JPS62193259A - Cassette conveyance case - Google Patents
Cassette conveyance caseInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「竜業上のオリ用分野、１
本発明は、ＬＳＩ ウェハ等を国送する際に用いられ
る防塵効果を有するカセット搬送ケースに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a dust-proof cassette transport case used when transporting LSI wafers and the like.
「従来の技術」
ＬＳＩ ｍｍにおいては、ＬＳＩ ウェハをカセット
に成語１− 拗造装置から製造裟ばへと運んでいる。運
ぶのζ二人手による場合もあれば搬送装置で運ぶことも
ある。いずれ（ニしろＬＳＩ ｍ造においては、ＬＳ
Ｉ ウェハへの塵埃の付着は製造歩留りＣ二人きな影
響を与えるために、カセツ）ｐカセットケースの中Ｃ二
収納し搬送することにより塵埃の付ｍを出来る限り防い
でいる。第７図は従来のカセット搬送ケースの代表的な
例である。ｌはカセットケース本体、２は底板、３はカ
セット、４は底板に設けられた突起、５はカセットケー
スの一部であるフランジ部、６は底板の端部である。``Prior Art'' In LSI mm, LSI wafers are transported in cassettes from a manufacturing device to a manufacturing facility. Sometimes it is carried by two people, sometimes by a transport device. Eventually (in Nishiro LSI m construction, LS
Since the adhesion of dust to wafers has a significant effect on the manufacturing yield, the adhesion of dust to the wafers is prevented as much as possible by storing and transporting the wafers in cassette cases. FIG. 7 shows a typical example of a conventional cassette transport case. 1 is a cassette case main body, 2 is a bottom plate, 3 is a cassette, 4 is a protrusion provided on the bottom plate, 5 is a flange part which is a part of the cassette case, and 6 is an end of the bottom plate.
カセット３を運搬するには、底板２の上ζニカセット３
を１！ぜ、その上からカセットケース本体ｌで蓋をして
いる。カセットケース本体１と底板２のかん合、位置決
めは底板２の突起４とカセットケース本体１の内側・潰
との七ｇ触（二より行われる。To transport the cassette 3, place the cassette 3 on top of the bottom plate 2.
1! Then, cover it with the cassette case itself. The mating and positioning of the cassette case body 1 and the bottom plate 2 is carried out by contacting the protrusion 4 of the bottom plate 2 with the inner side of the cassette case body 1.
また、運搬時におけるカセットケース外Ｓからの塵埃の
進入に対する防厘は、カセットケース本体ｌのフランジ
部５と底板２の１部６が平面接触すること≦；よりなさ
れている、このような構成のカセット諏送ケースにおい
ては、フランジ８５と端部６の接触の状態により防塵効
果が種々違い、フランジ部５と端部６の加工寸法公差が
厳しい程、接触が良好で防塵効果がある。換言すれば、
フランジ部５と端部６の接触のすき間が小ざい程防塵効
果がある。In addition, protection against intrusion of dust from the outside S of the cassette case during transportation is achieved by ensuring that the flange portion 5 of the cassette case body l and the first portion 6 of the bottom plate 2 are in plane contact with each other. In the cassette transfer case, the dust-proofing effect varies depending on the state of contact between the flange 85 and the end 6, and the tighter the machining dimensional tolerance between the flange 5 and the end 6, the better the contact and the better the dust-proofing effect. In other words,
The smaller the gap between the contact between the flange portion 5 and the end portion 6, the better the dustproof effect.
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、ＬＩＳ の製造においては、カセット搬送ケ
ースを多数個使用するために、カセットＶ送ケースの低
価格化が要請されている。また、カセット搬送ケースの
１普が重いと、このケースを人手あるいは搬送装置で１
送する場合（’ｍａｌ々の問題が生じるので、カセット
電送ケースの軽量化が要請てれている。"Problems to be Solved by the Invention" Incidentally, in the manufacture of LIS, since a large number of cassette transport cases are used, there is a demand for a lower price of the cassette V transport case. Also, if the cassette transport case is heavy, it may be necessary to move the case manually or with a transport device.
When transmitting cassettes, there is a need to reduce the weight of the cassette transmission case because of the problem of malfunction.
ところが、上記のカセット搬送ケースでは、フランジ部
５と端部６の加工精度を良好Ｃ：保つなめにカセットケ
ース本体１と底板２の加工が機械加工とならざるを得す
、ケースが極めて高価なものとなっていた。また、フラ
ンジ部５と端部６との接触を良好に保つためにはカセッ
トケース本体１の重量かある程度必要であり、このため
カセットケース本体１が金属製となり、ケース全体が極
めて重いものとなっていた。However, in the above-mentioned cassette transport case, in order to maintain good machining accuracy of the flange portion 5 and end portion 6, the machining of the cassette case body 1 and bottom plate 2 must be done by machining, and the case is extremely expensive. It had become a thing. Furthermore, in order to maintain good contact between the flange portion 5 and the end portion 6, a certain amount of weight is required for the cassette case body 1, and for this reason, the cassette case body 1 is made of metal, making the entire case extremely heavy. was.
本発明は、上記のような力七ットｉ送ケーヌの、価、格
および重量を問題としている。The present invention deals with the price, price, and weight of the above-mentioned power supply cable.
「問題点を解決するための手段」
本発明は、上記のようなカセットケース本体のフランジ
部を底板Ｃ：接触させるようＣ二したカセット搬送ケー
スにおいて、上記フランジ部と底板との接触面の少なく
とも一方に溝を形成してなることを特徴とするものであ
シ、上記フランジ部と底板との接触部にラビリンスシー
ルの考え方を導入したものである、
「実施例」
第１囚ないし８ｇ４図は本発明の一実施例を示す図であ
る。、図において、符号１０はカセットケース本体、１
１は底板、１２はラビリンスシール部、１３はカセット
ケース本体１０の外側面（二形成された取っ手、１４は
底板１１の側部に形成された搬送用取っ手である。カセ
ット本体１０は箱状ｇ：影形成れたものであって、その
内部がカセット収納部１５となっており、カセット収納
部１５の開口部周縁全域にフランジ部１６が形成されて
いるわとのカセット搬送ケースを使用する際には、底板
１１上砿二図示しないカセットを載置し、この底板１１
の上をカセットケース本体ｌＯで蓋をする。"Means for Solving the Problems" The present invention provides a cassette transport case in which the flange portion of the cassette case body as described above is brought into contact with the bottom plate C: at least the contact surface between the flange portion and the bottom plate. It is characterized by having a groove formed on one side, and the idea of a labyrinth seal is introduced at the contact part between the flange part and the bottom plate. FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention. , in the figure, reference numeral 10 indicates a cassette case body;
1 is a bottom plate, 12 is a labyrinth seal part, 13 is a handle formed on the outer surface of the cassette case body 10, and 14 is a transport handle formed on the side of the bottom plate 11.The cassette body 10 has a box-shaped g : When using a cassette transport case that is shaded, has a cassette storage section 15 inside, and has a flange section 16 formed around the entire opening periphery of the cassette storage section 15. A cassette (not shown) is placed on the bottom plate 11, and the bottom plate 11 is
Cover the top with the cassette case body lO.
ここで、底板１１はカセットケース本体１０のカセット
収納部１５の開口部を閉寒し、カセットはカセット収納
部１５内に位置する。取っ手１３は、上記のようｆニカ
セットケース本体１０で蓋をする際Ｃ二人手あるいは機
械により把持する部分である。Here, the bottom plate 11 closes the opening of the cassette storage part 15 of the cassette case body 10, and the cassette is located in the cassette storage part 15. The handle 13 is a part that is held by two people or by a machine when closing the cassette case body 10 as described above.
カセットケース本体１０と底板１１とを分熱する際にも
取っ手１３が把持する部分となるａ搬送用取っ手１４は
、このカセットａ送ケースを人手あるいは戎送装置で運
搬する際ζ；把持する部分である。The handle 14 for transporting the cassette case is the part that the handle 13 grips when heating the cassette case body 10 and the bottom plate 11. It is.
カセットケース本体１０と底板１１とのかん合および位
置決めはラビリンスシールｍ１２で行なわれるや
ラビリンスシール部１２の詳細はｇ１図Ｃ二示されてい
る。図に示すように、カセットケース本体１０のフラン
ジ部１６の下面（二は、フランジ部１６の全問に亘って
突起１７が形成されている。The engagement and positioning of the cassette case body 10 and the bottom plate 11 are performed by a labyrinth seal m12, and the details of the labyrinth seal portion 12 are shown in Figure G1 and C2. As shown in the figure, a protrusion 17 is formed on the lower surface of the flange portion 16 of the cassette case body 10 (secondly, a protrusion 17 is formed over the entire flange portion 16).
また、底板１１の上面には、突起１７に対応する箇所に
溝１８が形成されている、底板１工上をカセットケース
本体１０で蓋をした場合には、上記突起１７が上記溝１
８にがん合し、カセットケース本体ｌＯが位置決めされ
たうえで底板１１に固定される。ここで、カセットケー
ス本体１０のフランジ部１６と底板１１との開は、平坦
部分１９〜２２（二形成される接触開成に対して突起１
７と溝」８との間ζ二形成される空間２３が大きな空間
となっており、いわゆるラビリンスシール構造トなって
いる。ラビリンスシールは、通過する気体の膨張をひき
起こすこと１：より流れに対する抵抗を与えるもので、
良好なシール効果が得られる６第５図は、上記の構造か
らなるカセット搬送ケースの防塵性能の測定結果を示す
図である。この測定は次の条件により行った。Further, grooves 18 are formed on the upper surface of the bottom plate 11 at locations corresponding to the protrusions 17. When the bottom plate 1 is covered with the cassette case body 10, the protrusions 17 are formed in the grooves 18.
8, the cassette case main body IO is positioned and fixed to the bottom plate 11. Here, the opening between the flange portion 16 of the cassette case body 10 and the bottom plate 11 is determined by the projection 1 with respect to the flat portions 19 to 22 (two formed contact openings).
A space 23 formed between the groove 7 and the groove 8 is a large space, and has a so-called labyrinth seal structure. Labyrinth seals cause expansion of the gas passing through them.1: They provide more resistance to flow;
A good sealing effect can be obtained.6 FIG. 5 is a diagram showing the measurement results of the dustproof performance of the cassette transport case having the above structure. This measurement was performed under the following conditions.
カセット本体１０ 合成樹脂製
底板１１ 合成樹脂製
カセット搬送ケースの容積 ２．５を嶌
溝１８の全ｆｆｉ ６２ （Ｈｕｃ
簗１図二示すラビリンスシール部１２の各部の寸法
ｔ＝７＝
ｔ、＝５
ｔ５＝ ２．５
ｔ６＝３
ｔ７＝４
測定結果では、カセット搬送ケースの外部におケル塵埃
がクラス２０前後であるのに対して、カセット搬送ケー
ス内部ではクラス１以下の値となっている。なお、本測
定は通電測定している（１．５μｍ以上の復埃粒子の数
をダストカウンタで測定し念もので、塵埃粒子の数をも
ってクラスと呼んでいる。クラス２０とは１３Ｚ方フイ
ート中に塵埃粒子が２０％あることである。Cassette body 10 Synthetic resin bottom plate 11 The volume of the synthetic resin cassette transport case is 2.5, and the total ffi of the groove 18 is 62 (Huc
Dimensions of each part of the labyrinth seal part 12 shown in Figure 1 and 2 t = 7 = t, = 5 t5 = 2.5 t6 = 3 t7 = 4 The measurement results show that the dust on the outside of the cassette transport case is around class 20. On the other hand, inside the cassette transport case, the value is below class 1. In addition, this measurement is conducted with electricity (the number of dust particles of 1.5 μm or more is measured with a dust counter, and the number of dust particles is called a class. There are 20% dust particles in the area.
しかして、このカセット搬送ケースでは、カセットケー
ス本体ｌＯと底板１１とを結合させたときにこれらの間
がラビリンスシール部１２となるので、塵埃類がケース
の内部（二侵入するのを効果的に防ぐことができ、優れ
た防塵効果が得られる。In this cassette transport case, when the cassette case main body lO and the bottom plate 11 are combined, the space between them becomes a labyrinth seal 12, which effectively prevents dust from entering the inside of the case. Excellent dustproofing effect can be obtained.
上記のようにこのケースは、構造的に優れた防塵効果が
得られるので、カセットケース本体１０゜底板１１の刀
Ω工棺度としてさほど高い！＃度が要求されず、したが
って曾成冑脂を成形加工することによって得ることがで
きる。この結呆、このケースを合成衛脂で製作すれば、
製品を安価（＝得ることができ、まｆｃ製品の軽量化を
図ることができる、なお、上記の実施例のよつに突起１
７と溝１８によりラビリンスシール部を構成した場付、
上記の各部がカセットケース本体１０と底板ｌｌのがん
合の位置決めの役割を果すことができる、第６−に本発
明の他の実施例を示す。第１図ないし第４図では突起と
溝を設けたものであったが、第６図に丞す場合は、カセ
ットケース本体１０゜底板１１の双方に溝を形成したも
のでカセットケース本体１０の溝２５と底板１１の溝２
６とで形成される９！、間２７でラビリンスシールが形
成される。なお、本実施例の場合（ユは、カセットケー
ス本体１０と底板１１のかん合、位置決め用の部分を他
ｊ二設ける必要がある。As mentioned above, this case has an excellent dustproof effect structurally, so the cassette case body 10° and bottom plate 11 have a very high degree of construction! # degree is not required and therefore can be obtained by molding Zengcheng glaze. If you make this case with synthetic sanitary resin,
It is possible to obtain a product at a low price (=), and it is possible to reduce the weight of the fc product.
7 and groove 18 constitute a labyrinth seal part,
A sixth embodiment of the present invention will be described in which each of the above-mentioned parts can play a role in positioning the cassette case body 10 and the bottom plate 11. In Figures 1 to 4, protrusions and grooves are provided, but in the case shown in Figure 6, grooves are formed on both the cassette case body 10 and the bottom plate 11. Groove 25 and groove 2 of bottom plate 11
9 formed by 6! , a labyrinth seal is formed between 27 and 27. In the case of this embodiment, it is necessary to provide two other parts for fitting and positioning the cassette case body 10 and the bottom plate 11.
上記の９１施例では、突起と溝、溝と溝による１つのみ
によるラビリンスシールの例を示したが、多数個設けれ
ば防塵効果が太き（なることは当然のことである。しか
し、ＬＳＩ ウェハを搬送する ４゜カセット搬送ケ
ースの場合、カセット搬送ケース内部と外部の圧力差は
ないので、多数個設けても１個の場合（＝比べ効果が多
数倍になることはない、「発明の効果」
本発明によれば、カセットケース本体のフランジ部を底
板に接触させるようにしだカセット搬送ケースにおいて
、フランジＭ５と紙板との接触面の少なくとも一方に溝
を形成し、フランジ部と底板との接触部をラビリンスシ
ール構造としたから、上記の接触部からケースの内部、
に必埃類が侵入するのを効果的に防ぐことかでき、渡れ
た防顧効来が得られろ。そして、構造的に費れた防塵効
果が徂られるから 愚にカセットケース水体２好扱の加
工精度を上げる必殻はなく、その１！Ｉ＃度は合成樹脂
の成形加工精度で充分である。したがって、合成樹脂成
形品を用いることにより、ケースの低価格仕を図ること
が出来るとともに！ｆｉ化も可能であり、従来のケース
の問題を全て解決することができる。In the above-mentioned Example 91, an example of a labyrinth seal with only one protrusion and groove or groove and groove was shown, but it is natural that the dustproof effect will be greater if a large number of them are provided.However, In the case of a 4° cassette transport case for transporting LSI wafers, there is no pressure difference between the inside and outside of the cassette transport case, so even if multiple cassettes are installed, the effect will not be doubled compared to the case of one. According to the present invention, in a cassette transport case in which the flange portion of the cassette case body is brought into contact with the bottom plate, a groove is formed in at least one of the contact surfaces between the flange M5 and the paper board, and the flange portion and the bottom plate are brought into contact with each other. Since the contact part has a labyrinth seal structure, the inside of the case from the above contact part,
It can effectively prevent dust from entering the area, providing a defensive effect. And since the dust-proofing effect of the structure is improved, there is no need to foolishly improve the machining accuracy of the cassette case water body 2. I# degree is sufficient for molding precision of synthetic resin. Therefore, by using synthetic resin molded products, the case can be made at a lower price! FI is also possible, and all the problems of the conventional case can be solved.
第１図ないし第４図は本発明の一冥施例を示す図であっ
て、第１図はカセット搬送ケースの要部の断面図、第２
図は同ケースの斜視図、第３向は同ケースの平面図、第
４図は同ケースの一恥を断面視した正面図、第５図はカ
セット搬送ケースの防塵性能の測定結果を示す図、第６
図は本発明の別の実施例を示す要部断面図、第７図は従
来のカセット搬送ケースの正断面図である。
１０・・・・・・カセットケース本体、１１・・・・・
・底板、１５・・・・・・カセット収納部、１６・・・
・・・フランジ品、１８・・・・・・溝。
出願人 日本電信電話株式会社
代理人 弁理士 志 賀 正 武−゛ 、第３図
第４図
第５図
Ｔｉ、ｍｅ （ｍｉ、ｎ）1 to 4 are diagrams showing one embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a cross-sectional view of the main part of the cassette transport case, and FIG.
The figure is a perspective view of the case, the third direction is a plan view of the case, Figure 4 is a cross-sectional front view of the case, and Figure 5 is a diagram showing the measurement results of the dustproof performance of the cassette transport case. , 6th
The figure is a sectional view of a main part showing another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a front sectional view of a conventional cassette transport case. 10...Cassette case body, 11...
・Bottom plate, 15...Cassette storage section, 16...
...flange product, 18...groove. Applicant Nippon Telegraph and Telephone Corporation Agent Patent Attorney Masatake Shiga, Figure 3, Figure 4, Figure 5 Ti, me (mi, n)
Claims (1)
形成されているカセットケース本体と、上記フランジ部
に接触して上記カセットケース本体の開口部を閉塞する
底板とから構成されるカセット搬送ケースにおいて、上
記フランジ部と底板との接触面の少なくとも一方に溝を
形成してなることを特徴とするカセット搬送ケース。A cassette transport case consisting of a cassette case body that has a cassette storage section and a flange formed around the opening, and a bottom plate that contacts the flange and closes the opening of the cassette case body. A cassette transport case characterized in that a groove is formed in at least one of the contact surfaces between the flange portion and the bottom plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3553686A JPS62193259A (en) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | Cassette conveyance case |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3553686A JPS62193259A (en) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | Cassette conveyance case |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193259A true JPS62193259A (en) | 1987-08-25 |
Family
ID=12444453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3553686A Pending JPS62193259A (en) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | Cassette conveyance case |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62193259A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422929U (en) * | 1990-06-14 | 1992-02-25 | ||
| WO2019203270A1 (en) * | 2018-04-19 | 2019-10-24 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate-accommodating container |
| JP2019207903A (en) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate housing container |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59109786A (en) * | 1982-12-16 | 1984-06-25 | Toshiba Corp | Heat exchanger |
| JPS60227437A (en) * | 1983-09-28 | 1985-11-12 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | Interface for treating integrated circuit |
-
1986
- 1986-02-20 JP JP3553686A patent/JPS62193259A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59109786A (en) * | 1982-12-16 | 1984-06-25 | Toshiba Corp | Heat exchanger |
| JPS60227437A (en) * | 1983-09-28 | 1985-11-12 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | Interface for treating integrated circuit |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422929U (en) * | 1990-06-14 | 1992-02-25 | ||
| WO2019203270A1 (en) * | 2018-04-19 | 2019-10-24 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate-accommodating container |
| JPWO2019203270A1 (en) * | 2018-04-19 | 2021-05-13 | 信越ポリマー株式会社 | Board storage container |
| US11450543B2 (en) | 2018-04-19 | 2022-09-20 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
| JP2019207903A (en) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate housing container |
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