JPS62157788A - Industrial robot - Google Patents
Industrial robotInfo
- Publication number
- JPS62157788A JPS62157788A JP29676685A JP29676685A JPS62157788A JP S62157788 A JPS62157788 A JP S62157788A JP 29676685 A JP29676685 A JP 29676685A JP 29676685 A JP29676685 A JP 29676685A JP S62157788 A JPS62157788 A JP S62157788A
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- Japan
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- ball screw
- screw shaft
- case
- industrial robot
- industrial
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
- F16H2025/2096—Arrangements for driving the actuator using endless flexible members
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はクリーンルームなどで組立作業を行う工業用ロ
ボットに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to an industrial robot that performs assembly work in a clean room or the like.
従来の技術
近年、工業用ロボットにおいて、特に直交型クリーンロ
ボットは、半導体など、クリーンな環境の中で作業する
必要のある場合に、注目されている０
以下図面を参照しながら、従来の工業用直交型クリーン
ロボットの一例について説明する。Conventional Technology In recent years, in industrial robots, orthogonal clean robots in particular have been attracting attention when it is necessary to work in a clean environment, such as with semiconductors. An example of an orthogonal clean robot will be explained.
第２図は従来の工業用直交型クリーンロボットの概略を
示すものである。第２図において、１はボールネジ軸で
、２はそのボールネジ軸１上を摺動可能なボールネジナ
ツト、３は駆動モータで、４は駆動モータ３の動力をボ
ールネジ軸１に伝えるカップリングである。６はノ・ウ
ジング、６はガイドで、７はレールでこの上をガイド６
が摺動する。８は本体である。１０はボールネジナツト
とハウジング５をカバーするケースでボールネジ軸１と
の間には少しのすき間がある。FIG. 2 schematically shows a conventional industrial orthogonal clean robot. In FIG. 2, 1 is a ball screw shaft, 2 is a ball screw nut that can slide on the ball screw shaft 1, 3 is a drive motor, and 4 is a coupling that transmits the power of the drive motor 3 to the ball screw shaft 1. 6 is a no-using, 6 is a guide, 7 is a rail and guide 6 on this
slides. 8 is the main body. Reference numeral 10 is a case that covers the ball screw nut and the housing 5, and there is a small gap between the case 10 and the ball screw shaft 1.
以上のように構成された工業用直交型クリーンロボット
について以下その動作について説明する。The operation of the industrial orthogonal clean robot configured as described above will be explained below.
まず、駆動モータ３によりカップリング４を介してボー
ルネジ軸１に回転運動を伝える。ボールネジ軸１の回転
によりボールネジナツト２はガイド６により回転しない
ことよりボールネジ軸１に沿って摺動する。また、ボー
ルネジナツト２とともにハウジング６が動くのでこの上
に同じような構造を載せることにより直交型ロボットが
構成される。さらに、ボールネジ軸１とボールネジナツ
ト２の摺動によりグリースなどの粉塵が発生するのでケ
ース１ｏ内を真空吸引源１１により真空吸引して、それ
がケース１０の外に出ないようにする。First, the drive motor 3 transmits rotational motion to the ball screw shaft 1 via the coupling 4. Due to the rotation of the ball screw shaft 1, the ball screw nut 2 is not rotated by the guide 6 and slides along the ball screw shaft 1. Furthermore, since the housing 6 moves together with the ball screw nut 2, a similar structure is placed on top of the housing 6 to construct an orthogonal robot. Further, since dust such as grease is generated due to the sliding movement of the ball screw shaft 1 and the ball screw nut 2, the inside of the case 1o is vacuum-sucked by a vacuum suction source 11 to prevent the dust from coming out of the case 10.
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような構成ではボールネジナツト
２とボールネジ軸１の摺動などにより発生する粉塵は、
真空吸引によりケース１０の外に出ないようにすること
ができるが、ケース１ｏの中に入っていないボールネジ
軸の部分より回転により発生する粉塵に対しては、出さ
ないようにすることかできないという問題点を有してい
た。Problems to be Solved by the Invention However, in the above configuration, dust generated due to sliding between the ball screw nut 2 and the ball screw shaft 1, etc.
Although it is possible to prevent the dust from coming out of the case 10 by vacuum suction, there is no way to prevent the dust generated by rotation from the part of the ball screw shaft that is not inside the case 1o. It had some problems.
本発明は上記問題点に鑑み、ボールネジ軸１０回転によ
り発生する粉塵を出さないようにした工業用直交型クリ
ーンロボットを提供するものである。In view of the above-mentioned problems, the present invention provides an industrial orthogonal clean robot that does not generate dust generated by 10 rotations of a ball screw shaft.
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の工業用ロボットは
、ボールネジ軸を本体に固定して、ボールネジナツトを
回転させることにより、ハウジングを駆動するという構
成を備えたものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention has a configuration in which the ball screw shaft is fixed to the main body and the housing is driven by rotating the ball screw nut. It is something.
作 用
本発明は上記した構成によって、ボールネジ軸を回転さ
せることなく駆動でき、ケースの中に入っていないボー
ルネジ軸の部分からの粉塵の発生もないということにな
る。Function: With the above-described configuration, the present invention can drive the ball screw shaft without rotating it, and no dust is generated from the portion of the ball screw shaft that is not inside the case.
実施例
以下本発明の一実施例の工業用直交型クリーンロボット
について、図面を参照しながら説明する。EXAMPLE Hereinafter, an industrial orthogonal clean robot according to an example of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例における工業用直交型クリー
ンロボットの概略図を示すものである。FIG. 1 shows a schematic diagram of an industrial orthogonal clean robot according to an embodiment of the present invention.
第１図において、１は本体８に固定されたボールネジ軸
で、２はボールネジ軸１上を摺動可能なボールネジナツ
トで、これは駆動モータ３によりブー リ９ ａ 、
９ ｂ 、ベル）９ａを介して回転運動を伝えられるよ
うになっている。５はノ・ウジングで、６はハウジング
６、ケース１ｏの回転を止めるためのガイドでレール７
上を摺動可能となっている。In FIG. 1, 1 is a ball screw shaft fixed to the main body 8, 2 is a ball screw nut that can slide on the ball screw shaft 1, and this is driven by a drive motor 3 to drive a pulley 9a,
9b, bell) Rotary motion can be transmitted through 9a. 5 is the housing, 6 is the housing 6, and the rail 7 is a guide for stopping the rotation of the case 1o.
It is possible to slide on the top.
１１は真空吸引源でケース１０の中を真空吸引可能にな
っている。Reference numeral 11 denotes a vacuum suction source that can vacuum the inside of the case 10.
以上のように構成された工業用直交型クリーンロボット
の動作について説明する。The operation of the industrial orthogonal clean robot configured as described above will be explained.
駆動モータ３の回転運動をブーＩＪ９ａ、９ｂ。The rotational movement of the drive motor 3 is controlled by IJ9a, 9b.
ベルト９ｃでボールネジナツト２に伝える。これにより
本体８に固定されたボールネジ軸１上をボールネジナツ
ト２とともにハウジング５．ケース１ｏは直線運動する
。なおかつケース１０内で発生する粉塵を真空吸引源１
１により吸引し、ケース１ｏの外部に出さないようにし
ている。It is transmitted to the ball screw nut 2 using the belt 9c. As a result, the ball screw shaft 1 fixed to the main body 8 is mounted on the housing 5. Case 1o moves in a straight line. Furthermore, the dust generated inside the case 10 is removed by a vacuum suction source 1.
1 to prevent it from coming out of the case 1o.
以上のように本実施例によれば、ボールネジ軸を回転さ
せないでボールネジナンドを回転させることによって移
動するケース内にないボールネジ軸からの回転による粉
塵を防止することができる。As described above, according to this embodiment, by rotating the ball screw nut without rotating the ball screw shaft, it is possible to prevent dust from being generated by rotation from the ball screw shaft that is not inside the moving case.
なお実施例においてガイド６はブツシュ、レール、７は
シャフトとしてもよい。In the embodiment, the guide 6 may be a bush or a rail, and the guide 7 may be a shaft.
さらに、ナツト部、ボールネジ軸、ケース、駆動モータ
を１つのブロックとし、これを複数個段積みし、互いに
直交して構成することにより平面あるいは立体的に物品
の加工、保持等が可能となる。Further, by forming a nut, a ball screw shaft, a case, and a drive motor into one block, and stacking a plurality of blocks so as to be orthogonal to each other, it becomes possible to process, hold, etc. two-dimensional or three-dimensional objects.
発明の効果
以上のように本発明は、ボールネジ軸全固定してボール
ネジナツトを回転させることにより、ボールネジ軸の回
転により発生する粉塵をなくすることができ、クリーン
ルームでの作業に応用することができる。Effects of the Invention As described above, the present invention can eliminate dust generated by rotation of the ball screw shaft by completely fixing the ball screw shaft and rotating the ball screw nut, and can be applied to work in a clean room. .
第１図は本発明の一実施例における工業用ロボットの断
面図、第２図は従来の工業用直交型クリーンロボットの
断面図である。
１・・・・・・ボールネジ軸、２・・・・・・ボールネ
ジナツト、３・・・・・・駆動モータ、６・・・・・・
ノ・ウジング、６・・・・・・ガイド、８・・・・・・
本体、１０・・・・・・ケース、１１・・・・・・真空
吸引源。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｆ−
ｔ：−ルネカ−
２・−一ツノー１ト
ｊ−−＃萱ヤ６−タ
５−−−ハクジング
Ｇ−−−ｆ）’ｆ Ｖ
７−−−ムール
ｑｃ−一ギルド
１０−−−リ・−１
１イ一−−菓ｉｗ、ｃｇｉ＞ｔ。FIG. 1 is a sectional view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional industrial orthogonal clean robot. 1...Ball screw shaft, 2...Ball screw nut, 3...Drive motor, 6...
No Ujing, 6...Guide, 8...
Main body, 10... Case, 11... Vacuum suction source. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person f-
t:-Runeka- 2・-One Tsuno 1 Toj--#Kaya 6-Ta 5--Hakuzing G---f)'f V 7---Murqc-One Guild 10---Re -1 1i--kaiw, cgi>t.
Claims (4)
ボールネジ軸と螺合し、回転によりボールネジ軸の軸方
向に摺動可能なナット部と、このナット部を回転させる
駆動部とからなる工業用ロボット。(1) Consists of a ball screw shaft fixed to the main body, a nut part that is screwed onto the ball screw shaft and can slide in the axial direction of the ball screw shaft by rotation, and a drive part that rotates the nut part. industrial robot.
、ナット部の回転時、ケースが回転しない様回り止めが
可能なガイド部を備えたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の工業用ロボット。(2) Claim 1, characterized in that a case is provided that houses the nut part and the drive part, and a guide part is provided that can prevent the case from rotating when the nut part rotates. The industrial robot described.
吸引可能にした特許請求の範囲第２項記載の工業用ロボ
ット。(3) The industrial robot according to claim 2, wherein a vacuum suction source is connected to the case so that dust inside the case can be sucked.
直交する面にケースがわずかのすき間を有した特許請求
の範囲第１項記載の工業用ロボット。(4) The industrial robot according to claim 1, wherein the case has a slight clearance between the ball screw shaft and the sliding portion in a plane perpendicular to the sliding direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29676685A JPH0755465B2 (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | Industrial robots |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29676685A JPH0755465B2 (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | Industrial robots |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62157788A true JPS62157788A (en) | 1987-07-13 |
| JPH0755465B2 JPH0755465B2 (en) | 1995-06-14 |
Family
ID=17837850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29676685A Expired - Lifetime JPH0755465B2 (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | Industrial robots |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755465B2 (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03134339A (en) * | 1989-10-19 | 1991-06-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Damping device |
| JPH03134340A (en) * | 1989-10-19 | 1991-06-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Damping device |
| JPH0590950U (en) * | 1992-05-07 | 1993-12-10 | 株式会社スガイ | Substrate surface treatment equipment |
| JPH08216070A (en) * | 1995-02-20 | 1996-08-27 | Seiko Seiki Co Ltd | Robot |
| WO2004082901A1 (en) * | 2003-03-14 | 2004-09-30 | Commissariat A L'energie Atomique | Intermediate segment of an articulated arm comprising a screw and nut transmission |
| US7389974B2 (en) | 2003-03-14 | 2008-06-24 | Commissariat A L'energie Atomique | Screw, nut and cable transmission |
| JP2011104716A (en) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | Feeding device |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29676685A patent/JPH0755465B2/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7389974B2 (en) | 2003-03-14 | 2008-06-24 | Commissariat A L'energie Atomique | Screw, nut and cable transmission |
| US7574939B2 (en) | 2003-03-14 | 2009-08-18 | Commissariat A L'energie Atomique | Intermediate segment of an articulated arm comprising a screw and nut transmission |
| JP2011104716A (en) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | Feeding device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0755465B2 (en) | 1995-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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