JPS62179029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62179029U JPS62179029U JP6580986U JP6580986U JPS62179029U JP S62179029 U JPS62179029 U JP S62179029U JP 6580986 U JP6580986 U JP 6580986U JP 6580986 U JP6580986 U JP 6580986U JP S62179029 U JPS62179029 U JP S62179029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- automatic
- detection device
- vacuum chamber
- dust detection
- flow rate
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Flow Control (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例を示す構成図、ｂ
は制御系統図、第２図は塵検出装置の一例を示す
斜視図、第３図は従来の真空室排気及びベント装
置を示す構成図である。 １…真空室、２…排気用ポンプ、３…自動流量
調節器、４…自動コンダクタンス調節バルブ、５
…塵検出装置、６…バルブ、７…レーザー発振器
、８…スキヤナー、９…散乱光検知部、１０…光
吸収コーン。
は制御系統図、第２図は塵検出装置の一例を示す
斜視図、第３図は従来の真空室排気及びベント装
置を示す構成図である。 １…真空室、２…排気用ポンプ、３…自動流量
調節器、４…自動コンダクタンス調節バルブ、５
…塵検出装置、６…バルブ、７…レーザー発振器
、８…スキヤナー、９…散乱光検知部、１０…光
吸収コーン。
Claims (1)
- 真空室の配管に自動コンダクタンス調節バルブ
或いは自動流量調節器を設け、該真空室内に塵検
出装置を設置し、塵検出装置の出力信号に基づい
て自動コンダクタンス調節バルブ及び自動流量調
節器の動作制御を行う制御部を備えたことを特徴
とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6580986U JPH0451861Y2 (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6580986U JPH0451861Y2 (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62179029U true JPS62179029U (ja) | 1987-11-13 |
| JPH0451861Y2 JPH0451861Y2 (ja) | 1992-12-07 |
Family
ID=30903227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6580986U Expired JPH0451861Y2 (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451861Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH026835A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Fujitsu Ltd | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
-
1986
- 1986-04-30 JP JP6580986U patent/JPH0451861Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH026835A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Fujitsu Ltd | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0451861Y2 (ja) | 1992-12-07 |