JPS62204318A - Servo controller - Google Patents

Servo controller

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JPS62204318A
JPS62204318A JP4619086A JP4619086A JPS62204318A JP S62204318 A JPS62204318 A JP S62204318A JP 4619086 A JP4619086 A JP 4619086A JP 4619086 A JP4619086 A JP 4619086A JP S62204318 A JPS62204318 A JP S62204318A
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JP
Japan
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servo
speed
deviation
loop
servo motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP4619086A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Shimazaki
島崎 健一
Akira Honda
昭 本田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MATSUDA METORETSUKUSU KK
Hitachi Denshi KK
Original Assignee
MATSUDA METORETSUKUSU KK
Hitachi Denshi KK
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Publication date
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Publication of JPS62204318A publication Critical patent/JPS62204318A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To enable a servo system to respond stably to a wide changing range of feed speed between a low speed and a high speed, by switching the loop gain so that the degree of deviation produced in response to the feed speed is changed. CONSTITUTION:The deviation degree epsilon3 is calculated by a deviation counter 2 between the synchronized input command signal 13 and position feedback signal 14. An address of a ROM 15 is designated by the degree epsilon3 and an output bit pattern is read out so that the speed command signal (e) corresponding to the deviation degree at that time point is delivered by a D/A converter 4. The data on the bit pattern read out of the ROM 15 is held temporarily by a latch circuit 16 and converted into the prescribed voltage (e) by the converter 4. Thus the overall loop gain of a servo system is automatically switched against the command feed speed by incorporating the ROM 15 and the latch circuit 16 into the servo system. Therefore it is possible to control stably the revolution of a servo motor in a wide range between an extremely high and low feed speeds.

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) ・5.この発明はサーボ制御系の特性を決定づけるル」
プゲインの設定方法に関するものである。
[Detailed description of the invention] (Technical field) ・5. This invention is a method that determines the characteristics of the servo control system.
This relates to a method of setting gain.

(従来技術とその問題点) 近年ディジタル処理の高速化によって、直流サーボモー
タを用いたディジタルサーボ制御方式による位置決め制
御が主流になりつつある。
(Prior art and its problems) In recent years, as digital processing speeds up, positioning control using a digital servo control method using a DC servo motor is becoming mainstream.

第7図は該方式の構成の一例を示したもので1は同期回
路、2は偏差カウンタ、3は位置偏差量。
FIG. 7 shows an example of the configuration of this system, where 1 is a synchronous circuit, 2 is a deviation counter, and 3 is a positional deviation amount.

4はディジタル−アナログ(以下D/Aと書く)変換器
、5はサーボアンプ、6は直流サーボモータ、7は直流
タコジェネレータ、8は光学式ロータリーエンコーダ、
9はX−Yテーブル駆動機構。
4 is a digital-to-analog (hereinafter referred to as D/A) converter, 5 is a servo amplifier, 6 is a DC servo motor, 7 is a DC tacho generator, 8 is an optical rotary encoder,
9 is an X-Y table drive mechanism.

10は入力指令信号、11は速度フィードバック信号。10 is an input command signal, and 11 is a speed feedback signal.

12は位置フィードバック信号である。12 is a position feedback signal.

入力指令信号10のパルス列はパルスの数が位置情報を
もち、パルス周波数がテーブル送り速度の情報をもつこ
ととする。該入力指令信号10と位置フィードバック信
号12は同期回路1の内部で基準クロック(図示せず)
で同期をとり、偏差カウンタ2に出力される。偏差カウ
ンタ2はアップダウンカウンタとなっており1例えば同
期化された入力指令信号をアップ側に、また同期化され
た位置フィードバック信号をダウン側に入力することに
よって、その偏差量が出方される。これが位置偏差量3
であり、偏差量の大きさに対応したアナログ電圧を得る
ためにD/A変換器4で変換し、速度指令電圧としてサ
ーボアンプ5に入力する。サーボアンプ5では該速度指
令電圧と速度フィードバンク信号11の偏差によって、
サーボモータ6をドライブする。このような速度制御系
にする目的は、テーブル駆動機構9の慣性が影響するた
めにサーボ系の中で速度ループの応答性をできるだけ上
げてお(必要がある。そのために速度制御系の時定数を
小さくする方法として速度フィードバックをかけている
。第7図の例では直流タコジェネレータ7は、サーボモ
ータ軸に直結されており。
In the pulse train of the input command signal 10, the number of pulses has position information, and the pulse frequency has information on the table feed speed. The input command signal 10 and the position feedback signal 12 are used as a reference clock (not shown) within the synchronization circuit 1.
It is synchronized and output to the deviation counter 2. The deviation counter 2 is an up/down counter, and by inputting a synchronized input command signal to the up side and a synchronized position feedback signal to the down side, the deviation amount is output. . This is the position deviation amount 3
This is converted by a D/A converter 4 to obtain an analog voltage corresponding to the magnitude of the deviation amount, and inputted to the servo amplifier 5 as a speed command voltage. In the servo amplifier 5, due to the deviation between the speed command voltage and the speed feed bank signal 11,
Drive the servo motor 6. The purpose of such a speed control system is to increase the responsiveness of the speed loop in the servo system as much as possible since the inertia of the table drive mechanism 9 affects it. Speed feedback is applied as a method to reduce the speed. In the example shown in FIG. 7, the DC tacho generator 7 is directly connected to the servo motor shaft.

サーボモータ60回転数に比例した電圧をタコジェネレ
ータ7で発生して速度フィードバック信号11を出力し
ている。
A tacho generator 7 generates a voltage proportional to the rotation speed of the servo motor 60, and outputs a speed feedback signal 11.

位置制御系では、該タコジェネレータと同様サーボモー
タ軸に直結されたエンコーダ8によってサーボモータ6
0回転量をディジタル的なパルス信号列として位置フィ
ードバック信号12を生成し帰還している。
In the position control system, the servo motor 6 is controlled by an encoder 8 directly connected to the servo motor shaft, similar to the tachogenerator.
A position feedback signal 12 is generated and fed back using the zero rotation amount as a digital pulse signal train.

エンコーダは、その内部に円周上に並んだスリットをも
つ円板ディスクがあり、スリットを通過する光を電気信
号に変換してパルス列を出方する一種のアナログ−ディ
ジタル変換器である。従ってスリットの数が該サーボ系
の分解能を決定づける。
The encoder is a kind of analog-to-digital converter that has a circular disk with slits arranged on its circumference and converts the light passing through the slits into an electrical signal and outputs a pulse train. Therefore, the number of slits determines the resolution of the servo system.

以上のような閉ループ系において位置偏差量3が零にな
るまでサーボモータが回転し、零になった点すなわち、
入力指令信号1oと位置フィードバンク量が等しくなっ
たときに停止して位置決め動作を完了する。
In the closed loop system as described above, the servo motor rotates until the positional deviation amount 3 becomes zero, and the point at which it becomes zero, that is,
When the input command signal 1o and the position feed bank amount become equal, it stops and the positioning operation is completed.

このようなサーボ系の特性を解析するために伝達関数に
よるブロック線図を第2図に示す。実際にはさらに高次
の伝達関数になるが概ね二次系での近似でも実用上、支
障は少ない。
A block diagram using transfer functions is shown in FIG. 2 in order to analyze the characteristics of such a servo system. In reality, the transfer function is even higher-order, but approximation using a quadratic system generally poses no problem in practice.

第2図において、εは位置偏差量、に1はD/A変換ゲ
イン、に2はサーボアンプゲイン、に3ハサ−ボモータ
ゲイン、TMはサーボモータの時定数、に4゜K、はそ
れぞれタコジェネレータ及びエンコーダのフィードバッ
クゲインである。Sはラプラス演算子である。
In Fig. 2, ε is the positional deviation amount, 1 is the D/A conversion gain, 2 is the servo amplifier gain, 3 is the servo motor gain, TM is the time constant of the servo motor, and 4°K is the tacho generator. and the feedback gain of the encoder. S is a Laplace operator.

第2図の一巡伝達関数G。(S)を求めると次式で表わ
される。
Open loop transfer function G in Figure 2. (S) is expressed by the following equation.

」9〜工J9 この−巡伝達関数G。(S)を用いて第2図を書き直す
と第3図のように表現でき、偏差量E(S)と入力指令
R(S )との関係は次式で示される。
'9~Eng J9 This -cyclic transfer function G. If FIG. 2 is rewritten using (S), it can be expressed as shown in FIG. 3, and the relationship between the deviation amount E(S) and the input command R(S) is expressed by the following equation.

E(S)=1+。。(8)R(S) 入力としてランプ関数のような速度入力を考えるとR(
S ) ” s、  となり、このときの定常状態での
偏差量は と表わされる。このKがサーボ系全体のループゲインで
あり、上式の関係を第4図に示す。これから明らかなよ
うにループゲインにの値が大きい程。
E(S)=1+. . (8) R(S) Considering a speed input like a ramp function as an input, R(
S ) " s, and the deviation amount in the steady state at this time is expressed as. This K is the loop gain of the entire servo system, and the relationship of the above equation is shown in Figure 4. As is clear from this, the loop gain The larger the gain value.

偏差量すなわち追従誤差は小さくなり、また応答性を上
げることができるが、逆にオーバシーートが発生し易く
なり、安定性の点で問題がでてくる。
Although the amount of deviation, that is, the tracking error, can be reduced and the responsiveness can be improved, on the other hand, oversheeting is more likely to occur, which poses a problem in terms of stability.

また、テーブルの送り速度が極めて小さい場合。Also, when the table feed rate is extremely low.

Kが大きいときには偏差量が小さくなり、サーボ系の分
解能以下になることが考えられる。この場合、追従性が
良すぎてサーボモータの回転軸は間欠的な動きを呈する
ようになる。
When K is large, the amount of deviation becomes small, and it is conceivable that it becomes less than the resolution of the servo system. In this case, the followability is so good that the rotating shaft of the servo motor exhibits intermittent movement.

さらにループゲインの高い系で高速送りを実施すると偏
差量は小さいが停止時の衝撃が大きく。
Furthermore, when high-speed feeding is performed in a system with a high loop gain, the amount of deviation is small, but the impact when stopping is large.

テーブル駆動機構に対し悪影響を及ぼしたり、また機械
系の共振を発生するなどの問題点があった。
There were problems such as having an adverse effect on the table drive mechanism and generating resonance in the mechanical system.

(目的) この発明は、サーボ系のループゲインによって関係づけ
られる偏差量と送り速度の関係を一定の比例関係(第4
図参照)とせずに9機械系の特性を考慮し、送り速度に
応じて発生し得る偏差量の度合を変化させるようループ
ゲインを切替えられるようにしたことを特徴とし、その
目的は、低速から高速まで幅広い送り速度の変化に安定
にサーボ系を応答させることにある。
(Purpose) This invention aims to maintain a constant proportional relationship (fourth
It is characterized by the fact that the loop gain can be switched to change the degree of deviation that can occur depending on the feed rate, taking into account the characteristics of the 9 mechanical system (see figure).The purpose is to The goal is to make the servo system respond stably to changes in feed speed over a wide range of speeds.

(実施例) 第1図のような構成の場合偏差εと送り速度υは、第4
図に示すようにループゲインKを勾配とする比例関係に
あるが9本発明では速度範囲を分割し、その分割範囲毎
にKの値、すなわち勾配を指令信号で与えられる送り速
度υを3つの区間に分け、各区間でループゲイン(勾配
)の大きさを変えるようにしている。すなわち、0〈υ
くυ、という低速区間では、ゲインを小さく区′)設定
しサーボ系の応答が速すぎてサーボモータの軸回転に間
欠動作が発生するという現象が発生しないようにしてい
る。次のυ1〈υくυ2という速度区間、いわゆる実用
速度区間では追従遅れをできるだけ小さく、かつ応答性
も高める意味でループゲインを太きく(K”)設定して
いる。さらにυ2〈υという高速区間では1機械系での
衝撃力や共振作用を抑制する目的でループゲインを小さ
く<r>設定している。このときには、追従遅れ、すな
わち偏差量は太き(なるが、装置としての使用条件から
偏差量が許容できる範囲のループゲインを設定すればよ
い。
(Example) In the case of the configuration shown in Fig. 1, the deviation ε and the feed rate υ are
As shown in the figure, there is a proportional relationship with loop gain K as the slope.9 In the present invention, the speed range is divided, and for each divided range, the value of K, that is, the feed rate υ given by the slope by the command signal, is divided into three. It is divided into sections, and the magnitude of the loop gain (gradient) is changed in each section. That is, 0〈υ
In the low-speed section υ, the gain is set to a small value to prevent the servo system from responding too quickly and causing intermittent movement in the servo motor's shaft rotation. In the next speed section υ1〈υkuυ2, the so-called practical speed section, the loop gain is set thick (K'') in order to minimize the follow-up delay and improve responsiveness.Furthermore, the high-speed section υ2〈υ In this case, the loop gain is set to a small value <r> in order to suppress the impact force and resonance effect in the mechanical system.At this time, the follow-up delay, that is, the amount of deviation is large (although this is due to the usage conditions as a device). It is sufficient to set the loop gain within a range that allows for an acceptable amount of deviation.

次に第5図のような特性をサーボ系に与えるための方法
について説明する。
Next, a method for imparting the characteristics shown in FIG. 5 to the servo system will be explained.

ループゲインには、前記のとおり次式で表わされる。As mentioned above, the loop gain is expressed by the following equation.

K、はD/A変換ゲイン、 K2. K3. K4. 
K5はそれぞれサーボアンプゲイン、サーボモータゲイ
ン、タコジェネレータゲイン、エンコーダゲインである
K is the D/A conversion gain, K2. K3. K4.
K5 is a servo amplifier gain, a servo motor gain, a tacho generator gain, and an encoder gain, respectively.

後者の4つのゲイン定数はいずれもサーボ系を構成する
ハードウェアの性能で決定づけられ、可変制御すること
は困難である。
The latter four gain constants are all determined by the performance of the hardware constituting the servo system, and are difficult to control variably.

一万島は、D/A変換ゲインであり、偏差量ε〔酎〕に
対応したサーボアンプへの速度指令電圧e (voH)
を出力するもので に、 =−Cm/vol t ] ε と表わされ、制御し易いゲインであることが予想される
Ichimanjima is the D/A conversion gain, and the speed command voltage e (voH) to the servo amplifier corresponding to the deviation amount ε [chu]
The output is expressed as =-Cm/vol t ] ε, and is expected to have a gain that is easy to control.

すなわち、ループゲインをに′にするためには。In other words, to make the loop gain ′.

を満たすに′1を設定してやればよい。同様にループゲ
インをK“、 K”’にするためにはに’l 、に4”
を設定してやればよい。
Just set '1' to satisfy. Similarly, to set the loop gain to K", K"', use 'l', 4'
All you have to do is set it.

この関係を示したものが第6図である。第6図の第■象
限では偏差量εに対応した速度指令電圧Cが決定され、
第■象限では速度指令電圧eに対応したサーボモータの
回転数N(rpm又はrad/5ee)が決定される。
FIG. 6 shows this relationship. In quadrant ■ of FIG. 6, the speed command voltage C corresponding to the deviation amount ε is determined,
In the second quadrant, the rotation speed N (rpm or rad/5ee) of the servo motor corresponding to the speed command voltage e is determined.

従って第6図の第■象限の内容をサーボ系に組込むこと
ができれば送り速度υの大きさによってループゲインK
が自動的に切替るのと等価と考えてよい。この第■象限
のゲイン特性をサーボ系に組込む一方法を第1図で説明
する。
Therefore, if the contents of quadrant Ⅰ in Fig. 6 can be incorporated into the servo system, the loop gain K will depend on the feed rate υ.
This can be considered equivalent to automatically switching. One method of incorporating this gain characteristic in the first quadrant into a servo system will be explained with reference to FIG.

第1図において13.14は各々同期化された入力指令
信号と位置フィードバック信号であり、偏差カウンタ2
によってその偏差量εが算出される。
In Fig. 1, 13 and 14 are synchronized input command signals and position feedback signals, respectively, and the deviation counter 2
The deviation amount ε is calculated as follows.

15は第6図の第1象限に示したような偏差量対!速度
指令電圧の関係をデータ化し格納しておくためのROM
である。すなわち、前記偏差量3の値で該ROMのアド
レス指定を行い、そのアドレスのデータ、すなわちその
ときの偏差量に対応した速度指令電圧eをD/A変換器
で出力せしめるためのD/A変換器への出力ビツトパタ
ーンを読出す。RO犯4読出されたビットパターンのデ
ータはラッチ回路16で一旦保持され、D/A変換器で
所定の電圧eに変換される。
15 is the deviation amount pair as shown in the first quadrant of Figure 6! ROM for converting and storing the relationship between speed command voltages as data
It is. That is, D/A conversion is performed to specify the address of the ROM using the value of the deviation amount 3 and output the data at that address, that is, the speed command voltage e corresponding to the deviation amount at that time, using the D/A converter. Read the output bit pattern to the device. The read bit pattern data is temporarily held in the latch circuit 16 and converted to a predetermined voltage e by the D/A converter.

この一連の変換処理は、最大送り速度に相当するパルス
周期よりナサ速い処理速度で実行する心像があるが、市
販されているディジタルICやD/A変換器で十分な速
度が得られる。
Although this series of conversion processing may be performed at a processing speed that is slightly faster than the pulse period corresponding to the maximum feed speed, a sufficient speed can be obtained using a commercially available digital IC or D/A converter.

以上のようなROM及びラッチ回路をサーボ系に組込な
ことによって第5図において指令送り速きにはループゲ
インかに、υ2くυのときにはループゲインがKl/l
となり指令送り速度に応じてサーボ系のループゲインが
自動的に切替えられることになる。
By incorporating the above-mentioned ROM and latch circuit into the servo system, as shown in Fig. 5, the loop gain becomes Kl/l when the command feed speed is υ2 and υ.
Therefore, the loop gain of the servo system is automatically switched according to the commanded feed rate.

以上説明した方式では予め、偏差量対速度指令電圧の関
係をROMに格納しておくものであるから、自由度とい
う点では制約がある。そこでROMを使用せずに動作中
に書込み可能なRAMなどを用いてマイクロコンピュー
タから適宜ゲイン特性を指定するという方式も可能であ
る。
In the method described above, since the relationship between the amount of deviation and the speed command voltage is stored in the ROM in advance, there is a restriction in terms of the degree of freedom. Therefore, it is also possible to use a RAM that can be written to during operation without using a ROM, and to specify the gain characteristics as appropriate from a microcomputer.

(効果) この発明によるサーボ制御装置は指令送り速度に対して
サーボ系全体のループゲインが自動的に切替られるので
極めて低速の送り速度から高速送りまで幅広い速度範囲
で安定にサーボモータの回転を制御できる。またハード
ウェアの増加規模もROM  またはRAM及びその周
辺回路程度で費用対効果も優れている。
(Effects) The servo control device according to the present invention automatically switches the loop gain of the entire servo system in response to the commanded feed rate, so it can stably control the rotation of the servo motor over a wide speed range from extremely low feed speeds to high speed feed speeds. can. Moreover, the increase in hardware is only about the same as ROM or RAM and its peripheral circuits, making it cost-effective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第7図は従来のサーボ制御装置の構成図、第2図及び第
3図はサーボ系の伝達関数によるブロック線図、第4図
は従来の構成によるゲイン特性。 ブロックである。 2:偏差カウンタ、3:偏差量、4 : D/A変換器
、5:サーボアンプ、6:サーボモータ、7:タコジェ
ネレータ、8:エンコーダ、 15 :ROM。 第1図 第2図 第3図
FIG. 7 is a block diagram of a conventional servo control device, FIGS. 2 and 3 are block diagrams of servo system transfer functions, and FIG. 4 is a gain characteristic of the conventional configuration. It is a block. 2: deviation counter, 3: deviation amount, 4: D/A converter, 5: servo amplifier, 6: servo motor, 7: tacho generator, 8: encoder, 15: ROM. Figure 1 Figure 2 Figure 3

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)位置制御の対象となるX−Yテーブル駆動機構と
、該テーブル機構の動力源となるサーボモータと、テー
ブルの送り速度情報及びテーブルの位置情報を検出し、
フィードバック信号を発生する速度検出器及び位置検出
器と、該位置フィードバック信号と目標位置までの移動
を指令する入力信号との大きさを比較し、その偏差分に
相当する電気信号でサーボモータを駆動するサーボアン
プから構成される閉ループサーボ制御装置において、ル
ープゲインの大きさを送り速度に応じて切替えられるよ
うに位置偏差量対送り速度特性を予め格納した記憶素子
を閉ループ系の中に組込み位置偏差量と送り速度の関係
を非線形にしたことを特徴とするサーボ制御装置。
(1) Detecting the X-Y table drive mechanism that is subject to position control, the servo motor that serves as the power source for the table mechanism, table feed speed information, and table position information,
Compares the magnitude of the speed detector and position detector that generate the feedback signal with the position feedback signal and the input signal that commands movement to the target position, and drives the servo motor with an electric signal corresponding to the deviation. In a closed-loop servo control device consisting of a servo amplifier, a memory element is incorporated into the closed-loop system that stores the position deviation vs. feed speed characteristics in advance so that the magnitude of the loop gain can be switched according to the feed speed. A servo control device characterized by a non-linear relationship between quantity and feed rate.
(2)位置制御の対象となるX−Yテーブル駆動機構と
、該テーブル機構の動力源となるサーボモータと、テー
ブルの送り速度情報及びテーブルの位置情報を検出し、
フィードバック信号を発生する速度検出器及び位置検出
器と該位置フィードバック信号と目標位置までの移動を
指令する入力信号との大きさを比較し、その偏差分に相
当する電気信号でサーボモータを駆動するサーボアンプ
から構成される閉ループサーボ制御装置で入力指令信号
で与える送り速度の変化が極めて大きいような制御系の
場合において、送り速度の変化からマイクロコンピュー
タで設定すべきループゲインを演算し、閉ループ系に組
込んだ書込み可能な記憶素子にゲイン特性を設定し、サ
ーボ系を動作させることを特徴とするサーボ制御装置。
(2) Detecting the X-Y table drive mechanism that is subject to position control, the servo motor that serves as the power source for the table mechanism, table feed speed information, and table position information;
Compare the magnitude of the speed detector and position detector that generate the feedback signal with the position feedback signal and the input signal that commands movement to the target position, and drive the servo motor with an electric signal corresponding to the deviation. In the case of a control system in which the change in feed rate given by an input command signal is extremely large in a closed-loop servo control device consisting of a servo amplifier, the loop gain to be set by a microcomputer is calculated from the change in feed rate, and the closed-loop system 1. A servo control device that operates a servo system by setting gain characteristics in a writable memory element incorporated in the servo control device.
JP4619086A 1986-03-05 1986-03-05 Servo controller Pending JPS62204318A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007065796A (en) * 2005-08-29 2007-03-15 Sony Corp Motor positioning device

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