JPS6251737U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6251737U JPS6251737U JP14221485U JP14221485U JPS6251737U JP S6251737 U JPS6251737 U JP S6251737U JP 14221485 U JP14221485 U JP 14221485U JP 14221485 U JP14221485 U JP 14221485U JP S6251737 U JPS6251737 U JP S6251737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- susceptor
- counterbore
- transferred
- allow
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図ａは本考案のウエーハサセプタの斜視図
を、ｂは座ぐり部の拡大図を、第２図は第１図の
Ａ―Ａ′線を通る拡大断面図を、第３図は従来の
ウエーハサセプタの斜視図を示す。 １……サセプタ、２……座ぐり、３……ウエー
ハ、４……エツジ、５……溝、６……真空チヤツ
ク。
を、ｂは座ぐり部の拡大図を、第２図は第１図の
Ａ―Ａ′線を通る拡大断面図を、第３図は従来の
ウエーハサセプタの斜視図を示す。 １……サセプタ、２……座ぐり、３……ウエー
ハ、４……エツジ、５……溝、６……真空チヤツ
ク。
Claims (1)
- 多角柱体の各側面を構成するウエーハサセプタ
において、該サセプタの座ぐりから側面の垂直エ
ツジにいたり、ウエーハを直立のまま移送し得る
溝を水平方向に対し傾斜して設けてなるウエーハ
サセプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14221485U JPS6251737U (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14221485U JPS6251737U (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251737U true JPS6251737U (ja) | 1987-03-31 |
Family
ID=31050726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14221485U Pending JPS6251737U (ja) | 1985-09-18 | 1985-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6251737U (ja) |
-
1985
- 1985-09-18 JP JP14221485U patent/JPS6251737U/ja active Pending