JPS62275382A - Magnetic bubble memory element - Google Patents

Magnetic bubble memory element

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Publication number
JPS62275382A
JPS62275382A JP61117203A JP11720386A JPS62275382A JP S62275382 A JPS62275382 A JP S62275382A JP 61117203 A JP61117203 A JP 61117203A JP 11720386 A JP11720386 A JP 11720386A JP S62275382 A JPS62275382 A JP S62275382A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
permalloy
ion implantation
magnetic
transfer path
Prior art date
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Pending
Application number
JP61117203A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Hiroshima
実 広島
Katsutoshi Saito
斉藤 勝俊
Yoshiyuki Tsukizaki
義幸 月崎
Shinzo Matsumoto
信三 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP61117203A priority Critical patent/JPS62275382A/en
Publication of JPS62275382A publication Critical patent/JPS62275382A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve the stable working characteristics of a magnetic bubble memory element by adding a 'Permalloy(R)' pattern to an ion implantation transfer path to partly improve a magnetic bubble transfer path which limits the working characteristics of the memory element. CONSTITUTION:An approximately T-shaped 'Permalloy(R)' pattern PT1 is provided between ion implantation transfer paths IP at an inner corner part CI of an ion implantation pattern area IPT. When magnetic bubbles are transferred to the part IC, a magnetic pole is formed on the pattern PT1 since this pattern PT1 is formed at the part CI. Thus the magnetic bubbles are affected by said magnetic pole and transferred smoothly to a large pattern PT.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気バブルメモリ素子に係わ9、特にイオン打
ち込み転送路およびパーマロイ転送路の2s類の磁気バ
ブル転送路を同一素子内に設けた複合型の磁気パズルメ
モリ素子に関するものである。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic bubble memory element9, and particularly relates to a magnetic bubble transfer path of the 2S class such as an ion implantation transfer path and a permalloy transfer path. The present invention relates to a composite magnetic puzzle memory element in which the elements are provided in the same element.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

磁気バブルメモリ素子の転送路には、パーマロイ薄膜パ
ターンをパターン面内で回転する回転磁界で磁化して磁
気バブルを転送するパーマロイ転送路と、イオン打ち込
みにより形成したイオン打ち込み転送パターンを面内で
回転する回転磁界で磁化してイオン打ち込みイオン打ち
込みパターンの境界に生じるチャージドウオールによシ
磁気バブルを転送するイオン打ち込み転送路とが知られ
ている(米国特許第3.618,054号公報)。
The transfer path of the magnetic bubble memory element includes a permalloy transfer path that transfers magnetic bubbles by magnetizing a permalloy thin film pattern with a rotating magnetic field that rotates within the pattern plane, and a permalloy transfer path that transfers magnetic bubbles by magnetizing a permalloy thin film pattern with a rotating magnetic field that rotates within the pattern plane. An ion implantation transfer path is known in which magnetic bubbles are transferred by a charged wall that is magnetized by a rotating magnetic field and generated at the boundary of an ion implantation pattern (US Pat. No. 3,618,054).

パーマロイ転送路は、磁気バブル転送の逆進を防止する
ために磁気パズル転送パターン相互間にバブル径の約2
73以下の間隙が必要なため、素子の高密度化にはフォ
ト+7ソグラフイ技術によるパターン形成の制約によシ
限界がある。
The permalloy transfer path has approximately 2 bubble diameters between magnetic puzzle transfer patterns to prevent backward movement of magnetic bubble transfer.
Since a gap of 73 mm or less is required, there is a limit to increasing the density of the device due to restrictions on pattern formation using photo+7 lithography technology.

イオン打ち込み転送路では、イオン打ち込み部と非イオ
ン打ち込み部との境界に生じるチャージドウオールを利
用してバブルを転送させるためにバブルの逆進を防止す
る間隙が不要となシ、約1μm以下の極めて微小なバブ
ルを転送できる。
In the ion implantation transfer path, a charged wall generated at the boundary between the ion implantation area and the non-ion implantation area is used to transfer the bubbles, so there is no need for a gap to prevent the bubbles from moving backwards. Can transmit tiny bubbles.

したがって情報を記憶保持するマイナループ部に高密度
化に適するイオン打ち込み伝送路を採用し、情報の入出
力部にはこれに適しているパーマロイ転送路を採用する
、いわゆる281類の磁気パズル転送路を併用する複合
型磁気バブルメモリ素子の構成をとシ、情報の高密度、
高速反化を実現する方式として提案されている(特開昭
57−186287号公報〕。
Therefore, we adopted an ion implantation transmission line suitable for high density in the minor loop section that stores and holds information, and a permalloy transmission line suitable for this in the information input/output section, which is a so-called 281 type magnetic puzzle transfer path. The structure of the composite magnetic bubble memory element used in conjunction with the
This method has been proposed as a method for realizing high-speed inversion (Japanese Patent Application Laid-Open No. 186287/1987).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、このように構成される複合型磁気バブル
メモリ素子は、磁気バブル転送路に各種の機能駆動部が
結合されてあシ、これらの機能駆動部によシメそり動作
を行なった場合、これらのパーマロイ転送路、イオン打
ち込み転送路に結合される機能駆動部が安定性良く動作
するいわゆる動作特性が制限されるという問題があった
However, in the composite magnetic bubble memory element configured in this way, various functional drive units are coupled to the magnetic bubble transfer path, and when the shaving operation is performed by these function drive units, these functions are There has been a problem in that the so-called operational characteristics of the functional drive unit coupled to the permalloy transfer path and the ion implantation transfer path, which allow stable operation, are limited.

本発明の目的は、動作特性を制限させる磁気バブル転送
路の一部を改良し、安定動作特性を向上させることがで
きる磁気パズルメモリ素子を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic puzzle memory device that can improve stable operation characteristics by improving a part of the magnetic bubble transfer path that limits operation characteristics.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明の一実施例によれば、イオン打ち込み転送路にパ
ーマロイパターンを付加することによシ、イオン打ち込
み転送路の動作特性を向上させた磁気バブルメモリ素子
が提供される。
According to one embodiment of the present invention, a magnetic bubble memory device is provided in which the operating characteristics of the ion implantation transfer path are improved by adding a permalloy pattern to the ion implantation transfer path.

本発明の他の実施例によれば、パーマロイ転送路にイオ
ン打ち込みパターンを付加することにより、パーマロイ
転送路の動作特性を向上させ九磁気バブルメモリ素子が
提供される。
According to another embodiment of the present invention, an ion implantation pattern is added to the permalloy transfer path to improve the operating characteristics of the permalloy transfer path, thereby providing a magnetic bubble memory device.

〔作用〕[Effect]

本発明においては、イオン打ち込み転送路ではパーマロ
イパターンによシ磁気バブルの転送動作が補助され、パ
ーマロイ転送路ではイオン打ち込みパターンによシ磁気
バブルの転送動作が補助される。
In the present invention, the transfer operation of magnetic bubbles is assisted by the permalloy pattern in the ion implantation transfer path, and the transfer operation of the magnetic bubbles is assisted by the ion implantation pattern in the permalloy transfer path.

〔実施例〕〔Example〕

次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail using the drawings.

第4図は本発明による磁気バブルメモIJIE子ヲ説明
するための拡大平面図である。同図において、mは情報
を貯えるマイナループ、RMLは読み出し情報を転送す
るリードメジャーライン、WNLは省き込み情報を転送
するライトメジャーラインである。また、Dは磁気バブ
ルを電気信号に変換するバブル検出器、Gは磁気バブル
を発生するバブル発生器、Rはマイナループmの情報を
リードメジャラインRMLに複写または移すレプリケー
トゲートである。ではライトメジャーライy WMLの
情報をマイナループmへ移すトランスファゲートまたは
そのトランスファと同時にマイナループmの情報をメジ
ャラインWMLに掃き出す、いわゆる両者の間で情報の
交換を行うスワップゲートである。1だ、これらの外周
を囲んでいるGRは外周からの磁気バブルの侵入を防止
するガードレール、BPはこれらの転送回路を外部回路
と接続するだめのポンディングパッド、MPはモニタパ
ターンである。また、レズリケートグートR,スワツプ
ゲー)Tおよびバブル発生器Gはパーマロイの転送パタ
ーンと特殊な関係で配置された別層の導体に一定方向の
電流を流すか否かによって制御され、図中、その導体部
分は太い実線で示してお9、細い実線はパーマロイの転
送パターンを示している。
FIG. 4 is an enlarged plan view for explaining the magnetic bubble memo IJIE according to the present invention. In the figure, m is a minor loop that stores information, RML is a read major line that transfers read information, and WNL is a light major line that transfers omitted information. Further, D is a bubble detector that converts magnetic bubbles into electrical signals, G is a bubble generator that generates magnetic bubbles, and R is a replicate gate that copies or transfers information of the minor loop m to the read measure line RML. This is a transfer gate that transfers the information of the light major line y WML to the minor loop m, or a swap gate that exchanges information between the two, which simultaneously sweeps the information of the minor loop m to the major line WML at the same time as the transfer. 1. GR surrounding these outer peripheries is a guardrail to prevent magnetic bubbles from entering from the outer periphery, BP is a bonding pad for connecting these transfer circuits with external circuits, and MP is a monitor pattern. In addition, the resilicate gut R, swap game) T and bubble generator G are controlled by whether or not a current is passed in a certain direction through a conductor in a separate layer arranged in a special relationship with the permalloy transfer pattern. The conductor portion is shown by a thick solid line 9, and the thin solid line shows the permalloy transfer pattern.

また、同図において、マイナループmの破線で示される
領域内がイオン打ち込み転送路で形成され、その外側の
領域がパーマロイ転送路で形成されている。
Further, in the same figure, the area within the minor loop m indicated by the broken line is formed by an ion implantation transfer path, and the area outside thereof is formed by a permalloy transfer path.

第5図は、第4図で説明したマイナループmとライトメ
シャラインWMLとの接続部を示す要部拡大平面図であ
り、第4図と同一符号は同一部分を示している。同図に
おいて、マイナループmは、バブル磁性材料の表面に部
分的にイオンを打ち込んだイオン打ち込み領域ION内
の非イオン打ち込み領域で形成されるイオン打ち込みパ
ターンエPTからなるイオン打ち込み転送路IPで形成
されその外の領域の転送部はパーマロイパターンPTか
らなるパーマロイ転送部Pで形成されている。
FIG. 5 is an enlarged plan view of a main part showing the connecting portion between the minor loop m and the light mesh line WML explained in FIG. 4, and the same reference numerals as in FIG. 4 indicate the same parts. In the figure, a minor loop m is formed by an ion implantation transfer path IP consisting of an ion implantation pattern EPT formed in a non-ion implantation region within an ion implantation region ION in which ions are partially implanted into the surface of the bubble magnetic material. The transfer portion in the other area is formed of a permalloy transfer portion P made of a permalloy pattern PT.

そして、このパーマロイ転送部Pの終端は、前述したス
ワップゲートTを構成する非磁性体からなるコンダクタ
パターンCONを介してライトメシャラインWMLに結
合され、このコンダクタパターンCONに所定のパルス
電流を流すことによシ、マイナループm内の古いバブル
情報と新しいバブル情報とを交換する動作が行なわれる
The terminal end of this permalloy transfer section P is coupled to the write mesh line WML via a conductor pattern CON made of a non-magnetic material constituting the swap gate T described above, and a predetermined pulse current is passed through this conductor pattern CON. Finally, an operation is performed to exchange old bubble information and new bubble information in the minor loop m.

第6図は第4図で説明したマイナループmとレプリケー
トゲートRとの接続部を示す要部拡大平面図であシ、第
4図と同一符号は同一部分を示している。同図において
、マイナループmは、前述と同様にイオン打ち込み転送
路IPで形成され、その外側の領域の転送部はパーマロ
イパターンPTからなるパーマロイ転送部Pで形成され
ている。
FIG. 6 is an enlarged plan view of a main part showing the connecting portion between the minor loop m and the replicate gate R explained in FIG. 4, and the same reference numerals as in FIG. 4 indicate the same parts. In the figure, the minor loop m is formed by the ion-implanted transfer path IP as described above, and the transfer portion in the outer region is formed by the permalloy transfer portion P consisting of the permalloy pattern PT.

そして、このパーマロイ転送部Pの先端は前述したレプ
リケートゲー)Rを構成する非磁性体からなる=ンダク
タパターンCONを介してリードメジャラインRMLに
結合され、このコンダクタパターンCONに所定のパル
ス電流を流すことにより、マイナループm内の読み出し
バブル情報をリードメジャラインRML上に分割複製す
る動作が行なわれる。
The tip of this permalloy transfer part P is connected to the read measure line RML via a conductor pattern CON made of a non-magnetic material constituting the aforementioned replicate gate R, and a predetermined pulse current is passed through this conductor pattern CON. As a result, the operation of dividing and duplicating the read bubble information in the minor loop m onto the read major line RML is performed.

このような多くの構成要素から磁気バブルメモリ素子を
メモリ動作させた場合、安定に動作する特性を制限する
弱い部分(弱点〕が存在する。
When a magnetic bubble memory device is operated as a memory using such many components, there are weak points (weak points) that limit stable operation characteristics.

したがって本発明による磁気バブルメモリ素子は、第5
図に示すイオン打ち込みパターンIPT領域の自回シコ
ーナ部CIに、第1図にその要部拡大平面図で示すよう
に各イオン打ち込み転送路IP間にほぼ丁字形のパーマ
ロイパfi−yPT1を設は丸ものである。このパーマ
ロイパターンPT1は第5図に示すパーマロイ転送部P
およびライトメシャラインWMLのパターン形成と同時
に同一工程で一括形成される。
Therefore, the magnetic bubble memory element according to the present invention has a fifth
In the self-turning silicon corner CI of the ion implantation pattern IPT region shown in the figure, a roughly T-shaped permaloid permoleuper fi-yPT1 is installed between each ion implantation transfer path IP as shown in the enlarged plan view of the main part in Figure 1. It is something. This permalloy pattern PT1 is a permalloy transfer part P shown in FIG.
and the light mesh line WML are formed simultaneously in the same process.

このような構成によれば、イオン打ち込み転送路IPT
の自回シコーナ部CIに磁気パズルが転送された際、こ
の部分にほぼ丁字形のパーマロイパターンPTIが形成
されているため、このパーマロイパターンPTIに磁極
が形成され、磁気バブルはこの磁極の影響を受けて大型
のパーマロイパターンPTにスムーズに転送されること
になる。
According to such a configuration, the ion implantation transfer path IPT
When the magnetic puzzle is transferred to the self-turning chicoran part CI, since a nearly T-shaped permalloy pattern PTI is formed in this part, a magnetic pole is formed in this permalloy pattern PTI, and the magnetic bubble is not influenced by this magnetic pole. Then, it is smoothly transferred to the large permalloy pattern PT.

第2図は本発明による磁気バブルメモリ素子の他の実施
例を示したものである。同図はag6図に示すマイナル
ープmを構成するイオン打ち込み転送路IPの外回シコ
ーナ部Coの拡大平面図であり、この外回シコーナ部C
Oにはそのイオン打ち込みパターンIPTの内側に、は
ぼ三日月状のパーマロイパターンPT2が形成されてい
る。このパーマロイパターンPT2 も同様に第6図に
示すパーマロイ転送路PおよびレプリケートゲートRの
パターン形成と同時に一括して形成される。
FIG. 2 shows another embodiment of the magnetic bubble memory device according to the present invention. This figure is an enlarged plan view of the outer shear corner Co of the ion implantation transfer path IP that constitutes the minor loop m shown in Fig. ag6.
On the inside of the ion implantation pattern IPT, a crescent-shaped permalloy pattern PT2 is formed. This permalloy pattern PT2 is similarly formed simultaneously with the pattern formation of the permalloy transfer path P and replicate gate R shown in FIG.

このような構成によれば、イオン打ち込みパターンIP
Tの外回シコーナ部COに磁気バブルが転送さnた際、
この部分にほぼ三日月状のパーマロイパターンPT2が
形成されているため、このパーマロイパターンPT2に
磁極が形成され、磁気バブルはこの磁極の影響を受けて
制御され、良好に転送される。
According to such a configuration, the ion implantation pattern IP
When the magnetic bubble is transferred to the outer corner part CO of T,
Since a substantially crescent-shaped permalloy pattern PT2 is formed in this portion, a magnetic pole is formed in this permalloy pattern PT2, and the magnetic bubble is controlled under the influence of this magnetic pole and transferred well.

第3図は本発明による磁気バブルメモリ素子のさらに他
の実施例を示したものである。同図は第4図に示す磁気
バブルメモリ素子のガードレールGRのコーナ部を示す
要部拡大平面図である。同図において、ガードレールG
RはパーマロイパターンPTからなるパーマロイ転送路
Pを3列に配列して磁気パズルメモリ素子外周部からの
余分な磁気パズルの侵入を防止している。本発明ではこ
のガードレールGRの外側外周部にその長さ方向に沿っ
て帯状のイオン打ち込みパターンIPTが形成されてい
る。このイオン打ち込みパターンIPTも第5図、第6
図に示すイオン打ち込みパターンIPTの形成と同時に
一括して形成される。
FIG. 3 shows still another embodiment of the magnetic bubble memory device according to the present invention. This figure is an enlarged plan view of a main part showing a corner part of the guardrail GR of the magnetic bubble memory element shown in FIG. 4. In the same figure, guardrail G
In R, permalloy transfer paths P made of permalloy patterns PT are arranged in three rows to prevent extra magnetic puzzles from entering from the outer periphery of the magnetic puzzle memory element. In the present invention, a band-shaped ion implantation pattern IPT is formed along the length direction on the outer peripheral portion of the guardrail GR. This ion implantation pattern IPT is also shown in Figures 5 and 6.
It is formed simultaneously with the formation of the ion implantation pattern IPT shown in the figure.

このような構成によれば、ガードレールGRの外側に帯
状のイオン打ち込みパターyIPTを設けたことによシ
、外部からの余分な磁気バブルの浸入がさらに阻止され
、ガードレールGRの機能をさらに向上させることがで
きる。
According to this configuration, by providing the band-shaped ion implantation putter yIPT on the outside of the guardrail GR, the infiltration of extra magnetic bubbles from the outside is further prevented, and the function of the guardrail GR is further improved. Can be done.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明によれば、イオン打ち込み転
送路にパーマロイパターンを付加するまたパーマロイ転
送路にイオン打ち込みパターンを付加したことにより、
イオン打ち込み転送路とパーマロイ転送路との弱点が補
完され、安定動作特性が向上し、品質、信頼性の高い磁
気バブルメモリ素子が得られるという極めて優れた効果
が得られる。
As explained above, according to the present invention, by adding the permalloy pattern to the ion implantation transfer path, and by adding the ion implantation pattern to the permalloy transfer path,
The weak points of the ion implantation transfer path and the permalloy transfer path are compensated for, stable operation characteristics are improved, and extremely excellent effects are obtained in that a magnetic bubble memory element with high quality and reliability can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本光明による磁気バブルメモリ素子の一実施例
を示すマイナループコーナ部の要部拡大平面図、第2図
は本発明の他の実施例を示すマイナループコーナ部の要
部拡大平面図、第3図は本発明のさらに他の実施例を示
すガードレール角部の拡大平面図、第4図は本発明によ
る磁気バブルメモリ素子の構成を示す平面図、第5図、
第6図は第4図のマイナループコーナ部を示す要部拡大
平面図である。 m・・−・マイナループ、■ON ・・・・イオン打ち
込み領域、IPT・・・・イオン打ち込みパターン、I
P・・・・イオン打ち込み転送路、PT、PTl  、
P・T2 ・ψ・嗜パーマロイパターン、P・・・e 
ハーマロイ転送路、CI・・−第1図 第4図
FIG. 1 is an enlarged plan view of a main part of a minor loop corner showing an embodiment of the magnetic bubble memory element according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged plan view of a main part of a minor loop corner showing another embodiment of the present invention. 3 is an enlarged plan view of a guardrail corner showing still another embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view showing the configuration of a magnetic bubble memory element according to the present invention, and FIG.
FIG. 6 is an enlarged plan view of the main part showing the minor loop corner part of FIG. 4. m...Minor loop, ■ON...Ion implantation area, IPT...Ion implantation pattern, I
P...Ion implantation transfer path, PT, PTl,
P・T2 ・ψ・Ko permalloy pattern, P...e
Hermalloy transfer path, CI...-Figure 1 Figure 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、磁気バブルの入出力部をパーマロイ転送路で構成し
、該磁気バブルを記憶保持するマイナループ部をイオン
打ち込み転送路で構成し、前記イオン打ち込み転送路の
一部にパーマロイパターンを付加したことを特徴とする
磁気バブルメモリ素子。 2、磁気バブルの入出力部をパーマロイ転送路で構成し
、該磁気バブルを記憶保持するマイナループ部をイオン
打ち込み転送路で構成し、前記パーマロイ転送路の一部
にイオン打ち込みパターンを付加したことを特徴とする
磁気バブルメモリ素子。
[Claims] 1. The input/output section of the magnetic bubble is composed of a permalloy transfer path, the minor loop section for storing and retaining the magnetic bubble is composed of an ion implantation transfer path, and a part of the ion implantation transfer path is made of permalloy. A magnetic bubble memory element characterized by an added pattern. 2. The input/output section of the magnetic bubble is configured with a permalloy transfer path, the minor loop section for storing and retaining the magnetic bubble is configured with an ion implantation transfer path, and an ion implantation pattern is added to a part of the permalloy transfer path. Features a magnetic bubble memory element.
JP61117203A 1986-05-23 1986-05-23 Magnetic bubble memory element Pending JPS62275382A (en)

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