JPS62176713U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62176713U JPS62176713U JP6448286U JP6448286U JPS62176713U JP S62176713 U JPS62176713 U JP S62176713U JP 6448286 U JP6448286 U JP 6448286U JP 6448286 U JP6448286 U JP 6448286U JP S62176713 U JPS62176713 U JP S62176713U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- leads
- fic
- parallel slit
- plane mirror
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す側面図、第２
図ａ，ｂは受光部での光量変化と角度ずれの関係
を説明する概念図である。 １……ＦＩＣ、２……吸着ノズル、３……平行
スリツト光源、４……受光部、５……平面鏡、６
……支持部材、７……回転駆動モータ、８……角
度位置検出器、１０，１１……ＦＩＣリード、２
１，２２，２３……リードの影。
図ａ，ｂは受光部での光量変化と角度ずれの関係
を説明する概念図である。 １……ＦＩＣ、２……吸着ノズル、３……平行
スリツト光源、４……受光部、５……平面鏡、６
……支持部材、７……回転駆動モータ、８……角
度位置検出器、１０，１１……ＦＩＣリード、２
１，２２，２３……リードの影。
Claims (1)
- 少なくとも対向する２辺にそれぞれリードを備
えたＦＩＣの角度ずれを検出する機構において、
ＦＩＣの１辺のリードを照射する平行スリツト光
源と、前記リード間を通過した平行スリツト光を
他辺のリードに向けて反射する平面鏡と、前記平
面鏡によつて導かれてきた平行スリツト光がリー
ド間を通過した位置にてその光量を検出する受光
部と、前記平行スリツト光源ならびに受光部を前
記平面鏡上における入反射光の中点位置を中心と
して同期回転させる回転駆動部と、前記回転駆動
部の角度位置を出力する出力部とを有することを
特徴とするＦＩＣ角度ずれ検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6448286U JPS62176713U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6448286U JPS62176713U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62176713U true JPS62176713U (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=30900679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6448286U Pending JPS62176713U (ja) | 1986-04-28 | 1986-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62176713U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018091657A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | 株式会社ダイフク | 検査装置 |
-
1986
- 1986-04-28 JP JP6448286U patent/JPS62176713U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018091657A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | 株式会社ダイフク | 検査装置 |