JPS62184193U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62184193U JPS62184193U JP7256786U JP7256786U JPS62184193U JP S62184193 U JPS62184193 U JP S62184193U JP 7256786 U JP7256786 U JP 7256786U JP 7256786 U JP7256786 U JP 7256786U JP S62184193 U JPS62184193 U JP S62184193U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- ball bearing
- ceramics
- turbo
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一
実施例を示す縦断側面図、第２図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図である。 １１……セラミツクス製回転体、１１ａ……セ
ラミツクス製駆動軸、１２，１３，１４……セラ
ミツクス製ボールベアリング。
実施例を示す縦断側面図、第２図は従来のターボ
分子ポンプを示す縦断側面図である。 １１……セラミツクス製回転体、１１ａ……セ
ラミツクス製駆動軸、１２，１３，１４……セラ
ミツクス製ボールベアリング。
補正 昭６１．６．２７
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
回転体をボールベアリングにより回転可能に支
持したターボ分子ポンプにおいて、前記回転体と
ボールベアリングとをセラミツクスにより構成し
たことを特徴とするターボ分子ポンプ。
持したターボ分子ポンプにおいて、前記回転体と
ボールベアリングとをセラミツクスにより構成し
たことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Claims (1)
- 回転体をボールベアリングにより回転可能に支
持したターボ分子ポンプにおいて、前記回転体と
前記とボールベアリングとをセラミツクスにより
構成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7256786U JPS62184193U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7256786U JPS62184193U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184193U true JPS62184193U (ja) | 1987-11-21 |
Family
ID=30916127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7256786U Pending JPS62184193U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184193U (ja) |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP7256786U patent/JPS62184193U/ja active Pending