JPS62198650U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62198650U JPS62198650U JP8676486U JP8676486U JPS62198650U JP S62198650 U JPS62198650 U JP S62198650U JP 8676486 U JP8676486 U JP 8676486U JP 8676486 U JP8676486 U JP 8676486U JP S62198650 U JPS62198650 U JP S62198650U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- positioning pin
- ion
- housing
- pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１Ａ図は、この考案の一実施例に係るイオン
源のイオン源ハウジングを部分的に示す斜視図で
ある。第１Ｂ図は、この考案の一実施例に係るイ
オン源のイオン源本体のフランジ部を示す斜視図
である。第２図は、従来のイオン源の一例を示す
概略断面図である。 ２……イオン源本体、１０……フランジ、１２
……イオン源ハウジング、１４……取付ねじ、１
６……穴、１８……位置決めピン、２０……ピン
穴。
源のイオン源ハウジングを部分的に示す斜視図で
ある。第１Ｂ図は、この考案の一実施例に係るイ
オン源のイオン源本体のフランジ部を示す斜視図
である。第２図は、従来のイオン源の一例を示す
概略断面図である。 ２……イオン源本体、１０……フランジ、１２
……イオン源ハウジング、１４……取付ねじ、１
６……穴、１８……位置決めピン、２０……ピン
穴。
Claims (1)
- イオンビームを引き出すためのイオン源本体を
それを収納するイオン源ハウジングに取付ねじで
固定する構造のイオン源において、イオン源本体
およびイオン源ハウジングの内の一方側に位置決
めピンを、他方側にそれと嵌り合うピン穴を設け
たことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8676486U JPS62198650U (ja) | 1986-06-07 | 1986-06-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8676486U JPS62198650U (ja) | 1986-06-07 | 1986-06-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62198650U true JPS62198650U (ja) | 1987-12-17 |
Family
ID=30943377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8676486U Pending JPS62198650U (ja) | 1986-06-07 | 1986-06-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62198650U (ja) |
-
1986
- 1986-06-07 JP JP8676486U patent/JPS62198650U/ja active Pending