JPS6245832U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6245832U JPS6245832U JP13642085U JP13642085U JPS6245832U JP S6245832 U JPS6245832 U JP S6245832U JP 13642085 U JP13642085 U JP 13642085U JP 13642085 U JP13642085 U JP 13642085U JP S6245832 U JPS6245832 U JP S6245832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- racks
- block
- chucks
- chuck mounting
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は第１図のＡ―Ａ断面図、第３図は従来のチヤ
ツクを示す構成図である。 １……ブロツク、２……直線移動軸受ユニツト
、３……直線移動軸受ユニツト、４……チヤツク
取付けブロツク、５……チヤツク取付けブロツク
、６……ラツク、７……ラツク、８……ピニオン
、９……ベアリング、１０……固定シヤフト、１
１……スペーサ、１２……シヤフト、１３……チ
ヤツクブロツク、１４……チヤツクブロツク、１
５……樹脂チヤツク、１６……樹脂チヤツク、１
７……バネ、１８……サイドブロツク、１９……
サイドブロツク、２０……ブロツク、２１……固
定シヤフト、２２……シリンダ、２３……スピー
ドコントロール、２４……シリンダドツグ、２５
……センサ、２６……センサ固定板、２７……セ
ンサドツグ。
図は第１図のＡ―Ａ断面図、第３図は従来のチヤ
ツクを示す構成図である。 １……ブロツク、２……直線移動軸受ユニツト
、３……直線移動軸受ユニツト、４……チヤツク
取付けブロツク、５……チヤツク取付けブロツク
、６……ラツク、７……ラツク、８……ピニオン
、９……ベアリング、１０……固定シヤフト、１
１……スペーサ、１２……シヤフト、１３……チ
ヤツクブロツク、１４……チヤツクブロツク、１
５……樹脂チヤツク、１６……樹脂チヤツク、１
７……バネ、１８……サイドブロツク、１９……
サイドブロツク、２０……ブロツク、２１……固
定シヤフト、２２……シリンダ、２３……スピー
ドコントロール、２４……シリンダドツグ、２５
……センサ、２６……センサ固定板、２７……セ
ンサドツグ。
Claims (1)
- ウエハ径と同一の円弧でかつ側面にＶ溝を有す
る２個のチヤツクを一定間隔に対向させて配置し
、両チヤツクを直線移動軸受ユニツトにチヤツク
ブロツクとチヤツク取付ブロツクとを介してそれ
連結し、両チヤツク取付けブロツクにラツクを平
行に保持してそれぞれ設置し、両チヤツク取付け
ブロツクの中間位置にピニオンを前記ラツクにそ
れぞれ噛合させて配設し、前記一方のラツクにシ
リンダを連結したことを特徴とするウエハのチヤ
ツク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13642085U JPS6245832U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13642085U JPS6245832U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245832U true JPS6245832U (ja) | 1987-03-19 |
Family
ID=31039514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13642085U Pending JPS6245832U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6245832U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005021992A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Honda Motor Co Ltd | リングの投入装置 |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP13642085U patent/JPS6245832U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005021992A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Honda Motor Co Ltd | リングの投入装置 |