JPS62150644A - Supporting structure of electron discharge electrode - Google Patents
Supporting structure of electron discharge electrodeInfo
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- JPS62150644A JPS62150644A JP29142985A JP29142985A JPS62150644A JP S62150644 A JPS62150644 A JP S62150644A JP 29142985 A JP29142985 A JP 29142985A JP 29142985 A JP29142985 A JP 29142985A JP S62150644 A JPS62150644 A JP S62150644A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、光電子増倍管のダイノード支持構造等に利用
することができる電子放出電極の支持構造に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a support structure for an electron-emitting electrode that can be used as a dynode support structure of a photomultiplier tube.
(従来の技術)
従来の光電子増倍管のダイノード支持構造を第5図を参
照して説明する。(Prior Art) A conventional dynode support structure of a photomultiplier tube will be explained with reference to FIG.
第5図は、従来の光電子増倍管のダイノード支持構造を
示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a dynode support structure of a conventional photomultiplier tube.
電子放出電極は同一の形状をもつものであり、第5図は
N段の電子放出電極42nとN−1段の電子放出電極4
2(n−1)を示している。The electron-emitting electrodes have the same shape, and FIG. 5 shows an N-stage electron-emitting electrode 42n and an N-1-stage electron-emitting electrode 4.
2(n-1).
各電子放出電極は方形の枠と缶縁の腹部に、それぞれ突
出した耳部45が設けられている。Each electron-emitting electrode is provided with protruding ears 45 on the rectangular frame and the abdomen of the can rim.
この各耳部45にはアルミナパイプ47に貫通される孔
が設けられている。Each ear portion 45 is provided with a hole through which an alumina pipe 47 passes.
各電子放出電極42は、ベネシアンブラインド形ダイノ
ードを形成するための2次電子放出斜面44が多数設け
られており、その前面にメッシェが設けられている。Each electron emitting electrode 42 is provided with a large number of secondary electron emitting slopes 44 for forming a Venetian blind dynode, and a mesh is provided on the front surface thereof.
各電子放出電極42の間隔は筒状スペーサ41・・・4
1により保たれる。筒状スペーサ41は前記耳部45の
孔とともに、アルミナパイプ47で貫通されており、ア
ルミナパイプ47には、金屈バイブ43が挿入されてい
る。The distance between each electron emitting electrode 42 is determined by cylindrical spacers 41...4.
1 is maintained. The cylindrical spacer 41 and the hole of the ear portion 45 are penetrated by an alumina pipe 47, and a Kinbaku vibrator 43 is inserted into the alumina pipe 47.
(発明が解決しようとする問題点)
前述した構造において各電子放出電極42は筒状スペー
サ41により間隔が保たれ、かつ絶縁されることになる
が、以下のような問題がある。(Problems to be Solved by the Invention) In the above-described structure, the respective electron-emitting electrodes 42 are kept spaced apart from each other by the cylindrical spacer 41 and are insulated, but there are the following problems.
前記構造のダイノード組立を用いた光電子増倍管の暗電
流−印加電圧特性は、印加電圧の高いところにおいてt
g電流値が、直線性を失い増大する。The dark current-applied voltage characteristic of a photomultiplier tube using a dynode assembly with the above structure is t at high applied voltage.
The g current value loses linearity and increases.
さらに印加電圧を上げると、ついには、電子増倍の過程
に直接関係のない内部発光(グロー、エレクトロルミネ
センス)が起こる。When the applied voltage is further increased, internal light emission (glow, electroluminescence), which is not directly related to the electron multiplication process, finally occurs.
また残留ガスの電離なども起こり、さらに特性を劣化さ
せる。Ionization of residual gas also occurs, further degrading the characteristics.
一般にこれらの不要発光源があると、陽極まで到達する
好ましくない電子流による電流「ノイズ」が発生する。Generally, these unwanted light sources create current "noise" due to unwanted electron flow reaching the anode.
例えば、光電子増倍管内の電子増倍部分における不要発
光は、電子源すなわち光電陰極まで逆向きにもどるため
に出力信号中に好ましくない「アフターパルス」を形成
する。For example, unwanted light emission in the electron multiplier section within a photomultiplier tube creates undesirable "afterpulses" in the output signal as it travels back to the electron source or photocathode.
光電子増倍管内における不要電子放射源と不要発光源の
光電陰極までのもどりは、印加電圧−出力電流特性にお
ける直線性の損失の原因となる。The return of the unnecessary electron radiation source and the unnecessary light emission source to the photocathode within the photomultiplier tube causes loss of linearity in the applied voltage-output current characteristic.
そのため、光電子増倍管の最高印加電圧が制限され、ま
た電流増幅する能力にも限界が生じる。Therefore, the maximum applied voltage of the photomultiplier tube is limited, and the ability to amplify current is also limited.
本発明の目的は、前述の暗電流増大等の問題を解決する
ことができる電子放出電極の支持構造を提供することに
ある。An object of the present invention is to provide a support structure for an electron-emitting electrode that can solve the aforementioned problems such as increase in dark current.
(問題点を解決するための手段)
前記目的を達成するために、本発明による電子放出電極
の支持構造は、荷電粒子の入射に対応する電子を放出す
る取付用の周縁部をもつ面状の複数の電子放出電極と、
一定の厚さと電子を通過させる開口部をもち周縁部に前
記各電極の取付孔に対応する複数の貫通孔をもち表面が
黒色である1以上の絶縁性のスペーサと、前記各電極間
に前記絶縁性のスペーサを配置して前記貫通孔を利用し
て前記各電極を固定する固定手段から構成されている。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the support structure for an electron-emitting electrode according to the present invention includes a planar support structure having a peripheral edge for attachment that emits electrons corresponding to incidence of charged particles. multiple electron-emitting electrodes;
One or more insulating spacers having a certain thickness and an opening through which electrons can pass, and having a black surface and having a plurality of through holes corresponding to the mounting holes of each of the electrodes on the peripheral edge, and the above-mentioned spacer between each of the electrodes. It is comprised of a fixing means for arranging insulating spacers and fixing each of the electrodes using the through holes.
(実施例)
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。(Example) Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings and the like.
第1図は、本発明による電子放出電極の支持構造の実施
例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an electron-emitting electrode support structure according to the present invention.
ベネシアンブラインド形ダイノード21は、さきに第5
図により説明した構造と共通するものであり、このダイ
ノード21を多数段積み上げて電子増倍器を形成する。The Venetian blind type dynode 21 is
This structure is common to the one explained in the drawings, and the dynodes 21 are stacked in multiple stages to form an electron multiplier.
このダイノード21は、網状電極14と傾斜面の2次電
子放出面22を持ち、これ等を支持する枠には4箇所の
耳部が設けられている。This dynode 21 has a mesh electrode 14 and an inclined secondary electron emitting surface 22, and a frame supporting these is provided with four ears.
平坦な網状電極14はスポット溶接により結合されてい
る。The flat mesh electrodes 14 are connected by spot welding.
絶縁性のスペーサ15は前記ダイノード21と略同形の
縁をもち、各線の腹部に前記ダイノード21の耳部に対
応する突出部が設けられている。The insulating spacer 15 has an edge having substantially the same shape as the dynode 21, and a protrusion corresponding to the ear of the dynode 21 is provided on the abdomen of each wire.
そして、この突出部には前記ダイノード21の耳部に設
けられている貫通孔に対応する貫通孔20が設けられて
いる。A through hole 20 corresponding to the through hole provided in the ear portion of the dynode 21 is provided in this protruding portion.
前記絶縁性ダイノードは酸化アルミニウムを生成分とし
、これに微量の金属を添加したものであり、表面は黒色
である。The insulating dynode is made of aluminum oxide with a trace amount of metal added, and has a black surface.
第2図に、前記支持構造を用いた電子増倍器の後段部の
断面図を示す。FIG. 2 shows a sectional view of the rear part of an electron multiplier using the support structure.
反射形のダイノードとしての機能をもつ最終段の電極1
6に3段の絶縁性のスペーサ15を介してダイノード2
1nが重ねられ、さらに一段の絶縁性のスペーサ15を
介してダイノード21(n−1)が重ねられている。Final stage electrode 1 that functions as a reflective dynode
The dynode 2 is connected to the dynode 6 via the three-stage insulating spacer 15.
1n are stacked on top of each other, and dynodes 21 (n-1) are stacked on top of each other with one stage of insulating spacer 15 interposed therebetween.
平坦な網状の陽極17は筒状スペーサ18を介して最終
段電極に固定されている。A flat mesh anode 17 is fixed to the final stage electrode via a cylindrical spacer 18.
使用の際は、陽極17に最も高い電圧が印加され、最終
段の電極16.ダイノード21n、ダイノード21
(n−1)の順に次第に低くなる電圧が印加される。In use, the highest voltage is applied to the anode 17 and the final stage electrode 16. Dynode 21n, dynode 21
Voltages that gradually decrease in the order of (n-1) are applied.
第3図は前記電子増倍器にさらに多段のダイノードを重
ねた電子増倍部をもつ光電子増倍管の実施例を示す図で
ある。FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of a photomultiplier tube having an electron multiplier section in which multiple stages of dynodes are stacked on top of the electron multiplier.
本発明による支持構造を用いた光電子増倍管8は球状の
外囲器9を持ち、頂面の半球部がフエイスプレート10
を形成しており、内部に光電陰極面が形成されている。A photomultiplier tube 8 using the support structure according to the present invention has a spherical envelope 9, and a hemispherical portion on the top surface is a face plate 10.
A photocathode surface is formed inside.
外囲器9の筒状の基部にはベース12が固定されている
。A base 12 is fixed to the cylindrical base of the envelope 9.
この実施例は前述した形状のダイノード21を絶縁性の
スペーサ15で13段重ねた電子増倍器を用いである。This embodiment uses an electron multiplier in which dynodes 21 having the shape described above are stacked in 13 stages with insulating spacers 15.
13はフォーカス電極である。13 is a focus electrode.
なお陽極の形状等は先に第2図を参照して説明したとお
りである。Note that the shape of the anode and the like are as described above with reference to FIG. 2.
第4図は、前記光電子増倍管の暗電流−電圧特性を示し
たグラフである。FIG. 4 is a graph showing the dark current-voltage characteristics of the photomultiplier tube.
従来の構造によるものとの比較を容易にするために、同
様に前述した形状のダイノード2工を第5図に示した構
造により13段重ねた電子増倍器を用いた従来構造の光
電子増倍管の特性を破線で示しである。In order to facilitate comparison with the conventional structure, a photoelectron multiplier with a conventional structure using an electron multiplier in which two dynodes of the same shape as described above are stacked in 13 stages with the structure shown in FIG. The characteristics of the tube are shown by dashed lines.
従来の構造による光電子増倍管の最高印加電圧は200
0V、電子増倍能力は5X108程度である。The maximum applied voltage of a photomultiplier tube with a conventional structure is 200
0V, electron multiplication ability is about 5×108.
これに対して、本発明による構造を利用した前述の実施
例光電管は、印加電圧を3000Vにしても、暗電流の
印加電圧に対する直線性は失われず、電子増倍能力は1
X101’以上に達している。On the other hand, in the phototube of the above-mentioned example using the structure according to the present invention, even when the applied voltage is 3000 V, the linearity of the dark current with respect to the applied voltage is not lost, and the electron multiplication ability is 1.
It has reached X101' or more.
従来の構造では印加電圧がある領域に近づくと電子増倍
率や、暗電流が直線性を失うのは次の理由によると推定
される。In the conventional structure, the electron multiplication factor and dark current lose linearity when the applied voltage approaches a certain range for the following reason.
印加電圧が2000Vに近くなると、光電子増倍管で電
子増倍の過程に直接関係のない電子放射源などに基因す
る内部発光現象、また電極のグロー。When the applied voltage approaches 2000 V, an internal luminescence phenomenon occurs due to an electron radiation source that is not directly related to the electron multiplication process in the photomultiplier tube, and electrode glow occurs.
エレクトロルミネセンス、残留ガスの電離などによる不
本意な発光源が発生しはじめる。Unwanted light sources such as electroluminescence and ionization of residual gas begin to occur.
この発光が電極等で反射散乱して管内のすき間または外
容器内を通過し、フィードバックし、電子増倍管の前段
または光電陰極へ、光またはイオンが入射する。This emitted light is reflected and scattered by electrodes and the like, passes through a gap in the tube or inside the outer container, is fed back, and light or ions are incident on the front stage of the electron multiplier tube or the photocathode.
これにより入射光に無関係な光電子または2次電子放出
が加速度的に増加させられることになり、図中破線で示
すように直線性が大きく崩れる。As a result, photoelectron or secondary electron emission unrelated to the incident light increases at an accelerated rate, and the linearity is greatly disrupted as shown by the broken line in the figure.
これに対して、本発明による構造ではフレーム形状の絶
縁スペーサを使用するので、電子増倍過程で発生した光
またはイオンは、直接シールドされることになる。In contrast, the structure according to the present invention uses a frame-shaped insulating spacer, so that the light or ions generated during the electron multiplication process are directly shielded.
同時に前記絶縁スペーサの材質自体が黒色をしているた
め、光の反射がなく、むしろ吸収し、電子増倍経路以外
への光または、イオンの漏れをなくし、光電陰極または
電子増倍管の前段の電極への正のフィードバックを完全
になくすことができる。At the same time, since the material of the insulating spacer itself is black, it does not reflect light, but rather absorbs it, eliminating leakage of light or ions to areas other than the electron multiplier path, and preventing light from entering the front stage of the photocathode or electron multiplier. positive feedback to the electrode can be completely eliminated.
(変形例)
以上詳しく説明した実施例について、本発明の範囲内で
種々の変形を施すことができる。(Modifications) Various modifications can be made to the embodiments described in detail above within the scope of the present invention.
前記実施例は、光電子を増倍する例について説明した。In the above embodiment, an example of multiplying photoelectrons has been described.
初段の電子放出電極が光電子以外の粒子線に衝突されて
電子を放出し、その電子が次段以降のダイノードで増倍
される形式の増倍器に同様に利用できる。It can be similarly used in a multiplier in which the first-stage electron-emitting electrode is collided with a particle beam other than photoelectrons to emit electrons, and the electrons are multiplied by the subsequent dynodes.
また電子放出電極として、ベネシアンブラインド形ダイ
ノードの例を示したが、他のダイノード例えば、メツシ
ュ状のダイノードや、ボックスアンドグリッド形のダイ
ノードを用いる構造にも同様に利用できる。Further, although a Venetian blind dynode is shown as an example of the electron emitting electrode, other dynodes, such as a mesh-like dynode or a box-and-grid dynode, can be used in the same manner.
(発明の効果)
以上詳しく説明したように、本発明による電子放出電極
の支持構造は、荷電粒子の入射に対応する電子を放出す
る取付用の周縁部をもつ面状の複数の電子放出電極と、
一定の厚さと電子を通過させる開口部をもち周縁部に前
記各電極の取付孔に対応する複数の貫通孔をもち表面が
黒色である1以上の絶縁性のスペーサと、前記各電極間
に前記絶縁性のスペーサを配置して前記貫通孔を利用し
て前記各電極を固定する固定手段から構成されている。(Effects of the Invention) As explained in detail above, the electron-emitting electrode support structure according to the present invention includes a plurality of planar electron-emitting electrodes each having a mounting peripheral portion that emits electrons corresponding to incident charged particles. ,
One or more insulating spacers having a certain thickness and an opening through which electrons can pass, and having a black surface and having a plurality of through holes corresponding to the mounting holes of each of the electrodes on the peripheral edge, and the above-mentioned spacer between each of the electrodes. It is comprised of a fixing means for arranging insulating spacers and fixing each of the electrodes using the through holes.
絶縁性のスペーサにより、増倍空間内に発生する不本意
、な発光や、イオンを遮断することができるので、高い
電子増倍率をもち暗電流の発生を少なくした電子増倍器
を提供することができる。To provide an electron multiplier that has a high electron multiplication factor and reduces the generation of dark current because an insulating spacer can block unwanted light emission and ions generated in a multiplication space. I can do it.
特に本発明による構造を光電子増倍管に利用すると、製
造過程において次の効果がある。In particular, when the structure according to the present invention is utilized in a photomultiplier tube, the following effects can be obtained in the manufacturing process.
光電子増倍管で光電陰極または2次電子放出面を製作す
るために必要なアルカリ (Na、に、Cs)の電子増
倍管内での光電陰極と2次電子放出面のアルカリバラン
スを保つ必要がある。It is necessary to maintain an alkaline balance between the photocathode and the secondary electron emitting surface in the electron multiplier tube. be.
アルカリバランスとは、良好な光電陰極と2次電子放出
面とを得るためのアルカリ量のバランスである。The alkaline balance is the balance of the amount of alkali to obtain a good photocathode and secondary electron emitting surface.
一般に光電陰極は、アルカリ発生源から離れた所にあり
、また、フォーカス電極等により、アルカリ量が制限さ
れる。Generally, the photocathode is located away from the alkali generation source, and the amount of alkali is limited by a focus electrode or the like.
それに対して、電子増倍部分、特に陽極付近はアルカリ
発生源に対して近く、また、フォーカス電極等のアルカ
リを制限する物もない。On the other hand, the electron multiplier part, especially near the anode, is close to the alkali generation source, and there is no object such as a focus electrode that restricts the alkali.
この違いにより、2次電子放出面は、アルカリが流入し
やすいことにより光電陰極よりも短い時間で良好な電子
放出面を得る。Due to this difference, the secondary electron emitting surface can obtain a good electron emitting surface in a shorter time than the photocathode because alkali easily flows into the secondary electron emitting surface.
この時点における光電陰極のアルカリ量は、明らかに不
足である。さらに、光電陰極活性を進め、良好な光電陰
極を得た時には、2次電子放出面は、すでにアルカリが
多量に付着してしまい、2次電子放出面としては不適当
になる。The amount of alkali in the photocathode at this point is clearly insufficient. Furthermore, when the photocathode activity is advanced and a good photocathode is obtained, a large amount of alkali has already adhered to the secondary electron emitting surface, making it unsuitable as a secondary electron emitting surface.
そのため、光電陰極と2次電子放出面のアンチモン等の
全屈のアルカリ全屈との反応の量をコントロールする必
要がある。アンチモンの厚さを変えたり、アルカリの侵
入する経路を物理的に調整したりして、光電陰極も2次
電子放出面も最適なアルカリの反応量となるようにして
いる。Therefore, it is necessary to control the amount of reaction between the photocathode and the total alkali such as antimony on the secondary electron emitting surface. By changing the thickness of the antimony and physically adjusting the path through which the alkali penetrates, the photocathode and secondary electron emitting surface are made to have an optimal amount of alkali reaction.
このアルカリバランスは、スペーサの使用数により適切
に調整することができる。This alkaline balance can be appropriately adjusted by the number of spacers used.
従来の構造では、製作中の活性温度と時間により光電陰
極と2次電子放出面のどちらかを中心に製作せざるを得
なかった。In the conventional structure, depending on the activation temperature and time during fabrication, it was necessary to fabricate the photocathode or the secondary electron emitting surface mainly.
しかし、本発明によるフレーム形状をした黒色ス。However, the frame-shaped black frame according to the present invention.
ペーサを最適数使用することにより、通常光電子増倍管
の陽極付近から光電陰極へ送られるアルカリの電子増倍
部分のアルカリ過剰を本発明によるフレーム形状をした
黒色スペーサのアルカリ吸収により防止することができ
る。By using an optimal number of pacers, it is possible to prevent excess alkali in the electron multiplier portion of the alkali, which is normally sent from the vicinity of the anode of the photomultiplier tube to the photocathode, through the alkali absorption of the frame-shaped black spacer according to the present invention. can.
第F図は、本発明による電子放出電極の支持構造の実施
例を示す斜視図である。
第2図は、前記支持構造を用いた電子増倍器の断面図で
ある。
第3図は前記電子放出電極の支持構造を用いた光電子増
倍管の実施例を示す略図である。
第4図は、本発明による電子放出電極の支持構造を用い
た光電子増信管と従来の支持構造を用いた光電子増倍管
の暗電流−電圧特性、電流増倍率−電圧特性を比較して
示したグラフである。
第5図は、従来の電子放出電極の組立構造例を示す斜視
図です。
8・・・本発明による支持構造を用いた光電子増倍管9
・・・光電子増倍管の外囲器
10・・・フェイスプレート
11・・・リードピン
12・・・ベース
13・・・フォーカス電極
14・・・網状電極
15・・・絶縁性スペーサ
16・・・最終段ダイノード
17・・・陽極
18・・・陽極固定用筒状スペーサ
19・・・絶縁性スペーサ開口部
20・・・電極固定用の貫通孔
21・・・ベネシアンブラインド形ダイノード41・・
・・・・筒状スペーサ
42・・・・・・N段の電子放出電極
43・・・・・・全圧パイプ
44・・・・・・2次電子放出面
45・・・・・・2次電子放出電極の縁47・・・・・
・アルミナパイプ
特許出願人 浜松ホトニクス株式会社
代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽
オI図
22図 才3vA
才4図
印tJil t、fE(V)
手続補正書
昭和61年 7月25日
2、発明の名称
電子放出電極の支持構造
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
4、代理人FIG. F is a perspective view showing an embodiment of a support structure for an electron-emitting electrode according to the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of an electron multiplier using the support structure. FIG. 3 is a schematic diagram showing an embodiment of a photomultiplier tube using the electron-emitting electrode support structure. FIG. 4 shows a comparison of dark current-voltage characteristics and current multiplication factor-voltage characteristics of a photomultiplier tube using the electron-emitting electrode support structure according to the present invention and a photomultiplier tube using a conventional support structure. This is a graph. Figure 5 is a perspective view showing an example of the assembly structure of a conventional electron-emitting electrode. 8... Photomultiplier tube 9 using the support structure according to the present invention
... Photomultiplier tube envelope 10 ... Face plate 11 ... Lead pin 12 ... Base 13 ... Focus electrode 14 ... Net electrode 15 ... Insulating spacer 16 ... Final stage dynode 17... Anode 18... Cylindrical spacer for anode fixing 19... Insulating spacer opening 20... Through hole 21 for electrode fixing... Venetian blind dynode 41...
..... Cylindrical spacer 42 ..... N-stage electron emitting electrode 43 ..... Total pressure pipe 44 ..... Secondary electron emitting surface 45 ..... 2 Edge 47 of the secondary electron emission electrode...
・Alumina Pipe Patent Applicant Hamamatsu Photonics Co., Ltd. Agent Patent Attorney Hisao Inoro Name: Electron-emitting electrode support structure 3, relationship with the amended case Patent applicant 4, agent
Claims (2)
の周縁部をもつ面状の複数の電子放出電極と、一定の厚
さと電子を通過させる開口部をもち周縁部に前記各電極
の取付孔に対応する複数の貫通孔をもち表面が黒色であ
る1以上の絶縁性のスペーサと、前記各電極間に前記絶
縁性のスペーサを配置して前記貫通孔を利用して前記各
電極を固定する固定手段から構成した電子放出電極の支
持構造。(1) A plurality of planar electron-emitting electrodes each having a periphery for attachment that emits electrons corresponding to the incidence of charged particles, and each electrode having a certain thickness and an opening through which electrons pass through the periphery. one or more insulating spacers having a black surface and having a plurality of through holes corresponding to the mounting holes, and arranging the insulating spacer between each of the electrodes, and using the through holes to connect each of the electrodes. A support structure for an electron-emitting electrode consisting of fixing means for fixing it.
成分として微量の金属を添加することにより黒色とした
ものである特許請求の範囲第1項記載の電子放出電極の
支持構造。(2) The support structure for an electron-emitting electrode according to claim 1, wherein the insulating spacer is made of aluminum oxide as a main component and has a black color by adding a trace amount of metal.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29142985A JPS62150644A (en) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | Supporting structure of electron discharge electrode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29142985A JPS62150644A (en) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | Supporting structure of electron discharge electrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62150644A true JPS62150644A (en) | 1987-07-04 |
JPH0550807B2 JPH0550807B2 (en) | 1993-07-30 |
Family
ID=17768759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29142985A Granted JPS62150644A (en) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | Supporting structure of electron discharge electrode |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62150644A (en) |
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