreacted substances were distilled off. The mixture was heated to 350° C. and then cooled to obtain 108 g of a blackish-blue semisolid polymer material with a Si:Ti ratio of 5:1 and a molecular weight of 200 to 5×10 6 . This polymeric material was heated to 1400°C at a temperature increase rate of 100°C x h -1 in an Ar stream with a flow rate of 200 c.c.・min -1 , and the inorganic material obtained by firing at 1400°C for 0.5 hours was With a yield of 31%, an X-ray diffraction pattern was obtained which was presumed to be due to an inorganic substance having a TiC-type crystal structure composed of Ti, C, and O. Example 4 1 mole of dimethyldichlorosilane and 2 moles of diphenyldichlorosilane were dechlorinated and condensed in xylene with 4 moles of metallic Na to give an average composition of Cl--SiPh 2 --SiMe 2
-SiPh 2 -Cl polysilane was generated and this was hydrolyzed to form disilanol HO-SiPh 2 -SiMe 2 -SiPh 2 -OH. To 114 g of this polysilane, 85 g of titanium tetrabutoxide was added, and then 150 g of xylene was added. After heating with stirring in a nitrogen atmosphere and refluxing, xylene and low boiling point products are distilled out, heated to 200℃, then cooled, and Si and Ti are removed.
130 g of a brown solid polymer substance having a molecular weight of 1000 to 3×10 6 with a ratio of 3:1 was obtained. This polymer material was heated to 1400 ml under the same conditions as in Example 3.
The inorganic material obtained by firing at .degree. C. had a yield of 58% and gave an X-ray diffraction pattern that was presumed to be due to the inorganic material having a TiC type crystal structure consisting of Ti, C, and O. Example 5 The polymer material obtained in Example 2 was dissolved in 10 g of tetrahydrofuran (10 c.c.) and left in the air for 24 hours to be hydrolyzed, and then the tetrahydrofuran was evaporated to obtain a brown resinous substance insoluble in the solvent. . This product did not soften when heated, and when fired at 1400°C in the same manner as in Example 1, the yield was 50%, which is presumed to be due to an inorganic substance having a TiC type crystal structure consisting of Ti, C, and O, and a trace amount of SiO 2 An X-ray diffraction pattern was given. Comparative Example 1 284 g of titanium tetraisopropoxide was heated to 30°C in a nitrogen atmosphere, and while stirring, 17.4 g of water was added.
Dissolve g in 100 c.c. of isopropyl alcohol and make 2
The mixture was added dropwise over a period of time, and then heated to 240° C. while distilling off a low-boiling reaction product to obtain 134 g of polytitanoxane. This was carried out in the same manner as in Example 1 for 1200
℃ and 1400℃, the yields were 53% and 49%, respectively, but the X-ray diffraction patterns showed that Ti 7 O 13 , Ti 6 O 11 , and Ti 8 O 15 were the main components. ,
No TiC type crystal structure was observed. Comparative Example 2 35.5 g of titanium tetraisopropoxide and 81 g of diphenylsilanediol were mixed and heated to 180°C with stirring in a nitrogen atmosphere to obtain 78 g of polytitanosiloxane with a Si to Ti ratio of 3:1. .
This was heated to 1200°C and 1400°C in the same manner as in Example 1.
The yields of the products calcined at 1200°C were 41% and 27%, respectively, but the X-ray diffraction pattern showed that β-SiC was the main component in addition to the TiC type crystal structure, and at 1200°C, large amounts of SiO 2 and C were observed. Admitted.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 式 (A): (但しRは水素原子、メチル基、エチル基、
フエニル基、水酸基又はハロゲン) (B): (但しR′はアルキル基) の(A)および(B)なる構造単位から主としてなり、 (A)の構造単位は分子量が100〜600の式 (nは2〜10) の構造式を有するポリシラン部分を形成し、た
だしポリシラン部分は少量のカルボシラン結合
またはシロキサン結合を含むことができ、 (B)の構造単位は、式 (mは1〜10) の構造式を有するチタノキサン部分を形成し、 該ポリシラン部分と該チタノキサン部分とか
ら形成される式 の構造で表され、分子量2×102〜107で、場合
によつては分枝構造を含む高分子物質であり、
可視吸収スペクトルにおいて370〜1200nmに吸
収を有し着色し、加水分解性に優れ、加水分解
後、有機溶媒に不溶となり、かつ加熱により溶
融しなくなり、Si原子を2〜10含む前記ポリシ
ラン部分がTi原子を1〜10含む前記チタノキ
サン部分と1:1の比で結合し、非酸化性雰囲
気で焼成すると主としてTiとCとOよりなる
TiC型結晶構造を有する無機物に転換すること
を特徴とする高分子物質。 2 分子量が100〜600の下記の構造式を有するポ
リシラン (但しRは水素原子、低級アルキル基、フエニ
ル基、水酸基、又はハロゲン) あるいはこの構造単位がカルボシラン結合又はシ
ロキサン結合により結合されたポリシランに、一
般式Ti(OR′)4、(但しR′はアルキル基)で表わ
されるチタンアルコキシドを、前記ポリシラン中
のSi原子数に対するチタンアルコキシド中のTi原
子数の比が5:1〜1:1になる量比で加え、反
応に対して不活性な雰囲気中において必要により
少量の水を加えて加熱することを特徴とする式 (A): (但しRは水素原子、メチル基、エチル基、
フエニル基、水酸基又はハロゲン) (B): (但しR′はアルキル基) の(A)および(B)なる構造単位から主としてなり、 (A)の構造単位は分子量が100〜600の式 (nは2〜10) の構造式を有するポリシラン部分を形成し、た
だしポリシラン部分は少量のカルボシラン結合
またはシロキサン結合を含むことができ、 (B)の構造単位は、式 (mは1〜10) の構造式を有するチタノキサン部分を形成し、 該ポリシラン部分と該チタノキサン部分とか
ら形成される式 の構造で表され、分子量2×102〜107で、場合
によつては分枝構造を含む高分子物質であり、
可視吸収スペクトルにおいて370〜1200nmに吸
収を有し着色し、加水分解性に優れ、加水分解
後、有機溶媒に不溶となり、かつ加熱により溶
融しなくなり、Si原子を2〜10含む前記ポリシ
ラン部分がTi原子を1〜10含む前記チタノキ
サン部分と1:1の比で結合し、非酸化性雰囲
気で焼成すると主としてTiとCとOよりなる
TiC型結晶構造を有する無機物に転換すること
を特徴とする高分子物質の製造方法。
[Claims] 1 Formula (A): (However, R is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group,
phenyl group, hydroxyl group or halogen) (B): (However, R′ is an alkyl group) It mainly consists of structural units (A) and (B), and the structural unit (A) is a formula with a molecular weight of 100 to 600. (n is 2 to 10), provided that the polysilane moiety can contain a small amount of carbosilane bond or siloxane bond, and the structural unit of (B) has the formula (m is 1 to 10) A titanoxane moiety having the structural formula is formed, and a formula formed from the polysilane moiety and the titanoxane moiety It is a polymeric substance with a molecular weight of 2 × 10 2 to 10 7 and sometimes containing a branched structure,
It is colored with absorption in the range of 370 to 1200 nm in the visible absorption spectrum, has excellent hydrolyzability, becomes insoluble in organic solvents after hydrolysis, and does not melt when heated, and the polysilane portion containing 2 to 10 Si atoms is Ti. When combined with the titanoxane moiety containing 1 to 10 atoms in a 1:1 ratio and fired in a non-oxidizing atmosphere, it becomes mainly composed of Ti, C, and O.
A polymer substance characterized by being converted into an inorganic substance having a TiC type crystal structure. 2 Polysilane having a molecular weight of 100 to 600 and having the following structural formula (However, R is a hydrogen atom, a lower alkyl group, a phenyl group, a hydroxyl group, or a halogen.) Alternatively, this structural unit is bonded to a polysilane by a carbosilane bond or a siloxane bond, with the general formula Ti(OR') 4 , (wherein R' is A titanium alkoxide represented by an alkyl group) is added in a quantity ratio such that the ratio of the number of Ti atoms in the titanium alkoxide to the number of Si atoms in the polysilane is 5:1 to 1:1, and an inert atmosphere for the reaction is added. Formula (A) characterized by heating with a small amount of water added as necessary: (However, R is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group,
phenyl group, hydroxyl group or halogen) (B): (However, R′ is an alkyl group) It mainly consists of structural units (A) and (B), and the structural unit (A) is a formula with a molecular weight of 100 to 600. (n is 2 to 10), provided that the polysilane moiety can contain a small amount of carbosilane bond or siloxane bond, and the structural unit of (B) has the formula (m is 1 to 10) A titanoxane moiety having the structural formula is formed, and a formula formed from the polysilane moiety and the titanoxane moiety It is a polymeric substance with a molecular weight of 2 × 10 2 to 10 7 and sometimes containing a branched structure,
It is colored with absorption in the range of 370 to 1200 nm in the visible absorption spectrum, has excellent hydrolyzability, becomes insoluble in organic solvents after hydrolysis, and does not melt when heated, and the polysilane portion containing 2 to 10 Si atoms is Ti. When combined with the titanoxane moiety containing 1 to 10 atoms in a 1:1 ratio and fired in a non-oxidizing atmosphere, it becomes mainly composed of Ti, C, and O.
A method for producing a polymeric substance, characterized by converting it into an inorganic substance having a TiC-type crystal structure.
JP58036008A 1983-03-07 1983-03-07 High polymer substance to be converted into inorganic substance having tic crystalline structure and its preparation Granted JPS59161430A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58036008A JPS59161430A (en) 1983-03-07 1983-03-07 High polymer substance to be converted into inorganic substance having tic crystalline structure and its preparation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58036008A JPS59161430A (en) 1983-03-07 1983-03-07 High polymer substance to be converted into inorganic substance having tic crystalline structure and its preparation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59161430A JPS59161430A (en) 1984-09-12
JPS6261220B2 true JPS6261220B2 (en) 1987-12-21

Family

ID=12457733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58036008A Granted JPS59161430A (en) 1983-03-07 1983-03-07 High polymer substance to be converted into inorganic substance having tic crystalline structure and its preparation

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59161430A (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4622215A (en) * 1985-03-12 1986-11-11 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Process for preparing fine grain titanium carbide powder
US4762895A (en) * 1987-08-10 1988-08-09 Dow Corning Corporation Process for the preparation of preceramic metallopolysilanes and the polymers therefrom
US4906710A (en) * 1988-10-31 1990-03-06 Dow Corning Corporation Preceramic metallopolysilanes
US5292830A (en) * 1991-06-20 1994-03-08 Tonen Corporation Thermosetting copolymers, silicon carbide-based fiber and processes for producing same

Also Published As

Publication number Publication date
JPS59161430A (en) 1984-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Laine et al. Preceramic polymer routes to silicon carbide
US4767876A (en) Method for converting organosilicon polymers containing SIH repeat units and organopolysilazane precursors to new and useful preceramic polymers and silicon nitride enriched ceramic materials
KR840001536B1 (en) Method of producing for polysilane
US4639501A (en) Method for forming new preceramic polymers containing silicon
JP2936497B2 (en) Hydridesiloxanes as precursors in ceramic products
US4719273A (en) Method for forming new preceramic polymers containing silicon
US5750643A (en) Dehydrocoupling treatment and hydrosilylation of silicon-containing polymers, and compounds and articles produced thereby
US4414403A (en) Branched polycarbosilanes and their use in the production of silicon carbide
JPH01131249A (en) Production of preceramic organosilazane polymer
JP2507714B2 (en) Novel polytitanosilazane and method for producing the same
US4783516A (en) Polysilane precursors containing olefinic groups for silicon carbide
EP0123162A1 (en) Hydrosilyl-modified polycarbosilane precursors for silicon carbide
US5204380A (en) Preparation of silicon carbide ceramics from the modification of an Si-H containing polysilane
US5204431A (en) Polycarbosilanes containing a hetero element
Corriu et al. One-step route to silicon carbide precursors by a tunable catalytic polycondensation
JPH0363576B2 (en)
JP2511074B2 (en) Pre-ceramic polymer, ceramic material and methods for producing the same
US4497787A (en) Branched polycarbosilanes and their use in the production of silicon carbide
US5312649A (en) Diorganosilacetylene-alt-diorganosilvinylene polymers and a process densifying porous silicon-carbide bodies
KR940007325B1 (en) Process for preparation of polysila methylrenosilane
EP0596680A2 (en) Borazine derivatized hydridopolysilazane polymers
JPS6261220B2 (en)
JPH085963B2 (en) Novel polyaluminosilazane and method for producing the same
JPS6239612B2 (en)
JPS6092294A (en) Branched polysilahydrocarbon precursor of silicon carbide