JPS6257010A - Position controller - Google Patents

Position controller

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JPS6257010A
JPS6257010A JP19792085A JP19792085A JPS6257010A JP S6257010 A JPS6257010 A JP S6257010A JP 19792085 A JP19792085 A JP 19792085A JP 19792085 A JP19792085 A JP 19792085A JP S6257010 A JPS6257010 A JP S6257010A
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JP
Japan
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signal
ultrasonic
oscillator
output
rail
Prior art date
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Pending
Application number
JP19792085A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadashi Nomura
正 野村
Hiroshi Inada
稲田 博司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS6257010A publication Critical patent/JPS6257010A/en
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  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a small-sized, lightweight, and inexpensive position controller by constituting the controller including a control circuit which varies the output of an oscillator according to a position signal and selects one of a couple of ultrasonic vibrators to control the level and direction of an ultrasonic traveling wave. CONSTITUTION:A position detecting circuit 7 inputs the output of the 2nd oscillator 4 and the output of a detector 6 and measures the delay time between both signals to detect the position of a slider 3, outputting the position signal 7. The signal 71 is inputted to a control circuit 8 to perform processing such as the generation of a speed signal when necessary, and the signal is compared with a target position or target speed specified with a control input signal 80 supplied from external control equipment. The output level of the 1st oscillator 82 determining the output levels of the 1st ultrasonic vibrators 2 and 2' is set on the bases of the comparison level and the circuit is switched to determine which of the vibrators 2 and 2; is used as an oscillator and which of them is used as a vibration absorber. Consequently, the magnitude and direction of driving ultrasonic vibrations generated on the rail 1 are determined.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はモータ及び位置検出器を用いて可動部材の速成
、位置を制御する位置制御装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a position control device that uses a motor and a position detector to control the speed and position of a movable member.

〔従来技術とその問題点〕[Prior art and its problems]

活字型シリアルプリンタにおいては、活字ヘッドを搭載
したキャリッジを所定の位置まで移動、位置決めして印
字が行われる。このキャリッジの移動、位置決めの制御
は、回転型DCモータからワイヤ・プーリー系を介して
キャリッジに伝達される駆動力と回転型DCモータの軸
上に取り付けられた回転位置検出器から得られる位置情
報とを用いて行われている。即ち、直接的にはモータの
回転角の回転速度、停止位置の制御を行い、この回転角
?ワイヤ・プーリー系に工りキャリッジの動作に伝達す
る構成ケとっている。従って、実際に得られるキャリッ
ジの速度、位置にはワイヤープーリー系の特性が直接影
響を与え、例えばワイヤの伸びによる振動、ワイヤとプ
ーリーとの摩擦による停止位置のばらつき等が生じ、こ
のため、キャリッジの位置決め速度、位置決め精度が制
限され、プリンタとしての印字速度、印字品位を向上さ
せることができない原因となっている。
In a typeface serial printer, printing is performed by moving and positioning a carriage carrying a type head to a predetermined position. The movement and positioning of the carriage is controlled by the driving force transmitted from the rotary DC motor to the carriage via a wire pulley system and position information obtained from a rotational position detector mounted on the shaft of the rotary DC motor. It is carried out using That is, the rotation speed and stop position of the rotation angle of the motor are directly controlled, and this rotation angle? A wire pulley system is used to transmit the movement of the carriage. Therefore, the characteristics of the wire pulley system directly affect the speed and position of the carriage actually obtained. For example, vibrations due to the stretching of the wire and variations in the stopping position due to friction between the wire and the pulley occur. This limits the positioning speed and positioning accuracy of the printer, making it impossible to improve the printing speed and print quality of the printer.

キャリッジの位置精度を確保するためには、直接キャリ
ッジ位置を検出するリニア位置検出器を用いて制御を行
うことが考えられるが、この場合キャリッジの駆動を従
来と同じワイヤプーリー系を介して行っては、ワイヤ・
プーリー系による伝達遅れのため制御系の発振が避けら
れず、リニアDCモータ等、直接キャリッジを駆動する
モータを用いる必要がある。
In order to ensure carriage positional accuracy, it is conceivable to perform control using a linear position detector that directly detects the carriage position, but in this case, the carriage is driven via the same wire pulley system as in the past. The wire
Oscillation of the control system is unavoidable due to the transmission delay caused by the pulley system, so it is necessary to use a motor that directly drives the carriage, such as a linear DC motor.

しかし、リニアDCモータはキャリッジの可動範囲全体
にわたって磁気回路を形成する必要があり、モータの大
型化、重量増加が避けられず、小型、軽量化が必須条件
となっているプリンタに応用することはできない。
However, linear DC motors require a magnetic circuit to be formed over the entire movable range of the carriage, which inevitably increases the size and weight of the motor, making it difficult to apply it to printers where compactness and weight reduction are essential conditions. Can not.

又、キャリッジの可動範囲全体にわたってキャリッジの
位it検出できる位置検出器も従来の光学式、誘導式の
ものは高価で取り付は勇整が微妙であり、やはりプリン
タに組み込んで使用することはできない。
In addition, conventional optical and inductive position detectors that can detect the position of the carriage over its entire range of motion are expensive and difficult to install, and cannot be used by incorporating them into printers. .

また、直交座標系で動作する工業用ロボットにはリニア
DCモータと光学式リニア位置検出器とを用い可動部の
位置決め制御を行っているものがあるが、上述のプリン
タにおけるのと同様罠、より小型、軽量なIJ ニアモ
ータと、安価で取り付けの容易な位置検出器との実現が
強く望まれている。
In addition, some industrial robots that operate in a Cartesian coordinate system use linear DC motors and optical linear position detectors to control the positioning of movable parts. It is strongly desired to realize a small, lightweight IJ near motor and a position detector that is inexpensive and easy to install.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、上述した欠点ケ除き、超音波モータと
超音波位置検出器とを同一の超音波伝送用レールを用い
て実現し友小型、軽量、安価でかつ構成が簡単な位置制
御装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a position control device that is small, lightweight, inexpensive, and has a simple configuration, by realizing an ultrasonic motor and an ultrasonic position detector using the same ultrasonic transmission rail, without the above-mentioned drawbacks. Our goal is to provide the following.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

本発明の位置制御装&は、レールと、第一の発ぞれの付
近に接触した一対の出力に応じて前記レールに接触し前
記超音波進行波に接続された一対の発振器と、前記レー
ルの一端付近に接触し前記第二の発振器の出力に応じて
前記レールに位置検出用超音波振動を送波する第二の超
音波振動子と、前記スライダ上に搭載され前記位置検出
用超音波振勧會受波する検出器と、前記第二の発振器の
出力信号から対応する前記検出器の出力信号までの信号
遅れ時間を検出し前記スライダの位置に対応した位置信
号を出力する位置検出回路と、前記位置信号に応じて前
記第一の発振器の出力を変化させるとともに一対の前記
第一の超音波振動子のいずれか?超音波を発生させるも
のとしそ選択することにより前記超音波進行波の大きさ
と方向とを制御する制御回路とを含んで構成される。
The position control device & of the present invention includes a rail, a pair of oscillators that contact the rail and are connected to the ultrasonic traveling wave according to a pair of outputs that are in contact with the vicinity of the first oscillator, and the rail. a second ultrasonic vibrator that contacts near one end and transmits ultrasonic vibrations for position detection to the rail according to the output of the second oscillator; a detector that receives the vibration wave; and a position detection circuit that detects a signal delay time from the output signal of the second oscillator to the corresponding output signal of the detector and outputs a position signal corresponding to the position of the slider. The output of the first oscillator is changed according to the position signal, and which one of the pair of first ultrasonic transducers? The device includes a control circuit that controls the magnitude and direction of the ultrasonic traveling wave by selecting a device that generates ultrasonic waves.

回路とを含んで構成される。It consists of a circuit.

〔実施例〕〔Example〕

以下図面ケ用いて本発明の実施例を詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第1図は、本発明による位置制御装置の一実施例を示す
ブロック図である、 レールlの両端付近の適切な位置に接触した超音波振動
子2,2′の一方の超音波振動子2を励振してレールl
に駆動用超音波振動を発生し、他方の超音波振動子2′
にて前記駆動用超音波振動を吸撮すると、前記駆動用超
音波振動は超音波振動子2から2′への方向に進む進行
波となシ、前記レール1に適当な圧力で接触させられて
いるスライダ3が前記レール1よシ進行波の進行方向と
逆方向に駆動される。これはレールlの表面の各点は進
行波により随円軌動を描いて運動し、進行波の頂点付近
のみがスライダ3と接触するためでsb、超音波モータ
としてよく知られており、その原理的説明は省略する。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the position control device according to the present invention. One ultrasonic vibrator 2 of the ultrasonic vibrators 2 and 2' is in contact with appropriate positions near both ends of the rail l. Excite the rail l
A driving ultrasonic vibration is generated in the other ultrasonic vibrator 2'.
When the driving ultrasonic vibration is absorbed and photographed, the driving ultrasonic vibration becomes a traveling wave traveling in the direction from the ultrasonic transducer 2 to 2', and is brought into contact with the rail 1 with an appropriate pressure. The slider 3 is driven along the rail 1 in a direction opposite to the traveling direction of the traveling wave. This is because each point on the surface of the rail l moves in a circular orbit due to the traveling wave, and only the vicinity of the top of the traveling wave comes into contact with the slider 3, which is well known as an ultrasonic motor. A theoretical explanation will be omitted.

一方、第二の発振器4の出力に応じてレール1の一端付
近に接触した第二の超音波振動子5からレール1に位置
検出用超音波振動を送波し、この振動をスライダ3上に
搭載された検出器6にて受波し、位置検出回路7にて第
二の発振器4の出力と検出器6の出力とを入力してこの
両信号間の遅延時間を測定することにより、スライダ3
の位置が検出され、位置信号71として出力される。
On the other hand, according to the output of the second oscillator 4, position detection ultrasonic vibrations are transmitted from the second ultrasonic vibrator 5 that is in contact with the vicinity of one end of the rail 1 to the rail 1, and this vibration is transmitted onto the slider 3. The mounted detector 6 receives the wave, the position detection circuit 7 inputs the output of the second oscillator 4 and the output of the detector 6, and measures the delay time between these two signals. 3
The position of is detected and output as a position signal 71.

なお、位置検出用超音波振動は十分高い周波数に設定す
ることにより、特に吸振器等を設けなくても、レールl
の端部を処理して散乱させる等して実用的な進行波を得
ることができる。
In addition, by setting the ultrasonic vibration for position detection to a sufficiently high frequency, the rail l
A practical traveling wave can be obtained by processing and scattering the ends of the wave.

位置信号71は制御回路8に入力され、必要忙応じて速
度信号を生成する等の処理を施されて、外部の制御機器
(図示せず)より与えられる制御入力信号80より指定
される目標位11f5るいは目標速度と比較され、この
結果に基づいて第一の超音波振動子2,2′の出力レベ
ルを決める第一の発振器82の出力レベルの設定、前記
第一の超音波振動子2.2′のどちらを発振器とし、ど
ちらを吸振器とするかの回路の切り換えか行われる。こ
の結果、前述したレールl上に発生される駆動用超音波
振動の強さ、方向が定められる。
The position signal 71 is input to the control circuit 8, where it undergoes processing such as generating a speed signal as necessary, and is then processed to produce a target position specified by a control input signal 80 given from an external control device (not shown). setting of the output level of the first oscillator 82, which is compared with the target speed and determines the output level of the first ultrasonic transducers 2, 2' based on this result; .2' is used as an oscillator and which is used as a vibration absorber. As a result, the strength and direction of the driving ultrasonic vibration generated on the rail l described above are determined.

以上述べた構成により、超音波モータでスライダ3を動
かし、このスライダ30位tItt超音波位籠検出器で
検出してフィードバックするサーボ系が形成され、位置
制御装置が構成される。この位置制御装置!cは駆動力
がスライダ3とレールlとの接触部で発生されるため、
スライダ3が直接駆動され、ワイヤ・プーリー系を必要
とせず大きく重い磁気回路も不要である。又、位置検出
もスライダ3の位置を直接測定できる上に駆動系と同一
のレールtt共用するので特に複雑な構成となることが
ない。この結果、スライダ3に対し直接駆動、直接位置
検出を行えることによシ高精度、高帯域な位置制御が行
え、しかも小型、軽量、安価でかつ構成が簡単な位置制
御装置が得られる。
With the configuration described above, a servo system is formed in which the slider 3 is moved by an ultrasonic motor, and the 30th position of the slider is detected by an ultrasonic cage detector and fed back, thereby forming a position control device. This position control device! c is because the driving force is generated at the contact part between the slider 3 and the rail l,
The slider 3 is directly driven, and there is no need for a wire pulley system or a large and heavy magnetic circuit. Further, position detection does not require a particularly complicated configuration since the position of the slider 3 can be directly measured and the same rail tt is used as the drive system. As a result, by directly driving and directly detecting the position of the slider 3, it is possible to perform high-precision, high-band position control, and to obtain a position control device that is small, lightweight, inexpensive, and has a simple configuration.

第2図は位置検出回路7のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of the position detection circuit 7.

第1図の第二の発振器4より間欠的に出力されるバース
ト信号41及び検出器6より検出されたバースト信号6
1は位置検出回路7に入力されると、それぞれバースト
検出回路72.73にて例えハハーストの開始を検出す
ること等によシ互いに対応したタイミング信号を発生し
これtカウンタクリア信号721.ラッチ信号731と
して出力する。このカウンタクリア信号721H,りQ
ツク発生器74よシ発生され几クロック741によりカ
ウントアツプされているカウンタ75をクリアし前記バ
ースト信号41が発生されるごとに積算が開始されるカ
ウンタ751 を発生し、ラッチ76へ入力する。ラッ
チ信号731は前記ラッチ76に入力されたカクンタ出
カフ51 をラッチし位置信号71として出力する。
A burst signal 41 intermittently output from the second oscillator 4 in FIG. 1 and a burst signal 6 detected by the detector 6
1 are input to the position detection circuit 7, the respective burst detection circuits 72, 73 generate timing signals corresponding to each other, for example, by detecting the start of the Hurst pulse, and these t counter clear signals 721. It is output as a latch signal 731. This counter clear signal 721H, riQ
The counter 75 which is counted up by the burst clock 741 generated by the burst signal 74 is cleared, and a counter 751 is generated which starts integration every time the burst signal 41 is generated, and is inputted to the latch 76. The latch signal 731 latches the output cuff 51 inputted to the latch 76 and outputs it as a position signal 71.

従って、位置検出回路7の出力となる位置信号71は、
第一図において第二の発振器4からバースト信号が発生
されて検出器6からバースト信号が検出されるまでの遅
れ時間に対応した値を有しておシ、この遅れ時間は第二
の発振器4からスライダ3までの距離に比例するので、
スライダ30位mを示す信号となる。
Therefore, the position signal 71 output from the position detection circuit 7 is
In FIG. 1, the second oscillator 4 has a value corresponding to the delay time from when the burst signal is generated to when the burst signal is detected from the detector 6. Since it is proportional to the distance from to slider 3,
This is a signal indicating the slider position 30m.

位置信号71は、第二の発振器4のバースト信号41の
発生周期により決るスライダ位置に対する繰シ返し周期
と、クロック741にょシ決る分解能を有し、第二の発
振器4のバースト信号発生周期ごとに得られる位置信号
となる。従って前記第二の発振器4のバースト信号発生
周期を、超音波がレールlの全長を伝播するに要する時
間以上に設定しておくことにより、レールl上の位置と
位置信号71とが一対一に対応するように設定すること
ができる。
The position signal 71 has a repetition period for the slider position determined by the generation period of the burst signal 41 of the second oscillator 4 and a resolution determined by the clock 741. This is the position signal obtained. Therefore, by setting the burst signal generation period of the second oscillator 4 to be longer than the time required for the ultrasonic wave to propagate the entire length of the rail l, the position on the rail l and the position signal 71 are matched one-to-one. It can be configured accordingly.

又、本実施例においては第二の発振器4よシ出力される
バースト信号41を入力してバースト信号4Iの発生の
タイミングを検出する方法をとったために、バースト信
号検出回路72が必要となったが第二の発振器4の内部
で用いられるバースト信号41発生のためのタイミング
信号を位置検出回路7に入力し、直接カウンタ75のク
リア信号721として用いることも、もちろん可能であ
る。
Furthermore, in this embodiment, since the burst signal 41 outputted from the second oscillator 4 is input and the timing of generation of the burst signal 4I is detected, the burst signal detection circuit 72 is required. Of course, it is also possible to input the timing signal for generating the burst signal 41 used inside the second oscillator 4 to the position detection circuit 7 and use it directly as the clear signal 721 of the counter 75.

第3図は制御回路8のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of the control circuit 8.

スライダ3を目標位置まで移動位置決めする際には、ス
ライダ3が目標位置近傍のあらかじめ定められた範囲内
に入るまではスライダ3の速度t制御する速度側のモー
ド、入った後はスライダ3の位置全制御する位置制御モ
ードと、モードを切り換えて制御を行う。このモード全
切り換える信号は、外部の制御機器より与えられる目標
位置を示す制御入力信号80と位置信号71とをモード
信号発生器81にて比較することによりモード信号81
1 として発生される。
When moving and positioning the slider 3 to the target position, the speed side mode controls the speed t of the slider 3 until the slider 3 enters a predetermined range near the target position, and the position of the slider 3 after entering the position. Control is performed by switching between the position control mode for full control and the mode. The mode signal generator 81 generates a mode signal 81 by comparing the position signal 71 with the control input signal 80 indicating the target position given from an external control device.
1.

速度制御モードでは、制御入力信号8oが基準速度発生
器83に、位置信号71が基準速度発生器83と速度信
号発生器84とに入力され、基準速度発生器83におい
て目標位置までの残差距離に応じて適切に定められたス
ライダ3のとるべき基準速度を示す基準速度信号831
を発生する一方で、速度信号発生器84においてスライ
ダ3の速11f’に示す速度信号841 を生成し、減
算器85でこの基準速度信号831から速度信号841
に減算し速度偏差信号851を出力する。この速度偏差
信号851は前述したモード信号8目により切り換えが
行われるセレクタ86に入力され前記モード信号811
が速度制御モードを示していることを受けて制御偏差信
号861  として出力される。制御偏差信号861は
絶対値を示す信号862と符号を示す信号863とから
成シ、このうち絶対値を示す信号862は第一の発振器
82に入力されこの出力レベルを定め、さらにこの第一
の発振器82の出力と符号を示す信号863とは駆動回
路87に入力され、前記符号を示す信号863に応じて
制御回路8の2本の出力871゜872(それぞれが超
音波振動子2.2′に入力)の一方に前記第一の発振器
82の出力に応じた駆動信号を出力し、他方ケ駆動回路
87の内部にある吸振回路に接続する。この結果、第一
図における第一の超音波振動子2.2′のどちらから超
音波振動が発生されどちらに吸収されるかが符号を示す
信号863によシ決まり、その超音波振動の強さが絶対
値ケ示す信号862により決まることになり、レール1
上に発生される駆動用超音波振動の強さと方向とが定め
られる。
In the speed control mode, the control input signal 8o is input to the reference speed generator 83, the position signal 71 is input to the reference speed generator 83 and the speed signal generator 84, and the reference speed generator 83 calculates the residual distance to the target position. A reference speed signal 831 indicating the reference speed that the slider 3 should take, which is appropriately determined according to the
At the same time, the speed signal generator 84 generates a speed signal 841 indicating the speed 11f' of the slider 3, and the subtracter 85 extracts the speed signal 841 from this reference speed signal 831.
is subtracted from , and a speed deviation signal 851 is output. This speed deviation signal 851 is input to the selector 86 which is switched by the eighth mode signal mentioned above, and is input to the selector 86 which is switched by the mode signal 81
In response to the fact that indicates the speed control mode, it is output as a control deviation signal 861. The control deviation signal 861 consists of a signal 862 indicating an absolute value and a signal 863 indicating a sign. Of these, the signal 862 indicating the absolute value is input to the first oscillator 82 to determine its output level, and furthermore, the signal 862 indicating the absolute value is input to the first oscillator 82 to determine its output level. The output of the oscillator 82 and a signal 863 indicating the sign are input to a drive circuit 87, and two outputs 871° 872 (each of which is an ultrasonic transducer 2.2' A drive signal corresponding to the output of the first oscillator 82 is output to one of the input circuits (input to the drive circuit 87), and the other is connected to a vibration absorption circuit inside the drive circuit 87. As a result, the signal 863 indicating the sign determines which of the first ultrasonic transducers 2 and 2' in FIG. is determined by the signal 862 indicating the absolute value, and the rail 1
The intensity and direction of the driving ultrasonic vibrations generated above are determined.

一方、位置制御モードでは、目標位置を示す制御入力信
号80と位置信号71とは位置誤差信号発生器88に入
力され、目標位置までの残差距離を示す信号ケ出力し、
さらに補償器89において位相補償されて位置偏差信号
891 e出力する。
On the other hand, in the position control mode, the control input signal 80 indicating the target position and the position signal 71 are input to a position error signal generator 88, which outputs a signal indicating the residual distance to the target position.
Further, the phase is compensated by a compensator 89 and a position error signal 891e is output.

この位置偏差信号891は、前述したセレクタ86に入
力され、モード信号811が位置制御モードを示してい
ることケ受けて制御偏差信号861として出力される。
This position deviation signal 891 is input to the aforementioned selector 86, and is output as a control deviation signal 861 in response to the fact that the mode signal 811 indicates the position control mode.

この制御偏差信号861は、先に速度制御モードにおい
て説明したのと同様に制御回路8の出力871.872
ft決定し、レールl上に発生される駆動用超音波振動
の強さと方向とを定める。
This control deviation signal 861 is the output 871.872 of the control circuit 8 in the same way as previously explained in the speed control mode.
ft is determined, and the strength and direction of the driving ultrasonic vibration generated on the rail l are determined.

以上述べた制御回路8の働きによりレールl上のスライ
ダ3は、外部の制御機器より与えられる制御人力信号8
0に従って、目標位置近傍までは速度があらかじめ定め
られた基準速度に追従し、目標位置近傍では目標位置に
停止するように制御される。
Due to the operation of the control circuit 8 described above, the slider 3 on the rail l is controlled by the control human power signal 8 given from an external control device.
0, the speed is controlled to follow a predetermined reference speed until near the target position, and then stopped at the target position when near the target position.

なお、ここで述べた制御回路8においては、スライダ3
をある目標位置に位置決めすること?主眼とした制御回
路について述べたか、制御式カイぎ号80として速度選
択信号を付加し前述したスライダ3のとるべき基準速度
をこの速度選択信号により選択する構成とすることによ
り容易にスライダ3の移動速度を制御することを主眼と
した制御回路を実現することもできる。
Note that in the control circuit 8 described here, the slider 3
to position it at a certain target position? As mentioned above, the main focus of the control circuit is that the slider 3 can be easily moved by adding a speed selection signal as the control type gear signal 80 and using this speed selection signal to select the reference speed that the slider 3 should take. It is also possible to realize a control circuit whose main purpose is to control speed.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によれば、超音波モータと
超音波位置検出器とを同一の超音波伝送用のレール金柑
いて実現した、小型、軽量、安価で構成が簡単であシか
つ高精度高帯域な制御が行える位置制御装置が得られる
As explained above, according to the present invention, an ultrasonic motor and an ultrasonic position detector are realized by using the same rail for ultrasonic transmission, and the structure is simple, compact, lightweight, and inexpensive. A position control device that can perform accurate and high-bandwidth control can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
第1図に示す位置検出回路7のブロック図、第3図は第
1図に示す制御回路8のブロック図でろる。 !・・・・・・レール、2.2′・旧・・第一の超音波
振動子、3・・・・・・スライダ、4・・・・・・第二
の発振器、5・・・・・・第二の超音波振動子、6・・
・・・・検出器、7・・・・・・位置検出回路、8・・
・・・・制御回路、82・・・・・・第一の発振器。 代理人 弁理士  内 原   音 生1図 第2図 第3図
FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram of the position detection circuit 7 shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a block diagram of the control circuit 8 shown in FIG. 1. ! ...Rail, 2.2' Old...First ultrasonic transducer, 3...Slider, 4...Second oscillator, 5... ...Second ultrasonic transducer, 6...
...Detector, 7...Position detection circuit, 8...
...Control circuit, 82...First oscillator. Agent Patent Attorney Otohara Uchihara Figure 1 Figure 2 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] レールと、第一の発振器と、この第一の発振器の出力に
応じて前記レールに超音波進行波を発生させ前記レール
の両端それぞれの付近に接続された一対の第一の超音波
振動子と、前記レールに接触し前記超音波進行波により
駆動されるスライダと、第二の発振器と、前記レールの
一端付近に接続され前記第二の発振器の出力に応じて前
記レールに位置検出用超音波振動を送波する第二の超音
波振動子と、前記スライダ上に搭載され前記位置検出用
超音波振動を受波する検出器と、前記第二の発振器の出
力信号から対応する前記検出器の出力信号までの信号遅
れ時間を検出し前記スライダの位置に対応した位置信号
を出力する位置検出回路と、前記位置信号に応じて前記
第一の発振器の出力を変化させるとともに一対の前記第
一の超音波振動子のいずれかを超音波を発生させるもの
として選択することにより前記超音波進行波の大きさと
方向とを制御する制御回路とを含むことを特徴とする位
置制御装置。
a rail, a first oscillator, and a pair of first ultrasonic vibrators connected near each end of the rail to generate an ultrasonic traveling wave in the rail according to the output of the first oscillator. , a slider that contacts the rail and is driven by the ultrasonic traveling wave; a second oscillator; and a slider that is connected near one end of the rail and generates position detection ultrasonic waves on the rail in accordance with the output of the second oscillator. a second ultrasonic transducer that transmits vibrations, a detector mounted on the slider that receives the ultrasonic vibrations for position detection, and a corresponding one of the detectors based on the output signal of the second oscillator. a position detection circuit that detects a signal delay time to an output signal and outputs a position signal corresponding to the position of the slider; and a position detection circuit that changes the output of the first oscillator in accordance with the position signal; A position control device comprising: a control circuit that controls the magnitude and direction of the ultrasonic traveling wave by selecting one of the ultrasonic transducers to generate ultrasonic waves.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0230573A (en) * 1988-07-21 1990-01-31 Canon Inc Serial recording device
JPH0230572A (en) * 1988-07-21 1990-01-31 Canon Inc Serial recording device
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