JPS6255500A - Piezo-electric fan - Google Patents

Piezo-electric fan

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JPS6255500A
JPS6255500A JP19681385A JP19681385A JPS6255500A JP S6255500 A JPS6255500 A JP S6255500A JP 19681385 A JP19681385 A JP 19681385A JP 19681385 A JP19681385 A JP 19681385A JP S6255500 A JPS6255500 A JP S6255500A
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JP
Japan
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tuning fork
piezoelectric
shaped base
fork type
piezo
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Jiro Inoue
二郎 井上
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To improve efficiency, by furnishing a piezo-resonater to oscillate in a basic symmetric bending mode at least at one side of a tuning fork type body, and making an elastic plate formed at the tops of two sides of the tuning fork type body resonate. CONSTITUTION:At one side 12a of a tuning fork type body 12, a pair of piezo-electric elements 16a and 18a are installed and made to generate a winding oscillation. At the tops of the two sides 12a and 12b, elastic plates 20a and 20b are installed to resonate integrally in a basic symmetric bending mode. Therefore, the air is blown from the free ends of the elastic plates, and an efficient piezo-electric fan can be formed.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は圧電ファンに関し、特にたとえばバイモルフ
振動子のような屈曲型圧電振動子を用いた、圧電ファン
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a piezoelectric fan, and particularly to a piezoelectric fan using a bent piezoelectric vibrator such as a bimorph vibrator.

(従来技術) 従来の圧電ファンの一例が、たとえば特開昭59−22
4500号公報に開示されている。この公報に開示され
ている圧電ファンは、圧電体をはりあわせてその横効果
または縦効果により屈曲振動を生じさせ、片持ち梁構造
の先端部にプラスチックや金属などの弾性体プレートを
配置してその振動による変位を増幅させながら送風する
(Prior art) An example of a conventional piezoelectric fan is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-22
It is disclosed in Japanese Patent No. 4500. The piezoelectric fan disclosed in this publication has piezoelectric bodies bonded together to generate bending vibration due to their transverse or vertical effects, and an elastic plate made of plastic or metal placed at the tip of the cantilever structure. Air is blown while amplifying the displacement caused by the vibration.

(発明が解決しようとする問題点) 従来の圧電ファンでは、片持ち梁の支持部を理想的に固
定している必要があるが、実際には、その支持部は通常
の場合ケースと一体となっていて、このケースにボルト
で締め付けたりあるいは接着剤で固定されている。この
ようなケースの質量は有限であり、したがって支持部と
それが取り付けられたケースもまた振動を生じる。この
ような振動は、圧電ファンを取りつけた機器に伝播して
悪影響を及ぼすだけでなく、その支持部が振動すること
により、弾性体プレート先端の振幅が減少して風量や風
速が減少する。したがって、従来の片持ち梁タイプの圧
電ファンは効率があまりよ(なかった。
(Problem to be Solved by the Invention) In conventional piezoelectric fans, the supporting portion of the cantilever beam must be ideally fixed, but in reality, the supporting portion is usually integral with the case. It is fixed to the case with bolts or adhesive. The mass of such a case is finite and therefore the support and the case to which it is attached also generate vibrations. Such vibrations not only propagate and adversely affect the equipment to which the piezoelectric fan is attached, but also cause the support portion to vibrate, thereby reducing the amplitude of the tip of the elastic plate and reducing the air volume and wind speed. Therefore, conventional cantilever type piezoelectric fans are not very efficient.

それゆえに、この発明の主たる目的は、より効率のよい
圧電ファンを提供することである。
Therefore, the main objective of this invention is to provide a more efficient piezoelectric fan.

(問題点を解決するための手段) この発明は、簡単に言えば、音叉型基体の少なくとも1
辺に基本対称屈曲モードで振動する圧電振動子を取りつ
け、その音叉型基体の2つの辺の先端に形成した弾性体
プレー1−を音叉型基体とともに基本対称屈曲モードで
共振させた、圧電ファンである。
(Means for Solving the Problems) Simply put, the present invention provides at least one of the tuning fork type bases.
This is a piezoelectric fan in which a piezoelectric vibrator that vibrates in a fundamentally symmetrical bending mode is attached to a side, and elastic plates 1- formed at the tips of two sides of the tuning fork-shaped base resonate in a fundamentally symmetrical bending mode together with the tuning fork-shaped base. be.

(作用) 圧電振動子が駆動され、基本対称屈曲振動を生じる。こ
の圧電振動子の振動がそれが一体的に取りつけられた音
叉型基体のそれぞれの辺ならびにその音叉型基体の先端
に形成された弾性体プレートに伝播し、その弾性体プレ
ートが音叉型基体とともに基本対称屈曲振動で共振し、
弾性体プレートの自由端から送風される。
(Function) The piezoelectric vibrator is driven to produce basic symmetrical bending vibration. The vibration of this piezoelectric vibrator is propagated to each side of the tuning fork-shaped base to which it is integrally attached, as well as to the elastic plate formed at the tip of the tuning fork-shaped base, and the elastic plate is basically attached to the tuning fork-shaped base together with the elastic plate. Resonates with symmetrical bending vibration,
Air is blown from the free end of the elastic plate.

(発明の効果) この発明によれば、効率のよい圧電ファンが得られる。(Effect of the invention) According to this invention, an efficient piezoelectric fan can be obtained.

すなわち、音叉型基体における基本対称屈曲振動では、
自由振動でノードがその折り曲げられたほぼ中点となり
、したがって、その部分を支持するようにすれば、その
支持部からの振動の洩れなどが生じない。したがって、
質量が大きくかつ強固な支持部が不要となり、従来の片
持ち梁構造の圧電ファンに比べて、より一層小型かつ軽
量化が期待できる。また、音叉型基体の先端に形成され
た弾性体プレートが、対称に振動するので、片持ち梁構
造の圧電ファンに比べて、風量および風速とも飛躍的に
増大する。さらに、振動のもれが生じないので、それが
取りつけられるたとえばコンピュータのような他の機器
への悪影響が生じない。
In other words, in the basic symmetrical bending vibration in a tuning fork type substrate,
Free vibration causes the node to be at approximately the midpoint of the bend, so if that part is supported, vibrations will not leak from the support. therefore,
It eliminates the need for a large and strong support, and can be expected to be smaller and lighter than conventional piezoelectric fans with a cantilever structure. Further, since the elastic plate formed at the tip of the tuning fork-shaped base body vibrates symmetrically, both the air volume and the air speed are dramatically increased compared to a piezoelectric fan having a cantilever structure. Furthermore, since there is no vibration leakage, there is no adverse effect on other equipment, such as a computer, to which it is attached.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.

(実施例) 第1図はこの発明の一実施例を示す図解図である。圧電
ファン10は、音叉型基体12を含む。
(Embodiment) FIG. 1 is an illustrative diagram showing an embodiment of the present invention. Piezoelectric fan 10 includes a tuning fork-shaped base 12 .

この音叉型基体12は、たとえばエリンバのような恒弾
性材料からなり、2つの辺12aおよび12bを有する
。この音叉型基体12の折り曲げられた中点12cある
いはその近傍が、支持部14によって支持される。この
支持部14がたとえばケース(図示せず)に固着されて
いる。
This tuning fork type base 12 is made of a constant elastic material such as Erinba, and has two sides 12a and 12b. The bent midpoint 12c of the tuning fork-shaped base 12 or its vicinity is supported by the support portion 14. This support portion 14 is fixed to, for example, a case (not shown).

音叉型基体12の一辺12aには、その基体を挟んで一
対の圧電素子16aおよび18aが取りつけられる。こ
の圧電素子14aおよび16aは、たとえばジルコン酸
チタン酸鉛(PZT)などの圧電セラミックからなり、
それぞれの両生面には、たとえばAg、NiあるいはA
βなどからなる電極が、たとえば印刷、めっきもしくは
蒸着などの方法で形成される。このようにして、音叉型
基体の1辺12aと一対の圧電素子16aおよび18a
とによって、バイモルフ振動子が形成される。
A pair of piezoelectric elements 16a and 18a are attached to one side 12a of the tuning fork-shaped base 12 with the base sandwiched therebetween. The piezoelectric elements 14a and 16a are made of piezoelectric ceramic such as lead zirconate titanate (PZT),
Each amphibious surface has, for example, Ag, Ni or A.
An electrode made of β or the like is formed by, for example, printing, plating, or vapor deposition. In this way, one side 12a of the tuning fork type base and the pair of piezoelectric elements 16a and 18a
A bimorph oscillator is formed.

音叉型基体12の他の1辺12bも一対の圧電素子16
bおよび18bとともに、バイモルフ振動子を形成する
。このようなバイモルフ振動子は、この実施例では、屈
曲振動を生じる。
The other side 12b of the tuning fork type base 12 also has a pair of piezoelectric elements 16.
Together with b and 18b, it forms a bimorph oscillator. Such a bimorph oscillator produces bending vibration in this embodiment.

音叉型基体12の2つの辺12aおよび12bのそれぞ
れの先端には、たとえばプラスチックやガラスエポキシ
板のような弾性を有する樹脂で形成される弾性体プレー
ト20aおよび20bが取り付けられる。そして、辺1
2aおよび12bと弾性体プレート20aおよび20b
とは、一体として基本対称屈曲モードで共振する。そし
て、これら弾性体プレート20aおよび20bのそれぞ
れの厚み1幅および長さなどの寸法を調整することによ
り、たわみ量やたわみ角度を変えることができ、これら
を制御して風速最大となる寸法、形状に設定される。
Elastic plates 20a and 20b made of elastic resin such as plastic or glass epoxy plates are attached to the ends of each of the two sides 12a and 12b of the tuning fork-shaped base 12. And side 1
2a and 12b and elastic plates 20a and 20b
and resonate in the fundamental symmetrical bending mode as a unit. By adjusting the dimensions such as the thickness, width, and length of each of these elastic plates 20a and 20b, the amount of deflection and angle of deflection can be changed, and by controlling these, the dimensions and shape that maximize the wind speed can be adjusted. is set to

バイモルフ振動子を構成する圧電素子16aおよび18
aならびに16bおよび18bは、それぞれ、この第1
図に示す矢印方向に分極されている。圧電素子16aの
電極の一方と、圧電素子18aの電極の一方とが音叉型
基体12の1辺12aを介して電気的に接続される。同
じように、圧電素子16bの電極の一方と圧電素子18
bの電極の一方とが、音叉型基体12の辺12bを介し
て電気的に接続される。そして、これら圧電振動子16
a、1.8a、16bおよび18bのそれぞれの他方電
極が、駆動源22に接続される。
Piezoelectric elements 16a and 18 forming a bimorph vibrator
a and 16b and 18b are respectively this first
It is polarized in the direction of the arrow shown in the figure. One of the electrodes of the piezoelectric element 16a and one of the electrodes of the piezoelectric element 18a are electrically connected via one side 12a of the tuning fork-shaped base 12. Similarly, one of the electrodes of the piezoelectric element 16b and the piezoelectric element 18
b is electrically connected to one of the electrodes b through the side 12b of the tuning fork-shaped base 12. These piezoelectric vibrators 16
The other electrode of each of electrodes a, 1.8a, 16b and 18b is connected to the drive source 22.

両端自由な音片の基本対称屈曲モードのノード点は両端
から約0.2241 (/はその音片の長さ)の位置に
あるが、その音片を曲げていくとそのノード点は第2図
に示すように、次第に中点方向に移動することが知られ
ている。そして、このような音叉の基本振動では、その
ノードは第2図に示すように中点の極近傍でその中点を
挟んで2点で生じる。したがって、この2点を第1図に
示すような支持部14で支持すれば、先端における振幅
は従来の片持ち梁構造のものと同等となる。
The node point of the basic symmetric bending mode of a vibrating piece with both ends free is located approximately 0.2241 (/ is the length of the vibrating piece) from both ends, but as the vibrating piece is bent, the node point becomes the second As shown in the figure, it is known that the object gradually moves toward the midpoint. In such fundamental vibration of the tuning fork, the nodes occur at two points in the extreme vicinity of the midpoint and sandwiching the midpoint, as shown in FIG. Therefore, if these two points are supported by the support portion 14 as shown in FIG. 1, the amplitude at the tip will be equivalent to that of the conventional cantilever structure.

この発明は、このような原理を利用するものである。This invention utilizes such a principle.

駆動源22によって音叉型基体12のそれぞれ辺12a
および12bに形成されたバイモルフ振動子が弾性体プ
レート20aおよび20bとともに基本対称屈曲モード
で振動する。そうすると、これら弾性体プレート20a
および20bの先端は、この第1図で点線で示すように
大きな振幅を生じる。そして、その際に風ベクトルは、
第3図に示すようになる。すなわち、それぞれの弾性体
プレー)20aおよび20bで発生される風のベクトル
が前方に揃い、従来の片持ち梁構造のものに比べて、よ
り大きな風量および風速の風が発生されるのである。
Each side 12a of the tuning fork type base 12 is driven by the driving source 22.
The bimorph oscillator formed at 12b and 12b vibrates in a fundamental symmetrical bending mode together with the elastic plates 20a and 20b. Then, these elastic plates 20a
The tip of 20b and 20b produces a large amplitude as shown by the dotted line in FIG. At that time, the wind vector is
The result is as shown in FIG. That is, the vectors of the wind generated by the respective elastic bodies 20a and 20b are aligned in the front, and a larger amount of wind and a larger wind speed are generated than in the conventional cantilever structure.

次に発明者が行った実験の結果に基づいてこのことにつ
いてより詳しく説明する。
Next, this will be explained in more detail based on the results of experiments conducted by the inventor.

第4図は従来の片持ち梁構造の圧電ファンにおける風速
の分布を示し、第5図は第1図実施例における風速の分
布を示す。ただし、第4図に示す例では、片持ち支持部
を完全固定の場合として示している。もし、その固定が
完全でないならば、各点における風速はさらに減じられ
る。
FIG. 4 shows the wind speed distribution in a conventional piezoelectric fan having a cantilever structure, and FIG. 5 shows the wind speed distribution in the embodiment shown in FIG. However, in the example shown in FIG. 4, the cantilever support portion is shown as being completely fixed. If the fixation is not perfect, the wind speed at each point will be further reduced.

この第4図および第5図かられかるように、第1図実施
例のように、音叉型基体12と弾性体プレート20aお
よび20bとを用いた場合には、従来の片持ち梁構造の
圧電ファンに比べて、2倍以上の風速が得られる。これ
は、音叉型の圧電振動子には、対称に振動するモードが
生じ、その基本モードを用いているため、効率が良いか
らである。また、前述のようにノードが第1図の支持部
14のほぼ近傍に存在するため、この支持部14の固定
が完全でなくても、風速の減少は殆どなく、もしその支
持部を自由のものとしても、各点においては95%以上
の風速が得られた。
As can be seen from FIGS. 4 and 5, when the tuning fork-shaped base 12 and the elastic plates 20a and 20b are used as in the embodiment shown in FIG. You can get more than twice the wind speed compared to a fan. This is because the tuning fork type piezoelectric vibrator has a mode that vibrates symmetrically, and its fundamental mode is used, so it is efficient. Furthermore, as mentioned above, since the node exists almost in the vicinity of the support part 14 in FIG. However, wind speeds of 95% or higher were obtained at each point.

さらに、音叉型基体12における振動のノードが安定し
、したがってそのQが高いため駆動効率すなわち印加電
圧に体する弾性体プレート20aおよび20bの振幅お
よびそこから得られる風力が大きい。
Further, since the vibration nodes in the tuning fork type base 12 are stable and therefore have a high Q, the drive efficiency, that is, the amplitude of the elastic plates 20a and 20b that responds to the applied voltage and the wind force obtained therefrom are large.

また、一般に、この種の圧電ファンにおいては周波数の
温度特性あるいは経時変化よりも、風速および風量を重
視した材料を選ぶため、その共振周波数が安定しない。
Furthermore, in general, in this type of piezoelectric fan, materials are selected with emphasis on wind speed and air volume rather than temperature characteristics or changes in frequency over time, so the resonant frequency is not stable.

そのため、従来圧電ファンの駆動源は、自動振または周
波数追尾型他励振の発振回路を用いている。この場合、
この実施例の音叉型圧電ファンのようにQが高くかつ安
定していると、その発振回路における発振が安定し、特
に自励振の発振回路を用いた場合にはその効果が大きい
Therefore, the drive source of conventional piezoelectric fans uses an oscillation circuit of automatic oscillation or frequency tracking type separately excited oscillation. in this case,
When the Q is high and stable as in the tuning fork type piezoelectric fan of this embodiment, the oscillation in the oscillation circuit becomes stable, and this effect is particularly great when a self-oscillation oscillation circuit is used.

第6図はこの発明の他の実施例を示す図解図である。こ
の実施例では、第1図の実施例が音叉型基体12とは異
なる材料の弾性体プレート2oaおよび20bを用いた
のに対し、弾性体プレート20a′および20b′を、
音叉型基体12のそれぞれの辺12aおよび12bの延
長部として形成した。すなわち、第6図実施例では、弾
性体プレート20a′および20b′は、音叉型基体1
2と同じ材料で構成されている。
FIG. 6 is an illustrative view showing another embodiment of the invention. In this embodiment, whereas the embodiment shown in FIG. 1 uses elastic plates 2oa and 20b made of a different material from the tuning fork type base 12, elastic plates 20a' and 20b' are
It was formed as an extension of each side 12a and 12b of the tuning fork type base body 12. That is, in the embodiment shown in FIG. 6, the elastic plates 20a' and 20b'
It is made of the same material as 2.

第7図はこの発明のさらに他の実施例を示す図解図であ
る。この実施例では、音叉型基体12の一方の辺12a
にのみバイモルフ振動子を構成する。すなわち、この第
7図実施例では、第1図における圧電素子16b、18
bが省略されている。
FIG. 7 is an illustrative view showing still another embodiment of the present invention. In this embodiment, one side 12a of the tuning fork type base 12
A bimorph oscillator is constructed only in That is, in this embodiment of FIG. 7, the piezoelectric elements 16b and 18 in FIG.
b is omitted.

このように、音叉型基体12の一方の辺にのみ圧電素子
を取り付けてバイモルフ振動子を構成しても、先に説明
したと同じ効果が得られる。ただし、印加電圧に対する
振幅や風量は、振動源が1つしかないために、それに応
じて当然減少する。
In this way, even if a piezoelectric element is attached to only one side of the tuning fork type base 12 to form a bimorph vibrator, the same effect as described above can be obtained. However, since there is only one vibration source, the amplitude and air volume relative to the applied voltage naturally decrease accordingly.

第8図〜第11図は、それぞれ、この発明の異なる実施
例を示す図解図である。第8図および第9図の例は、そ
れぞれ、駆動源22の接続が第1図実施例とは異なる。
FIGS. 8 to 11 are illustrative views showing different embodiments of the present invention. The examples shown in FIGS. 8 and 9 differ from the embodiment shown in FIG. 1 in the connection of the drive source 22, respectively.

第10図および第11図の例は、それぞれ、音叉型基体
12の折り曲げ構造が第1図実施例とは異なる。
The examples shown in FIGS. 10 and 11 are different from the embodiment shown in FIG. 1 in the bending structure of the tuning fork-shaped base 12, respectively.

なお、上述の各実施例においては、音叉基体12は1枚
の金属板を折り曲げて構成されているが、各辺12aお
よび12bと基部(折り曲げ部)を別体で構成するよう
にしてもよい。
In each of the above embodiments, the tuning fork base 12 is constructed by bending a single metal plate, but the sides 12a and 12b and the base (bent portion) may be constructed separately. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を示す図解図である。 第2図は音叉型音片の場合のノード点の移行を説明する
図解図である。 第3図は第1図実施例の風向きベクトルを示す図解図で
ある。 第4図は従来の片持ち梁構造の圧電ファンにおける風速
の分布を示す図である。 第5図は第1図実施例における風速の分布を示す図であ
る。 第6図〜第11図は、それぞれ、この発明の異なる実施
例を示す図解図である。 図において、10は圧電ファン、12は音叉型基体、1
2a、12bは辺、14は支持部、16a、  16 
b、  18 a、  18 bは圧電素子、20a。 20bは弾性体プレート、22は駆動源を示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 山 1) 褒 人 (ほか1名) 第 2 71 第 31S1 0.2ff!/s Zら 5 図 H;7  シ1 第 91,2 −10:=+
FIG. 1 is an illustrative view showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an illustrative diagram illustrating the transition of node points in the case of a tuning fork type sound piece. FIG. 3 is an illustrative diagram showing the wind direction vector of the embodiment shown in FIG. FIG. 4 is a diagram showing the wind speed distribution in a conventional piezoelectric fan having a cantilever structure. FIG. 5 is a diagram showing the wind speed distribution in the embodiment shown in FIG. FIGS. 6 to 11 are illustrative views showing different embodiments of the present invention. In the figure, 10 is a piezoelectric fan, 12 is a tuning fork type base, 1
2a, 12b are sides, 14 is a support part, 16a, 16
b, 18a, 18b are piezoelectric elements, 20a. 20b is an elastic plate, and 22 is a driving source. Patent Applicant Murata Manufacturing Co., Ltd. Agent Patent Attorney Yama 1) Honorable Person (and 1 other person) No. 2 71 No. 31S1 0.2ff! /s Z et al. 5 Figure H; 7 C1 No. 91, 2 -10:=+

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 2つの辺の先端が同じ方向に並ぶように折り曲げら
れた音叉型基体、 前記音叉型基体の少なくとも1辺に設けられ、基本対称
屈曲モードの振動を生じる圧電振動子、および 前記音叉型基体の前記2つの辺のそれぞれの先端から延
びて形成されかつ前記音叉型基体とともに基本対称屈曲
モードで共振する弾性体プレートを備える、圧電ファン
。 2 前記弾性体プレートは前記音叉型基体と同じ材料で
形成される、特許請求の範囲第1項記載の圧電ファン。 3 前記弾性体プレートは前記音叉型基体と異なる材料
で形成される、特許請求の範囲第1項記載の圧電ファン
。 4 前記音叉型基体の折り曲げられたほぼ中点を支持す
るための支持部を備える、特許請求の範囲第1項ないし
第3項のいずれかに記載の圧電ファン。
[Scope of Claims] 1. A tuning fork-shaped base bent so that the tips of two sides are aligned in the same direction; a piezoelectric vibrator that is provided on at least one side of the tuning fork-shaped base and generates vibration in a fundamental symmetrical bending mode; and a piezoelectric fan, comprising an elastic plate extending from the tip of each of the two sides of the tuning fork type base and resonating with the tuning fork type base in a fundamentally symmetrical bending mode. 2. The piezoelectric fan according to claim 1, wherein the elastic plate is made of the same material as the tuning fork-shaped base. 3. The piezoelectric fan according to claim 1, wherein the elastic plate is made of a material different from that of the tuning fork-shaped base. 4. The piezoelectric fan according to any one of claims 1 to 3, comprising a support portion for supporting a substantially midpoint of the bending of the tuning fork-shaped base.
JP19681385A 1985-09-04 1985-09-04 Piezoelectric fan Expired - Lifetime JPH066959B2 (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103104526A (en) * 2013-01-31 2013-05-15 新生源企业有限公司 Structure of piezoelectric fan for heat dissipation and method thereof
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