JPS62246664A - Unitized digital valve - Google Patents

Unitized digital valve

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JPS62246664A
JPS62246664A JP8952386A JP8952386A JPS62246664A JP S62246664 A JPS62246664 A JP S62246664A JP 8952386 A JP8952386 A JP 8952386A JP 8952386 A JP8952386 A JP 8952386A JP S62246664 A JPS62246664 A JP S62246664A
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JP
Japan
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digital valve
valves
valve
block digital
block
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JP8952386A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Miyasa
宮佐 明
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To make it possible to cope with a required bit number and a capacity by making the cross-sectional areas of orifices of multiple element valves constituting a block digital value in a plural number-th position a certain geometric progression. CONSTITUTION:A 4-bit block digital valve includes four pieces of element values, with cross-sectional areas of orifice holes of respective valve seats 4a through 4d of the element valves making a geometric progression of 1, 2, 4 and 8. Then the cross-sefctional areas of orifice holes of a 2nd block digital valve make a geometric progression of 16, 32, 64 and 128. And those of an X-th orifice holes make a geometric progression of (4X-4)th power of 2, (4X-3)th power of 2, (4X-2)th power of 2, and (4X-1)th power of 2. Of these groupes of block digital valves, a plurality of block digital valves in serial positions are taken out, and arranged in parallel as a unit. With this constitution, it is made possible to obtain a unitized single unit having a required number of bits and a required delivery.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、流体のプロセスコントロールに使用される調
節弁の一種である2進法デジタルバルブのユニット化に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to unitization of a binary digital valve, which is a type of control valve used for fluid process control.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

2進法デジタルバルブは、文献(雑誌「計装」1985
年,巻28, &1 2, PP26〜30および「配
管技術J 1986年,N(11.、PP156〜15
9)に記されているように、複数(仮にN個とする)の
要素バルブからなり、この要素バルブは全開また全開の
作動をし、各要素バルブの流路を規定するオリフィスの
断面積比が、2°:2”:22:・・・・・・、2M−
1である。これをNビットのデジタルバルブともいう。
The binary digital valve is described in the literature (magazine "Instrument" 1985
Year, Volume 28, &1 2, PP26-30 and “Piping Technology J 1986, N(11., PP156-15
As described in 9), it consists of a plurality of element valves (temporarily N), and these element valves operate fully open or fully open, and the cross-sectional area ratio of the orifice that defines the flow path of each element valve is But, 2°: 2”: 22:..., 2M-
It is 1. This is also called an N-bit digital valve.

このデジタルバルブはビット数Nを大きくすればする程
分解能が高くなり、デジタルバルブ開度の高精度の再現
性は、そのビット数Nに関係なく、デジタルバルブが本
質的に具備した性質である。
The resolution of this digital valve increases as the number of bits N increases, and highly accurate reproducibility of the digital valve opening is an inherent property of the digital valve, regardless of the number of bits N.

ところで、実際のデジタルバルブの使用において、ビッ
ト数Nが12〜16という高い分解能を要求する場合か
ら、高精度の再現性のみを利用□する目的でNが3程度
の低い分解能で十分な場合まで幅広く存在する。これら
Nの幅広い要求に応するため、ビット数が大から小まで
のデジタルバルブを取揃えることは不経済である。
By the way, in actual use of digital valves, there are cases where a high resolution with a bit number N of 12 to 16 is required, and cases where a low resolution with N of around 3 is sufficient for the purpose of utilizing only high precision reproducibility. Exist widely. In order to meet these wide demands for N, it is uneconomical to prepare digital valves with bit numbers ranging from large to small.

このため需要の多いビット数、例えばNを]Oとした場
合、実際には12ビツトまで製作可能な設計をするのが
普通である。このため、ビット数Nが3〜4のデジタル
バルブに対しては、不要な要素バルブの取付は位置を閉
塞して使用し、Nが13〜16というデジタルバルブに
対してはあらたに設計製作するという方法をとらざるを
得す不経済であった。
For this reason, when the number of bits in high demand, for example N, is set to ]O, it is common to design a device that can actually be manufactured up to 12 bits. For this reason, for digital valves with a bit number N of 3 to 4, unnecessary element valves should be installed with their positions closed, and for digital valves with a bit number N of 13 to 16, a new design should be made. This was an uneconomical method that had to be taken.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記のように、従来のデジタルバルブでは。 As mentioned above, with traditional digital valves.

ビット数の広範な要求に対応し難く不経済であり、さら
に実際の配管にデジタルバルブを使用した場合において
デジタルバルブの8祉に過不足が生じた場合には適応す
る8緻をもった別のバルブと交換しなければならないと
いう欠点があった。
It is difficult to meet a wide range of requests for the number of bits and is uneconomical, and furthermore, when using a digital valve in actual piping, if there is an excess or deficiency in the 8-dimensional function of the digital valve, another method with 8-dimensional precision that can be adapted is used. The drawback was that the valve had to be replaced.

本発明の目的は、必要なビット数および容量に対応しか
つ経済的に早く納入できるユニット化したデジタルバル
ブを提供することである。
An object of the present invention is to provide a unitized digital valve that can accommodate the required number of bits and capacity and can be delivered economically and quickly.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記問題点を解消するため、本発明は、Nビットの2進
法デジタルバルブをブロックデジタルバルブとする群を
作り、第1番目のブロックデジタルバルブを構成するN
個(または相当数個)の要素バルブのオリフィスの流路
断面積が、等比数列 2° 2 + 、 22.・・ 
2 N−1とし、第2番目のそれが、等比数列 2 N
 、 2 N + 1゜2N″2.・・・・・・ 22
 N −1として、以丁同様にして第X番目のそれが、
等比数列 2(X−1)N。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention creates a group of N-bit binary digital valves as block digital valves, and creates a group of N-bit binary digital valves that constitutes the first block digital valve.
The cross-sectional areas of the orifices of the element valves (or a considerable number of them) follow the geometric progression 2° 2 + , 22.・・・
2 N-1, and the second one is the geometric progression 2 N
, 2 N + 1゜2N″2... 22
As N -1, the Xth one is
Geometric progression 2(X-1)N.

2 (X−1)N+1,2(X−11N+z、、、・、
、、2(X−1)MIN−11とすることにより、これ
らブロックデジタルバルブの群から、連続する番目の複
数台のブロックデジタルバルブをとりだして、並列に配
置し一体化することにより、この集合し、ユニット化し
た一台で必要なビット数をもち、かつ必要な容量をもっ
たデジタルバルブとして使用できる。
2 (X-1)N+1,2(X-11N+z,...
,,2(X-1)MIN-11, from the group of these block digital valves, take out a plurality of consecutive block digital valves, arrange them in parallel, and integrate them to form this set. However, a single unit can be used as a digital valve with the necessary number of bits and the necessary capacity.

〔実施例〕〔Example〕

第1図および第2図は本発明による1実施例を示す4ビ
ツトのブロックデジタルバルブであり、第1図はその縦
断面図、第2図はその横断面図である。第1図および第
2図において22は本体である。この本体22は両側端
に接続口14、それらの内側に各々連通口8、さらにそ
れらの内側に各々流路および中央部に隔壁7で仕切られ
た上部流体室と下部流体室を有する。
1 and 2 show a 4-bit block digital valve showing one embodiment of the present invention, FIG. 1 being a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 2 being a lateral sectional view thereof. In FIGS. 1 and 2, 22 is the main body. The main body 22 has connection ports 14 at both ends, communication ports 8 inside them, flow channels inside them, and an upper fluid chamber and a lower fluid chamber partitioned by a partition wall 7 in the center.

第1図において、左側の接続口14、その連通路8、左
側の流路10および下部流体室が連通しており、右側の
それらと」二部流体室と連通している。また第2図にお
いて、左右の連通路8は図で上下方向に貫通している。
In FIG. 1, the connection port 14 on the left side, its communication path 8, the flow path 10 on the left side and the lower fluid chamber are in communication, and the two-part fluid chamber is in communication with those on the right side. Further, in FIG. 2, the left and right communication passages 8 penetrate in the vertical direction in the figure.

第1図において、】1は本体22のフタでフタボルト1
3によって本体22に固定される。
In FIG. 1, ] 1 is the lid of the main body 22 and the lid bolt 1
3 to the main body 22.

第1図で、4個の各要素バルブは、各々ソレノイドアク
チュエータ1とプランジャー2とプランジャー2の先端
に取り付けられた弁体3とオリフィス孔4を有する弁座
5とから構成され。
In FIG. 1, each of the four element valves is composed of a solenoid actuator 1, a plunger 2, a valve body 3 attached to the tip of the plunger 2, and a valve seat 5 having an orifice hole 4.

ソレノイドアクチュエータI、プランジャー2およびプ
ランジャー2に取り付けられた弁体3はフタ11に設置
し、オリフィス孔4を有する弁座は本体22の隔壁7に
設置する。4個の各要素バルブはそれぞれの弁座4a〜
4dのオリフィス孔の断面積が等比数列1,2.4−.
8をなしている。各要素バルブは、通常スプリング6で
プランジャー2が下方に押されて弁体3が弁座5に押圧
されて閉じた状態にある。ソレノイドアクチュエータ1
に通電すると電磁力がスプリング6の抗力に打ち勝って
プランジャー2は」二部して開状態となる。要素バルブ
の開閉の組み合せによってブロックデジタルバルブの開
度が決まる。
The solenoid actuator I, the plunger 2, and the valve body 3 attached to the plunger 2 are installed on the lid 11, and the valve seat having the orifice hole 4 is installed on the partition wall 7 of the main body 22. Each of the four element valves has its own valve seat 4a~
The cross-sectional area of the orifice hole 4d is a geometric progression 1, 2.4-.
8. Each element valve is normally in a closed state with the plunger 2 being pushed downward by the spring 6 and the valve body 3 being pressed against the valve seat 5. Solenoid actuator 1
When energized, the electromagnetic force overcomes the resistance of the spring 6, and the plunger 2 is opened in two parts. The opening degree of the block digital valve is determined by the combination of opening and closing of the element valves.

次に第2番目のブロックデジタルバルブは、上記した第
1一番目のそれと同様な構造であるが、オリフィス孔4
の断面積が等孔数列1.6,32゜64、】28である
、そして、第X番目のオリフィス孔4のそれが 24x
−’、 24x−”、 24x−”124に−1である
Next, the second block digital valve has the same structure as the first one described above, but the orifice hole 4
The cross-sectional area of the isopore number sequence 1.6, 32°64, ]28, and that of the Xth orifice hole 4 is 24x
-', 24x-'', 24x-''124 is -1.

ここで各ブロックデジタルバルブはその本体が直方体で
ありその各連通路8を連通させるように並列に並べ、そ
の接触面は同一寸法であり、面間寸法が一定である。
Here, each block digital valve has a rectangular parallelepiped main body, and is arranged in parallel so that its communication passages 8 communicate with each other, and their contact surfaces have the same size and the inter-face dimension is constant.

第3図は第1図および第2図のブロックデジタルバルブ
を3個並列に組み一体化すなわちユニット化した平面図
である。第2図でブロックデジタルバルブ19A、同1
9B、同19Cは連結ボルト15で一体に結合し、相互
に連通路8で連通し、不要な接続口14はプラグ16で
閉塞する。また、ブロックデジタルバルブの端部側はそ
の連通路8の一方を塞ぐか、第3図のように最初から端
部内のブロックデジタルバルブとして片側のみ開にした
連通路にする。Oリング17は連通路8から外部への内
部流体の洩れ防止用である。パイプ18はブロックデジ
タルバルブ1.9A、198.19(7:のどれに接続
してもよい。
FIG. 3 is a plan view in which three block digital valves shown in FIGS. 1 and 2 are assembled in parallel and integrated into a unit. In Figure 2, block digital valve 19A, same 1
9B and 19C are integrally connected with a connecting bolt 15 and communicate with each other through a communication path 8, and unnecessary connection ports 14 are closed with plugs 16. In addition, one end of the block digital valve has one of its communication paths 8 closed, or a block digital valve in the end is used as a communication path with only one side open from the beginning, as shown in FIG. The O-ring 17 is used to prevent internal fluid from leaking from the communication path 8 to the outside. The pipe 18 may be connected to any of the block digital valves 1.9A and 198.19 (7:).

第2図で、ブロックデジタルバルブ19Aの要素バルブ
のオリフィス断面積が等孔数列1゜2.4.8で、同1
9Bが16.32,64゜128で、同1.9Cが25
6,5] 2,1024゜2048である場合、このよ
うに連結され一体化してできたユニット化デジタルバル
ブは12ビツトのデジタルバルブと等価である。
In Fig. 2, the orifice cross-sectional area of the element valve of the block digital valve 19A is an isopore number sequence of 1°2.4.8;
9B is 16.32,64°128, and 1.9C is 25
6,5] 2,1024°2048, the unitized digital valve thus connected and integrated is equivalent to a 12-bit digital valve.

バルブ容量を大きく取りたい時には、例えば、要素弁の
オリフィス断面積が等孔数列4096゜8192、+6
384.:32768のブロックデジタルバルブD(図
示せず)を追加し、Aを外すことで達成される。ビット
数を4の倍数から外れた、例えば]0ビットにしたい場
合、不要な2個の要素バルブを閉塞するか、あるいは大
口径側の要素弁を分割して、第2図のブロックデジタル
バルブCのオリフィスを数列、1.28,128,25
6,256とし2個を同時に連動させることでも達成で
きる。
When you want to increase the valve capacity, for example, the orifice cross-sectional area of the element valve is equal to 4096°8192, +6.
384. This is achieved by adding block digital valve D (not shown) of :32768 and removing A. If you want to set the number of bits to a value that is not a multiple of 4, for example 0 bits, you can close the two unnecessary element valves or divide the large-diameter element valve to create the block digital valve C shown in Figure 2. The orifices are in sequence, 1.28, 128, 25
This can also be achieved by using 6,256 units and interlocking two units at the same time.

第3図は、連通路8を設けず、継手20を介してヘッダ
ー21に接続した例で、組み合わせるブロックデジタル
バルブの数が多い場合や、パイプ22の径が大きい場合
などに適した方法である。
Figure 3 shows an example in which the communication path 8 is not provided and the connection is made to the header 21 via the joint 20, which is a method suitable for cases where a large number of block digital valves are combined or when the diameter of the pipe 22 is large. .

第5図と第6図はオリフィス断面積が大きくなった場合
のブロックデジタルバルブで各ブロックデジタルバルブ
の接触面と面間の寸法は一定にし、他の面の寸法のうち
第5図および第6図における縦方向の寸法を大きくした
例である。
Figures 5 and 6 show block digital valves when the orifice cross-sectional area is increased, and the contact surfaces and dimensions between the surfaces of each block digital valve are constant, and among the dimensions of other surfaces, Figures 5 and 6 This is an example in which the vertical dimension in the figure is increased.

ここでオリフィスを並列に配置したのが第5図であり、
大径オリフィスを配置したのが第6図である。
Figure 5 shows the orifices arranged in parallel.
FIG. 6 shows the arrangement of the large diameter orifice.

以上説明した実施例では、4ビツトのブロックデジタル
バルブについて示したが、2ビツト、3ビツトあるいは
5ビツトについても同様な考え方で一体化、ユニット化
できることは言うまでもない。また、2ビツトと4ビツ
ト、あるいは3ビツトと6ビツトなどのようにビット数
の異なる組み合わせでユニット化することも実用上有り
得る。さらに、ユニット化デジタルバルブの容量変更に
際しては第1のブロックデジタルバルブでのオリフィス
断面積を等孔数列1゜2.4.8を4.8,16.32
へ第2のブロックデジタルバルブのそれを16.32,
64゜128から64,128,256,512へと以
下順次2ランクずつずらして使用する方法も実際的であ
る。
In the embodiments described above, a 4-bit block digital valve has been shown, but it goes without saying that 2-bit, 3-bit, or 5-bit valves can also be integrated or unitized using the same concept. In addition, it is practically possible to form units with combinations of different numbers of bits, such as 2 bits and 4 bits, or 3 bits and 6 bits. Furthermore, when changing the capacity of the unitized digital valve, the orifice cross-sectional area in the first block digital valve should be changed from equal hole number sequence 1°2.4.8 to 4.8, 16.32.
16.32, that of the second block digital valve to
It is also practical to sequentially shift the positions by two ranks from 64°128 to 64,128,256,512.

また、アクチュエータに関して、以上説明した実施例で
はソレノイドアクチュエータの例を述べたが、エアシリ
ンダ、油圧シリンダ、モーター駆動、形状記憶合金、P
ZTなどの圧電体を利用したものなどについても本発明
の範ちゅうに入ることは言うまでもない。
Regarding actuators, in the embodiments described above, solenoid actuators have been described as examples, but air cylinders, hydraulic cylinders, motor drives, shape memory alloys, P
It goes without saying that devices using piezoelectric materials such as ZT also fall within the scope of the present invention.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によるユニット化デジタルバルブは、第1に必要
なピッl−数のユニット化デジタルバルブが簡単に得ら
れる。特に3〜4ビツトという小ビットのユニット化デ
ジタルバルブから14〜16ビツトという大ビットのユ
ニット化デジタルバルブまで容易に対応ができる。第2
に配管後、容量不足が生じた場合、ブロックデジタルバ
ルブの交換、付加、取外しなどにより最適な容量の調節
弁に容易に改修をすることができる。
In the unitized digital valve according to the present invention, firstly, a unitized digital valve having the required number of pins can be easily obtained. In particular, it can easily handle everything from small-bit unitized digital valves of 3 to 4 bits to large-bit unitized digital valves of 14 to 16 bits. Second
If capacity is insufficient after piping is installed, the control valve can be easily modified to the optimal capacity by replacing, adding, or removing the block digital valve.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例である4ビツトブロツクデジ
タルバルブの縦断面図、第2図は第1図と同じ4ビツト
ブロツクデジタルバルブの横断面図、第3図は第1図お
よび第2図のブロックデジタルバルブをユニット化した
例を示す一部断面図、第4図はブロックデジタルバルブ
をユニット化しヘッダーに接続した例の一部断面図、第
5図はブロックデジタルバルブの容量を大きくした例の
断面図、第6図は同じくブロックデジタルバルブの容量
を大きくした例で、第5図の他の例を示す断面図である
。 18〜1d・・・ソレノイドアクチュエータ、2・・・
プランジャー、3・・・弁体、4a〜4d・・・オリフ
ィス孔、5a〜5d・・・弁座、6川スプリング、7・
・隔壁、8・・・連通路、9・・・連結ボルト貫通孔、
10・・・流路、11・・・フタ、12・・・シール、
13・・・フタボルト、14・・・接続口、15・・・
連結ボルト、16・・・プラグ、17・・・0リング、
1.8・・・パイプ、19A−19C・・・ブロックデ
ジタルバルブ、20・・・継手、21・・・ヘッダ、手
続補正書 61,6.6 昭和   年   月   日 事件の表示 昭和61年特許願第89.t)3号 発明の名称 ユニット化デジタルバルブ 補正をする者 事件との関係  特許出願人 住 所   東京都千代田区丸の内二丁目1番2号補正
の対象 補正の内容 1、明細書の特許請求の範囲を次のように訂正する。 「1. Nビット(N22)の2進法デジタルバルブを
ブロックデジタルバルブとし、前記ブロックデジタルバ
ルブを集合ユニットイix番目(Xの ≧2)のブロックデジタルバルブを構成するN個′上ヒ 要素バルブのオリフィスの流路断面積が6列2(X−υ
N  、  2(X−1)Nす7   、 2(X−1
)NF2   、 00.、、.2α−1)Wf(N−
Qであることを特徴とするユニット化デジタルバルブ。 2、明細書の発明の詳細な説明の欄を次のように訂正す
る。 (1)明細書の第7頁第12行の「第2図」を「第3図
」と訂正する。 (2)同書第7頁第18行の「端部内」を「端部・l・ 用」と訂正する。 (3)同書第9頁第2行の「第3図」を「第4図」と訂
正する。 (4)同書第9頁第5行[パイプ22」を[パイプ18
Jと訂正する。 (5)同書第9頁第10行「第5図および第6」を「第
1図および第2」と訂正する。 3、明細書に添付した図面の第1図と第2図を別紙のよ
うに訂正する。 以上 ・2・
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a 4-bit block digital valve that is an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the same 4-bit block digital valve as in FIG. 1, and FIG. Figure 2 is a partial cross-sectional view showing an example of unitizing the block digital valve, Figure 4 is a partial cross-sectional view of an example of unitizing the block digital valve and connecting it to a header, and Figure 5 is a partial cross-sectional view of an example of unitizing the block digital valve and connecting it to a header. FIG. 6 is a cross-sectional view of an example in which the capacity of the block digital valve is increased, and is a cross-sectional view showing another example of FIG. 5. 18-1d... Solenoid actuator, 2...
Plunger, 3... Valve body, 4a-4d... Orifice hole, 5a-5d... Valve seat, 6 River spring, 7.
・Partition wall, 8... Communication path, 9... Connection bolt through hole,
10... Channel, 11... Lid, 12... Seal,
13... Lid bolt, 14... Connection port, 15...
Connection bolt, 16... plug, 17... 0 ring,
1.8...Pipe, 19A-19C...Block digital valve, 20...Joint, 21...Header, Procedural amendment 61, 6.6 Showa year, month, day, 1988 patent application No. 89. t) Name of invention No. 3 Relationship with the case of the person who amended the unitized digital valve Patent applicant address 2-1-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Subject of the amendment Contents of the amendment 1, Scope of claims in the specification Correct as follows. 1. An N-bit (N22) binary digital valve is defined as a block digital valve, and the block digital valve is a set of N element valves constituting the ix-th (X≧2) block digital valve. The cross-sectional area of the orifice is 6 rows 2 (X-υ
N, 2(X-1)Nsu7, 2(X-1
) NF2, 00. ,,. 2α-1) Wf(N-
A unitized digital valve characterized by Q. 2. The Detailed Description of the Invention column in the specification should be corrected as follows. (1) "Figure 2" on page 7, line 12 of the specification is corrected to "Figure 3." (2) In the same book, page 7, line 18, "in the end" is corrected to "for the end." (3) "Figure 3" in the second line of page 9 of the same book is corrected to "Figure 4." (4) Same book, page 9, line 5 [pipe 22]
Correct it with J. (5) On page 9, line 10 of the same book, ``Figures 5 and 6'' is corrected to ``Figures 1 and 2''. 3. Figures 1 and 2 of the drawings attached to the specification are corrected as shown in the attached sheet. That’s all 2.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、Nビット(N≧2)の2進法デジタルバルブをブロ
ックデジタルバルブとし、前記ブロックデジタルバルブ
を集合ユニット化し第X番目(X≧2)のブロックデジ
タルバルブを構成するN個の要素バルブのオリフィスの
流路断面積が等比数列2^(^X^−^1^)^N、2
^(^X^−^1^)^N^+^1、2^(^X^−^
1^)^N^+^2、……、2^(^X^−^1^)^
N^+^(^N^−^1^)であることを特徴とするユ
ニット化デジタルバルブ。 2、特許請求の範囲第1項において、ブロックデジタル
バルブの本体の外形がほぼ直方体で面間寸法および集合
し互いに接触するブロックデジタルバルブの本体の面の
寸法が一定であることを特徴とするユニット化デジタル
バルブ。 3、特許請求の範囲第2項において、隣接するブロック
デジタルバルブ間を連絡する流体の連通路は前記ブロッ
クデジタルバルブ本体の側面に設けたことを特徴とする
ユニット化デジタルバルブ。
[Claims] 1. An N-bit (N≧2) binary digital valve is used as a block digital valve, and the block digital valves are assembled into a unit to form an X-th (X≧2) block digital valve. The cross-sectional area of the orifice of the N element valves is a geometric progression 2^(^X^-^1^)^N, 2
^(^X^-^1^)^N^+^1, 2^(^X^-^
1^)^N^+^2,..., 2^(^X^-^1^)^
A unitized digital valve characterized by being N^+^ (^N^-^1^). 2. The unit according to claim 1, wherein the outer shape of the main body of the block digital valve is substantially a rectangular parallelepiped, and the dimensions between the faces and the dimensions of the surfaces of the main bodies of the block digital valves that gather and contact each other are constant. digital valve. 3. The unitized digital valve according to claim 2, characterized in that a fluid communication passage connecting adjacent block digital valves is provided on a side surface of the block digital valve body.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20120097266A1 (en) * 2010-10-22 2012-04-26 Applied Materials, Inc. Apparatus for controlling gas distribution using orifice ratio conductance control

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