JPS6232540U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6232540U JPS6232540U JP12350185U JP12350185U JPS6232540U JP S6232540 U JPS6232540 U JP S6232540U JP 12350185 U JP12350185 U JP 12350185U JP 12350185 U JP12350185 U JP 12350185U JP S6232540 U JPS6232540 U JP S6232540U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- notch
- photoelectric switch
- wafer holder
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Description
第１図および第２図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は一部切欠して示す正面図、第２
図は要部を示す平面図、第３図は本発明の他の実
施例を示す要部の平面図、第４図〜第６図はそれ
ぞれ異なる従来例を一部切欠して示す正面図であ
る。 ２１……ウエハ保持部、２２……ウエハ、２８
……切欠き、３１……光電スイツチ、３１ａ……
投光部、３１ｂ……受光部、３３……切欠き。
もので、第１図は一部切欠して示す正面図、第２
図は要部を示す平面図、第３図は本発明の他の実
施例を示す要部の平面図、第４図〜第６図はそれ
ぞれ異なる従来例を一部切欠して示す正面図であ
る。 ２１……ウエハ保持部、２２……ウエハ、２８
……切欠き、３１……光電スイツチ、３１ａ……
投光部、３１ｂ……受光部、３３……切欠き。
Claims (1)
- ウエハを保持するウエハ保持部にウエハが保持
されているか否かを光電スイツチによつて検出す
るようにしたものにおいて、上記ウエハ保持部の
側面部に切欠きを設け、この切欠きに上記光電ス
イツチの投光部および受光部を対向させたことを
特徴とするウエハの有無検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12350185U JPS6232540U (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12350185U JPS6232540U (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232540U true JPS6232540U (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=31014662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12350185U Pending JPS6232540U (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232540U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0682276U (ja) * | 1993-05-11 | 1994-11-25 | 英夫 白▲籏▼ | 室内装飾生地の張り付け用ヘラ |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP12350185U patent/JPS6232540U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0682276U (ja) * | 1993-05-11 | 1994-11-25 | 英夫 白▲籏▼ | 室内装飾生地の張り付け用ヘラ |