JPS6244064U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6244064U JPS6244064U JP13308485U JP13308485U JPS6244064U JP S6244064 U JPS6244064 U JP S6244064U JP 13308485 U JP13308485 U JP 13308485U JP 13308485 U JP13308485 U JP 13308485U JP S6244064 U JPS6244064 U JP S6244064U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- metal
- vacuum vessel
- material supply
- holding means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の好適一実施例を示す縦断面図
、第２図は同横断面図、第３図は第１図中−
線矢視拡大図、第４図は幕料金属を示す斜視図で
ある。 尚、図中、１は金属蒸発炉、４は真空容器、５
は原料供給装置、６は原料供給用真空容器、７は
通路、８は開閉弁、９は原料保持手段、１０は原
料金属押出手段、２３は原料金属である。
、第２図は同横断面図、第３図は第１図中−
線矢視拡大図、第４図は幕料金属を示す斜視図で
ある。 尚、図中、１は金属蒸発炉、４は真空容器、５
は原料供給装置、６は原料供給用真空容器、７は
通路、８は開閉弁、９は原料保持手段、１０は原
料金属押出手段、２３は原料金属である。
Claims (1)
- 真空容器内に設けた金属蒸発炉内へ原料金属を
供給する原料供給装置において、上記真空容器か
ら分離されて設けられると共に真空維持されて原
料金属を貯留するための原料供給用真空容器と、
該原料供給用真空容器から上記真空容器内に連通
された通路と、該通路を開閉する開閉弁と、該原
料供給用真空容器から上記通路を介して上記真空
容器内へ出没自在に設けられ、実質的に原料金属
を保持する原料保持手段と、該原料保持手段に設
けられ、これが上記真空容器内と延出された時に
上記原料金属を押出して上記金属蒸発炉内へ供給
する原料金属押出手段とを備えたことを特徴とす
る金属蒸発炉への原料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13308485U JPS6244064U (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13308485U JPS6244064U (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244064U true JPS6244064U (ja) | 1987-03-17 |
Family
ID=31033072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13308485U Pending JPS6244064U (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244064U (ja) |
-
1985
- 1985-09-02 JP JP13308485U patent/JPS6244064U/ja active Pending