JPS62196342U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62196342U JPS62196342U JP8425786U JP8425786U JPS62196342U JP S62196342 U JPS62196342 U JP S62196342U JP 8425786 U JP8425786 U JP 8425786U JP 8425786 U JP8425786 U JP 8425786U JP S62196342 U JPS62196342 U JP S62196342U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- guide ring
- semiconductor wafer
- wafer chuck
- joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
Description
第１図は本考案の一実施例の正面断面図、第２
図は従来のウエーハーチヤツクの一例の正面断面
図である。 図において、１，１１…ガイドリング、２，１
６…ノズル、３，１２…継手、４，１３…ホルダ
ー、５，１４…Ｎ２ガスパイプ、６，１５…ウエ
ハー、１７…テーパー部。
図は従来のウエーハーチヤツクの一例の正面断面
図である。 図において、１，１１…ガイドリング、２，１
６…ノズル、３，１２…継手、４，１３…ホルダ
ー、５，１４…Ｎ２ガスパイプ、６，１５…ウエ
ハー、１７…テーパー部。
Claims (1)
- ホルダーの中心部に継手を介してガスパイプと
ノズルを連結し、かつガイドリングを該ノズルに
固着してウエハー収納空間を形成せしめてなる半
導体用ウエハーチヤツクにおいて、該ノズルと該
ガイドリングを一体化しかつ該ガイドリング内面
外周部にテーパーを設けたことを特徴とする半導
体用ウエハーチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8425786U JPS62196342U (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8425786U JPS62196342U (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62196342U true JPS62196342U (ja) | 1987-12-14 |
Family
ID=30938591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8425786U Pending JPS62196342U (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62196342U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011060849A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Murata Machinery Ltd | 基板移載装置 |
| JP2022161793A (ja) * | 2021-04-09 | 2022-10-21 | 浙江大学 | 拡張放射流動機構 |
-
1986
- 1986-06-03 JP JP8425786U patent/JPS62196342U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011060849A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Murata Machinery Ltd | 基板移載装置 |
| JP2022161793A (ja) * | 2021-04-09 | 2022-10-21 | 浙江大学 | 拡張放射流動機構 |