JPS6247130U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6247130U JPS6247130U JP13960285U JP13960285U JPS6247130U JP S6247130 U JPS6247130 U JP S6247130U JP 13960285 U JP13960285 U JP 13960285U JP 13960285 U JP13960285 U JP 13960285U JP S6247130 U JPS6247130 U JP S6247130U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rope
- winding drum
- wound around
- conveying
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Belt Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるウエハ搬送
装置の正面図、第２図は同じく平面図である。 １……ヒータ、２……ロープ、４ａ……巻付け
ドラム、４ｂ……巻取りドラム、５ａ，５ｂ……
モータ。なお、図中同一符号は同一又は相当部分
を示す。
装置の正面図、第２図は同じく平面図である。 １……ヒータ、２……ロープ、４ａ……巻付け
ドラム、４ｂ……巻取りドラム、５ａ，５ｂ……
モータ。なお、図中同一符号は同一又は相当部分
を示す。
Claims (1)
- ヒータ上部をウエハをロープ搬送する搬送装置
において、上記ロープの一端は巻付けドラムに多
数巻回してあり、ロープの他端は巻取りドラムに
巻取り可能にしたことを特徴とするヒータ部のウ
エハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13960285U JPS6247130U (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13960285U JPS6247130U (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6247130U true JPS6247130U (ja) | 1987-03-23 |
Family
ID=31045661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13960285U Pending JPS6247130U (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6247130U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0371506U (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-19 |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP13960285U patent/JPS6247130U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0371506U (ja) * | 1989-11-15 | 1991-07-19 |