JPS62179189U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62179189U JPS62179189U JP1986064430U JP6443086U JPS62179189U JP S62179189 U JPS62179189 U JP S62179189U JP 1986064430 U JP1986064430 U JP 1986064430U JP 6443086 U JP6443086 U JP 6443086U JP S62179189 U JPS62179189 U JP S62179189U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive motor
- movable table
- base
- utility
- registration request
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図乃至第３図は本考案レーザトリマ用プロ
ーブユニツトの一実施例に係り、第１図は全体斜
視図、第２図は第１図の平面図、第３図は第１図
の側面断面図である。 １：移動テーブル、３：第１駆動モーター、８
：プローブカードマウント、１２：第２駆動モー
ター、３０：基台。
ーブユニツトの一実施例に係り、第１図は全体斜
視図、第２図は第１図の平面図、第３図は第１図
の側面断面図である。 １：移動テーブル、３：第１駆動モーター、８
：プローブカードマウント、１２：第２駆動モー
ター、３０：基台。
Claims (1)
- 基台に対し第１の駆動モーターによつて、水平
方向に移動する移動テーブルと、該移動テーブル
上に載置され、第２の駆動モーターによつて垂直
方向に移動するプローブカードマウントを備えて
なるレーザトリマ用プローブユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986064430U JPS62179189U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986064430U JPS62179189U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62179189U true JPS62179189U (ja) | 1987-11-13 |
Family
ID=30900581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986064430U Pending JPS62179189U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62179189U (ja) |
-
1986
- 1986-04-28 JP JP1986064430U patent/JPS62179189U/ja active Pending