JPS62195837A - プラズマｘ線源 - Google Patents
プラズマｘ線源Info
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- JPS62195837A JPS62195837A JP61037439A JP3743986A JPS62195837A JP S62195837 A JPS62195837 A JP S62195837A JP 61037439 A JP61037439 A JP 61037439A JP 3743986 A JP3743986 A JP 3743986A JP S62195837 A JPS62195837 A JP S62195837A
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- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 3
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- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空スパーク式のプラズマＸ線源に係り、特に
Ｘ線リソグラフィに好適なプラズマＸ線源に関する。
Ｘ線リソグラフィに好適なプラズマＸ線源に関する。
最小加工線幅がサブミクロンの超Ｉ、８Ｔ製造装置とし
てＸ線リソグラフィ装置が必要になってきており、その
Ｘ線源として例えば特許公開公報昭５９−１９１９４８
号に見られるように液体全域ヲ用いた真空スパーク式プ
ラズマＸ線源が提案されている。
てＸ線リソグラフィ装置が必要になってきており、その
Ｘ線源として例えば特許公開公報昭５９−１９１９４８
号に見られるように液体全域ヲ用いた真空スパーク式プ
ラズマＸ線源が提案されている。
すなわち、この方式は第６図に示すように一対の先端が
円錐形をなす電極が真空雰囲気内に設けられ、記電極は
コンデンサ３に接続されている。
円錐形をなす電極が真空雰囲気内に設けられ、記電極は
コンデンサ３に接続されている。
一方の電極の周囲には先端部が絞られた形状の筒状体７
が設けられ、Ｇａ々どの液体金属９が充填されており、
その外側にはヒーター８が装着されていて常時Ｇａ？液
体状態に保つようにしている。
が設けられ、Ｇａ々どの液体金属９が充填されており、
その外側にはヒーター８が装着されていて常時Ｇａ？液
体状態に保つようにしている。
その結果、Ｇａは電極１と筒状体７との間隙よりにじみ
出し、電極１の先端部に液滴状となって懸垂する。そこ
で図示していない直流電源のつながれた抵抗６に接続さ
れたスイッチ４を閉じてコンデンサ３會充電する。充電
完了後、スイッチ５を閉じると電極１，２間で立ち上り
時間１μｓ台、を流３００ｋＡの高速パルス大電流を行
なわせる。
出し、電極１の先端部に液滴状となって懸垂する。そこ
で図示していない直流電源のつながれた抵抗６に接続さ
れたスイッチ４を閉じてコンデンサ３會充電する。充電
完了後、スイッチ５を閉じると電極１，２間で立ち上り
時間１μｓ台、を流３００ｋＡの高速パルス大電流を行
なわせる。
すると電極１．２間でＱａ金属蒸気アークが形成され、
早い立ち上りの大電流放電によりＺピンチ現象が発生す
る。このＺピンチ現象によりＧａアークプラズマは高温
に加熱され、特性Ｘ線１０を放出するように々る。この
特性Ｘ線がリソグラフィ用のＸ線として利用される。
早い立ち上りの大電流放電によりＺピンチ現象が発生す
る。このＺピンチ現象によりＧａアークプラズマは高温
に加熱され、特性Ｘ線１０を放出するように々る。この
特性Ｘ線がリソグラフィ用のＸ線として利用される。
ところで、上記した従来技術では、保守に対してあまり
配慮されていないという問題があった。
配慮されていないという問題があった。
すなわち、真空雰囲気とするための真空容器は必ずこの
ようなプラズマＸ線源では、発光物質の補給のためにフ
ランジ部全ネジ止めするなど解体可能に作られ、真空排
気装置が取り付けられてきた。
ようなプラズマＸ線源では、発光物質の補給のためにフ
ランジ部全ネジ止めするなど解体可能に作られ、真空排
気装置が取り付けられてきた。
フランジ部のネジは、数１０本にも及びこれの取り外し
や取り付は並びに排気及びコンデショニング作業に数時
間を要し、半導体製造用のりソグラフイＸ線源としては
このように保守に多くの時間を要するというのは非常に
大きな問題であった。
や取り付は並びに排気及びコンデショニング作業に数時
間を要し、半導体製造用のりソグラフイＸ線源としては
このように保守に多くの時間を要するというのは非常に
大きな問題であった。
一方、保守の容易な封じ切り形のＸ線管としては医療用
の電子衝撃形Ｘ線管があるが、これはＸ線強度が小さく
てリソグラフィ用としてはスループットが小さく実用的
でないという問題があった。
の電子衝撃形Ｘ線管があるが、これはＸ線強度が小さく
てリソグラフィ用としてはスループットが小さく実用的
でないという問題があった。
本発明の目的とするところは、上記した従来技術の問題
点を除去し、保守の容易な高強度の真空スパーク式プラ
ズマＸ線源を提供するにある。
点を除去し、保守の容易な高強度の真空スパーク式プラ
ズマＸ線源を提供するにある。
本発明では、上記目的を達成するために、真空スパーク
式プラズマＸ線源の電極に固体を用い、且つ真空容器を
封じ切り構造とし、さらに端子部を同軸状にして相手方
端子に挿入する構造とし、電極が消耗したら、真空容器
ごと交換するという方式をとる。これにより保守時間は
従来の数時間から、数分のオーダーに短縮でき、保守が
非常に容易になる。
式プラズマＸ線源の電極に固体を用い、且つ真空容器を
封じ切り構造とし、さらに端子部を同軸状にして相手方
端子に挿入する構造とし、電極が消耗したら、真空容器
ごと交換するという方式をとる。これにより保守時間は
従来の数時間から、数分のオーダーに短縮でき、保守が
非常に容易になる。
すなわち、従来の真空容器解体組立作業や、−担真空を
破ったことに対する加熱排気並びに、真空容器の放電洗
浄やコンデショニング作業が不要になり、単に放電管で
ある真空容器を交換する作業だけで済むことになる。そ
の交換作業も端子部が同軸状にできているので、前の真
空容器を引き抜き新しい真空容器を挿入するだけの簡単
な作業でできる。そのため、保守時間は非常に短縮され
、且つ、保守のために真空についての知識や熟練を全く
必要とせず、真空についての素人の作業者にも容易に交
換作業を実施することが可能である。
破ったことに対する加熱排気並びに、真空容器の放電洗
浄やコンデショニング作業が不要になり、単に放電管で
ある真空容器を交換する作業だけで済むことになる。そ
の交換作業も端子部が同軸状にできているので、前の真
空容器を引き抜き新しい真空容器を挿入するだけの簡単
な作業でできる。そのため、保守時間は非常に短縮され
、且つ、保守のために真空についての知識や熟練を全く
必要とせず、真空についての素人の作業者にも容易に交
換作業を実施することが可能である。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。真空
容器は、アルミナセラミックスの筒１４鉄−コバルト合
金の継手２０．無酸素銅製のカップ１３及びステンレス
製の端板１５から成り、端板１５を気密に貫通して無酸
素銅から成る導電棒２３が設けられ、カップ１３の底部
と該導電棒２３の先端部には電極１１．１２が夫々固着
されている。導電、棒２３の真空容器外の部分、及びカ
ップ１３の筒１４に近い部分は端子部となっていて、相
手側端子１６及び１７が夫々設けられている。端子１６
及び１７には集電子１８及び１９が夫々設けられていて
、導電棒２３とカップ１３に夫々電気的接触を保ってい
る。カップ１３の底部には、排気管２１が設けられてい
てこれは真空容器がｌ Ｑ”” Ｔｏｒｒ以下の圧力の
高真空に排気された後、圧接切断されて、真空容器内を
常に高真空状態に保つ。切断部には保護キャップ２２が
設けられる。又、カップ１３の側壁の電極間中心部と同
レベルのところにＸ整数り出し窓２４が設けられている
。このＹ線取り出し窓の先端部には穴がおいていて、第
２図に示すように約２５μ程度のｆ３ｅの膜が、ワッシ
ャ２６によりはさまれてろう付けされている。
容器は、アルミナセラミックスの筒１４鉄−コバルト合
金の継手２０．無酸素銅製のカップ１３及びステンレス
製の端板１５から成り、端板１５を気密に貫通して無酸
素銅から成る導電棒２３が設けられ、カップ１３の底部
と該導電棒２３の先端部には電極１１．１２が夫々固着
されている。導電、棒２３の真空容器外の部分、及びカ
ップ１３の筒１４に近い部分は端子部となっていて、相
手側端子１６及び１７が夫々設けられている。端子１６
及び１７には集電子１８及び１９が夫々設けられていて
、導電棒２３とカップ１３に夫々電気的接触を保ってい
る。カップ１３の底部には、排気管２１が設けられてい
てこれは真空容器がｌ Ｑ”” Ｔｏｒｒ以下の圧力の
高真空に排気された後、圧接切断されて、真空容器内を
常に高真空状態に保つ。切断部には保護キャップ２２が
設けられる。又、カップ１３の側壁の電極間中心部と同
レベルのところにＸ整数り出し窓２４が設けられている
。このＹ線取り出し窓の先端部には穴がおいていて、第
２図に示すように約２５μ程度のｆ３ｅの膜が、ワッシ
ャ２６によりはさまれてろう付けされている。
今、コンデンサ３に充電が行々われ、スイッチ５を閉じ
ることにより、電極１１と１２の間で放電が生じる。こ
の場合、電極はＭＯなどの固体でできており、電極間で
はＭＯの金属蒸気アークを発生１〜、これが、早い立ち
」二すの犬′ｖｉ流放電によりＺピンチ現象を引きおこ
［〜、ＭＯの特性Ｘ線２７を放出する。との特性Ｘ線ば
ｆ３ ｅ膜を透過［７て真空容器外に放出される。
ることにより、電極１１と１２の間で放電が生じる。こ
の場合、電極はＭＯなどの固体でできており、電極間で
はＭＯの金属蒸気アークを発生１〜、これが、早い立ち
」二すの犬′ｖｉ流放電によりＺピンチ現象を引きおこ
［〜、ＭＯの特性Ｘ線２７を放出する。との特性Ｘ線ば
ｆ３ ｅ膜を透過［７て真空容器外に放出される。
電極１１．１２が消耗した場合、あるいはＢｅ膜の電極
物質による汚損が進んだ場合には、この真空容器を下方
に引き抜き、新しい真空容器全挿入することにより、交
換を行なう。
物質による汚損が進んだ場合には、この真空容器を下方
に引き抜き、新しい真空容器全挿入することにより、交
換を行なう。
第３図は、本発明の他の実施例である。本実施例ではカ
ップ１３の外側にもう一つステンレス鋼よりなるカップ
２７全もう一つ設けた例である。
ップ１３の外側にもう一つステンレス鋼よりなるカップ
２７全もう一つ設けた例である。
この場合も端子部は同軸状になっており、第１図の場合
と全く同様に保守することができる。
と全く同様に保守することができる。
第４図はさらに本発明の別の実施例である。本実施例で
は、カップ１３に取り付けた電極を軸方向に可動にして
、電極間隙を常に適正な長さに調整できるようにしであ
る。すなわち、カップ１３の底部にホルダー２９を固着
し、その軸中心部に電極２８を設け、集電子３（ｌ介し
て電気的導通をとっている。カップ１３の底部にはベロ
ーズ３２が取り付けられ、その端部には電極２８を固着
した蓋状体３３が気密に取着されている１、又、ベロー
ズ３２の外周部にはガイド３１が設けられ、ガイド３１
の端板３７にはネジ機構３４が設けられていて、蓋状１
１１ｉ ３３に固着された系合体３６と果合している。
は、カップ１３に取り付けた電極を軸方向に可動にして
、電極間隙を常に適正な長さに調整できるようにしであ
る。すなわち、カップ１３の底部にホルダー２９を固着
し、その軸中心部に電極２８を設け、集電子３（ｌ介し
て電気的導通をとっている。カップ１３の底部にはベロ
ーズ３２が取り付けられ、その端部には電極２８を固着
した蓋状体３３が気密に取着されている１、又、ベロー
ズ３２の外周部にはガイド３１が設けられ、ガイド３１
の端板３７にはネジ機構３４が設けられていて、蓋状１
１１ｉ ３３に固着された系合体３６と果合している。
従ってネジ機構により電極２８は上下動することが可能
であり、電極が消耗すれば、このピン機構により調節し
て常に適正な間隙長に保つことができ、Ｘ線源の寿命を
伸ばすことができる。
であり、電極が消耗すれば、このピン機構により調節し
て常に適正な間隙長に保つことができ、Ｘ線源の寿命を
伸ばすことができる。
第５図はさらに又、別の実施例である。これは第３図の
実施例において、Ｘ線取り出し窓２４の前面に、Ｂｅ膜
に電極物質が付着するのを防止するための保護膜３８を
設けた例である。この保護膜３８は薄いプラスチック膜
あるいＦｉＢｅ膜などで構成され、円板３９の周辺部に
沿って貼られており、円板３９はその中心部で軸４２に
回転自在に支承されており、又円板３９の円周部の一部
には磁性体片４０が固着されている。保護膜３８の汚損
が進めば、外部磁石４１によって、円板３９を回転させ
新【７い保護膜をセットすることができる。このように
して本実施例では、Ｂｅ膜の寿命を伸ばすことが可能で
あり長寿命のＸ線源を提供テキる。保護膜としては、カ
メラのフィルムのように巻取り式とすることも可能であ
る。
実施例において、Ｘ線取り出し窓２４の前面に、Ｂｅ膜
に電極物質が付着するのを防止するための保護膜３８を
設けた例である。この保護膜３８は薄いプラスチック膜
あるいＦｉＢｅ膜などで構成され、円板３９の周辺部に
沿って貼られており、円板３９はその中心部で軸４２に
回転自在に支承されており、又円板３９の円周部の一部
には磁性体片４０が固着されている。保護膜３８の汚損
が進めば、外部磁石４１によって、円板３９を回転させ
新【７い保護膜をセットすることができる。このように
して本実施例では、Ｂｅ膜の寿命を伸ばすことが可能で
あり長寿命のＸ線源を提供テキる。保護膜としては、カ
メラのフィルムのように巻取り式とすることも可能であ
る。
以上説明したように本発明は、真空雰囲気内に対峙させ
た一体の電極を有し、且つこの電極間にてパルス大電流
放電ヲ行なわせる手段を設けてなる真空スパーク式プラ
ズマＸ線源において、真空容器を封じ切り構造とし且つ
端子部を同軸状に構成したものであるから、軸方向に引
き抜き、新品を軸方向に挿入するという簡単か動作で交
換作業ができ、保守時間を大幅に短縮することができる
。
た一体の電極を有し、且つこの電極間にてパルス大電流
放電ヲ行なわせる手段を設けてなる真空スパーク式プラ
ズマＸ線源において、真空容器を封じ切り構造とし且つ
端子部を同軸状に構成したものであるから、軸方向に引
き抜き、新品を軸方向に挿入するという簡単か動作で交
換作業ができ、保守時間を大幅に短縮することができる
。
第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図はＸ線取
り出し窓の詳細図、第３図は本発明の別の実施例の縦断
面図、第４図、第５図一本発明のさらに別の実施例を示
す図、第６図は従来例の説明図である。 １１．１２．２８・・・ｉ極、１４・・・筒、２３・・
・導電棒、１３・・・カップ、１６．１７・・・端子。
り出し窓の詳細図、第３図は本発明の別の実施例の縦断
面図、第４図、第５図一本発明のさらに別の実施例を示
す図、第６図は従来例の説明図である。 １１．１２．２８・・・ｉ極、１４・・・筒、２３・・
・導電棒、１３・・・カップ、１６．１７・・・端子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空雰囲気内に対峙させた一対の電極を有し且つこ
の電極間にてパルス大電流放電を行なわせる手段が設け
られてなる真空スパーク式プラズマＸ線源において、該
電極は一部に絶縁性部材を含む封じ切りの真空容器内に
収納され且つ電極を含む導体は同軸状に構成され又端子
部も同軸状に構成されてなるところに特徴を有するプラ
ズマＸ線源。 ２、特許請求の範囲第１項において、該電極は一部に絶
縁性部材を含む封じ切りの真空容器内に収納され且つ該
電極を含む導体は同軸状に構成され又端子部も同軸状に
構成され該電極の一方は軸方向に可動にして設けられた
ところに特徴を有するプラズマＸ線源。 ３、特許請求の範囲第１項において、該電極は一部に絶
縁性部材を含む封じ切りの真空容器内に収納され且つ該
電極を含む導体は同軸状に構成され又端子部も同軸状に
構成され且つＸ線取り出し窓の内側前面に送り機構を備
えた保護膜が設けられてなるところに特徴を有するプラ
ズマＸ線源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61037439A JPS62195837A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | プラズマｘ線源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61037439A JPS62195837A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | プラズマｘ線源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62195837A true JPS62195837A (ja) | 1987-08-28 |
Family
ID=12497541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61037439A Pending JPS62195837A (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 | プラズマｘ線源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62195837A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1122765A1 (en) * | 2000-02-07 | 2001-08-08 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric barrier discharge lamp |
-
1986
- 1986-02-24 JP JP61037439A patent/JPS62195837A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1122765A1 (en) * | 2000-02-07 | 2001-08-08 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric barrier discharge lamp |
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