JPS62177961A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JPS62177961A
JPS62177961A JP61017935A JP1793586A JPS62177961A JP S62177961 A JPS62177961 A JP S62177961A JP 61017935 A JP61017935 A JP 61017935A JP 1793586 A JP1793586 A JP 1793586A JP S62177961 A JPS62177961 A JP S62177961A
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JP
Japan
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transistors
transistor
memory cell
word line
point
Prior art date
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Pending
Application number
JP61017935A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiro Norisue
則末 勝博
Makoto Hayashi
誠 林
Tomoyuki Watabe
知行 渡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi ULSI Engineering Corp, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi ULSI Engineering Corp
Priority to JP61017935A priority Critical patent/JPS62177961A/en
Publication of JPS62177961A publication Critical patent/JPS62177961A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B10/00Static random access memory [SRAM] devices
    • H10B10/10SRAM devices comprising bipolar components

Landscapes

  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Bipolar Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

PURPOSE:To readily electrically separate a memory cell of operating state and a memory cell of standby state by using a word line for the base of a coupling transistor of an RAM cell using I<2>L and bit lines for the collector. CONSTITUTION:The potential of a word line W is a low level and the potential of bit lines B, -B are high level at a point (a). Thus, information in a memory cell is held in a standby state. The emitter and the base of a transistor Q24 are not forwardly biased therebetween at a point (b), forcibly interrupted to be written. The emitters of transistors Q25, Q26 at a point (c) become low and high levels, respectively by the writing performed at the point (b). At this time, the potential difference of the bit lines B, -B is detected to read out it. Reverse information to that at points (b), (c) is written or read out at points (d), (e).

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、I”L を用いた集積回路に係り、特に設計
性、拡張性に優れたRAM (Random Acce
ssMemory)に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to an integrated circuit using I"L, and in particular to a RAM (Random Access
ssMemory).

〔発明の背景〕[Background of the invention]

従来、アナログ・ディジタル共存T、、 S Iにおけ
る内蔵T2LRAMについては、電子通信学会論文誌V
OL、J 66−CNα9における金子らによるr高耐
圧アナログ回路共存256ビツトT2T、。
Conventionally, regarding the built-in T2LRAM in analog and digital coexistence T, and SI, the Journal of the Institute of Electronics and Communication Engineers V
High voltage analog circuit coexistence 256-bit T2T by Kaneko et al. in OL, J66-CNα9.

RA M Jと題する文献において論じられている。Discussed in the document entitled RA M J.

第1図(、)は、従来のI 2T−、素子によるメモリ
セルの回路図である。
FIG. 1(a) is a circuit diagram of a memory cell based on a conventional I2T-device.

第1図(a)のメモリセルは、2コレクタのI”L、2
素子を用い、それぞれのI2L のベースと、それぞれ
の2コレクタのうち1コレクタを相互に交差接続し、残
りの1−コレクタをそれぞれビット線i(、丘に接続し
ている。また、■214 のインジェクタをワード線W
+l  I2丁、のエミッタをワード線W−としている
The memory cell in FIG. 1(a) has two collectors I"L, 2
The base of each I2L and one collector of each of the two collectors are cross-connected to each other using an element, and the remaining one collector is connected to the bit line i (, hill). Injector word line W
The emitter of +l I2 is set as word line W-.

それぞれ、Qll、1Q12はpnpl−ランジスタ、
Q 1 a + Q 14は2コレクタの逆方向動作す
るnpnトランジスタである。
Qll, 1Q12 are pnpl-transistors, respectively.
Q 1 a + Q 14 is a two-collector npn transistor that operates in the opposite direction.

第1図(1))は、第1図(a)の動作を説明するため
の等価回路である。第1図(a)の2コレフタ逆npn
l−ランジスタQ1BI Ql、4は第1図(b)では
等価的に、ベースとコレクタを相77)に交差接続した
逆n p n I−ランジスタQx7rQrsと、読み
出し、書き込みを行う際の外部との結合素子として働く
、逆npnl−ランジスタQI11.Q口〇とに分離し
て表わしてあり、Ql、7とQlllはQtsに、Ql
llとQ hloはQ14に相当する。
FIG. 1(1)) is an equivalent circuit for explaining the operation of FIG. 1(a). 2-corefta reverse npn in Figure 1(a)
In FIG. 1(b), the l-transistor Q1BI Ql,4 is equivalently an inverse n p n I-transistor Qx7rQrs whose base and collector are cross-connected to the phase 77), and the external connection for reading and writing. An inverse npnl-transistor QI11. acting as a coupling element. Ql, 7 and Qlll are shown separately in Qts, Ql
ll and Q hlo correspond to Q14.

ワード線W+には定電流源I lnjが接続され、pn
pトランジスタQ I R,Q I Bはそれぞれ逆n
pnトランジスタQ s 7 、 Q I Bの負荷と
して働く。また、逆npnl−ランジスタにJI91 
QIIOのコ1ノクタはそれぞれピッ1−線l<、i’
<−に接続され、B、バーは負荷抵抗Rnを通して電源
VRHに接続されている。
A constant current source I lnj is connected to the word line W+, and pn
The p transistors Q I R and Q I B are each inverted n
It acts as a load for pn transistors Q s 7 and Q I B. Also, JI91 to reverse NPNL-transistor
QIIO's 1-noctor is each pitch 1-line l<, i'
<-, and B and bar are connected to the power supply VRH through a load resistor Rn.

以下、第1図(I))の等価回路図を用いて、11み出
し動作と、その条件について述べる。
The 11 extraction operation and its conditions will be described below using the equivalent circuit diagram shown in FIG. 1(I).

いま、逆npnトランジスタQ171 Qseが導通状
態であれば、Qlδ、QIIOは非導通である。
Now, if the reverse npn transistor Q171 Qse is conductive, Qlδ and QIIO are non-conductive.

Qleには、pnpトランジスタQzoを通じて供給さ
れるベース電流に応じたコレクタ電流が流れる。
A collector current corresponding to the base current supplied through the pnp transistor Qzo flows through Qle.

この場合のコレクタ電流は負荷抵抗RBを通じて電源V
BBより供給され、ビット線Bの電位V Rは、負荷抵
抗RRの電圧降下による分だけ、VRBより低くなる。
In this case, the collector current flows through the power supply V through the load resistor RB.
The potential VR of the bit line B is lower than VRB by the voltage drop across the load resistor RR.

一方、ビット線π−の電位は、Q 1 t oが非導通
であるためVBBと同電位である。このピッ1−線Bと
■の電位差を検出することにより、メモリ内部の情報を
読み出すことが可能である。
On the other hand, the potential of the bit line π- is the same as VBB since Q 1 to is non-conductive. By detecting the potential difference between the pin 1-line B and 1, it is possible to read the information inside the memory.

以上1ピッ1−のみの読み出し動作について述べたが、
実際のRAMでは、ビット線R,81共用する複数個の
メモリセルが存在する。
The read operation of only 1 pin 1- was described above, but
In an actual RAM, there are a plurality of memory cells that share the bit lines R and 81.

したがって、第1図に示した従来方式のメモリセルでは
選択、非選択のメモリセルが電気的に分離できないため
非選択のメモリセルも、ビット線よりコレクタ電流を吸
い込むことになる。
Therefore, in the conventional memory cell shown in FIG. 1, the selected and unselected memory cells cannot be electrically isolated, so the unselected memory cells also absorb collector current from the bit line.

そこで、メモリセルの選択、非選択を行う方法として、
選択したセルのインジェクタ電流]、InJを増やし、
非選択のセルが吸い込む電流との差をつけるという手段
が取られる。この場合、ビット線間の電位差が最も少な
くなる最悪条件は、すべての非選択のメモリセルが、選
択されたメモリセルと反対の情報を保持している場合で
ある。選択されたメモリセルのインジェクタ電流を■S
、非選択のメモリセルのインジェクタ電流をIusとす
ると、選択されたセルの吸い込み電流In、及び非選択
セルの全吸い込み電流Iustは、IR=−αPβ。 
          (1)となる。
Therefore, as a method for selecting and non-selecting memory cells,
Injector current of selected cell], increase InJ,
Measures are taken to differentiate the current drawn by non-selected cells. In this case, the worst condition in which the potential difference between the bit lines is the smallest is when all unselected memory cells hold information opposite to that of the selected memory cells. The injector current of the selected memory cell is
, when the injector current of an unselected memory cell is Ius, the sink current In of the selected cell and the total sink current Iust of the unselected cell are IR=-αPβ.
(1) becomes.

ここで、α、は、PnpトランジスタQ 13゜Ql[
1のベース接地電流増[1]率、β、は逆npn トラ
ンジスタQ19. Q】工oの電流増+iJ率である。
Here, α is Pnp transistor Q 13°Ql[
The common base current increase [1] rate of 1, β, is the inverse npn transistor Q19. Q] It is the current increase in ko + iJ rate.

またNはビット線B、Hに接続されるメモリセルの個数
である。選択されたメモリセルの情報が読み出し可能な
条件は Is >  IUST             (3
)であるから、インジェクタ電流、Ius、Is間の関
係は、 Is >  Ius (N  1)         
(1,4)とならなければならない。
Further, N is the number of memory cells connected to the bit lines B and H. The condition under which the information of the selected memory cell can be read is Is > IUST (3
), so the relationship between the injector current, Ius, and Is is: Is > Ius (N 1)
(1, 4).

例えば、i KビットのRAMを1ワード8ビツトの構
成で作ったとすると、ビット線を共有するメモリセルは
128個となり、TSはIusの127倍以1−としな
ければならない。このことにより、RAMの規模、構成
が異なると、ビット線を共有するメモリセルの数が異な
ってくるので、周辺回路をその都度設計しなければなら
ない。また、安定動作のためにはIs/Nusは102
以下にするのが望ましい。従って従来I2LRAM回路
はIKビット以上のRAMには適さない。
For example, if an i K-bit RAM is constructed with 8 bits per word, the number of memory cells that share a bit line will be 128, and TS must be 1- or more than 127 times Ius. As a result, if the size and configuration of the RAM differ, the number of memory cells that share a bit line will differ, so peripheral circuits must be designed each time. Also, for stable operation, Is/Nus is 102
It is desirable to do the following. Therefore, the conventional I2LRAM circuit is not suitable for a RAM of IK bits or more.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、設計性、拡張性に優れたT”LRAM
を提供することにある。
The purpose of the present invention is to create a T"LRAM with excellent designability and expandability.
Our goal is to provide the following.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明では、従来のI”T、RAMの結合トランジスタ
をnpnトランジスタに置き換え、npnトランジスタ
のベースをワード線、コレクタをビット線とすることに
より、設計性、拡張性に富むI”L RAMを実現した
In the present invention, by replacing the conventional I"T and RAM coupling transistors with npn transistors, and using the base of the npn transistor as a word line and the collector as a bit line, an I"L RAM with excellent designability and expandability is realized. did.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明の第1の実施例を第2図を用いて説明する
。第2図は、本発明によるIIL メモリセル1ビツト
分の等価回路図である。
A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of one bit of an IIL memory cell according to the present invention.

第2図において、相互に交差接続されたnpnトランジ
スタQ2!+1 Q114と負荷として働く、ρnpト
ランジスタQxx、 Qzxは第1の実施例では■2L
2ゲート分を相互配線することにより構成されている。
In FIG. 2, mutually cross-connected npn transistors Q2! +1 Q114 and the ρnp transistors Qxx and Qzx, which act as a load, are ■2L in the first embodiment.
It is constructed by interconnecting two gates.

それぞれQzx、 QxaおよびQ22とQzBでI”
LIゲートに対応する。また、Qsr+、 に)、eは
通常のnpnトランジスタ、すなわち順方向動作のnp
nトランジスタである。またQ211と02.tはI2
L ゲート内の逆方向動作トランジスタである。
I'' in Qzx, Qxa and Q22 and QzB respectively
Compatible with LI gate. Also, Qsr+,
It is an n transistor. Also Q211 and 02. t is I2
L is a reverse operating transistor in the gate.

したがってQzI5t Q2BはQ211とQxtとは
逆方向に動作するものである。
Therefore, QzI5t Q2B operates in the opposite direction to Q211 and Qxt.

またインジェクタラインINJはメモリセルの電源とし
て働く。
The injector line INJ also serves as a power source for the memory cells.

動作時、インジェクタラインINJには電流源が接続さ
れる。
During operation, a current source is connected to the injector line INJ.

次に、本発明によるメモリセルの動作製説明する。Next, the operation of the memory cell according to the present invention will be explained.

第3図は、第2図のメモリセルのワード線Wとビット線
B、Bの電位変化を表わしており、本発明によるメモリ
セルの動作を明らかにしたタイミングチャート図である
。第3図のa点ではワード線Wの電位VwはほぼOv程
度の低レベル、ビット線B、B−の電位VB、VBは共
に高レベルとなっており、スイッチトランジスタQxI
S、 QzBはオフ状態にある。
FIG. 3 is a timing chart showing the potential changes of the word line W and bit lines B, B of the memory cell of FIG. 2, and clarifying the operation of the memory cell according to the present invention. At point a in FIG. 3, the potential Vw of the word line W is at a low level of approximately Ov, the potentials VB and VB of the bit lines B and B- are both at a high level, and the switch transistor QxI
S, QzB are in the off state.

このため、メモリセル内部の情報は保たれ、待機状態と
なっている。b点では、ワード線Wの電位Vw を高レ
ベル、ビット線Bの電位VB を低レベルとする。この
ことにより、スイッチトランジスタQ211のベース・
コレクタ間が順バイアスされ、スイッチトランジスタQ
z6は逆方向動作する。よって、Q2.5のエミッタ電
位はコレクタとほぼ同電位の低レベルとなる。よってQ
zaのベース・エミッタ間は順バイアスされなくなり、
強制的に非導通状態となり、書き込みが行われる。
Therefore, the information inside the memory cell is maintained and is in a standby state. At point b, the potential Vw of the word line W is set to a high level, and the potential VB of the bit line B is set to a low level. As a result, the base of the switch transistor Q211
The collector is forward biased, and the switch transistor Q
z6 operates in the opposite direction. Therefore, the emitter potential of Q2.5 is at a low level, which is approximately the same potential as the collector. Therefore, Q
The base and emitter of za are no longer forward biased,
It is forced into a non-conductive state and writing is performed.

C点では、ワード線Wの電位Vwを高レベルとする。こ
のときメモリセル内部では、b点で行われた書き込みに
より、npnトランジスタQ24は非導通、02gは導
通状態となっており、スイッチトランジスタQ25のエ
ミッタは低レベル、Qzeのエミッタは高レベルとなっ
ている。よって、スイッチトランジスタ02Bのベース
・エミッタ間は順バイアスされ、順方向動作し、ビット
線Bの電位VB を低レベルとする。
At point C, the potential Vw of the word line W is set to a high level. At this time, inside the memory cell, due to the writing performed at point b, the npn transistor Q24 is non-conductive and 02g is conductive, the emitter of the switch transistor Q25 is at a low level, and the emitter of Qze is at a high level. There is. Therefore, the base-emitter of the switch transistor 02B is forward biased, operates in the forward direction, and lowers the potential VB of the bit line B to a low level.

このときのビット線B、Hの電位差(Vn−VB)を検
出することにより読み出しが可能となる。
Reading becomes possible by detecting the potential difference (Vn-VB) between bit lines B and H at this time.

d点では、ワード線Wの状態はb点と同じで高レベルの
選択状態となっているが、ビット線はb点と反対に−h
−が低レベルとなっている。このことによりQzeが逆
方向動作し、Qzsが非導通状態となる。
At point d, the state of the word line W is the same as at point b, and is in a high-level selected state, but the bit line is -h, contrary to point b.
- is at a low level. This causes Qze to operate in the opposite direction and Qzs to become non-conductive.

b点で行われた書き込みを“1”とすると、d点では“
0″を書き込んでいることになる。
If the write performed at point b is “1”, then at point d it is “1”.
This means that 0'' is being written.

また、0点ではC点と同じく、ワード線を高レベルとし
て読み出しを行っているが、読み出されている情報は、
C点と逆であり、丁が低レベル、Bが高レベルとなって
いる。
Also, at point 0, like at point C, reading is performed with the word line set to high level, but the information being read is
This is the opposite of point C, with Ding being at a low level and B being at a high level.

0点で読み出されている情報をN i I+とすると、
0点で読み出されている情報は10″に相当する。
If the information read at point 0 is N i I+,
Information being read at point 0 corresponds to 10''.

本実施例では、Q 21 y Q 24とQzz、 Q
211を各々T”l、ゲートで形成するため、2つのト
ランジスタがほぼ1−素子に近い小面積で構成できる。
In this example, Q 21 y Q 24 and Qzz, Q
Since each transistor 211 is formed with a gate of T''l, two transistors can be constructed with a small area almost equal to one element.

したがってセル面積が小さい効果を有する。また結合ト
ランジスタのベースをワード線Wとするため、非選択時
、セルとビット線とを確実に分離できる。
Therefore, the cell area has the effect of being small. Furthermore, since the base of the coupling transistor is the word line W, the cell and the bit line can be reliably separated when not selected.

第4(a)図は、本発明によるメモリセルを、集積回路
」−で構成する場合の平面パターンの1例である。第4
(b)図は、第4(a)図のX−X1面での断面構造図
である。第4(a)図は、メモリセル1ピッ1−分であ
り、第2図におけるトランジスタ対Q 21 + Q 
24およびQ 22 HQ z s +;J: I z
L領域内に、Q231028はnpn領域内に形成され
ている。また、I2T、領域と、npn領域内の個個の
npnトランジスタは、素子分離領域41゜419によ
り電気的に分離された一Lで相互配線されている。本実
施例のメモリセルではビット線を共有するメモリセル間
で結合1−ランジスタを同一の素子分離領域内に形成で
き、ビット線n 、 ’−i3は、n p n領域内の
r】→埋め込み層4−46 r 4 J 5 L:取り
出し電極46,41.4を設けることにより配線でき、
素子領域−1−の配線を8躯としない。
FIG. 4(a) is an example of a planar pattern when the memory cell according to the present invention is constructed from an integrated circuit. Fourth
FIG. 4(b) is a cross-sectional structural diagram taken along the line X-X1 in FIG. 4(a). FIG. 4(a) shows a memory cell of 1 pin 1-min, and the transistor pair Q 21 + Q in FIG.
24 and Q 22 HQ z s +; J: I z
In the L region, Q231028 is formed in the npn region. Further, the I2T region and the individual npn transistors in the npn region are mutually interconnected by one L electrically separated by an element isolation region 41°419. In the memory cell of this embodiment, a coupled 1-transistor can be formed in the same element isolation region between memory cells sharing a bit line, and the bit line n,'-i3 is connected to the n p n region r]→buried. Layer 4-46 r 4 J 5 L: Wiring is possible by providing extraction electrodes 46, 41.4,
The number of wiring lines in the element region -1- is not eight.

第5図は、第2の実施例を示す回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram showing the second embodiment.

第5図はメモリセル1ピッ+−分を示しており、第2図
のメモリセルの負荷となるp n p l−ランジスタ
Q 21 r Q 22を負荷抵抗R51,R82に置
き換えたものである。また、第2図と同(シ<、1ヘラ
ンジスタQBI、 Q52け逆方向、QR8,Qlll
は順方向動作するnpnトランジスタである。
FIG. 5 shows a memory cell for one pin+-, in which the pn p l- transistor Q 21 r Q 22 serving as the load of the memory cell in FIG. 2 is replaced with load resistors R51 and R82. Also, the same as in Fig. 2 (S<, 1 transistor QBI, Q52 reverse direction, QR8, Qllll
is an npn transistor operating in the forward direction.

第6図は、第;うの実施例を示す回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing the second embodiment.

第6図はメモリセル1ビツト分を示しており、第2図の
メモリセルの負荷どなるp n p l−ランジスタQ
 211 Q 22をダイオ・−ドD61. I)ez
に置き換えたものである。また第2図と同じく、1−ラ
ンジスタQ61+ Q82は逆方向、Qoa+ Q84
は順方向に動作するnpn トランジスタである。
FIG. 6 shows one bit of the memory cell, and the load of the memory cell in FIG. 2 is p n p l-transistor Q.
211 Q22 to diode D61. I)ez
It has been replaced with . Also, as in Fig. 2, 1- transistor Q61+ Q82 is in the opposite direction, Qoa+ Q84
is an npn transistor operating in the forward direction.

次に、本発明による第1の実施例において、第2図のQ
21. Qzzを通常のpnpnトランジスタ、Q28
1 Q241 Q2111 Q2Bをすべて通常ノイわ
ゆる順方向npn l−ランジスタで形成しても、回路
動作上何ら不都合は無く、第1の実施例と同じメモリ機
能を有することは前記説明により明らかである。この場
合、Qz8+ 024I Ql[1,Qzeがすべて高
利得のため、製造バラツキ等により利得が低下しても余
裕がある。このため、製造マージンが広い効果がある。
Next, in the first embodiment according to the present invention, Q in FIG.
21. Qzz is a normal pnpn transistor, Q28
1 Q241 Q2111 It is clear from the above description that even if all Q2B are formed of forward-direction npn l-transistors, there will be no problem in circuit operation, and the memory function will be the same as in the first embodiment. In this case, since Qz8+ 024I Ql[1 and Qze all have high gains, there is plenty of room even if the gains decrease due to manufacturing variations or the like. This has the effect of widening the manufacturing margin.

ただし、第1の実施例よりセル面積は若干大きくなる。However, the cell area is slightly larger than that of the first embodiment.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、従来のIII、を用いたR A Mセ
ルの結合トランジスタのベースをワード線、コレクタを
ビット線とすることにより、動作状態のメモリセルと、
待機状態にあるメモリセルの電気的分離が容易にでき、
周辺回路の標準化、RAMの構成の自由度の増大が得ら
れる。このため、設計性、拡張性の向−Lに効果がある
According to the present invention, by making the base of the coupling transistor of the RAM cell using the conventional III the word line and the collector the bit line, the memory cell in the operating state and
It is easy to electrically isolate memory cells in standby state.
It is possible to standardize peripheral circuits and increase the degree of freedom in RAM configuration. Therefore, it is effective in terms of designability and extensibility.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、従来のIzl、RAMセルの回路図、及びそ
の等価回路図、第2図は本発明によるメモリセルの第1
の実施例の回路図、第3図は本発明によるメモリセルの
制御パルスチャー1へを示す図、第4図は第1の実施例
のメモリセルの平面パターン及び断面構造を示す図、第
5図及び第6図は、本発明による第2.第3の実施例の
回路図。 Qlll Q121 Q131 QxeパP n P 
トランジスタ、Qxs、 Qlat Q17I Qla
t Ql[11QIIO−n p nトランジスタ、Q
10IQ112・・・ダイオード、IN、1・・・イン
ジェクタライン、W・・・ワード線、Q21゜Q22・
・・Pnpnトランジスタ 、−B・・ピッ1−線、Q
211. Q2tt Q2111 Qze−n p n
 トランジスタ、Vw・・・ワード線電位、Vn、Vw
・・ビット線電位、41.419,444,436,4
30・・・素子分離領域、43,411,417,42
1.4−49゜442.439,438,433・・・
p型拡散領域、44.47,48,416,414,4
45゜443.437,434,431−・・・n十拡
散領域、42.45.46.49,420,412,4
18゜415.414・・・コンタクト穴、INJ・・
・インジエフタライン、Fl、B・・・ビット線、W・
・・ワード線、448,441,432.・・・n形エ
ピタキシャル層、446 、440 、435− n+
埋め込み層、447・・・p形部板、429,424・
・・絶縁膜、423.425,426,427,428
・・・AQ。 1層配線、422・・・A22層配線、Rat、 Rs
2・・・抵抗、Qsl、 Q+bzt QBs、 QB
s−n p n トランジスタ、IN、J・・・インジ
ェクタライン、W・・・ワード線、B、B−・・ピッミ
ル線、D 81 、 D 82・・・ダイオード、Q 
e 1 、 Q e 2. Q e a 、 Q 84
°=npnl−ランジスタ、TNJ・・・インジェクタ
ライン、W・・・ワード線、B。 ■・・・ビット線。 事 1 口 C山ン tb) 第2 図 ■ 竿 30
FIG. 1 is a circuit diagram of a conventional Izl RAM cell and its equivalent circuit diagram, and FIG. 2 is a first diagram of a memory cell according to the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing the control pulse chart 1 of the memory cell according to the present invention, FIG. 4 is a diagram showing the planar pattern and cross-sectional structure of the memory cell of the first embodiment, and FIG. 6 and 6 illustrate the second embodiment according to the present invention. FIG. 3 is a circuit diagram of a third embodiment. Qllll Q121 Q131 QxepaP n P
Transistor, Qxs, Qlat Q17I Qla
t Ql[11QIIO-n p n transistor, Q
10IQ112...Diode, IN, 1...Injector line, W...Word line, Q21゜Q22・
... Pnpn transistor, -B... Pi1- line, Q
211. Q2tt Q2111 Qze-n p n
Transistor, Vw...word line potential, Vn, Vw
...Bit line potential, 41.419,444,436,4
30... Element isolation region, 43, 411, 417, 42
1.4-49°442.439,438,433...
p-type diffusion region, 44.47,48,416,414,4
45゜443.437,434,431-...n ten diffusion regions, 42.45.46.49,420,412,4
18゜415.414...Contact hole, INJ...
・In-die phthalate line, Fl, B...bit line, W・
...Word line, 448, 441, 432. ... n-type epitaxial layer, 446, 440, 435-n+
Buried layer, 447...p-shaped part plate, 429, 424...
...Insulating film, 423.425, 426, 427, 428
...AQ. 1st layer wiring, 422...A22nd layer wiring, Rat, Rs
2...Resistance, Qsl, Q+bzt QBs, QB
s-n pn transistor, IN, J...Injector line, W...Word line, B, B-...Pimmyl line, D81, D82...Diode, Q
e 1 , Q e 2. Q ea , Q 84
°=npnl-transistor, TNJ...injector line, W...word line, B. ■...Bit line. Item 1 Mouth C mountain tb) Figure 2 ■ Rod 30

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、ベースおよびコレクタを相互に交差接続し、そのエ
ミッタを共に第1のワード線に接続した第1極性の第1
、第2のトランジスタと、前記第1、第2トランジスタ
の負荷として働き、共にベースを第1のワード線に接続
し、共にエミッタを第2のワード線に接続し、それぞれ
のコレクタを第1、第2のトランジスタのコレクタに接
続した、第2極性の第3、第4のトランジスタと、それ
ぞれ第1、第2のトランジスタのコレクタにエミッタを
接続し、共にベースを第3のワード線に接続した第1極
性の第5、第6のトランジスタを有し、第5、第6のト
ランジスタのコレクタにそれぞれ第1、第2のビット線
を接続してなることを特徴とする半導体 装置。 2、上記第1、第2、第3、第4のトランジスタをI^
2L(¥I¥ntegrated¥I¥njectio
n¥L¥ogic)を相互接続することによつて構成し
、第5、第6のトランジスタを、第1、第2のトランジ
スタとは逆方向に動作するトランジスタによつて構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体
装置。 3、上記第3、第4のトランジスタを抵抗に置き換えた
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体装
置。 4、上記第3、第4のトランジスタをダイオードに置き
換えたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半
導体装置。 5、上記第1、第2、第5、第6のトランジスタを同一
方向動作のトランジスタで構成したことを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の半導体装置。
[Scope of Claims] 1. A first polarity-containing device having a base and a collector cross-connected to each other and having their emitters connected together to a first word line.
, a second transistor serving as a load for the first and second transistors, both having their bases connected to the first word line, both having their emitters connected to the second word line, and having their respective collectors connected to the first, second and second transistors. Third and fourth transistors of second polarity were connected to the collector of the second transistor, and their emitters were connected to the collectors of the first and second transistors, respectively, and their bases were connected to the third word line. A semiconductor device comprising fifth and sixth transistors of a first polarity, and first and second bit lines connected to the collectors of the fifth and sixth transistors, respectively. 2. The above first, second, third, and fourth transistors are I^
2L(¥I¥integrated¥I¥njectio
The fifth and sixth transistors are transistors that operate in the opposite direction to the first and second transistors. A semiconductor device according to claim 1. 3. The semiconductor device according to claim 1, wherein the third and fourth transistors are replaced with resistors. 4. The semiconductor device according to claim 1, wherein the third and fourth transistors are replaced with diodes. 5. The semiconductor device according to claim 1, wherein the first, second, fifth, and sixth transistors are transistors that operate in the same direction.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05151779A (en) * 1990-06-29 1993-06-18 Digital Equip Corp <Dec> Bipolar transistor memory cell and method therefor

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH05151779A (en) * 1990-06-29 1993-06-18 Digital Equip Corp <Dec> Bipolar transistor memory cell and method therefor

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