JPS6224983Y2 - - Google Patents

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JPS6224983Y2
JPS6224983Y2 JP16797679U JP16797679U JPS6224983Y2 JP S6224983 Y2 JPS6224983 Y2 JP S6224983Y2 JP 16797679 U JP16797679 U JP 16797679U JP 16797679 U JP16797679 U JP 16797679U JP S6224983 Y2 JPS6224983 Y2 JP S6224983Y2
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piezoelectric element
element plate
piezoelectric
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parallel electrodes
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は圧電振動子に関し、特にたとえば圧
電素子板の屈曲振動モードを利用した圧電振動子
に関する。
[Detailed Description of the Invention] This invention relates to a piezoelectric vibrator, and more particularly to a piezoelectric vibrator that utilizes a bending vibration mode of a piezoelectric element plate.

第1図はこの考案の背景となる従来の屈曲振動
モードを利用した圧電振動子の一例を示す構造斜
視図である。第2図は圧電素子板の分極方向を示
す図である。この第1図に示す圧電振動子1は、
たとえばPZT等のセラミツクからなる長手の圧電
素子板11とこの圧電素子板11の一方主表面に
形成される平行電極14および15と、圧電素子
板11の他方主表面に形成されるかつ前記平行電
極14および15にそれぞれ対向する平行電極す
なわち接地電極12および13を有する。そし
て、平行電極14および15の一方たとえば14
を入力側の電極とし、他方たとえば15を出力側
の電極とし、接地電極12および13を接地す
る。そのようにして、圧電素子板11に屈曲振動
を励振している。このような屈曲振動モードを利
用した圧電振動子については、すでに周知のとこ
ろであり、ここではその詳細な説明は省略する。
FIG. 1 is a structural perspective view showing an example of a conventional piezoelectric vibrator using a bending vibration mode, which is the background of this invention. FIG. 2 is a diagram showing the polarization direction of the piezoelectric element plate. The piezoelectric vibrator 1 shown in FIG.
For example, a longitudinal piezoelectric element plate 11 made of ceramic such as PZT, parallel electrodes 14 and 15 formed on one main surface of the piezoelectric element plate 11, and parallel electrodes 14 and 15 formed on the other main surface of the piezoelectric element plate 11. It has parallel electrodes or ground electrodes 12 and 13 opposite to 14 and 15, respectively. Then, one of the parallel electrodes 14 and 15, for example 14
is used as an electrode on the input side, and 15 is used as an electrode on the output side, and ground electrodes 12 and 13 are grounded. In this way, bending vibration is excited in the piezoelectric element plate 11. Piezoelectric vibrators using such a bending vibration mode are already well known, and detailed explanation thereof will be omitted here.

従来の第1図に示すような圧電振動子は、入力
側の電極14および12の間と、出力側の電極1
5および13の間では、圧電素子板11に、第2
図に示すように同じ方向の分極処理を施してい
る。そして、その周波数特性は、第3図の点線A
で示すようにたとえば57kHzでその減衰量は最少
となつている。この第3図の点線Aからわかるよ
うに、この第1図(第2図)に示す従来のもので
は、低域側においてその減衰度は平坦になり、し
たがつて特に低域側において選択度特性があまり
良くなかつた。
The conventional piezoelectric vibrator as shown in FIG.
5 and 13, the piezoelectric element plate 11 has a second
As shown in the figure, polarization treatment is performed in the same direction. The frequency characteristic is shown by the dotted line A in Figure 3.
As shown in , for example, the amount of attenuation is the minimum at 57kHz. As can be seen from the dotted line A in Fig. 3, in the conventional device shown in Fig. 1 (Fig. 2), the degree of attenuation is flat on the low frequency side, and therefore the selectivity is particularly low on the low frequency side. The characteristics were not very good.

そこで、本件出願人は、先に、このような低域
側の選択度特性を改善する目的で、改良された圧
電振動子を提案した。提案された圧電振動子は、
第4図に示すように、圧電素子板11に、各電極
14および15に関し、個別的に異なる方向に分
極処理を施す。このように、分極方向を違える
と、その周波数特性は、第5図の点線Aで示すよ
うに、低域側に1つの減衰極が形成され、それに
よつて低域側の選択度特性が、第3図の点線Aで
示すものに比べて飛躍的に改善されることとなつ
た。
Therefore, the present applicant previously proposed an improved piezoelectric vibrator for the purpose of improving such selectivity characteristics on the low frequency side. The proposed piezoelectric vibrator is
As shown in FIG. 4, the piezoelectric element plate 11 is polarized in different directions individually for each electrode 14 and 15. As shown in FIG. In this way, when the polarization direction is changed, the frequency characteristic is such that one attenuation pole is formed on the low frequency side, as shown by the dotted line A in Figure 5, and the selectivity characteristic on the low frequency side is thereby changed. This is a dramatic improvement over that shown by dotted line A in FIG.

一方、最近では、ICやLSIの実用化にともな
い、機器の小形化薄形化が促進されている。それ
に応じて、部品の小形化薄形化が要求され、屈曲
振動モードを利用する圧電振動子も例外ではな
い。屈曲振動モードを利用する圧電振動子で、小
形化しようとすれば、当然平行電極14および1
5の間の間隔が狭くなる。一方、電極間容量は、
その電極間間隔に依存するものであり、小形化に
ともなつて電極間間隔が小さくなればなるほど浮
遊容量が大きくなるのである。浮遊容量が大きく
なれば、それは選択度特性に影響を与え、それを
悪くする。したがつて、従来は、そのような振動
子を2個用いて、それによつて必要な選択度特性
を得ることが行われていた。また、電極間容量を
小さくするために、第6図で示すように、平行電
極14および15を細くし、それによつて浮遊容
量の増大かつしたがつて選択度特性の悪化を防止
することが考えられていた。しかしながら、電極
の幅を小さくすればするほど、その加工が難しく
なり、小形化された場合、従来のような電極構造
ではもはやその選択度特性の特性向上は望み得な
いものとなつている。
On the other hand, recently, as ICs and LSIs have become more practical, devices have become smaller and thinner. Accordingly, components are required to be smaller and thinner, and piezoelectric vibrators that utilize a bending vibration mode are no exception. If you try to downsize a piezoelectric vibrator that uses a bending vibration mode, it is natural that the parallel electrodes 14 and 1
The interval between 5 becomes narrower. On the other hand, the interelectrode capacitance is
This depends on the spacing between the electrodes, and as the spacing between the electrodes becomes smaller with miniaturization, the stray capacitance increases. If the stray capacitance becomes large, it will affect the selectivity characteristics and make it worse. Therefore, conventionally, two such oscillators were used to obtain the necessary selectivity characteristics. In addition, in order to reduce the interelectrode capacitance, as shown in FIG. 6, it is considered to make the parallel electrodes 14 and 15 thinner, thereby preventing an increase in stray capacitance and, therefore, a deterioration in selectivity characteristics. It was getting worse. However, the smaller the width of the electrode, the more difficult it is to process it, and when miniaturized, it is no longer possible to improve the selectivity characteristics with the conventional electrode structure.

それゆえに、この考案の主たる目的は、小形化
可能で、しかも所望の選択度特性が得られる、屈
曲振動モードをも利用した圧電振動子を提供する
ことである。
Therefore, the main purpose of this invention is to provide a piezoelectric vibrator that can be miniaturized and can obtain desired selectivity characteristics, and also utilizes a bending vibration mode.

この考案は、要約すれば、平行電極のうちの少
なくとも一方の長さを、圧電素子板の長手方向寸
法より短く選び、それによつて電極間容量を減少
し、選択度特性の改善を図るものである。
In summary, this idea is to select the length of at least one of the parallel electrodes to be shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate, thereby reducing the interelectrode capacitance and improving the selectivity characteristics. be.

この考案の上述の目的およびその他の目的と特
徴は図面を参照して行う以下の詳細な説明から一
層明らかとなろう。
The above objects and other objects and features of the present invention will become clearer from the following detailed description with reference to the drawings.

第7図はこの考案の一実例を示す図解的斜視図
である。この実施例は、特徴的に、平行電極1
4′および15′の寸法は、第1図に示すものに比
べて短くなつていることである。すなわち、第1
図に示す従来のものでは、電極14および15の
長さは、圧電素子板11の長手方向寸法と同じに
形成していた。ところが、この実施例では、電極
14′および15′の寸法を、圧電素子板11の長
手方向寸法よりも短くしている。このようにすれ
ば、電極14′および15′の間の浮遊容量ないし
電極間容量は、第1図に示す従来のものに比べて
減少する。したがつて、その周波数特性について
みても、第2図に示す分極処理の場合では、第3
図の実線Bで示す特性となり、第4図に示す分極
処理のものでは第5図の実線Bで示す特性が得ら
れる。この第3図および第5図からもわかるよう
に、この実施例によれば、選択度特性が、総合的
にみると従来のものに比べて、改善されているこ
とがわかる。たとえば、第2図に示す分極処理の
ものでは、周波数が0〜40kHzの領域でその減衰
量が5ないし7dB程度改善される。また、第4図
に示す分極処理を施したものでは、同様に減衰量
が約15ないし17dB程度改善される。
FIG. 7 is an illustrative perspective view showing an example of this invention. This embodiment is characterized in that the parallel electrodes 1
The dimensions of 4' and 15' are shorter than those shown in FIG. That is, the first
In the conventional device shown in the figure, the lengths of the electrodes 14 and 15 are the same as the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate 11. However, in this embodiment, the dimensions of the electrodes 14' and 15' are made shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate 11. In this way, the stray capacitance or interelectrode capacitance between electrodes 14' and 15' is reduced compared to the conventional one shown in FIG. Therefore, looking at the frequency characteristics, in the case of the polarization process shown in Figure 2, the third
The characteristics are shown by the solid line B in the figure, and the polarization treatment shown in FIG. 4 has the characteristics shown by the solid line B in FIG. 5. As can be seen from FIGS. 3 and 5, it can be seen that according to this example, the selectivity characteristics are improved as compared to the conventional one. For example, in the polarization process shown in FIG. 2, the attenuation amount is improved by about 5 to 7 dB in the frequency range of 0 to 40 kHz. Further, in the polarization processing shown in FIG. 4, the attenuation amount is similarly improved by about 15 to 17 dB.

なお、電極14′および15′を短くする具体的
な寸法は、第1図に示す従来のものの電極間容量
を1としたとき、その0.75ないし0.8程度になる
ように選ぶ。そうすれば、減衰量の改善すなわち
選択度特性の改善が最も著しいということが実験
的に得られている。このような選択度特性の改善
の結果、素子を小形にしても電極の幅をそれほど
小さくしなくても、所望の特性が得られることと
なる。
The specific dimensions for shortening the electrodes 14' and 15' are selected to be about 0.75 to 0.8, assuming that the interelectrode capacitance of the conventional device shown in FIG. 1 is 1. It has been experimentally found that if this is done, the attenuation amount is improved, that is, the selectivity characteristic is most significantly improved. As a result of such improvement in selectivity characteristics, desired characteristics can be obtained even if the device is made smaller or the width of the electrodes is not made so small.

第8図はこの考案の他の実施例を示す構造斜視
図である。この実施例においても、平行電極1
4′および15′は、それぞれ、圧電素子板11の
長手方向寸法より短くされている。なお、この実
施例では、圧電素子板11の他方主表面に形成さ
れる接地電極は、全面電極ないし共通電極16と
して構成した。そして、平行電極14′および1
5′には、それぞれ、屈曲振動の節点に相当する
位置に、凸部141および凸部151を形成して
いる。このような凸部141および151は、こ
の電極14′および15′に引出し線をたとえば半
田付する際の目標点になる。したがつて、そのよ
うな引出し線が必ず振動節点に位置することにな
り、この振動子1の屈曲振動に悪影響を及ぼすこ
とがない。また、接地電極16は、圧電素子板1
1の他方主表面にほぼ全面に形成し、平行電極1
4′および15′に共通に設けられている。このよ
うにすれば、従来(第1図)のように接地電極を
別々に設けたものに比べて、分極処理の際に作業
性がよく、量産性が高まるという利点がある。さ
らに、このように共通電極としたため、特にたと
えばケース内に収納する際の支持方法についても
簡単となり、その量産性がさらに改善されるもの
である。
FIG. 8 is a structural perspective view showing another embodiment of this invention. In this embodiment as well, the parallel electrode 1
4' and 15' are each shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate 11. In this embodiment, the ground electrode formed on the other main surface of the piezoelectric element plate 11 is configured as a full-surface electrode or a common electrode 16. Then, parallel electrodes 14' and 1
5', a convex portion 141 and a convex portion 151 are formed at positions corresponding to nodes of bending vibration, respectively. These convex portions 141 and 151 serve as target points when, for example, lead wires are soldered to the electrodes 14' and 15'. Therefore, such a leader line is always located at a vibration node, and does not adversely affect the bending vibration of the vibrator 1. Further, the ground electrode 16 is connected to the piezoelectric element plate 1
A parallel electrode 1 is formed almost entirely on the other main surface of 1.
4' and 15'. This has the advantage of improving workability during polarization treatment and increasing mass productivity, compared to the conventional method (FIG. 1) in which ground electrodes are provided separately. Furthermore, since the common electrode is used in this way, the method of supporting the device, especially when it is housed in a case, becomes simpler, and its mass productivity is further improved.

この第8図の実施例によつても、第7図に示す
実施例と同様に、第2図に示す分極処理を施した
ものについては第3図の実線Bで示す特性が、第
4図で示す分極処理を施したものについては第5
図の実線Bで示す特性が、それぞれ得られる。
Similarly to the embodiment shown in FIG. 7, in the embodiment shown in FIG. 8, the characteristics shown by the solid line B in FIG. For those subjected to the polarization treatment shown in
The characteristics indicated by the solid line B in the figure are obtained.

なお、上述の実施例では、平行電極14′およ
び15′の両方を圧電素子板11の長手方向寸法
より短くするようにしたが、これはいずれか一方
の電極のみを短くするようにしてもよい。この場
合でも、第1図に示す従来のものに比べて、その
電極間容量が0.75ないし0.8にすることは可能で
ある。
In the above embodiment, both the parallel electrodes 14' and 15' are made shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate 11, but it is also possible to make only one of the electrodes shorter. . Even in this case, it is possible to make the interelectrode capacitance 0.75 to 0.8 compared to the conventional one shown in FIG.

また、第8図に示す全面電極16は、第7図に
示す実施例においても同様に利用可能なことは勿
論である。
It goes without saying that the entire surface electrode 16 shown in FIG. 8 can be used in the embodiment shown in FIG. 7 as well.

以上のように、この考案によれば、平行電極の
少なくとも一方の長さを、圧電素子板の長手方向
寸法より短くしたので、平行電極相互間における
浮遊容量を従来のものに比べて小さくすることが
できる。したがつて、素子が小形化されても、そ
の平行電極の幅をさほど小さくすることなく、所
望の選択度特性が得られる。したがつて、量産性
が良く、選択度特性の悪化をきたすことなく、し
かも小形化し得ることとなり、非常に有用な圧電
振動子が得られる。
As described above, according to this invention, since the length of at least one of the parallel electrodes is made shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate, the stray capacitance between the parallel electrodes can be made smaller than that of the conventional one. Can be done. Therefore, even if the device is downsized, desired selectivity characteristics can be obtained without significantly reducing the width of the parallel electrodes. Therefore, the piezoelectric vibrator can be easily mass-produced, and can be miniaturized without deteriorating the selectivity characteristics, making it possible to obtain a very useful piezoelectric vibrator.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの考案の背景となる従来の屈曲振動
モードを利用した圧電振動子の一例を示す構造斜
視図である。第2図は第1図に示す従来の圧電振
動子の分極方向を示す図解図である。第3図は第
2図に示す分極方向の振動子の従来のおよびこの
考案の実施例の周波数特性を示すグラフである。
第4図は分極方向の他の例を示す図解図である。
第5図は第4図に示す分極方向の、従来のおよび
この考案の実施例の周波数特性を示すグラフであ
る。第6図はこの考案の背景を説明するための電
極を示す図解図である。第7図はこの考案の一実
施例を示す構造斜視図である。第8図はこの考案
の他の実施例を示す構造斜視図である。 図において、11は圧電素子板、14′および
15′は平行電極、16は接地電極、141およ
び151は凸部を示す。
FIG. 1 is a structural perspective view showing an example of a conventional piezoelectric vibrator using a bending vibration mode, which is the background of this invention. FIG. 2 is an illustrative diagram showing the polarization direction of the conventional piezoelectric vibrator shown in FIG. FIG. 3 is a graph showing the frequency characteristics of the conventional vibrator in the polarization direction shown in FIG. 2 and the embodiment of this invention.
FIG. 4 is an illustrative diagram showing another example of the polarization direction.
FIG. 5 is a graph showing the frequency characteristics of the conventional and embodiments of the present invention in the polarization direction shown in FIG. FIG. 6 is an illustrative diagram showing an electrode for explaining the background of this invention. FIG. 7 is a structural perspective view showing an embodiment of this invention. FIG. 8 is a structural perspective view showing another embodiment of this invention. In the figure, 11 is a piezoelectric element plate, 14' and 15' are parallel electrodes, 16 is a ground electrode, and 141 and 151 are convex portions.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 屈曲振動モードを利用する圧電振動子であつ
て、 圧電素子板、 前記圧電素子板の一方主表面上にこの圧電素
子板の長手方向に形成される平行電極、および 前記圧電素子板の他方主表面に前記平行電極
と対向するように形成される接地電極を備え、
さらに 前記平行電極の少なくとも一方はその長さを
前記圧電素子板の長さ長手方向寸法より短く構
成したことを特徴とする、圧電振動子。 (2) 前記平行電極は両方ともその長さが前記圧電
素子板の長手方向寸法より短い、実用新案登録
請求の範囲第(1)項記載の圧電振動子。 (3) 前記平行電極の一方は前記圧電素子板の一端
から短くされていて、他方は前記圧電素子板の
他端から短くされている、実用新案登録請求の
範囲第(2)項記載の圧電振動子。 (4) 前記平行電極のうち短かいものの長さは、前
記圧電素子板の長手方向寸法の長さと同じにし
たときに比べて、平行電極相互間の浮遊容量が
0.75ないし0.8程度になるように短く選ばれて
いる、実用新案登録請求の範囲第(1)項ないし第
(3)項のいずれかに記載の圧電振動子。
[Claims for Utility Model Registration] (1) A piezoelectric vibrator that utilizes a bending vibration mode, comprising a piezoelectric element plate, a parallel plate formed on one main surface of the piezoelectric element plate in the longitudinal direction of the piezoelectric element plate an electrode, and a ground electrode formed on the other main surface of the piezoelectric element plate to face the parallel electrode,
Furthermore, the piezoelectric vibrator is characterized in that at least one of the parallel electrodes has a length shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate. (2) The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein both of the parallel electrodes have a length shorter than the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate. (3) The piezoelectric device according to claim 2, wherein one of the parallel electrodes is shortened from one end of the piezoelectric element plate, and the other is shortened from the other end of the piezoelectric element plate. vibrator. (4) The length of the shorter one of the parallel electrodes increases the stray capacitance between the parallel electrodes compared to when the length of the short one is the same as the length of the longitudinal dimension of the piezoelectric element plate.
Utility model registration claims Paragraphs (1) to 1, which are selected as short as approximately 0.75 to 0.8.
A piezoelectric vibrator according to any of paragraph (3).
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