JPS62176041A - Ion implanting device - Google Patents
Ion implanting deviceInfo
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- JPS62176041A JPS62176041A JP1640186A JP1640186A JPS62176041A JP S62176041 A JPS62176041 A JP S62176041A JP 1640186 A JP1640186 A JP 1640186A JP 1640186 A JP1640186 A JP 1640186A JP S62176041 A JPS62176041 A JP S62176041A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はイオン注入装置に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to an ion implantation device.
（従来の技術）
周知のようにこの種装置は、イオン源から引き出したイ
オンを磁場による質量分析装置によって所望のイオンを
分析し、このあとそのイオンをスリット、加速管を経て
ターゲットに注入するようにしている。(Prior Art) As is well known, this type of device analyzes desired ions by extracting them from an ion source using a mass spectrometer using a magnetic field, and then injecting the ions into a target through a slit and an acceleration tube. I have to.
ところで前記した磁場による質量分析装置によって分析
されるイオンの質量数は、その磁場における磁束密度の
自乗に比例し、イオン源装置におけるイオン引出のため
の引出電圧に逆比例する。By the way, the mass number of ions analyzed by the above-described magnetic field mass spectrometer is proportional to the square of the magnetic flux density in the magnetic field, and inversely proportional to the extraction voltage for ion extraction in the ion source device.
また前記磁束密度は分析マグネットコイルに供給するコ
イル電流とは関数関係にあるので、前記質量数はこのコ
イル電流の自乗に比例し、引出電圧に逆比例するとも言
える。Furthermore, since the magnetic flux density has a functional relationship with the coil current supplied to the analysis magnet coil, it can be said that the mass number is proportional to the square of this coil current and inversely proportional to the extraction voltage.
したがって従来では引出電圧と、質量分析装置の磁束密
度またはコイル電流のいずれか一方を検出し、これに基
づいて演算部で所要の演算を行うようにし、その演算結
果に基づいて前記コイル電流を適宜制御して、所望の質
量数のイオンを質量分析装置によって分析するようにし
ている。Therefore, in the past, either the extraction voltage, the magnetic flux density of the mass spectrometer, or the coil current is detected, and based on this, the calculation section performs the required calculation, and the coil current is adjusted as appropriate based on the calculation result. The control is performed so that ions having a desired mass number are analyzed by the mass spectrometer.
ところでこの種装置ではイオン源、質量分析装置などは
、加速管にかかる加速電圧によって決定される高電圧部
位に設置されているので、これらからの情報信号を低電
圧部位にある演算部に伝送するのに、この情報信号を光
信号に変換してから光伝送系を使用して低電圧部位に伝
送するのを普通としている。By the way, in this type of device, the ion source, mass spectrometer, etc. are installed in a high voltage area determined by the accelerating voltage applied to the accelerating tube, so information signals from these are transmitted to the calculation section in a low voltage area. However, it is common practice to convert this information signal into an optical signal and then transmit it to a low voltage site using an optical transmission system.
しかしこのような伝送システムによると、コイル電流ま
たは磁束密度なりと、引出電圧とのうちのいずれか一方
でも、その信号伝送系統に異常があると、演算部では誤
った演算を行ってしまい、したがって誤ったマス値のイ
オンを注入し続けてしまう可能性があった。However, according to such a transmission system, if there is an abnormality in the signal transmission system for either the coil current, magnetic flux density, or extraction voltage, the calculation section will perform incorrect calculations, and therefore There was a possibility that ions with incorrect mass values would continue to be implanted.
（発明が解決しようとする問題点）
この発明は磁場による質量分析装置を備えたイオン注入
装置において、そのイオン種を正確に選択できるように
することを目的とする。(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to enable accurate selection of ion species in an ion implanter equipped with a mass spectrometer using a magnetic field.
（問題点を解決するための手段）
この発明は質量分析によるマス値を決定する演算式の演
算要素である、イオン源における引出電圧と、質量分析
装置のコイル電流または磁束密度とのうち、少なくとも
何れか一つについての信号伝送系統からの情報信号を対
象基準と常時比較することにより、信号伝送系統の異常
を監視するようにしたことを特徴とする。(Means for Solving the Problems) This invention provides at least one of the extraction voltage in the ion source and the coil current or magnetic flux density of the mass spectrometer, which are calculation elements of the calculation formula for determining the mass value by mass spectrometry. The present invention is characterized in that abnormalities in the signal transmission system are monitored by constantly comparing the information signal from the signal transmission system for any one of them with the target reference.
（実施例）
この発明の実施例を図によって説明する。第１図に示す
第１の実施例は磁束密度についての信号伝送系統の異常
を対象とした構成であり、同図において１はイオン源装
置、２はこれからイオンを引出すために引出電圧を発生
する引出電源、３はスリット部、４は質量分析装置で、
マグネット部５とコイル６とによって主として構成され
である。(Example) An example of the present invention will be described with reference to the drawings. The first embodiment shown in Fig. 1 has a configuration that targets an abnormality in the signal transmission system regarding magnetic flux density. 3 is the slit part, 4 is the mass spectrometer,
It is mainly composed of a magnet section 5 and a coil 6.
これらは高電圧部位に配置されである。７は加速管、８
は加速電圧を発生する加速電源である。These are located at high voltage sites. 7 is an accelerator tube, 8
is an accelerating power source that generates an accelerating voltage.
引出電源２の電圧（引出電圧）の値が変換された光信号
は光伝送系９によって低電圧部位に伝送される。伝送さ
れてきた光信号はテレメータ１０によって引出電圧に対
応する電気的な情報信号に変換され、演算部１１に与え
られる。The optical signal whose voltage (output voltage) value of the extraction power source 2 has been converted is transmitted to a low voltage part by the optical transmission system 9. The transmitted optical signal is converted by the telemeter 10 into an electrical information signal corresponding to the extraction voltage, and is provided to the arithmetic unit 11 .
演算部１１では後記する別のテレメータ１２からの情報
信号と前記したテレメータ１０からの情報信号に基づい
て予め定めた演算式にしたがってマス値を演算する。そ
の演算結果に基づいて選択されたイオンは表示部１３に
よって表示される。The calculation unit 11 calculates a mass value according to a predetermined calculation formula based on an information signal from another telemeter 12 (described later) and an information signal from the telemeter 10 described above. Ions selected based on the calculation results are displayed on the display section 13.
前記した演算結果によっては所望のイオン種が選択され
ていないときは、演算部１１から制御指令が図示しない
別の光伝送系を経てコイル用電源（図示せず）に与えら
れ、磁束密度を所望のイオン種が選択されるよう制御す
る。If the desired ion species is not selected depending on the calculation result described above, a control command is given from the calculation unit 11 to the coil power source (not shown) via another optical transmission system (not shown) to set the magnetic flux density to the desired value. ion species are selected.
以上の構成は通常のものと特に相違するところはない。The above configuration is not particularly different from a normal configuration.
この発明にしたがって図の実施例では、情報信号の一つ
として磁束密度を選択した場合を示し、そのためにマグ
ネット部５の内部に２個のホール素子１４．１５を、互
いに接近した位置に設置する。そして各ホール素子が感
応した磁束密度に対応する電気的な情報信号は、増幅部
１６゜１７によって増幅され、かつ光信号に変換される
。In accordance with the present invention, the illustrated embodiment shows a case in which magnetic flux density is selected as one of the information signals, and for this purpose two Hall elements 14 and 15 are installed within the magnet section 5 at positions close to each other. . Electrical information signals corresponding to the magnetic flux density sensed by each Hall element are amplified by amplifiers 16 and 17 and converted into optical signals.
そのあとそれぞれ別個の光伝送系１８．１９によって伝
送される。Thereafter, they are transmitted by separate optical transmission systems 18 and 19, respectively.
伝送されてきた光信号はテレメータ１２，２０によって
受光され、ここで再び先の電気的な情報信号に変換され
る。そして前述したようにテレメータ１２からの出力は
、マス値演算のための演算式のひとつの演算要素として
演算部１１に与えられる。また両テレメータ１２．２０
からの出力は比較器２１に与えられここで比較される。The transmitted optical signals are received by telemeters 12 and 20, where they are again converted into electrical information signals. As described above, the output from the telemeter 12 is given to the calculation unit 11 as one calculation element of the calculation formula for calculating the mass value. Also both telemeters 12.20
The outputs from the two are given to a comparator 21 and compared there.
そして両出力の値に差があるとき、異常状態が発生して
いるとして、出力を出す。When there is a difference between the values of both outputs, it is determined that an abnormal condition has occurred and an output is issued.
以上の構成において、ホール素子１４．１５のうちの何
れか一方、あるいは光伝送５系１８，１９のうちの何れ
か一方に異常が発生していたとすると、テレメータ１２
，２０からの出力に差が生じる。この差に慕づいて比較
器２１から出力が出るので、これによって計測系に異常
が発生したことが確認される。比較器２１からの出力に
基づいて異常である旨を表示するなり、イオンの注入を
停止するインターロックをかけるようにする。In the above configuration, if an abnormality occurs in either one of the Hall elements 14, 15 or one of the optical transmission systems 18 and 19, the telemeter 12
, 20. Since the comparator 21 outputs an output based on this difference, it is confirmed that an abnormality has occurred in the measurement system. Based on the output from the comparator 21, an interlock is applied to indicate that there is an abnormality and to stop ion implantation.
第２図に示す第２の実施例は、コイル６に流れるコイル
電流についての信号伝送系統の異常を対象とした構成で
あり、同図において２２はコイル電流を供給する電源を
示し、この電源回路中に抵抗２３．２４を挿入してその
各抵抗からコイル電流を検出するようにしている。The second embodiment shown in FIG. 2 has a configuration that targets an abnormality in the signal transmission system regarding the coil current flowing through the coil 6. In the same figure, 22 indicates a power supply that supplies the coil current, and this power supply circuit Resistors 23 and 24 are inserted therein, and the coil current is detected from each of the resistors.
この場合でも何れか一方のコイル電流に関する信号伝送
系統に異常があれば、両テレメータ１２゜２０の出力に
差が生じるようになるので、これからも計測系に異常が
発生したことが確認される。Even in this case, if there is an abnormality in the signal transmission system related to the coil current of either one, a difference will occur between the outputs of both telemeters 12 and 20, so that it can be confirmed that an abnormality has occurred in the measurement system.
第３図に示す第３の実施例は、引出電源２の引出電圧に
ついての信号伝送系統の異常を対象とした構成であり、
この構成では引出電源２からの情報信号は光伝送系９に
よってテレメータ１０に伝送されるが、イオン種を変更
しない限りは引出電圧は固定であるので、テレメータ１
０の出力は比較器２１により定電圧と比較するようにす
ればよい。２５はこの定電圧が印加される電圧端子を示
す。The third embodiment shown in FIG. 3 has a configuration that targets an abnormality in the signal transmission system regarding the extraction voltage of the extraction power source 2,
In this configuration, the information signal from the extraction power source 2 is transmitted to the telemeter 10 by the optical transmission system 9, but since the extraction voltage is fixed unless the ion species is changed, the information signal from the extraction power source 2 is transmitted to the telemeter 10.
The output of 0 may be compared with a constant voltage by the comparator 21. 25 indicates a voltage terminal to which this constant voltage is applied.
この場合でも引出電圧の信号伝送系に異常があれば、両
テレメータ１２．１０の出力に差が生じるようになるの
で、これからも計測系に異常が発生したことが確認され
る。Even in this case, if there is an abnormality in the signal transmission system of the extraction voltage, a difference will occur between the outputs of both telemeters 12 and 10, so that it can be confirmed that an abnormality has occurred in the measurement system.
（発明の効果）
以上詳述したようにこの発明によれば、イオン種の選択
のための演算に必要な信号の伝送系に異常があれば、こ
れを直ちに検出することができるようになり、したがっ
て所望のイオン種を確実に選択することができるといっ
た効果を奏する。(Effects of the Invention) As detailed above, according to the present invention, if there is an abnormality in the signal transmission system necessary for calculation for selecting ion species, it can be immediately detected. Therefore, it is possible to reliably select a desired ion species.
第１図乃至第３図は何れもほこの発明の実施例を示す回
路図である。
１・・・イオン源装置、２・・・引出電源、４・・・質
量分析装置、５・・・マグネット部、６・・・コイル、
９，１８゜１９・・・信号伝送系、１０，１２．２０・
・・テレメータ、１１・・・演算部、２１・・・比較器
、２２・・・コイル用の電源、２３．２４・・・抵抗、1 to 3 are circuit diagrams showing embodiments of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Ion source device, 2... Extracting power supply, 4... Mass spectrometer, 5... Magnet part, 6... Coil,
9,18゜19...Signal transmission system, 10,12.20・
... Telemeter, 11 ... Arithmetic unit, 21 ... Comparator, 22 ... Power supply for coil, 23.24 ... Resistor,
Claims (1)
されたイオンから、前記質量分析装置によって所望のイ
オン種を分析するイオン注入装置において、質量分析し
ようとするマス値を決定する演算式の演算要素である、
前記イオン源装置における引出電圧と、前記質量分析装
置のコイル電流または磁束密度とのうち、少なくとも何
れか一つについての信号伝送系統からの情報信号を、対
象基準と常時比較する比較手段を備えその比較結果より
、信号伝送系統の異常を監視するようにしたことを特徴
とするイオン注入装置。In an ion implanter equipped with a mass spectrometer using a magnetic field and in which a desired ion species is analyzed by the mass spectrometer from ions extracted from an ion source device, a calculation element of a calculation formula for determining a mass value to be subjected to mass analysis. is,
Comparing means for constantly comparing an information signal from a signal transmission system regarding at least one of the extraction voltage in the ion source device and the coil current or magnetic flux density of the mass spectrometer with a target standard; An ion implantation device characterized in that an abnormality in a signal transmission system is monitored based on comparison results.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61016401A JPH0793123B2 (en) | 1986-01-27 | 1986-01-27 | Ion implanter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61016401A JPH0793123B2 (en) | 1986-01-27 | 1986-01-27 | Ion implanter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62176041A true JPS62176041A (en) | 1987-08-01 |
| JPH0793123B2 JPH0793123B2 (en) | 1995-10-09 |
Family
ID=11915222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61016401A Expired - Lifetime JPH0793123B2 (en) | 1986-01-27 | 1986-01-27 | Ion implanter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793123B2 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60100350A (en) * | 1983-11-02 | 1985-06-04 | Nissin Electric Co Ltd | High-voltage power supply equipment for charged particle acceleration device |
| JPS612252A (en) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Hitachi Ltd | Ion implantation device |
-
1986
- 1986-01-27 JP JP61016401A patent/JPH0793123B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60100350A (en) * | 1983-11-02 | 1985-06-04 | Nissin Electric Co Ltd | High-voltage power supply equipment for charged particle acceleration device |
| JPS612252A (en) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Hitachi Ltd | Ion implantation device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0793123B2 (en) | 1995-10-09 |
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