JPS62156845U - - Google Patents

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JPS62156845U
JPS62156845U JP4479086U JP4479086U JPS62156845U JP S62156845 U JPS62156845 U JP S62156845U JP 4479086 U JP4479086 U JP 4479086U JP 4479086 U JP4479086 U JP 4479086U JP S62156845 U JPS62156845 U JP S62156845U
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JP
Japan
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metal plate
oscillator
unimorph
pressure sensor
case body
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JP4479086U
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わる振動型圧力センサの一
実施例を示す縦断面図、第２図はこの振動型圧力
センサに用いるプリント基盤の平面図、第３図は
この振動型圧力センサの平面図、第４図は本考案
に係わる振動型圧力センサの他の実施例を示す縦
断面図、第５図は従来の圧力センサを示す縦断面
図である。 １０……ユニモルフ振動子、１１……金属円板
、１２……電歪振動子、１３……ケース本体、１
３ａ……窪段部、１４……金属板押さえ、１６…
…内部空間。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 作用する応力の変化によりその共振周波数が変
    動する電歪振動子を金属板の一方側に一体的に設
    けてなるユニモルフ振動子と、前記金属板の他方
    側に密着固定すると共にこの金属板との間に真空
    空間を形成するケース本体とを具備してなる振動
    型圧力センサ。
JP4479086U 1986-03-28 1986-03-28 Pending JPS62156845U (ja)

Priority Applications (1)

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JP4479086U JPS62156845U (ja) 1986-03-28 1986-03-28

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4479086U JPS62156845U (ja) 1986-03-28 1986-03-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62156845U true JPS62156845U (ja) 1987-10-05

Family

ID=30862930

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4479086U Pending JPS62156845U (ja) 1986-03-28 1986-03-28

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62156845U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008070241A (ja) * 2006-09-14 2008-03-27 Epson Toyocom Corp 圧力センサ、及びその製造方法
WO2012063477A1 (ja) * 2010-11-10 2012-05-18 パナソニック株式会社 圧力センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008070241A (ja) * 2006-09-14 2008-03-27 Epson Toyocom Corp 圧力センサ、及びその製造方法
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