JPS62190814A - Voltage nonlinear device - Google Patents

Voltage nonlinear device

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JPS62190814A
JPS62190814A JP61034645A JP3464586A JPS62190814A JP S62190814 A JPS62190814 A JP S62190814A JP 61034645 A JP61034645 A JP 61034645A JP 3464586 A JP3464586 A JP 3464586A JP S62190814 A JPS62190814 A JP S62190814A
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JP
Japan
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voltage
zno
varistor
present
fine powder
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JP61034645A
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Japanese (ja)
Inventor
康男 若畑
真二 原田
浩明 水野
勇 増山
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は印加電圧によって抵抗値が変化する電圧非直線
性素子に関するもので、電圧安定化、異常電圧制御、さ
らにはマ) IJフックス動の液晶。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a voltage non-linear element whose resistance value changes depending on an applied voltage, and is useful for voltage stabilization, abnormal voltage control, and (a) IJ-Fuchs dynamic liquid crystal.

KLなどの表示デバイスのスイッチング素子などに利用
されるものである。
It is used in switching elements of display devices such as KL.

従来の技術 従来の電圧非直線性素子は、酸化亜鉛(ZnO)に酸化
ビスマス(Bi20.)、酸化コバルト(C’203)
+酸化マンガン(MnO□)、酸化アンチモン(Sb2
0.)などの酸化物を添加して、1000〜1350’
Cで焼結したZnOバリスタなど1種々のものがある。
Conventional technology Conventional voltage nonlinear elements are made of zinc oxide (ZnO), bismuth oxide (Bi20.), and cobalt oxide (C'203).
+ Manganese oxide (MnO□), antimony oxide (Sb2
0. ) and other oxides to increase the
There are various types such as ZnO varistors sintered with carbon.

その中で、 ZnOバリスタは電圧非直線指数α、サー
ジ耐量が大きいことから、最も一般的に使われている。
Among them, ZnO varistors are the most commonly used because of their high voltage nonlinearity index α and high surge resistance.

(特公昭46−19472号公報参照)発明が解決しよ
うとする問題点 このような従来の電圧非直線性素子は、ZnOバリスタ
を初めとして、素子厚みを薄く(数十μm以下)するこ
とに限界があるため、バリスタ電圧(バリスタに電流1
mAを流した時の電圧v11nムで表される)を低くす
ることに限界があり、低電圧用10の保護素子や低い電
圧における電圧安定化素子として使えないものであった
。また、上述したように1ooO°C以上の高温プロセ
スを必要とするため、ガラス基板上あるいは回路基板上
に電圧非直線性素子を直接形成できないという問題があ
った。さらに、従来のものは並列静電容量が大きく、例
えば液晶などのスイッチング素子としては不適当なもの
であるなどの問題点を有していた。
(Refer to Japanese Patent Publication No. 46-19472) Problems to be Solved by the Invention Conventional voltage nonlinear elements such as these, including ZnO varistors, have limitations in making the element thickness thin (several tens of μm or less). Therefore, the varistor voltage (current 1 to the varistor)
There is a limit to lowering the voltage (expressed as v11nm) when mA is applied, and it cannot be used as a protection element for low voltages or a voltage stabilizing element at low voltages. Further, as described above, since a high temperature process of 100° C. or higher is required, there is a problem that a voltage nonlinear element cannot be directly formed on a glass substrate or a circuit board. Furthermore, conventional devices have a large parallel capacitance, making them unsuitable for use as switching elements for liquid crystals, for example.

問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明は、薄い絶縁抜膜を
施した微粉末状の半導体物質を絶縁性の結合剤で固め、
電極を備えてなるものである。
Means for Solving the Problem In order to solve this problem, the present invention involves solidifying a finely powdered semiconductor material with a thin insulation film removed with an insulating binder.
It is equipped with electrodes.

作用 この構成によれば、低電流域においても電圧非直線指数
αの大きなものが得られ、かつ電極間距離を狭く(数十
μm以下)して素子を形成することができ、低電圧化に
適した素子がきわめて容易に得られることとなる。また
、結合剤で固めて素子形成を行う際に高温プロセスを必
要とすることなく作ることができるため、回路基板上に
素子を直接形成することができ、  ZnOバリスタな
どでは考えられない幅広い用途が期待できるものである
Effect: According to this configuration, a large voltage non-linearity index α can be obtained even in a low current range, and an element can be formed with a narrow distance between electrodes (several tens of μm or less), making it possible to reduce voltage. A suitable element can be obtained very easily. In addition, since it can be made without requiring high-temperature processes when solidifying it with a binder and forming elements, it is possible to form elements directly on circuit boards, allowing for a wide range of applications unimaginable with ZnO varistors and the like. This is something to look forward to.

さらに、微粉末状の半導体物質を固めたものであるため
、それぞれの半導体物質の微粉末間は点接触となり、接
触面積が小さいことから並列静電容量の小さなものが得
られ、液晶などのデバイスのスイッチング素子として最
適な素子が提供できることとなる。
Furthermore, since it is a solidified form of semiconductor material in the form of fine powder, there is point contact between the fine powders of each semiconductor material, and because the contact area is small, it is possible to obtain a small parallel capacitance, which is useful for devices such as liquid crystals. This means that an optimal element can be provided as a switching element.

実施例 以下、本発明を実施例にもとづいて詳細に説明する。Example Hereinafter, the present invention will be explained in detail based on examples.

まず、粒子径が0.06〜1μmの微粒子状の酸化亜鉛
を700〜1300′Gで焼成した後、その焼結された
ZnOを0.5〜60μmの粒子径(平均粒子径1〜1
0μm )に粉砕し、そのZnO微粉末に酸化コバルト
を0.06〜10mo1%添加し1600〜1350’
Cで10〜60分間、熱処理し、そのZnO微粉末表面
に酸化コバルトの絶縁被膜を形成した。ここで、微粉末
状のZnOの表面にはCO□0.絶縁被膜がほぼ数十〜
数百人の厚さで薄く形成されていることが認められた。
First, fine particulate zinc oxide with a particle size of 0.06 to 1 μm is fired at 700 to 1300'G, and then the sintered ZnO is sintered with a particle size of 0.5 to 60 μm (average particle size of 1 to 1
0 μm), and 0.06 to 10 mo1% of cobalt oxide was added to the ZnO fine powder to form a powder of 1600 to 1350'.
C for 10 to 60 minutes to form an insulating film of cobalt oxide on the surface of the ZnO fine powder. Here, the surface of the fine powder ZnO contains CO□0. Approximately several dozen insulation coatings
It was observed that it was formed thinly, with a thickness of several hundred people.

次いで、このようにして作成したCo2O3絶縁被膜が
表面についたZnO微粉末群は弱い力で互いに接着して
いるので、これを乳鉢あるいはボットミルでほぐし、微
粉末状とした。次に、上記のようにして得られたCo2
O3絶縁被膜が表面に形成された微粉末状のZnOに、
微粉末間の結合を図る絶縁性の結合剤(バインダー)と
してポリイミド樹脂を添加し、混合した。ここで、結合
剤としてはポリイミド樹脂の固形分が溶剤(例えばn−
メチル−2−ピロリドン)に対してSwt%となるよう
に薄めたものとし、それをZnO微粉末と例えば等重量
で混合し、ペイント状とした。次いで、上記のようにし
て得られたペイントを第2図に示すようにITO(イン
ジウム・スズ酸化物)電極1の設けられたガラス基板3
上に例えばスクリーン印刷で塗布し。
Next, since the ZnO fine powder group with the Co2O3 insulating film formed on its surface adhered to each other with a weak force, it was loosened in a mortar or a bot mill to form a fine powder. Next, the Co2 obtained as above
Finely powdered ZnO with an O3 insulating film formed on its surface,
A polyimide resin was added as an insulating binder to bond the fine powders together and mixed. Here, as a binder, the solid content of polyimide resin is used as a solvent (for example, n-
It was diluted to Swt % based on methyl-2-pyrrolidone), and mixed with ZnO fine powder in an equal weight, for example, to form a paint. Next, the paint obtained as described above is applied to a glass substrate 3 provided with an ITO (indium tin oxide) electrode 1, as shown in FIG.
For example, apply it by screen printing.

その上に同じ(ITO電極2の設けられたガラス基板4
を載置し、280〜400’Cで30分間。
On top of that is the same (glass substrate 4 provided with ITO electrode 2)
and placed at 280-400'C for 30 minutes.

大気中で硬化させ、電極1,2間に電圧非直線性素子5
を設けた。第1図は、電圧非直線性素子5の拡大断面図
であり、6はZnO微粉末、7はzri。
After curing in the atmosphere, a voltage nonlinear element 5 is placed between the electrodes 1 and 2.
has been established. FIG. 1 is an enlarged sectional view of the voltage nonlinear element 5, in which 6 is ZnO fine powder and 7 is ZRI.

微粉末6の表面に施されたCo2O3絶縁被膜18はそ
れらZnO微粉末6間を機械的に結合している絶縁性の
結合剤であり、この結合剤8でもってzn。
The Co2O3 insulating film 18 applied to the surface of the ZnO fine powder 6 is an insulating binder that mechanically connects the ZnO fine powders 6, and this binder 8 allows the Zn.

微粉末6の間は互いに固められている。第3図はITO
電極1a、1bが設けられたガラス基板3&上に電圧非
直線性素子6を構成した場合を示している。
The fine powders 6 are solidified together. Figure 3 shows ITO
A case is shown in which a voltage nonlinear element 6 is constructed on a glass substrate 3 & on which electrodes 1a and 1b are provided.

次に、上記のようにして作成された電圧非直線性素子の
電圧−電流特性について説明する。まず、第4図は第2
図の構成における電圧−電流特性を従来のZnOバリス
タの、それと比較して示している。
Next, the voltage-current characteristics of the voltage nonlinear element created as described above will be explained. First, Figure 4 shows the second
The voltage-current characteristics of the configuration shown in the figure are compared with those of a conventional ZnO varistor.

本発明の素子は、まず酸化亜鉛を700 ’Cで焼成し
、これにCo20.を0.5 m01%添加したものを
900°C,60分間熱処理した後、この平均粒子径5
〜10μmのZnO微粉末と結合剤とを等重量で混合し
たものにおいて、素子面積を1−5電極間距離を30μ
mとした場合における特性を示している。さて、電圧非
直線性素子の電圧−電流特性は、よく知られているよう
に近似的に次式で示されている。
The device of the present invention is made by first firing zinc oxide at 700'C, and adding Co20. After heat treatment at 900°C for 60 minutes, the average particle size was 5.
In a mixture of ~10 μm ZnO fine powder and binder in equal weight, the device area is 1-5 and the distance between electrodes is 30 μm.
The characteristics are shown when m is set. Now, as is well known, the voltage-current characteristics of a voltage nonlinear element are approximately expressed by the following equation.

I=KV” ここで、工は素子に流れる電流、Vは素子の電極間の電
圧、Kは固有抵抗の抵抗値に相当する定数、αは上述し
た電圧非直線特性の指数を示しており、この電圧非直線
指数αは大きい程、電圧非直線性が優れていることにな
る。
I=KV" Here, E is the current flowing through the element, V is the voltage between the electrodes of the element, K is a constant corresponding to the resistance value of the specific resistance, and α is the exponent of the voltage nonlinear characteristic mentioned above. The larger the voltage nonlinearity index α, the better the voltage nonlinearity.

第4図の特性に示されるように、特性Bで示される従来
のZnOバリスタは低電流域において電圧非直線指数α
が小さく、10 ム以下の電流では良好な電圧非直線性
素子としての機能を発揮し得ない。一方、特性人で示さ
れる本発明の素子では低電流域においても電圧非直線指
数αが大きく110 ム程度の電流域でも十分に電圧非
直線性素子としての機能を発揮することができることを
示している。また1通常、  znoバリスタにおいて
はバリスタ特性を表わすのに、例えば素子に1mムの電
流を流した時の電極間に現れる電圧をバリスタ電圧v1
mムと呼び、このバリスタ電圧v、鮎と上記電圧非直線
指数αとを使用している。本発明の素子では、上述した
ように1低電流域においても電圧非直線指数αが大きく
、バリスタ電圧を第4図に示すように例えばv、7ムで
表わすことができる。
As shown in the characteristics in Figure 4, the conventional ZnO varistor shown by characteristic B has a voltage nonlinearity index α in the low current region.
is small, and cannot function as a good voltage nonlinear element at a current of 10 μm or less. On the other hand, it was shown that the device of the present invention, as shown by the characteristics, has a large voltage nonlinearity index α even in the low current range, and can sufficiently function as a voltage nonlinear device even in the current range of about 110 μm. There is. Furthermore, in order to express the varistor characteristics of a ZNO varistor, for example, the voltage that appears between the electrodes when a current of 1 mm is passed through the element is expressed as the varistor voltage v1.
This varistor voltage v, Ayu, and the voltage non-linearity index α are used. In the device of the present invention, as described above, the voltage non-linearity index α is large even in the low current range, and the varistor voltage can be expressed by, for example, v and 7 m as shown in FIG.

このように本発明において、バリスタ電圧を低いものと
することができるのは、電極間距離を狭くして素子を形
成することができるためである。
In this way, in the present invention, the varistor voltage can be made low because the element can be formed by narrowing the distance between the electrodes.

まだ1本発明素子において低電流域でも電圧非直線指数
αが大きい理由は、現在のところ理由は明確とはなって
いないが1微粉末状の半導体物質(ZnO)を絶縁性の
結合剤でもって固めたものであるため、それぞれの半導
体物質の間は点接触となり、接触面積が小さいこと、ま
た結合剤が絶縁性のため、漏れ電流が小さくなっている
ことによるものと考えられる。
The reason why the voltage nonlinearity index α is large even in the low current range in the device of the present invention is not clear at present, but 1. This is thought to be due to the fact that since it is solidified, there is point contact between the respective semiconductor materials, so the contact area is small, and the bonding agent is insulating, so leakage current is small.

ここで、第4図の特性は上述したように電極間距離を3
0μmとした素子についてのものであるが、これはZn
O微粉末の平均粒子径が6〜10μmという比較的大き
な粒子径のためにこれ以上狭くすることができないから
である。すなわち、ZnO微粉末の平均粒子径が0.3
〜3μmのものを使えば1電極間距離が10μm程度も
しくはそれ以下の素子を作成することができるのであり
、その場合においても第4図に示すような良好な特性が
得られることを本発明者らは実験により確認した。
Here, the characteristics shown in Fig. 4 are as follows when the distance between the electrodes is 3
This is for an element with a thickness of 0 μm;
This is because the average particle size of the O fine powder is relatively large, 6 to 10 μm, and cannot be made any narrower. That is, the average particle diameter of the ZnO fine powder is 0.3
The present inventor has found that if a material with a diameter of ~3 μm is used, it is possible to create an element with a distance between one electrode of approximately 10 μm or less, and even in that case, good characteristics as shown in FIG. 4 can be obtained. This was confirmed through experiments.

第5図は本発明において、酸化コバルトの添加量を変え
た場合のバリスタ電圧v、11ム、電圧非直線指数αお
よび並列静電容量Cの変化する様子を示している。ここ
で、酸化亜鉛の焼成温度など、その他の条件は第4図の
場合の条件と同一とした。
FIG. 5 shows how the varistor voltage v, 11m, voltage nonlinearity index α, and parallel capacitance C change when the amount of cobalt oxide added is changed in the present invention. Here, other conditions such as the firing temperature of zinc oxide were the same as those in the case of FIG. 4.

第6図に示されるように5本発明素子においては並列静
電容量が従来のZnOバリスタが1ooo〜20000
PFであるのに対して非常に小さいものとなっている。
As shown in FIG. 6, in the five devices of the present invention, the parallel capacitance of the conventional ZnO varistor is 1ooo to 20,000.
Although it is a PF, it is very small.

この並列静電容量が本発明素子において小さい理由は、
上述したように半導体物質間の接触面積が小さいことに
よるものである。
The reason why this parallel capacitance is small in the device of the present invention is as follows.
This is due to the small contact area between semiconductor materials as described above.

なお、上記の実施例においては、半導体物質としては、
  ZnOを例にとり説明したが、それ以外の半導体物
質であっても差支えないことはもちろんである。また、
同様に絶縁被膜を構成する材料としては、 Co2O3
に限られることはなく1 ム/、Ti。
In addition, in the above embodiment, the semiconductor material is
Although ZnO has been described as an example, it goes without saying that other semiconductor materials may be used. Also,
Similarly, the material constituting the insulating film is Co2O3
but not limited to 1 Mu/, Ti.

Sr 、Mg 、Ni 、Or 、Si  などの金属
酸化物またはこれら金属の有機金属化合物などでもよい
ものであり1それらを単独または組合せて使用すること
ができるものである。
Metal oxides such as Sr, Mg, Ni, Or, Si, etc. or organometallic compounds of these metals may be used, and these may be used alone or in combination.

さらに、微粉末状の半導体物質を固める絶縁性の結合剤
としては、ポリイミド樹脂の他にも種々考えられること
はもちろんであり、熱硬化性樹脂、たとえばフェノール
樹脂、フラン樹脂、エリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和
ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、エポキシ
樹脂、ポリウレタン樹脂、ケイ素樹脂などでも良いもの
である。
In addition to polyimide resin, various other insulating binders for solidifying fine powder semiconductor materials are of course possible, including thermosetting resins such as phenol resin, furan resin, area resin, and melamine resin. , unsaturated polyester resin, diallyl phthalate resin, epoxy resin, polyurethane resin, silicone resin, etc. may also be used.

発明の効果 以上の説明より明らかなように本発明の電圧非直線性素
子は、低電流域における電圧非直線指数αが大きく、ま
た並列静電容量の小さな素子が得られることから、消費
電流の小さい液晶、ICLなどのデバイスのスイッチン
グ素子として最適な素子を提供できるものである。また
1電極間距離を狭くして素子を形成することができるた
め、バリスタ電圧の低いものが得られ1上記電圧非直線
指数αが大きいことと相まって従来のZnOバリスタで
は対応することのできなかった低電圧用ICの保護素子
や低い電圧における電圧安定化素子として使用すること
ができる。さらに、結合剤で固めて素子形成を行う際に
高温プロセスを必要とすることなく簡単にして作ること
ができるため5回路基板上やガラス基板上に素子を直接
形成することができるものである。このように種々の特
徴を有する本発明の電圧非直線性素子は、今までのZn
Oバリスタなどでは考えられない幅広い用途が期待でき
るものであり、その産業性は犬なるものである。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation, the voltage nonlinear element of the present invention has a large voltage nonlinearity index α in the low current range, and an element with small parallel capacitance can be obtained, so that current consumption can be reduced. This makes it possible to provide an element that is optimal as a switching element for devices such as small liquid crystals and ICLs. In addition, since the device can be formed by narrowing the distance between the electrodes, a device with a low varistor voltage can be obtained, which, combined with the large voltage nonlinearity index α mentioned above, cannot be achieved with conventional ZnO varistors. It can be used as a protection element for low voltage ICs or as a voltage stabilizing element at low voltages. Furthermore, since it can be easily manufactured without requiring a high-temperature process when forming an element by solidifying it with a binder, the element can be directly formed on a circuit board or a glass substrate. The voltage nonlinear element of the present invention having various features as described above is different from the conventional Zn
It can be expected to have a wide range of applications that cannot be imagined with O-varistors, and its industrial properties are outstanding.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係わる電圧非直線性素子の一実施例を
示す拡大断面図1第2図および第3図はそれぞれ本発明
の素子をガラス基板上に設けた実施例を示す断面図、第
4図は本発明素子と従来のZnOバリスタの電圧−電流
特性を示す図、第5図は本発明素子においてCo2O3
の添加量を変えた場合の電圧非直線指数α1バリスタ電
圧v、ltムおよび並列静電容量Cの変化する様子を示
す図である。 1.1&、1b、2・川・・I’rO電極、3,32L
。 4・・・・・・ガラス基板、6・・・・・・電圧非直線
性素子、6・・・・・・ZnO微粉末、7・・・・・・
Co20.絶縁被膜、8・・・・・・結合剤。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第 2rlA 第5図 −Cθz0J  添加(輸d幻
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing an embodiment of a voltage nonlinear element according to the present invention. FIGS. 2 and 3 are sectional views showing an embodiment in which the element of the present invention is provided on a glass substrate, respectively. FIG. 4 is a diagram showing the voltage-current characteristics of the device of the present invention and a conventional ZnO varistor, and FIG. 5 is a diagram showing the voltage-current characteristics of the device of the present invention and a conventional ZnO varistor
FIG. 3 is a diagram showing how the voltage non-linearity index α1 varistor voltage v, lt and parallel capacitance C change when the amount of addition is changed. 1.1&, 1b, 2, river...I'rO electrode, 3,32L
. 4...Glass substrate, 6...Voltage nonlinear element, 6...ZnO fine powder, 7...
Co20. Insulating coating, 8...Binding agent. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person No. 1
Figure 2rlA Figure 5 - Cθz0J addition (importation illusion)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  薄い絶縁被膜を施した微粉末状の半導体物質を絶縁性
の結合剤で固め、電極を備えてなることを特徴とする電
圧非直線性素子。
A voltage nonlinear element characterized by comprising a finely powdered semiconductor material coated with a thin insulating film, hardened with an insulating binder, and equipped with an electrode.
JP61034645A 1986-02-18 1986-02-18 Voltage nonlinear device Pending JPS62190814A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105074145A (en) * 2013-02-19 2015-11-18 曼柴油机涡轮机欧洲股份公司曼柴油机涡轮机德国分公司 Method and device for lubricating cylinders

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5344899A (en) * 1976-09-13 1978-04-22 Gen Electric Metal oxide varistor and method of manufacture thereof

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5344899A (en) * 1976-09-13 1978-04-22 Gen Electric Metal oxide varistor and method of manufacture thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105074145A (en) * 2013-02-19 2015-11-18 曼柴油机涡轮机欧洲股份公司曼柴油机涡轮机德国分公司 Method and device for lubricating cylinders

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