JPS625823A - Method and device for manufacturing thin film - Google Patents

Method and device for manufacturing thin film

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Publication number
JPS625823A
JPS625823A JP1250286A JP1250286A JPS625823A JP S625823 A JPS625823 A JP S625823A JP 1250286 A JP1250286 A JP 1250286A JP 1250286 A JP1250286 A JP 1250286A JP S625823 A JPS625823 A JP S625823A
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JP
Japan
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liquid
thin film
onto
film
supply
Prior art date
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Application number
JP1250286A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takao Aoki
孝夫 青木
Norio Kawabe
川辺 紀雄
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To permit to manufacture the thin film having large area continuously by a method wherein first liquid is supplied onto second liquid by an interfacial tension in a method wherein a thin layer is formed on the surface of the second liquid by extending the first liquid and the thin film is formed by removing solvent from the thin layer. CONSTITUTION:The first liquid 3 of organic solvent solution having the principal constituent of film forming material exists in the lower part of a tank 1 and the second liquid 4 is poured onto the first liquid 3. The first liquid 3 is deployed on the second liquid 4 along the interface between the second liquid 4 and the upper space of the tank 1. The first liquid 3 is spread on the second liquid 4 in a thin thickness and organic solvent, constituting the first liquid 3, is vaporized into the upper space thereby forming the thin film 5. The thin film 5 is contacted with and adhered to a supporting body 9, sent out of a supplying roll 6 along a control roll 7, to reel it around an upper reeling roll 8. When the thin film 5 is taken up continuously, the first liquid is supplied continuously from a supplying section 2 into the upper space of the tank, therefore, the thin film may be manufactured continuously.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、薄膜の製造方法に関するものて必り、ざらに
詳しくは、水面展開法に関する新規な薄膜の製造方法に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for manufacturing a thin film, and more specifically, to a novel method for manufacturing a thin film using a water surface spreading method.

[従来の技術] 薄膜の製造方法として、水面上に高分子の非水溶性溶媒
溶液を展延して該溶液の薄膜層を形成せしめ、次いてこ
れを脱溶媒する、いわゆる水面展開法が知られている。
[Prior Art] As a method for manufacturing a thin film, a so-called water surface spreading method is known, in which a solution of a polymer in a non-aqueous solvent is spread on a water surface to form a thin film layer of the solution, and then the solvent is removed. It is being

その方法は、水面上に前記溶液の小滴を滴下したときに
生ずる界面現象に基づく溶液の展延を利用するものであ
るが、かかる方法による場合には、前記溶液の滴下量の
コン1〜ロールの難しさに起因する膜の不均一性や、大
面積の薄膜は得かたいという欠点かおり、工業的利用に
はかなり困難か伴っていた。
This method utilizes the spreading of the solution based on the interfacial phenomenon that occurs when small droplets of the solution are dropped onto the water surface. It has been quite difficult to use it industrially because of the non-uniformity of the film due to the difficulty of rolling and the difficulty of obtaining a thin film over a large area.

近年、大面積の薄膜の製造のために高分子溶液を液滴と
してではなく線状に水面上に供給する、種々の方法か提
案されている。
In recent years, various methods have been proposed in which a polymer solution is supplied not as droplets but in a linear form onto the water surface in order to produce large-area thin films.

例えば■水面上に1対の仕切棒を設置し、該仕切棒て区
切られた領域内に高分子溶液を滴下するとともに仕切棒
の間隔を増大せしめるという方法(特公昭5.8−33
Q、86)、■溶媒として水よりも高密度のものを使用
し、水面下に設置した溶液溜内に回転ロールのごとき可
動面を通過ぎVで、そのロール面に溶液を付着さけ、水
面上に引上げることにより、溶液を強制的に水面上に展
延uしめる方法(米国特許3767737号)、■水面
上への高分子溶液の展延を水相と高分子溶液相との相対
的な液面位置の制御により行なわしめる方法(特開昭5
8−92526) 、■ポリマー溶液を、一端を水中に
浸漬した一板状体に沿って水面へ供給する方法(特開昭
59=22724) 、■ポリマー溶液を仕切板を越え
て支持液体と接触させて、支持液体表面へ供給する方法
(特開昭6C)−156508>などである。
For example, ■ a method in which a pair of partition rods is installed above the water surface, and a polymer solution is dripped into the area divided by the partition rods, and the distance between the partition rods is increased (Japanese Patent Publication No. 5.8-33
Q, 86), ■Use a solvent with a higher density than water, pass the solution through a movable surface such as a rotating roll in a solution reservoir installed below the water surface with a V to avoid adhesion to the roll surface, and then lower the solution to the water surface. A method in which the solution is forcibly spread on the water surface by pulling it up (U.S. Patent No. 3,767,737); A method of controlling the liquid level position (Unexamined Japanese Patent Publication No. 5
8-92526), ■ A method of supplying a polymer solution to the water surface along a plate-shaped body with one end immersed in water (Japanese Patent Application Laid-Open No. 1983-22724), ■ A method of supplying a polymer solution to the water surface by crossing a partition plate and contacting a supporting liquid. (Japanese Unexamined Patent Publication No. 156508).

しかしながら、■の方法においては薄膜が連続的に1d
られないという制約かあり、■の方法においては、可動
ロール面に付着した溶液の水面上への移行が必ずしも完
全に行なわれにくいため薄膜の均一ざが損なわれるとい
う欠点を有している。
However, in method (2), the thin film is continuously
However, method (2) has the disadvantage that the solution adhering to the movable roll surface does not necessarily completely transfer onto the water surface, which impairs the uniformity of the thin film.

ざらに、■、■および■の方法を用いて連続的な薄膜の
製造を行なうに必たっては、形成された薄膜を水面から
取り出す速度と、ポリマー溶液を注入する速度のバラン
スを極めて精密にコントロールしなければならないとい
う欠点を有する。
Generally speaking, when manufacturing thin films continuously using methods ①, ②, and ②, the balance between the speed at which the formed thin film is removed from the water surface and the speed at which the polymer solution is injected must be controlled extremely precisely. It has the disadvantage that it has to be done.

[発明が解決しようとする問題点1 本発明名らは、大面積を有する薄膜の連続的な製造を行
なうにあたって、展開溶媒上への膜形成性素材溶液の注
入か製造しようとする薄膜の幅方向にわたって線状に行
なわれ、かつ製膜速度に応じた量の膜形成性素材溶液か
すみ−亡かにかつ容易に展開溶媒上に供給される方法に
ついて検討を行ない、従来法にあける、膜形成性素(オ
溶液を展開溶媒上へ落とすという概念とは全く異なる概
念、即ち、毛管現象や濡れ性ということで表環される、
膜形成性素材溶液と供給部との界面張力を利用して、膜
形成性素材溶液を展開溶媒表面へ供給するという概念を
導入することにより、製膜速度に応じた量の膜形成性素
材溶液が、自発的に展開溶媒上に供給され、容易に大面
積を有する薄膜の連続的な’A造が可能となった。
[Problem to be Solved by the Invention 1] The present invention aims to solve the problem by injecting a film-forming material solution onto a developing solvent or by controlling the width of the thin film to be produced in the continuous production of thin films having a large area. We investigated a method in which the film-forming material solution is applied linearly across the direction and in an amount corresponding to the film-forming speed - silently and easily supplied onto the developing solvent. A concept completely different from the concept of dropping a solution onto a developing solvent, that is, it is expressed in terms of capillarity and wettability.
By introducing the concept of supplying the film-forming material solution to the developing solvent surface by utilizing the interfacial tension between the film-forming material solution and the supply section, the amount of the film-forming material solution can be adjusted according to the film forming speed. was spontaneously supplied onto the developing solvent, making it easy to continuously fabricate a thin film with a large area.

[問題点を解決するための手段] 本発明は、前記特許請求の範囲の欄に記載の通りの構成
を有する。
[Means for Solving the Problems] The present invention has the configuration as described in the claims section.

本発明において、膜形成性素材としては、一般に溶媒注
型によって実質的に無孔性のフィルムを形成し得る任意
の重合体(重合体混合物、グラフト重合体、ブロック重
合体および共重合体をも含む)が挙げられる。かかる重
合体は天然物および合成物のいずれもが使用可能であり
、有数重合体、無機重合体および有殿−無機共重合体の
いずれもが使用できる。一般に薄膜の用途によって種々
のものを用いることかできる。これらの重合体の例とし
てはポリオレフィン類、ビニル重合体、ポリ(メタ)ア
クリル酸エステル、ポリアミド、ポリエステル、ポリエ
ーテルなどの汎用ポリマー、ABS、ポリフェニレンオ
キ1ナイド、ポリカーボネー1〜、ポリスルホン、ポリ
エーテルスルホン、メチルペンテンポリマー、ポリエチ
レンテレフタシー1−−イソフタレー1〜共重合体など
のエンジニアリングプラスチック、ポリフッ化ビニリデ
ンなどの含フツ素高分子、ポリオルガノシロキサン類な
どの合成高分子、ビルロース誘導体、ポリアミノ酸など
の天然高分子などが挙げられるが、これらに限定される
ものではない。より具体的には、液、体分離性能を発現
するための重合体、なかでも逆浸透法により塩排除、有
価物回収などに用いることのできる、二酢酸セルロース
、三酢1.tルロースなどのセルロース誘導体、芳香族
ポリアミド、ポリアミドヒドラジド、ポリアミド酸、ポ
リイミダゾピロロン、ポリスルホンアミド、ポリベンズ
イミダゾール、ポリベンズイミダシロン、ポリアリーレ
ンオキシド、ポリビニルメチルエーテル、ポリアクリロ
ニ1〜リル、ポリヒドロキシエチルメタクリレート、ポ
リビニリデンカーボネート等を使用することができる。
In the present invention, the film-forming material generally includes any polymer (including polymer mixtures, graft polymers, block polymers, and copolymers) that can form a substantially non-porous film by solvent casting. ). Both natural products and synthetic products can be used as such polymers, and any of anomalous polymers, inorganic polymers, and organic-inorganic copolymers can be used. Generally, various materials can be used depending on the purpose of the thin film. Examples of these polymers include polyolefins, vinyl polymers, poly(meth)acrylic acid esters, general purpose polymers such as polyamides, polyesters, and polyethers, ABS, polyphenylene oxide, polycarbonate, polysulfone, and polyether. Engineering plastics such as sulfone, methylpentene polymer, polyethylene terephthalate 1--isophthalate 1-copolymer, fluorine-containing polymers such as polyvinylidene fluoride, synthetic polymers such as polyorganosiloxanes, billulose derivatives, polyamino acids, etc. Examples include, but are not limited to, natural polymers. More specifically, polymers for exhibiting liquid and body separation performance, particularly cellulose diacetate and trivinegar, which can be used for salt removal and valuable material recovery by reverse osmosis. Cellulose derivatives such as t-lulose, aromatic polyamide, polyamide hydrazide, polyamic acid, polyimidazopyrrolone, polysulfonamide, polybenzimidazole, polybenzimidacylon, polyarylene oxide, polyvinyl methyl ether, polyacryloni-1-lyl, polyhydroxyethyl Methacrylate, polyvinylidene carbonate, etc. can be used.

ざらに水−アルコールの分離−■、有は液体の分離に使
用するポリマー、たとえばポリウレア、ポリエーテルア
ミド、ポリエーテルウレア、ポリアミド、ポリエステル
、ポリエーテル、ポリハロゲン化ビニル、セルロース誘
導体、キチン、キ1〜1ナン等の多:@類、ポリシロキ
サンなどの含ケイ素−ポリマー、ポリ(1−トリメチル
シリル−1−プロピン)等の置換アセチレンポリマー等
を使用することができる。また気体分離ポリマーとして
は公知のポリ(4−メチル−1−ペンテン)、ポリブタ
ジェン、ポリスチレン、ポリアクリル酸アルキルエステ
ル、ポリメタクリル酸アルキルエステル、ポリビニルピ
バレート等のビニル重合体、エチルセルロース等のセル
ロース誘導体、ポリカーボネート、ポリフェニレンオキ
シドおよびその誘導体、−ポリスルホン、含フツ素ポリ
マー、ポリターシャリ−ブチルアセチレン等の置換アセ
チレンポリマー、ポリオルガノシロキサンおよびその誘
導体、ポリホスファゼン等の無機ポリマーも用いること
ができる。
Separation of water and alcohol -■, Yes means polymers used for liquid separation, such as polyurea, polyether amide, polyether urea, polyamide, polyester, polyether, polyvinyl halide, cellulose derivatives, chitin, chitin Polymers such as -1nan, silicon-containing polymers such as polysiloxane, substituted acetylene polymers such as poly(1-trimethylsilyl-1-propyne), etc. can be used. Examples of gas separation polymers include vinyl polymers such as known poly(4-methyl-1-pentene), polybutadiene, polystyrene, polyacrylic acid alkyl ester, polymethacrylic acid alkyl ester, polyvinyl pivalate, cellulose derivatives such as ethyl cellulose, Inorganic polymers such as polycarbonate, polyphenylene oxide and its derivatives, polysulfone, fluorine-containing polymers, substituted acetylene polymers such as polytert-butylacetylene, polyorganosiloxane and its derivatives, and polyphosphazene can also be used.

サラニ膜形成性素材トL/ T: Langmu i 
r −Blodgett法などにより単分子膜を形成す
ることのできる両親媒性物質、例えば長鎖アルキル基を
有するカルホン酸、アルコールやコレステロールなどの
生体脂質も使用可能である。
Sarani film-forming material L/T: Langmu i
Amphiphilic substances capable of forming a monomolecular film by the r-Blodgett method, such as carbonic acids having long-chain alkyl groups, and biological lipids such as alcohol and cholesterol, can also be used.

本発明において、第一液の有機溶媒としては、次式によ
って与えられる拡張係数が正の値を示し、拡張係数S=
γ1、−γ、。−γ。
In the present invention, the organic solvent of the first liquid has a positive expansion coefficient given by the following formula, and expansion coefficient S=
γ1, -γ,. −γ.

(γv、:水の表面張力、γ1.。:溶媒と水との界面
張力、γ0:溶液の表面張力〉 かつ、膜形成性素材を均一に溶解し、さらに水面展開に
あたって薄膜から脱溶媒を容易に行なわれうる、適度の
揮発性を有する溶媒が用いられる。
(γv,: surface tension of water, γ1..: interfacial tension between solvent and water, γ0: surface tension of solution) In addition, it uniformly dissolves the film-forming material, and furthermore, it is easy to remove the solvent from the thin film when spreading on the water surface. A solvent with suitable volatility is used.

このような有職溶媒としては、例えばn−ヘキサン、シ
クロヘキセン、n−へブタン、シクロヘキセン等の脂肪
族炭化水素、及びこれらの誘導体、ベンゼン等の芳香族
炭化水素、及びこれらの誘導体、1〜リフルオロ1〜リ
クロロエタン(沸点47゜6°C1比重1.57.25
°Cての表面張力17゜86yn/cm) 、四塩化炭
素(沸点76.7°C1比重1.59.25°Cでの表
面張力26.9dyn/cm)、クロロボルム(沸点6
1〜62°C1比重1.48.25°Cでの表面張力2
5 、5dyn/cm) 、塩化メチレン(沸点39.
75°C1比重1.33.25°Cでの表面張力28.
0dVn/cm) 、1,1.1−hリクロロエタン(
沸点74.1°C1比重1.34>などの含ハロゲン化
有機溶媒が挙げられる。また、膜形成性素材がこれらの
溶媒に溶解しにくいときには、該膜形成性素材を溶解す
る溶媒に溶解した後、前記の溶媒で希釈して第一液を調
製することもできる。
Examples of such solvents include aliphatic hydrocarbons such as n-hexane, cyclohexene, n-hebutane, and cyclohexene, and derivatives thereof; aromatic hydrocarbons such as benzene; and derivatives thereof; ~ Lichloroethane (boiling point 47°6°C1 specific gravity 1.57.25
surface tension at °C 17°86 yn/cm), carbon tetrachloride (boiling point 76.7 °C1 specific gravity 1.59.25 °C surface tension 26.9 dyn/cm), chloroborum (boiling point 6
1~62°C1 Specific gravity 1.48.Surface tension at 25°C2
5,5 dyn/cm), methylene chloride (boiling point 39.
75°C1 specific gravity 1.33.Surface tension at 25°C28.
0dVn/cm), 1,1.1-h-lichloroethane (
Examples include halogenated organic solvents having a boiling point of 74.1°C and a specific gravity of 1.34>. Furthermore, when the film-forming material is difficult to dissolve in these solvents, the first liquid can also be prepared by dissolving the film-forming material in a solvent and then diluting it with the above-mentioned solvent.

また、第一液の溶媒として先に挙げた有は溶媒相互ある
いは、他の溶媒との混合物等種々のものが使用可能であ
り、使用する膜形成性素材の溶解性、操作条件等を勘案
し、適宜″選定することか望ましい。さらに、有は溶媒
以外の成分も、本発明の効果を減じない程度に存在する
ことは、何ら差しつかえない。
In addition, a variety of solvents can be used as the solvent for the first liquid, such as mixtures of the solvents listed above or with other solvents, depending on the solubility of the film-forming material used, operating conditions, etc. It is preferable that the solvent be appropriately selected.Furthermore, there is no problem in that components other than the solvent may be present to the extent that the effects of the present invention are not diminished.

例えば、第一液の拡張係数Sを大きくして、すみやかな
第二液上での展延を行なうために、アルコール、カルボ
ン酸、パーオキシド、アルデヒド、ケ1〜ン、アミン、
アミドなどの親水基を有する化合物゛つ、油溶性界面活
性剤、親水基を有するオリゴマ−1重合体などを添加し
てもよい。
For example, in order to increase the expansion coefficient S of the first liquid and quickly spread it on the second liquid, alcohols, carboxylic acids, peroxides, aldehydes, carbons, amines,
A compound having a hydrophilic group such as amide, an oil-soluble surfactant, an oligomer 1 polymer having a hydrophilic group, etc. may be added.

本発明において第一液における膜形成性素材の有機溶媒
に対する割合は、使用する膜形成性素材の被膜形成濃度
や、膜厚、溶解性、操作条件等を勘案し、適宜実験的に
定めるのが望ましいが、一般には、10重量%以下が望
ましく、さらに好ましくは、0.01重量%から5重量
%程度でおる。
In the present invention, the ratio of the film-forming material to the organic solvent in the first liquid is determined experimentally as appropriate, taking into consideration the film-forming concentration of the film-forming material used, film thickness, solubility, operating conditions, etc. Although desirable, it is generally 10% by weight or less, more preferably about 0.01% to 5% by weight.

また本発明において第二液としては、前記の第一液と混
和することなく第一液との間に明確な界面を形成し、か
つ膜形成性素材を溶解したり、形成された薄膜を浸すこ
とのない、表面張力の大きい溶媒が用いられる。かかる
性質を有する溶媒としてはどのようなものであってもよ
いが、極性溶媒が好ましい。このような極性溶媒として
は、水(比重1.0.25°Cでの表面張カフ2.8d
yn/cm)が特に好ましい。かかる溶媒単独で充分本
発明は実施できるが無機塩の水溶液として、膜形成性素
材の溶解度を減少させたり、表面張力を増大ざぜて、よ
り薄い薄膜の形成を容易にすることも可能である。
In addition, in the present invention, the second liquid does not mix with the first liquid, forms a clear interface with the first liquid, and dissolves the film-forming material or immerses the formed thin film. A solvent with a high surface tension is used. Although any solvent having such properties may be used, polar solvents are preferred. Such polar solvents include water (specific gravity 1, surface tension cuff 2.8 d at 0.25°C);
yn/cm) is particularly preferred. Although the present invention can be carried out using such a solvent alone, it is also possible to use an aqueous solution of an inorganic salt to reduce the solubility of the film-forming material or increase the surface tension, thereby facilitating the formation of a thinner film.

本発明において、界面張力を利用した供給とは第一液の
供給品素材に対する濡れや毛管現象などに見られるよう
な、第一液と供給品素材表面の間の界面張力によって生
起される、第一液の指向性の必る挙動を利用して第一液
を第二液表面に供給せしめるものでおる。このような第
一液の指向性のある挙動を生じるためには、供給部が第
二液よりも第一液に対して選択的に濡れやすい素材から
なるが、または、毛管現象を生じせしめる構造を有する
ことが好ましい。本発明において第二液よりも第一液に
対して選択的に濡れやすい素材とは、素材の平滑な平面
に第一液および第二液の液滴を落として測定される素材
平面と各液滴との接触角の値により定められ、第一液の
液滴によって形成される接触角の値が、第二液の液滴に
よって形成される接触角の値に比へ小ざくなる素材であ
る。
In the present invention, supply using interfacial tension refers to a supply process that occurs due to the interfacial tension between the first liquid and the surface of the supply material, as seen in wetting of the first liquid to the supply material or capillary action. The first liquid is supplied to the surface of the second liquid by utilizing the directional behavior of the first liquid. In order to produce such directional behavior of the first liquid, the supply part must be made of a material that is selectively wettable by the first liquid rather than the second liquid, or must have a structure that causes capillary action. It is preferable to have. In the present invention, a material that is selectively wettable by the first liquid rather than the second liquid refers to the material plane that is measured by dropping droplets of the first liquid and the second liquid on the smooth surface of the material and each liquid. The material is determined by the value of the contact angle with the droplet, and the value of the contact angle formed by the droplet of the first liquid is smaller than the value of the contact angle formed by the droplet of the second liquid. .

第一液および第二液と該素材との接触角は接触角計によ
り容易に測定が可能であるが、第一液および第二液に界
面活性剤などの、溶液の極性および表面張力を大きく変
える物質を含んでいない場合には、より簡便に第一液お
よび第二液の、各々の溶媒と該素材との接触角の比較を
行なってもよい。
The contact angle between the first and second liquids and the material can be easily measured using a contact angle meter. If the material does not contain a substance to be changed, the contact angle between each solvent of the first liquid and the second liquid and the material may be more easily compared.

また、第二液によって形成される接触角と第〜液によっ
て形成される接触角の差が大きい素材はど、第一液との
親和性に富み、本発明の目的である第一液のすみやかで
安定した供給がより効果的に行なわれることになる。本
発明においては、前記のように第一液の溶媒としては表
面張力が30dyn/cm以下の有機溶媒、第二液とし
ては、水(表面張カフ 2 、8 dyn/cm)が好
ましく用いられるため、この第二液よりも第一液に対し
て選択的に濡れやすい素材としては、臨界表面張力が3
06yn/cm以下である素材が好ましい。このような
素材の具体的なものとしては、ポリ四フッ化エチレン、
ポリ三フッ化エチレン、テ1〜ラフルオロエチレンーパ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリフッ
化ビニリデンなどの含フツ素ポリマー、ポリエチレン、
ポリプロピレンなどのポリオレフィンおよびポリオルカ
ノシロキリーンなどのシリコーン系ポリマーが好jしい
。とくに第一液や第二液に浸されにくい含フツ素ポリマ
ーか好ましく用いられる。
In addition, materials with a large difference between the contact angle formed by the second liquid and the contact angle formed by the first liquid have a high affinity with the first liquid, and can be used to quickly form the first liquid, which is the object of the present invention. This means that stable supply can be achieved more effectively. In the present invention, as described above, an organic solvent with a surface tension of 30 dyn/cm or less is preferably used as the solvent for the first liquid, and water (surface tension cuff 2,8 dyn/cm) is preferably used as the second liquid. , a material that is more selectively wettable by the first liquid than by the second liquid has a critical surface tension of 3.
A material having a thickness of 0.06 yn/cm or less is preferable. Specific examples of such materials include polytetrafluoroethylene,
Fluorine-containing polymers such as polytrifluoroethylene, Te1-rafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, polyvinylidene fluoride, polyethylene,
Polyolefins such as polypropylene and silicone polymers such as polyorkanosilkylene are preferred. In particular, fluorine-containing polymers that are not easily immersed in the first and second liquids are preferably used.

本発明において、第二液よりも第一液に対して選択的に
濡れやすい素材よりなる供給部を利用して第一液を第二
液上へ供給することは、以下のような界面化学的現象を
利用したものでおる。一般に、固体面αが液相Bによっ
て覆われているとして、これと混合しない液体Tをα/
β界面に滴下したとき、α/γ界面の界面自由エネルギ
ーかα/β界面の界面自由エネルギーよりも低い場合、
液滴γが液体βを押しのけて固体面α上に拡がる。
In the present invention, supplying the first liquid onto the second liquid by using a supply portion made of a material that is selectively wettable with the first liquid rather than the second liquid has the following surface chemical effects. It takes advantage of the phenomenon. In general, assuming that the solid surface α is covered by the liquid phase B, the liquid T that does not mix with this is α/
When dropped onto the β interface, if the interfacial free energy of the α/γ interface is lower than the interfacial free energy of the α/β interface,
The droplet γ displaces the liquid β and spreads on the solid surface α.

本発明では固体面の素材として第二液に比べ第一液に対
してより親和性の高い素材を用いることで、固体面で第
一液か第二液を押しのけて得られる自由エネルギーを第
一液の供給の駆動力とするものである。
In the present invention, by using a material with higher affinity for the first liquid than for the second liquid as the material for the solid surface, the free energy obtained by displacing the first liquid or the second liquid on the solid surface is This is used as the driving force for supplying the liquid.

本発明において上記の原理による第一液のぬれを利用し
て第二液上に第一液を供給する具体的な方法としては、
とくに限定されるものではないが、例えば、第二液と比
べ第一液に対してより親和性の高い素材を内壁として有
するバット状の容器に第一液を入れ、その上から、第二
液を入れる方法がおる。このとき容器の該素材の内壁よ
り、下層の第一液が第二液を押しのりで上昇し、第二液
上へ第一液がすみやかに展延を開始する。
In the present invention, a specific method of supplying the first liquid onto the second liquid using the wetting of the first liquid according to the above principle is as follows.
Although not particularly limited, for example, the first liquid is poured into a bat-shaped container whose inner wall is made of a material that has a higher affinity for the first liquid than the second liquid, and the second liquid is poured from above. There is a way to enter. At this time, the first liquid in the lower layer rises by pushing the second liquid away from the inner wall of the material of the container, and the first liquid immediately starts spreading onto the second liquid.

この場合にはバラ1〜状容器の内壁全体が本発明でいう
供給部となる。また第一液の展延に方向性を持たせるた
めに、内壁の一部にのみ第二液よりも選択的に濡れやす
い素材を用いることも好ましい。
In this case, the entire inner wall of the bulk container serves as the supply section in the present invention. Further, in order to give directionality to the spreading of the first liquid, it is also preferable to use a material that is more selectively wettable than the second liquid only on a part of the inner wall.

本発明において、毛管現象を生じVしめる構造としては
キャピラリー等の毛細管を有するもの、2枚の板状体に
よるスリッ1〜を有するもの、表面に溝を有する板状体
などの他、織編物、不織布、連通孔を有する高分子発泡
体、微多孔性セラミック、微多孔性金属等が挙げられる
。キャピラリーのように、構造体の特定部分にのみ細孔
または細隙の開口部がおるものは、第二液の表面の位置
を該開口部に合わけて厳密に制御することが、第一液の
すみやかで、安定した供給のために必要である。
In the present invention, structures that produce a capillary phenomenon and close the V include those having a capillary such as a capillary, those having a slit formed by two plate-like bodies, a plate-like body having grooves on the surface, etc., as well as woven and knitted fabrics, Nonwoven fabrics, polymeric foams with communicating pores, microporous ceramics, microporous metals, and the like can be mentioned. For structures such as capillaries that have pores or slit openings only in specific parts of the structure, it is important to strictly control the position of the surface of the second liquid to match the opening. This is necessary for prompt and stable supply.

一方、不織布や表面に溝を有する板状体のような、第二
液と大気との界面をつらぬいて第一液と第二液の表面の
両方に連続した開口部を設けることが出来る構造体では
第二液表面が常に開口部と接することが出来るため、第
二液の液面の厳密な位置コン!−〇−ルが不要となり目
的とする薄膜の製造がより容易に行なうことができる。
On the other hand, structures such as non-woven fabrics or plate-shaped bodies with grooves on the surface can provide continuous openings on both the first and second liquid surfaces through the interface between the second liquid and the atmosphere. Since the surface of the second liquid can always be in contact with the opening, the precise position of the surface of the second liquid can be controlled. -〇-ru is unnecessary, and the desired thin film can be manufactured more easily.

毛管現象を生じせしめる構造からなる供給部を用いる本
発明の具体例を図面を用いて説明する。
A specific example of the present invention using a supply section having a structure that causes capillary action will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の実施に適した典型的な方法例を示す断
面図である。しかし、本発明は第1図に限定されるもの
ではない。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a typical method suitable for implementing the present invention. However, the present invention is not limited to FIG.

浴槽1には膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶液の
第一液3か下方に存在し、その上に第二液4が注ぎ入れ
られている。次に第二液の端部で必って、かつ浴槽の器
壁の近傍に、第一液の供給部2を設ける。かかる供給部
2は、第一液の液中にその一方の開口部を存在させ、他
方の開口部を第二液面上に存在させるもので、第一液の
一部の液面を上昇ざぽ、第一液を上部空間付近に押し上
げる毛細管現象を生じせしめる構造のものでおればいか
なるものでもよい。
In the bathtub 1, a first liquid 3 of an organic solvent solution containing a film-forming material as a main component is present below, and a second liquid 4 is poured onto it. Next, a supply section 2 for the first liquid is provided at the end of the second liquid and in the vicinity of the vessel wall of the bathtub. The supply section 2 has one opening in the first liquid and the other opening above the second liquid level, and is designed to raise the level of a portion of the first liquid. Any structure may be used as long as it causes a capillary phenomenon that pushes the first liquid up to the vicinity of the upper space.

そして第二液と上部空間との界面に沿って、第二液上に
第一液を展開させる。第一液は第二液上で薄く広がり、
第一液を構成する有渫溶媒が上部空間に揮発し、薄膜5
が形成される。この薄膜5を、供給ロール6から制御ロ
ール7に沿って送り出さける支持体9に接触、付着さけ
、上部の巻取ロール8に巻き取る。なお巻き取りに必た
っては離型紙を薄膜間に積層させてもよく、また支持体
9はエンドレスベル1〜を用いてもよい。ざらに支持体
9の巻取速度をコンlへロールすることにより薄膜の厚
さを適宜制御することもできる。
Then, the first liquid is spread on the second liquid along the interface between the second liquid and the upper space. The first liquid spreads thinly on the second liquid,
The organic solvent constituting the first liquid evaporates into the upper space, and the thin film 5
is formed. This thin film 5 is brought into contact with and adheres to a support 9 that is fed out from a supply roll 6 along a control roll 7, and is wound onto an upper winding roll 8. For winding, a release paper may be laminated between the thin films, and endless bells 1 to 3 may be used as the support 9. The thickness of the thin film can also be appropriately controlled by roughly controlling the winding speed of the support 9.

上記のようにして、薄膜5を連続的に取り上げると、供
給部2からは連続的に第一液が上部空間に供給されるの
で、薄膜は連続的に製造される。
When the thin film 5 is continuously taken up as described above, the first liquid is continuously supplied from the supply section 2 to the upper space, so that the thin film is continuously produced.

なお第1図において、第一液は連続的に外部より供給し
てもよいことは勿論でおる。また第一液と第二液とは必
ずしも1つの浴槽に入れる必要はなく、2つ以上の浴槽
に別々に入れてもよい。
In FIG. 1, it goes without saying that the first liquid may be continuously supplied from the outside. Further, the first liquid and the second liquid do not necessarily need to be placed in one bathtub, but may be placed separately in two or more bathtubs.

ざらに、安定した第一液の供給を行なうためには、第二
液よりも第一液に対して選択的に濡れやすい素材と、毛
管現象を生じせしめる構造を組み合けることがより好ま
しい。かかる目的のためには、例えば、テフロン板に任
意の形状および任意の数の溝を加工したもの、市販のフ
ッ素ポリマー不織布および織編物(商品名、ダイキン工
業製、ポリフロンペーパー、グンゼ(株)製PFA不織
布など)などが供給部として挙げられる。このような供
給部を用いれば、開口部か第二液表面のみならず第二液
中に存在していても、該開口部から供給部内の細孔また
は細隙へ第二液が侵入することなく、従って、妨害され
ずに細孔または細隙中を第一液が流れ、すみやかな第一
液の供給が行なわれる。ざらに第二液よりも第一液に対
して選択的に濡れやすい素材からなる多孔性溝道体で、
あいとなり必う第一液と第二液を隔てるだけで第一液の
みが該多孔性溝道体の中を選択的に透過して行き、第二
液側に到達し、そして第一液が第二液面上にすみやかに
展延する。
Generally speaking, in order to stably supply the first liquid, it is more preferable to combine a material that is selectively wettable with the first liquid rather than the second liquid with a structure that causes capillary action. For this purpose, for example, Teflon plates with arbitrary shapes and arbitrary number of grooves, commercially available fluoropolymer nonwoven fabrics and woven and knitted fabrics (trade name, manufactured by Daikin Industries, Ltd., Polyflon Paper, Gunze Co., Ltd.) can be used. PFA nonwoven fabric, etc.) can be cited as the supply unit. If such a supply part is used, the second liquid will not enter the pores or slits in the supply part from the opening, even if the second liquid is present not only on the surface of the second liquid but also in the second liquid. Therefore, the first liquid flows unhindered through the pores or slits, resulting in a rapid supply of the first liquid. A porous channel body made of a material that is selectively wettable by the first liquid rather than the second liquid.
By simply separating the first liquid and the second liquid, which are bound to meet each other, only the first liquid selectively permeates through the porous channel body and reaches the second liquid side, and the first liquid Spread quickly on the second liquid surface.

すなわち、該多孔性構造体で、第一液と第二液を左右に
隔てると、該多孔性構造体は、選択的に第一液を吸収し
てその内孔に第一液を保持することになる。かかる状態
の多孔性構造体に第二液の表面が接すると第二液の表面
張力により第一液がひっばられて第二液表面上を展延す
ることになる。
That is, when the porous structure separates the first liquid and the second liquid from side to side, the porous structure selectively absorbs the first liquid and retains the first liquid in its inner pores. become. When the surface of the second liquid comes into contact with the porous structure in such a state, the first liquid is pulled by the surface tension of the second liquid and spreads on the surface of the second liquid.

このような供給方法を第2図を用いて説明する。Such a supply method will be explained using FIG. 2.

第2図は本発明の実施に適した典型的な方法例を示す断
面図で必るが、本発明は第2図に限定されるものではな
い。
Although FIG. 2 is a cross-sectional view showing a typical example of a method suitable for implementing the present invention, the present invention is not limited to FIG.

浴槽10に膜形成性素材を溶質の主成分とする有機溶媒
溶液の第一液11と、展開溶媒である第二液12が、第
二液の表面付近で、多孔性の供給部13により隔てられ
て入れられている。かかる多孔性の供給部13は、第二
液に比べ第一液を透過しやすいので、図2のような位置
におくことにより、その内部に第一液のみを保持するこ
とになる。供給部13の内部に保持された第一液は、供
給部の第二液側表面において、第二液の表面張力によっ
て第二液表面上に展延される。
In a bathtub 10, a first liquid 11, which is an organic solvent solution containing a film-forming material as the main component of the solute, and a second liquid 12, which is a developing solvent, are separated by a porous supply part 13 near the surface of the second liquid. It has been put in place. Such a porous supply section 13 allows the first liquid to permeate through it more easily than the second liquid, so by placing it in a position as shown in FIG. 2, only the first liquid is held therein. The first liquid held inside the supply section 13 is spread on the second liquid surface by the surface tension of the second liquid on the second liquid side surface of the supply section.

展延された第一液から第一液を構成する有機溶媒が上部
空間に揮発し、薄膜14が形成される。
The organic solvent constituting the first liquid from the spread first liquid evaporates into the upper space, and a thin film 14 is formed.

この薄膜14を、供給。ロール15から制御ロール16
に沿って送り出される支持体18で接触、付着させ上部
の巻取ロール17に巻き取る。なお巻き取りに必たって
は離型紙を薄膜間に積層さけてもよく、また支持体1B
はエンドレスベル1〜を用いてもよい。ざらに支持体1
8の巻取速度をコントロールすることにより薄膜の厚さ
を適宜制御することもできる。
This thin film 14 is supplied. From roll 15 to control roll 16
The film contacts and adheres to the support body 18 that is sent out along the winding roll 17 at the top. In addition, when winding, release paper may be laminated between the thin films, and support 1B
may use Endless Bell 1~. Rough support 1
By controlling the winding speed in step 8, the thickness of the thin film can be appropriately controlled.

上記のごとく、薄膜14を連続的に取り上げると、供給
部13からは連続的に第一液が第二液上に供給されるの
で、膜は連続的に製造される。
As described above, when the thin film 14 is continuously taken up, the first liquid is continuously supplied from the supply section 13 onto the second liquid, so that the film is continuously manufactured.

なお第2図において、第一液は連続的に外部より供給し
てもよいことは勿論である。
In FIG. 2, it goes without saying that the first liquid may be continuously supplied from the outside.

また第一液の供給FJA(Dコントロールは、多孔性の
供給部の空隙率、厚さ、孔径などによって適宜可能であ
る。さらに第一液貯櫂部分を密閉系にして加圧すること
によってコントロールを行なってもよい。
In addition, the supply FJA (D control) of the first liquid can be appropriately controlled depending on the porosity, thickness, pore diameter, etc. of the porous supply part.Furthermore, the control can be performed by making the first liquid storage part a closed system and pressurizing it. You may do so.

本発明において界面張力を利用した供給部の形状は特に
限定されるものではない。より大面積の薄膜を製造する
為に、広幅の製膜を行なうにあたって、供給部と第二液
表面の接している部分を広げることによって広幅にわた
る第一液の連続的な供給が可能となり、供給部の各部分
で均一な第一液の供給が行なわれるため、広幅化による
新たな欠点や問題が生じてくることはない。
In the present invention, the shape of the supply section that utilizes interfacial tension is not particularly limited. In order to produce a thin film with a larger area, when forming a wide film, widening the contact area between the supply section and the surface of the second liquid makes it possible to continuously supply the first liquid over a wide width. Since the first liquid is uniformly supplied to each part of the section, no new drawbacks or problems arise due to the widening of the width.

さらに本発明において、第二液上に形成された第一液の
薄層の脱溶媒(溶媒の蒸発)は、周囲の雰囲気温度の調
節等によって行なうことが好ましい。例えば第一液の溶
媒として、1〜リフルオロ1〜リクロロエタン(沸点4
7.6°C)、塩化メチレン(沸点39.8°C)を用
いる場合には、周囲の温度を25〜35°C1こするこ
とにより、形成された第一液の薄層の脱溶媒が自然にす
みやかに行なわれ、膜形成性素材からなる薄膜がそのま
ま第二液上に形成される。また高沸点の溶媒を用いる場
合には赤外線の照射などによる温度コントロールが、第
二液の表面を乱すことなく、その上に均一な薄膜を形成
ざばる上で好ましい。その他、穏やかな送風を行なって
もよいし、上部空間を減圧に保ってもよい。
Furthermore, in the present invention, it is preferable that the thin layer of the first liquid formed on the second liquid be desolvated (evaporation of the solvent) by adjusting the surrounding atmospheric temperature or the like. For example, as a solvent for the first liquid, 1-lifluoro-1-lichloroethane (boiling point 4
7.6°C), and when using methylene chloride (boiling point 39.8°C), the thin layer of first liquid formed can be desolvated by rubbing the ambient temperature from 25 to 35°C. This occurs naturally and quickly, and a thin film of the film-forming material is directly formed on the second liquid. Further, when using a high boiling point solvent, temperature control by infrared ray irradiation or the like is preferable in order to form a uniform thin film on the surface of the second liquid without disturbing it. In addition, gentle ventilation may be performed, or the upper space may be maintained at a reduced pressure.

また本発明においては、上部空間の気体はどのようなも
ので必ってもよく、大気、窒素ガス、水蒸気、二数化炭
素ガスなど、膜形成の目的に応じて使い分けることがで
きる。中でも安全性、経済性より人気中で行なうのが最
も合理的である。
Further, in the present invention, any gas may be used in the upper space, and air, nitrogen gas, water vapor, carbon dioxide gas, etc. can be used depending on the purpose of film formation. Among them, it is most rational to do it when it is popular in terms of safety and economy.

なお薄膜の膜厚は、第一液中の膜形成性素材の濃度、連
続的な製膜を行なう場合の製膜速度、第一液の溶媒の沸
点と脱溶媒のための雰囲気温度との差などにより、コン
トロールすることが可能でおる。そしていわゆる超薄膜
から膜厚の厚いものまで適宜コン1〜ロールすることか
可能である。
The thickness of the thin film depends on the concentration of the film-forming material in the first liquid, the film forming speed in the case of continuous film formation, and the difference between the boiling point of the solvent in the first liquid and the atmospheric temperature for desolvation. It is possible to control this by, for example, It is also possible to control the thickness of a so-called ultra-thin film to a thick film as appropriate.

ざらに、膜形成性素材とその架橋剤を溶質とする第一液
を用いて、これらの薄膜を形成し、この薄膜を次いて架
橋触媒溶液と接触さけて薄膜の架橋反応を行なうことも
てきる。
Generally speaking, it is also possible to form these thin films using a first liquid containing a film-forming material and its crosslinking agent as a solute, and then carry out a crosslinking reaction of the thin film while avoiding contact with a crosslinking catalyst solution. Ru.

また、形成された薄膜を取り上げる方法とじては、通常
の方法かいずれも適用できる。例えば、第二液の表面に
接する回転ロールに巻き取っていく方法、回転ロールで
支持体上にすくいあげていく方法などが用いられるが、
特にこれらの方法に限定されるものではない。
Furthermore, any conventional method can be used to pick up the formed thin film. For example, a method is used in which the second liquid is wound onto a rotating roll that is in contact with the surface of the second liquid, or a method in which the second liquid is scooped onto a support using a rotating roll.
The method is not particularly limited to these methods.

本発明において、支持体は必要に応じて種々のものが使
用することかできる。例えば、コンチン1大−の製造に
は金属薄膜が用いられ、液体分離や気体分離のための選
択透過膜の製造のためには多孔1生支持体を用いること
か多い。多孔性支持体としては、ポリプロピレン製多孔
膜(商品名:ジュラガード)、テフロン製多孔膜〈商品
名二ゴア・テックス、フルオロポア)などのミクロフィ
ルターや、ポリスルホン多孔膜、酢酸セルロース多孔膜
が挙げられるが、特にこれらに限定される訳ではない。
In the present invention, various supports can be used as necessary. For example, a thin metal membrane is used in the production of Contin 1, and a porous raw support is often used in the production of selectively permeable membranes for liquid separation and gas separation. Examples of porous supports include microfilters such as polypropylene porous membranes (product name: Duraguard), Teflon porous membranes (product names: NiGore-Tex, Fluoropore), polysulfone porous membranes, and cellulose acetate porous membranes. However, it is not particularly limited to these.

本発明における薄膜の製造装置としては、前述の薄膜の
製造方法を具現化する装置であれば、とくに限定される
ものではないが、好ましくは、界面張力を利用して第゛
−液を第二液面上に供給する手段および第一液貯槽部分
、第二液表面を安定に保つことのできる第二液貯漕部分
、そして第二液面上に形成された薄膜を連続的に引き取
る手段を有する装置でおる。界面張力を利用して第一液
を第二液面上に供給する手段とは、前述の第二液よりも
第一液に対して選択的に濡れやすい素材よりなる供給部
、または毛管現象を生じせしめる溝道を有する供給部を
少なくとも含むもので必る。また第一液貯槽部分と第二
液貯櫓部分は、第一液を供給する手段によって、好まし
い形状や構成を定めればよいが、各貯槽部分を別個に設
けてもよいし、第1図のように、1つのバッl〜状容器
の下層に第一液を入れ、その上層に第二液を入れること
により第一液貯槽部分および第二液貯襦部分とすること
も可能でおる。第二液面上に形成された薄膜を連続的に
引き取る手段としては特に限定されるものではないが、
一般的には、第二液面に接した回転ローラー−m、支持
体を連続的に薄膜に接触させていく装置が用いられる。
The thin film manufacturing apparatus of the present invention is not particularly limited as long as it is an apparatus that embodies the above-described thin film manufacturing method, but it is preferable to use interfacial tension to transfer the second liquid to the second liquid. A means for supplying the liquid onto the liquid surface, a first liquid storage tank part, a second liquid storage tank part that can keep the second liquid surface stable, and a means for continuously taking off the thin film formed on the second liquid surface. It is possible to use the equipment that has it. The means for supplying the first liquid onto the second liquid surface using interfacial tension means a supply section made of a material that is selectively more wettable with the first liquid than the second liquid, or a means using capillary action. It is necessary to include at least a supply section having a groove path for generating the flow. Further, the first liquid storage tank portion and the second liquid storage tower portion may have a preferable shape and configuration determined depending on the means for supplying the first liquid, but each storage tank portion may be provided separately, or as shown in FIG. It is also possible to form a first liquid storage tank part and a second liquid storage part by putting the first liquid in the lower layer of one bag-shaped container and the second liquid in the upper layer. Although there are no particular limitations on the means for continuously taking off the thin film formed on the second liquid surface,
Generally, a device is used in which a rotating roller-m in contact with the second liquid surface and a support are brought into continuous contact with the thin film.

本発明における薄膜の製造装置におっては、上述の供給
手段、貯槽部分、引き取り手段の他に製膜条件や製膜す
る膜の面積など種々の条件に応じて、必要な装置を付帯
させてもよい。例えば、脱溶媒を促進するためのヒータ
一部分、第一液、第二液の液温を一定に保つための温調
装置、水面の清浄装置、第一液を供給部に供給するため
の定量ポンプなどを用いることにより、最適な製膜条件
を構成することが可能となり、かかる付帯装置はより均
質な薄膜の製造のために有効でおる。
In the thin film manufacturing apparatus of the present invention, in addition to the above-mentioned supply means, storage tank section, and withdrawal means, necessary equipment may be attached depending on various conditions such as film forming conditions and the area of the film to be formed. Good too. For example, a part of the heater to promote solvent removal, a temperature control device to keep the liquid temperature of the first and second liquids constant, a water surface cleaning device, and a metering pump to supply the first liquid to the supply section. By using such equipment, it becomes possible to configure optimal film forming conditions, and such ancillary equipment is effective for producing more homogeneous thin films.

以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to Examples.

参考例 以下の実施例に用いた各種溶媒とテフロンとの親和性を
調べるため、協和界面科学(株)製 接触角計CA−D
型を用いてテフロン板上の各種溶媒の接触角を測定した
ところ、表1に示すような結果を得た。
Reference Examples In order to investigate the compatibility between various solvents used in the following examples and Teflon, a contact angle meter CA-D manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. was used.
When the contact angle of various solvents on a Teflon plate was measured using a mold, the results shown in Table 1 were obtained.

表1 実施例1 ポリマー溶液−1〜(GE社製、商品名″レキサン”1
21−111>の2@量%クロロホルム)合液を調製し
た。この溶液1001111を約25°Cの室温下にお
いて、20Cm(長さ)X17cm(幅)×2.5Cm
(深さ)のテフロンコーティングハツ1〜に入れ、その
上に蒸溜水をポリマー溶液の表面をほぼ覆う程度加える
と、蒸溜水の表面全体にポリマー溶液の薄層が形成され
、徐々に脱溶媒して、該ポリマーの薄膜が形成された。
Table 1 Example 1 Polymer solution-1 ~ (manufactured by GE, trade name "Lexan" 1)
A mixed solution of 21-111> (2@% chloroform) was prepared. This solution 1001111 was placed at room temperature of about 25°C in a size of 20 cm (length) x 17 cm (width) x 2.5 cm.
(depth) and add distilled water to almost cover the surface of the polymer solution.A thin layer of polymer solution is formed on the entire surface of the distilled water, and the solvent is gradually removed. A thin film of the polymer was formed.

この薄膜を水面上より連続的に回収して、ダイアルゲー
ジにより膜厚を測定したところ3.2μであった。
This thin film was continuously collected from above the water surface and its thickness was measured using a dial gauge and found to be 3.2μ.

実施例2 三酢醒セルロース(ゴースミ〜マンコダツ9社装)の0
.5宙吊%塩化メチレン溶液を25°Cの室温下で調整
した。これから実施例1と同様の方法で薄膜を形成さけ
、ポリスルホン多孔性支持股上に0.5m/分の速度で
取り上げて積層複合膜を形成さけた。得られた薄膜の厚
さは1200人(エリプソメ1〜り一測定)であった。
Example 2 Three vinegar cellulose (Gosumi ~ Mankodatsu 9 Shasha) 0
.. A 5% suspended methylene chloride solution was prepared at room temperature at 25°C. From this, a thin film was formed in the same manner as in Example 1, and taken up on a polysulfone porous support crotch at a speed of 0.5 m/min to form a laminated composite film. The thickness of the obtained thin film was 1200 (measured by Ellipsome 1 to 1).

このようにして1qれらた積層複合膜を用いて逆浸透法
による塩排除率を測定したところ、25°C下、0.1
5%N a CQ 7J(溶液を30’9 / cmで
加圧して通さけることにより、Rej65.2%、FI
UX=0.17mB/m2・日の膜性能を示した。
When we measured the salt rejection rate by reverse osmosis using the laminated composite membrane prepared in this way, we found that it was 0.1 at 25°C.
5% Na CQ 7J (by passing the solution under pressure at 30'9/cm, Rej 65.2%, FI
The membrane performance was UX=0.17 mB/m2·day.

実施例3 0.17重景品のポリ(4−メチル−1−ペンテン)(
三井石油化学(株)製)を33.16重量部のシクロヘ
キセンと66.67重量部のトリクロロ1〜リフルオロ
エタンの混合溶媒に溶解した溶液を調製した。この溶液
100m1を約25°Cの室温下において、20CIt
l(長さ)x、17cm(幅)X2.5cm(深さ)の
テフロンコーティングパッ1〜に入れ、その上に蒸溜水
500m1を加えた。この容器に5cm(高さ)X14
cm(幅)Xo、3cm(厚さ)のテフロン板に、高さ
方向に0.5mm(幅)XC)、5mm(深さ)の溝を
1.5cm間隔で9本平行に設けた板を容器の幅方向の
器壁に沿って垂直に立てた。このとき、テフロン板に設
りた満はポリ(4−メチル−1−ペンテン〉溶液相より
水相および水相表面を通って空気中に通じている。この
溝を通じて下層のポリ(4−メチル−1−ペンテン)溶
液か水相表面に運ばれ、ただちに水相の表面全体に展延
し、ポリマー溶液の薄層が形成され、徐々に脱溶媒して
、該ポリマーの薄膜が形成された。この薄膜に、表面に
架橋ポリジメチルシロキサン層を有するポリスルホン多
孔性支持膜を巻きつけた回転ロールを接触させ、0.5
m/分の速度で該支持膜上に薄膜を巻き取った。このと
きテフロン板に設けた溝から水相表面にポリマー溶液か
連続的に展延してきて、巻き取った必とにも水面上に薄
膜が連続的に形成された。
Example 3 0.17 heavy prize poly(4-methyl-1-pentene) (
(manufactured by Mitsui Petrochemical Co., Ltd.) was dissolved in a mixed solvent of 33.16 parts by weight of cyclohexene and 66.67 parts by weight of trichloro-1-trifluoroethane to prepare a solution. 100 ml of this solution was heated to 20 CIt at room temperature of about 25°C.
It was placed in a Teflon-coated pad 1~1 (length) x 17 cm (width) x 2.5 cm (depth), and 500 ml of distilled water was added thereon. This container has 5cm (height) x 14
A board with nine parallel grooves of 0.5 mm (width) X C) and 5 mm (depth) at 1.5 cm intervals in the height direction on a Teflon plate of cm (width) Xo and 3 cm (thickness). It was placed vertically along the widthwise wall of the container. At this time, the poly(4-methyl-1-pentene) solution phase provided on the Teflon plate communicates with the air through the aqueous phase and the surface of the aqueous phase. -1-pentene) solution was carried to the surface of the aqueous phase and immediately spread over the entire surface of the aqueous phase, forming a thin layer of polymer solution, which was gradually desolvated to form a thin film of the polymer. This thin film was brought into contact with a rotating roll wrapped with a polysulfone porous support film having a crosslinked polydimethylsiloxane layer on the surface.
The thin film was wound onto the support membrane at a speed of m/min. At this time, the polymer solution continuously spread on the surface of the aqueous phase through the grooves provided in the Teflon plate, and a thin film was continuously formed on the water surface whenever the Teflon plate was wound up.

このようにして形成されたポリ(4−メチル−1−ペン
テン)層の膜厚をエリプソメ1〜リ−により測定したと
ころ920大であった。
The thickness of the poly(4-methyl-1-pentene) layer thus formed was measured using an Ellipsome 1-Lee test and was found to be 920 mm.

実施例4 0.5重量部のポリスルホン(ユニオン・カーハイ1へ
社製 Udel)を99.5重量部のクロロホルムに溶
解した溶液を調整した。この溶液を用いて実施例3と同
様にしてポリスルホンの薄膜を水面上に形成させた。こ
の薄膜を水面上より回収して、タイアルゲージにより膜
厚を測定したところ0.8μであった。
Example 4 A solution was prepared by dissolving 0.5 parts by weight of polysulfone (Udel, manufactured by Union Kahai 1) in 99.5 parts by weight of chloroform. Using this solution, a polysulfone thin film was formed on the water surface in the same manner as in Example 3. This thin film was recovered from the water surface and its thickness was measured using a tile gauge and found to be 0.8 μm.

実施例5 0.17重量部のポリ(4−メチル−1−ペンテン)(
三井石油化学(株)製〉を33.16重量部のシクロヘ
キセンと66.67重量部の1〜リクロロ1〜リフルオ
ロエタンの混合溶媒に溶解した溶液を調製した。この溶
液100m1を約25°Cの室温下において、20cm
(長さ)X17cm(幅)x2.5cm(深さ)のテフ
ロンコーティングバッ]・に入れ、その上に蒸溜水50
0m1を加えた。この容器に5cm(高さ>x14cm
(幅)のテフロン製不織布(東洋濾紙製ポリフロンフィ
ルターPF−2)を容器の幅方向の器壁に沿って垂直に
立てた。このとき、下層のポリ(4−メチル−1−ペン
テン〉溶液のみがテフロン製不織布中に浸透して上昇し
、水層表面部分と接する不織布部分から直ちに水層表面
に展延し、次いで脱溶媒により、該ポリマーの薄膜が形
成された。この薄膜を実施例3と同様にして表面に架橋
ポリジメチルシロキサン層を有するポリスルホン多孔性
支持膜上に連続的に回収した。
Example 5 0.17 parts by weight of poly(4-methyl-1-pentene) (
manufactured by Mitsui Petrochemicals, Inc., in a mixed solvent of 33.16 parts by weight of cyclohexene and 66.67 parts by weight of 1-lichloro-1-lifluoroethane was prepared. 100 ml of this solution was heated to 20 cm at room temperature of about 25°C.
(Length) x 17cm (Width) x 2.5cm (Depth) Teflon-coated bag] and add 50ml of distilled water on top.
Added 0ml. 5cm (height > x 14cm) in this container
(Width) Teflon nonwoven fabric (Polyflon Filter PF-2 manufactured by Toyo Roshi) was vertically erected along the widthwise wall of the container. At this time, only the poly(4-methyl-1-pentene) solution in the lower layer penetrates into the Teflon nonwoven fabric and rises, immediately spreading from the part of the nonwoven fabric in contact with the surface of the water layer to the surface of the water layer, and then removing the solvent. A thin film of the polymer was formed.This thin film was continuously collected in the same manner as in Example 3 onto a polysulfone porous support membrane having a crosslinked polydimethylsiloxane layer on its surface.

このようにして形成されたポリ(4−メチル−1−ペン
テン)層の膜厚をエリプソメ1へり一により測定したと
ころ760人であった。
The thickness of the poly(4-methyl-1-pentene) layer thus formed was measured using an ellipsometry and was found to be 760.

実施例6 第2図に示すように、50Cm(幅)x7Qcm(長さ
)X10CIll(深さ)の第二液貯種部分と50cm
(幅)x3cm(長さ>x3cm(深さ)の第一液貯槽
部分を設けた液槽の境界部分に1 cm (深さ方向)
X49cm(幅方向)の開口部を設け、そこに、ダイキ
ン製ポリフロンペーパーPA−101(厚さ1.0mm
>を二枚重ねて固定した。また、0.33ffli部の
ポリ(4−メチル−1ペンテン)(三井石油化学(株)
製)を33.17重量部のシクロヘキ廿ンと66.50
重景品の1〜リクロロトリフルオロエタンの混合溶液に
溶解した溶液を調整した。この溶液200m1を第一液
貯槽部分に入れ、第二液貯槽部分に蒸溜水を加え第2図
に示すようにポリフロンペーパーの表面にポリマー溶液
表面と水面が接触yるように設定した。
Example 6 As shown in Fig. 2, a second liquid seed storage part of 50cm (width) x 7Qcm (length) x 10cm (depth)
(width) x 3 cm (length > 3 cm (depth) at the boundary of the liquid tank with the first liquid storage tank part (in the depth direction)
Provide an opening of x49cm (width direction), and insert Daikin Polyflon Paper PA-101 (thickness 1.0mm) there.
> was fixed by stacking two sheets. In addition, 0.33 ffli parts of poly(4-methyl-1pentene) (Mitsui Petrochemical Co., Ltd.)
) with 33.17 parts by weight of cyclohexane and 66.50 parts by weight of
A solution was prepared by dissolving the heavy prize in a mixed solution of 1-lichlorotrifluoroethane. 200 ml of this solution was put into the first liquid storage tank, and distilled water was added to the second liquid storage tank so that the surface of the polymer solution and the water surface were in contact with the surface of the Polyflon paper as shown in FIG.

この時、ポリフロンペーパーにはボjツマー溶液のみが
浸透し、ポリフロンペーパーの反対側表面よりポリマー
溶液が水面上に出てきて、水面上に展延され、次いで脱
溶媒されポリ〈4−メチル−1−ペンテン)の薄膜か形
成された。この薄膜に、表面に架橋ポリジメチルシロキ
ナン層を有するポリスルホン多孔性支持膜を巻きつけた
回転ロールを接触させ、0.5m/分の速度で該支持膜
上に薄膜を巻き取った。このとき、ポリフロンペーパー
より水相表面にポリマー溶液が連続的に展延してきて、
薄膜が連続的に形成された。
At this time, only the Botsummer solution penetrates into the Polyflon paper, and the polymer solution comes out on the water surface from the opposite surface of the Polyflon paper and is spread on the water surface. A thin film of methyl-1-pentene) was formed. This thin film was brought into contact with a rotating roll wrapped around a polysulfone porous support membrane having a crosslinked polydimethylsilokinane layer on its surface, and the thin film was wound onto the support membrane at a speed of 0.5 m/min. At this time, the polymer solution is continuously spread on the surface of the water phase from the polyflon paper,
A thin film was formed continuously.

[発明の効果] 本発明によれば、連続化において精密な制御を必要とし
、かつ広幅化の困難でめった従来の水面展開法による薄
膜の製造に比べ、以下の点で大きな効果を生むことにな
る。
[Effects of the Invention] According to the present invention, compared to the production of thin films by the conventional water surface spreading method, which requires precise control in continuous processing and is difficult to widen, it has the following advantages. Become.

■ 膜形成性素材溶液か自発的に第二液面上に供給され
るため、形成された薄膜の回収に応じて膜形成性素材溶
液が連続的に供給される。このため精密な注入装置が不
要になる。
(2) Since the film-forming material solution is spontaneously supplied onto the second liquid surface, the film-forming material solution is continuously supplied as the formed thin film is collected. This eliminates the need for a precise injection device.

■ 膜形成性素材溶液1は供給部と第二液面か接した部
分全体から展延するので広幅にしても膜の均一性は保た
れる。また広幅化に際しては、供給部の幅を大きくとる
だけで容易に行なうことができる。
(2) Since the film-forming material solution 1 spreads from the entire area where the supply part and the second liquid surface are in contact, the uniformity of the film can be maintained even if the width is wide. In addition, widening can be easily achieved by simply increasing the width of the supply section.

■ 膜形成性素材溶液は、供給部と第二液面が接する、
供給部の任意の部分から供給することか可能であるため
、第二液の液面位置に関して精密な制御が不要で必る。
■ The film-forming material solution is produced in such a way that the supply part and the second liquid surface contact each other.
Since the second liquid can be supplied from any part of the supply section, precise control of the liquid level position of the second liquid is not necessary.

従って極めて簡略化した装置により、従来法では困難で
あった広幅の薄膜も容易に連続的に製造することが可能
となり、製造コストを著しくダウンすることが可能とな
る。
Therefore, by using an extremely simplified apparatus, it is possible to easily and continuously manufacture a wide thin film, which has been difficult with conventional methods, and it is possible to significantly reduce manufacturing costs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図、及び第2図は本発明の1実施態様図を示す。 2、]]3:第−第二給部 3.11:第一液 4.12:第二液 5、]4:薄膜 1 and 2 show one embodiment of the present invention. 2, ] ] 3: 2nd - 2nd supply department 3.11: First liquid 4.12: Second liquid 5,]4: Thin film

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)膜形成性素材を溶質の主成分とする有機溶媒溶液
からなる第一液を、実質的に第一液と混和しない第二液
上へ供給し、第一液の展延により第二液の表面に第一液
の薄層を形成せしめ、該薄層を脱溶媒することにより前
記膜形成性素材の薄膜を形成する方法において、界面張
力によって第一液を第二液面上へ供給することを特徴と
する薄膜の製造方法。
(1) A first liquid consisting of an organic solvent solution containing a film-forming material as the main component of the solute is supplied onto a second liquid that is substantially immiscible with the first liquid, and the second liquid is spread by spreading the first liquid. In the method of forming a thin layer of the first liquid on the surface of the liquid and removing the solvent from the thin layer to form a thin film of the film-forming material, the first liquid is supplied onto the surface of the second liquid by interfacial tension. A method for producing a thin film, characterized by:
(2)第二液面上への第一液の供給が界面張力を利用す
る供給部によることを特徴とする特許請求の範囲第(1
)項記載の薄膜の製造方法。
(2) The first liquid is supplied onto the second liquid surface by a supply section that utilizes interfacial tension.
) The method for producing the thin film described in item 2.
(3)第二液面上への第一液の供給が、第二液よりも第
一液に対して選択的濡れ性を有する素材よりなるか、ま
たは、毛管現象を生じせしめる構造を有する供給部によ
ることを特徴とする特許請求の範囲第(2)項記載の薄
膜の製造方法。
(3) The supply of the first liquid onto the second liquid surface is made of a material that has selective wettability for the first liquid over the second liquid, or has a structure that causes capillary action. 2. A method for producing a thin film according to claim 2, wherein:
(4)供給部が、30dyn/cm以下の臨界表面張力
を有する素材からなることを特徴とする特許請求の範囲
第(2)項記載の薄膜の製造方法。
(4) The method for producing a thin film according to claim (2), wherein the supply portion is made of a material having a critical surface tension of 30 dyn/cm or less.
(5)供給部が、一方の口が第一液中に、他方の口が第
二液の表面上に開口しうる、連続した細孔または細隙を
有することを特徴とする特許請求の範囲第(2)項記載
の薄膜の製造方法。
(5) Claims characterized in that the supply part has continuous pores or slits with one opening opening into the first liquid and the other opening opening onto the surface of the second liquid. The method for producing a thin film according to item (2).
(6)第一液槽と第二液槽とを設け、第一液槽と第二液
槽との間に、界面張力を利用して第一液を第二液面上に
供給する供給部を設け、かつ第二液面上に形成された薄
膜を連続的に引き取る手段を設けた薄膜の製造装置。
(6) A supply section that includes a first liquid tank and a second liquid tank, and supplies the first liquid onto the second liquid surface using interfacial tension between the first liquid tank and the second liquid tank. What is claimed is: 1. A thin film manufacturing apparatus comprising: a second liquid surface; and means for continuously taking off a thin film formed on a second liquid surface.
(7)界面張力を利用して第一液を第二液面上に供給す
る供給部が、30dyn/cm以下の臨界表面張力を有
する素材からなることを特徴とする特許請求の範囲第(
6)項記載の薄膜の製造装置。
(7) The supply section that supplies the first liquid onto the second liquid surface using interfacial tension is made of a material having a critical surface tension of 30 dyn/cm or less (
6) The thin film manufacturing apparatus described in item 6).
(8)界面張力を利用して第一液を第二液面上に供給す
る供給部が、一方の口が第一液中に、他方の口が第二液
の表面上に開口しうる、連続した細孔または細隙を有す
る構造体であることを特徴とする特許請求の範囲第(6
)項記載の薄膜の製造装置。
(8) The supply unit that supplies the first liquid onto the second liquid surface using interfacial tension can have one opening opened into the first liquid and the other opening opened onto the surface of the second liquid. Claim No. 6 is characterized in that it is a structure having continuous pores or pores.
) The thin film manufacturing apparatus described in item 2.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63104618A (en) * 1986-10-20 1988-05-10 Agency Of Ind Science & Technol Production of composite hollow fiber membrane
JPH0343570U (en) * 1989-09-06 1991-04-24
JPH0619613U (en) * 1992-03-25 1994-03-15 有限会社シンボリックアトリー Benefit mattress combined cassette type mattress
JPH0718656U (en) * 1993-09-17 1995-04-04 敏雄 宗 Folding mattress

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63104618A (en) * 1986-10-20 1988-05-10 Agency Of Ind Science & Technol Production of composite hollow fiber membrane
JPH048092B2 (en) * 1986-10-20 1992-02-14 Kogyo Gijutsuin
JPH0343570U (en) * 1989-09-06 1991-04-24
JPH0619613U (en) * 1992-03-25 1994-03-15 有限会社シンボリックアトリー Benefit mattress combined cassette type mattress
JP2543962Y2 (en) * 1992-03-25 1997-08-13 有限会社シンボリックアトリー Benefits mattress combined cassette type mattress
JPH0718656U (en) * 1993-09-17 1995-04-04 敏雄 宗 Folding mattress

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