JPS62145309A - Precise feeding device - Google Patents

Precise feeding device

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Publication number
JPS62145309A
JPS62145309A JP28549685A JP28549685A JPS62145309A JP S62145309 A JPS62145309 A JP S62145309A JP 28549685 A JP28549685 A JP 28549685A JP 28549685 A JP28549685 A JP 28549685A JP S62145309 A JPS62145309 A JP S62145309A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
guide bar
carriage
clamping pieces
feeding device
Prior art date
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Pending
Application number
JP28549685A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takao Matsui
伯夫 松井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPS62145309A publication Critical patent/JPS62145309A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/34Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
    • B23Q5/50Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding step-by-step

Abstract

PURPOSE:To feed a member to be fed axially precisely at intervals of fine distance by providing a piezoelectric element which vibrates a guide bar for guiding the feed member axially to one end of the guide bar. CONSTITUTION:The 2nd piezoelectric element 35 on a carriage side is driven before the 1st piezoelectric element 25 on a guide-bar side is driven, so that clamping pieces 31 and 32 are so displaced as to come closer to each other. Consequently, a carriage 20 moves by fine distance together with the guide bar which moves finely in a feed direction. Then, the pulse voltage of the 2nd piezoelectric element 35 is ceased, the guide bar 24 is displaced finely as the piezoelectric element 25 contracts. At this time, the clamping pieces 31 and 32 generate no clamping force to the guide bar 24, so the carriage 20 stops at its current position because of its inertia even when the guide bar 24 is displaced in the opposite direction from the feed direction, so that it moves forth on the whole. Further, the carriage is moved back by cutting off the pulse voltage to the 1st piezoelectric element 25 after a pulse voltage is applied to the 2nd piezoelectric element 35.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は精密送り装置に係り、さらに詳しくは圧Tr、
素子を用いた精密送り装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a precision feeding device, and more specifically,
This invention relates to a precision feeding device using an element.

[従来の技術] 一般に、ある部材を直線方向に高精度に送るには駆動源
としてのモータの回転運動を直線連動に変換する構造が
採用されている。
[Prior Art] Generally, in order to send a certain member in a linear direction with high precision, a structure is adopted in which the rotational motion of a motor as a drive source is converted into linear interlocking motion.

このような構造のいくつかの例を第10図および第11
図(A)、(B)、(C)に示す。
Some examples of such structures are shown in Figures 10 and 11.
Shown in Figures (A), (B), and (C).

m10図に示す例は磁気ディスク装置のへッドキャリ、
ジの送り機構1こ適用したもので、図において符号1で
示すキャリッジは磁気へ1.ド2を有し、その一端はカ
イトパー3に摺動自在に嵌合されている。
The example shown in figure m10 is a head carrier of a magnetic disk device.
The carriage shown by reference numeral 1 in the figure is magnetically moved by 1. The kite 2 has one end slidably fitted to the kite par 3.

また、キャリ、ジ1の他端はガイドバー3と平行に配訝
されたスクリュー4に摺動自在に嵌合されている。
The other end of the carrier 1 is slidably fitted into a screw 4 disposed parallel to the guide bar 3.

スクリュー4の一端はステッピングモータ5の出力軸に
律結されており、他端は軸受6によって回転自在に軸承
されている。スクリュー4のねじ溝にはキャリアジ1の
一部に横架されたニードル7の途中が嵌合されている。
One end of the screw 4 is connected to the output shaft of a stepping motor 5, and the other end is rotatably supported by a bearing 6. A needle 7, which is suspended horizontally on a part of the carrier 1, is partially fitted into the thread groove of the screw 4.

符号8で示すものはスピンドルモータで、図示していな
い磁気ディスクを回転させる役目を持ち、その中心と磁
気ヘッド2とは同一軸線上にある。
Reference numeral 8 denotes a spindle motor, which has the role of rotating a magnetic disk (not shown), and its center and the magnetic head 2 are on the same axis.

上述したような構造のもとにステッピングモータ5を回
転させると、スクリュー4が回転し、そのねじ溝中に嵌
合されているニードル7がナツトの役目を果たし、スク
リュードライブの原理によってステッピングモータ5の
回転方向に応じてガイドバー3に沿ってキャリジが磁気
ディスクの半径方向に移動し、磁気記録、再生を行なう
When the stepping motor 5 is rotated based on the above-described structure, the screw 4 rotates, and the needle 7 fitted into the thread groove serves as a nut, and the stepping motor 5 is rotated according to the screw drive principle. The carriage moves in the radial direction of the magnetic disk along the guide bar 3 according to the rotational direction of the magnetic disk, thereby performing magnetic recording and reproduction.

一方、第11図(A)に示す例も磁気ディスク装置に用
いられるヘソドキャリンジの送り機構に適用したもので
1図において符号10で示すキャリッジは2木のカイト
パー11.12によって摺動自在に案内される。
On the other hand, the example shown in FIG. 11(A) is also applied to the feeding mechanism of a hemlock carriage used in a magnetic disk device, and the carriage designated by reference numeral 10 in FIG. 1 is slidably guided by two wooden kite pars 11 and 12. Ru.

キャリッジ10には磁気ヘッド13が設けられており、
キャリッジ13の側面に突設された支持部材14上には
いわゆるα巻きされたスチールベルト15がその両端を
固定された状態で設けられている。
The carriage 10 is provided with a magnetic head 13.
A so-called α-wound steel belt 15 is provided on a support member 14 protruding from the side surface of the carriage 13, with both ends thereof being fixed.

一方、符号16で示すものはステッピングモータで、そ
の出力軸に固定されたブーりに前記スチールベルト15
のα巻きの部分が巻き付けられている。
On the other hand, what is indicated by the reference numeral 16 is a stepping motor, and the steel belt 15 is attached to a bobbin fixed to the output shaft of the stepping motor.
The α-winding part of is wrapped.

符号18で示すものはスピンドルハブで不図示の磁気デ
ィスクを回転させる。
A spindle hub 18 rotates a magnetic disk (not shown).

上述したような構造のもとにステッピングモータ16を
回転させると、その回転方向に応じてスチールベルト1
5が巻き取られ、キャリッジ10が不図示の磁気ディス
クの半径方向に移動し、磁気記録、再生を行なう。
When the stepping motor 16 is rotated based on the structure described above, the steel belt 1 changes depending on the direction of rotation.
5 is wound up, and the carriage 10 moves in the radial direction of the magnetic disk (not shown) to perform magnetic recording and reproduction.

なお、α巻きのスチールベルト15には第11図(B)
に示すような1−2巻きと呼ばれる方式と、同図(C)
に示すような1−1巻きと呼ばれる方式のものとがある
In addition, the α-wound steel belt 15 is shown in Fig. 11 (B).
The method called 1-2 winding as shown in the figure (C)
There is a method called 1-1 winding as shown in FIG.

[発明が解決しようとする問題点] 」二連したような送り機構はいずれもスッテッピングモ
ータの微小な回転連動をスクリュードライブ機構や、ス
チールベルトを介して直線運動に変換する構成を採用し
ているため、ステッピングモータやスクリューあるいは
スチールベルトなどの部品点数が多く、全体として複雑
で、かつ大型化してしまい、かつそれほどの高精度が得
られないという問題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] All of the dual feed mechanisms employ a configuration that converts the minute rotational movement of the stepping motor into linear motion via a screw drive mechanism or a steel belt. Because of this, there are many parts such as stepping motors, screws, and steel belts, making the whole system complicated and large, and it is not possible to obtain very high precision.

[問題点を解決するための手段] 本発明においてはに述した問題点を解決するために、被
送り部材を案内するガイドバーの一端にガイドバーを軸
方向に振動させる第1の圧電素子を設け、被送り部材側
にはガイドバーの挾持部材の挾持力を発生させる第2の
圧電素子を設けた構造を採用した。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the problems described in the present invention, a first piezoelectric element that vibrates the guide bar in the axial direction is provided at one end of the guide bar that guides the transported member. A structure is adopted in which a second piezoelectric element is provided on the side of the conveyed member to generate the clamping force of the clamping member of the guide bar.

[作 用] 上述したような構造を採用すると、第1の圧電素子によ
り、ガイドバーが被送り部材の送り方向に微小移動させ
られた時に第2の圧電素子を駆動して挾持部材に挾持力
を与えたり除去したりして、被送り部材をガイドバーの
変位と共に微小移動させることができる。
[Function] When the above-described structure is adopted, when the guide bar is slightly moved in the feeding direction of the sent member, the first piezoelectric element drives the second piezoelectric element to apply a clamping force to the clamping member. By applying or removing the guide bar, the member to be sent can be moved minutely along with the displacement of the guide bar.

第2の圧電素子の駆動を励起させるパルスの位相を調整
することによっては、被送り部材を逆づj向に進行させ
ることもできる。従って、上述した動作を繰り返せば、
被送り部材を微小距離ずつ精度よく送ることができる。
By adjusting the phase of the pulse that excites the drive of the second piezoelectric element, it is also possible to move the member to be sent in the opposite direction. Therefore, if you repeat the above operation,
It is possible to accurately feed the member to be fed by minute distances.

[実施例] 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
[Example] Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the example shown in the drawings.

[第1実施例] 第1図〜第5図は本発明の第1の実施例を説明するもの
で、ヘッドキャリッジの送り機構に適用したものとして
例示しである。
[First Embodiment] FIGS. 1 to 5 illustrate a first embodiment of the present invention, and are exemplified as being applied to a head carriage feeding mechanism.

第1図〜第3図において符号20で示すものはキャリッ
ジで、その一端はL字状のアーム21が形成されており
、その水平部の先端の上面には磁気ヘッド22が設けら
れている。
In FIGS. 1 to 3, a carriage is designated by the reference numeral 20, and an L-shaped arm 21 is formed at one end of the carriage, and a magnetic head 22 is provided on the upper surface of the horizontal end of the carriage.

また、キャリッジ20の他端側には支持板23が突設さ
れており、この支持板23と前記アーム21とにはガイ
ドバー24が摺動自在に嵌合されている。
Further, a support plate 23 is protruded from the other end of the carriage 20, and a guide bar 24 is slidably fitted into the support plate 23 and the arm 21.

ガイドバー24の一端は第1の圧電素子25の一端に連
結されている。圧電素子25の他端は装置の固定部26
に固定されている。
One end of the guide bar 24 is connected to one end of the first piezoelectric element 25 . The other end of the piezoelectric element 25 is a fixed part 26 of the device.
is fixed.

一方、キャリッジ20の上面の中央部には支持板27が
突設されている。この支持板27はほぼ8字状に形成さ
れており、左右には突片29.30が突設されており、
中央部には左右一対の挾持片31,32が突設されてい
る。
On the other hand, a support plate 27 is provided protruding from the center of the upper surface of the carriage 20. This support plate 27 is formed into an approximately 8-shape, and protruding pieces 29 and 30 are provided on the left and right sides.
A pair of left and right holding pieces 31 and 32 are protruded from the center.

挾持片31.32は第3図に示すようにその上端部の内
側には対向した状態で7字状の切欠部31a、32aが
形成されており、これら切欠部31a、32a間にカイ
’r:/<−24が嵌合されている。
As shown in FIG. 3, the clamping pieces 31 and 32 have 7-shaped notches 31a and 32a formed in opposing positions on the inside of their upper ends, and a chi'r is formed between these notches 31a and 32a. :/<-24 is fitted.

1組の挾持片31.32の基端間には円形のえぐり81
!33が形成されており、 さらに、左右の挾持片31
.32の基端の外側にも円形のえぐり部34がそれぞれ
形成されている。
A circular gouge 81 is provided between the proximal ends of a pair of clamping pieces 31 and 32.
! 33 is formed, and furthermore, left and right clamping pieces 31 are formed.
.. Circular gouges 34 are also formed on the outside of the proximal ends of 32, respectively.

これらえぐり部33.34を形成することにより、各挾
持片31.32の基端にはヒンジ部31b、32bが形
成され、1組の挾持片31゜32はその先端が互いに接
近、離間することが容易になるように構成されている。
By forming these gouged parts 33, 34, hinge parts 31b, 32b are formed at the base ends of each clamping piece 31, 32, and the tips of a pair of clamping pieces 31, 32 can approach and separate from each other. It is designed to make it easier.

一方、左右の突片29,30と各挾持片31゜32の間
には第2の圧電素子35がそれぞれ嵌合されている。
On the other hand, a second piezoelectric element 35 is fitted between the left and right projecting pieces 29, 30 and the respective clamping pieces 31 and 32, respectively.

なお、ガイドバ−24の他端はガイドバー24が軸方向
に変位しやすいように支持されている。
Note that the other end of the guide bar 24 is supported so that the guide bar 24 can be easily displaced in the axial direction.

キャリッジ20の下面には圧電素子駆動回路36が設け
られている。
A piezoelectric element drive circuit 36 is provided on the lower surface of the carriage 20.

次に、以上のように構成された本実施例の動作について
説明する。
Next, the operation of this embodiment configured as above will be explained.

第4図(A)〜(C)は第1および第2の圧電素子25
.35に印加する駆動パルスのタイミングチャート図で
、同図(A)はガイドバー側に設けられた第1の圧電素
子25の駆動パルスを示している。
FIGS. 4(A) to 4(C) show the first and second piezoelectric elements 25.
.. 35. FIG. 3A is a timing chart of driving pulses applied to the piezoelectric element 35. FIG. 3A shows the driving pulses of the first piezoelectric element 25 provided on the guide bar side.

また、第4図(B)にはキャリッジが一方の方向へ移動
する場合の第2の圧電素子35に印加される駆動パルス
が示してあり、同図(C)にはキャリ、ジが他方の方向
へ移動する場合の第2の圧電素子35に印加される駆動
パルスが示しである。
Further, FIG. 4(B) shows the drive pulse applied to the second piezoelectric element 35 when the carriage moves in one direction, and FIG. 4(C) shows the drive pulse applied to the second piezoelectric element 35 when the carriage moves in one direction. The driving pulse applied to the second piezoelectric element 35 when moving in the direction is shown.

まず、キャリッジ20が一方、例えばホームポジション
からリターンポジションの方向へ移動する場合について
説明する。
First, a case will be described in which the carriage 20 moves, for example, from the home position to the return position.

第4図(A)、CB)に示すようにガイドバー側の第1
の圧電素子25が駆動される前にチャンキノグ側の第2
の圧電素子35が駆動され、挾持片31.32が接近す
る方向に変形する。このため、1組の挾持片31.32
は切欠部31a。
As shown in Figure 4 (A) and CB), the first
Before the piezoelectric element 25 of
The piezoelectric element 35 is driven, and the clamping pieces 31 and 32 are deformed in the direction in which they approach each other. For this reason, one set of clamping pieces 31.32
is a notch 31a.

32aを介してガイドバ−24を挾持する。The guide bar 24 is held via the guide bar 32a.

従って、キャリッジ20は送り方向に微小に移動するガ
イドバー24と共に微小距離移動する。
Therefore, the carriage 20 moves a small distance together with the guide bar 24, which moves slightly in the feeding direction.

そして、第2の圧電素子35のパルス電圧を切りその後
部1の圧電素子25に対するパルス電圧を切ると圧電素
子25の収縮と共にガイドバ−24が微小変位する。
Then, when the pulse voltage of the second piezoelectric element 35 is cut off and the pulse voltage applied to the piezoelectric element 25 at the rear part 1 is cut off, the guide bar 24 is slightly displaced as the piezoelectric element 25 contracts.

この状態では挾持片31,32のガイド/へ一24に対
する挾持力はなくなり、キャリッジ20はガイドバー2
4に対し、アーム21と支持板23の軸受部を介して摺
接しているだけなので、ガイドバー24が送り方向とは
逆方向に変位してもキャリッジ20の慣性により、キャ
リッジ20はその位置にとどまる。以下、同様の動作を
繰返し、キャリッジは往方向へ微小距離ずつ移動する。
In this state, the clamping force of the clamping pieces 31 and 32 against the guide/heel 24 is lost, and the carriage 20
4, the arm 21 and the support plate 23 are in sliding contact only through the bearings, so even if the guide bar 24 is displaced in the opposite direction to the feeding direction, the inertia of the carriage 20 will keep the carriage 20 in that position. Stay. Thereafter, the same operation is repeated, and the carriage moves forward by small distances.

全体としての移動距離は微小単位距離×第2の圧電素子
の駆動パルス数となる。
The overall moving distance is minute unit distance x number of drive pulses for the second piezoelectric element.

一方、キャリッジの復方向の動作は往方向の時には収縮
方向であったカイトパーの動作を利用する。
On the other hand, the movement of the carriage in the backward direction utilizes the movement of the kite par, which was in the contraction direction when it was in the forward direction.

即ち、′:fS4図(A)、(C)から明らかなように
、第2の圧電素子35ヘパルス電圧を印加した後に第1
の圧電素子25へのパルス電圧を切る。
That is, ':fS4 As is clear from the figures (A) and (C), after applying the pulse voltage to the second piezoelectric element 35, the first
The pulse voltage to the piezoelectric element 25 is cut off.

すると 挾持片31.32はガイドバー24が変位しは
じめる前にガイドバー24をチャッキングし、ガイドバ
ーが変位する方向へ微小移動するに従い一体となって微
小移動する。そして、所定時間経過して第1の圧電素子
25に次のパルス電圧が印加される前に第2の圧電素子
35に対するパルス電圧を切る。
Then, the clamping pieces 31 and 32 chuck the guide bar 24 before the guide bar 24 starts to be displaced, and move minutely together as the guide bar moves minutely in the direction of displacement. Then, before the next pulse voltage is applied to the first piezoelectric element 25 after a predetermined period of time has elapsed, the pulse voltage applied to the second piezoelectric element 35 is cut off.

この状態では挾持片31.32はガイドバー24を抱束
してはいないため、第1の圧電素子25が再度駆動され
、ガイドバー24が変位しても、キャリフジ20は慣性
によりその位置にとどまる。
In this state, the clamping pieces 31 and 32 do not hold the guide bar 24, so even if the first piezoelectric element 25 is driven again and the guide bar 24 is displaced, the carriage 20 remains in that position due to inertia. .

以下、同様な動作を繰り返し復動作を行なう。Thereafter, the same operation is repeated and a backward operation is performed.

第5図(A)〜(C)はガイドバーおよびキャリジの変
位を説明する線図で、同図(A)はガイドバー24の変
位を、同図(B)はキャリッジの往方向((+)方向)
への変位を、同図(C)はキャリッジの復方向((−)
方向)への変位を示している。
FIGS. 5(A) to 5(C) are diagrams explaining the displacement of the guide bar and the carriage. FIG. 5(A) shows the displacement of the guide bar 24, and FIG. )direction)
(C) shows the displacement in the backward direction of the carriage ((-)
direction).

なお、キャリッジの微小な単位送り距離は第1の圧電素
子25の変位量によって決定されるが、印加パルス電圧
を適当に操作することにより、11gm単位の微小送り
位置決めを高精度で行なうことができる。
Note that the minute unit feed distance of the carriage is determined by the amount of displacement of the first piezoelectric element 25, but by appropriately manipulating the applied pulse voltage, minute feed positioning in units of 11 gm can be performed with high precision. .

本実施例は以−ヒのように構成されているため、3個の
圧電素子を用いるだけで高精度の送り機構を得ることが
でき、部品点数も少なく、小型、軽量化することができ
る。
Since this embodiment is constructed as described below, a highly accurate feeding mechanism can be obtained by using only three piezoelectric elements, and the number of parts is small, making it possible to reduce the size and weight.

[第2実施例] 第6図(A)〜(D)は本発明の第2の実施例を説明す
るもので、本実施例にあっては挾持手段として環状の圧
電素子37を用いている。この圧電素子37は図示して
いない手段によりキャリッジ20側に取付けられており
、電圧を印加すると同図(A’l  、(B)に示すよ
うに収縮してガイドバー24を挾持し、電圧を印加しな
い場合には同図(C)、(D)に示すように拡径状態と
なり、カイトパー24を解放する。
[Second Embodiment] FIGS. 6(A) to 6(D) illustrate a second embodiment of the present invention, in which an annular piezoelectric element 37 is used as the clamping means. . This piezoelectric element 37 is attached to the carriage 20 side by means not shown, and when a voltage is applied, it contracts as shown in FIGS. When no voltage is applied, the diameter is enlarged as shown in FIGS. 3(C) and 3(D), and the kite par 24 is released.

この環状の圧電素子37は挾持手段を構成すると共に、
第1の実施例における第2の圧電素子の役目を果たす。
This annular piezoelectric element 37 constitutes a clamping means, and
It serves as the second piezoelectric element in the first embodiment.

このように環状の圧電素子37を用いて挾持手段を構成
し、さらに第1の実施例における第2の圧電素子の役目
を持たせても、第1の実施例と同様の効果が得られると
共に、部品点数を減少させることができる。
Even if the clamping means is configured using the annular piezoelectric element 37 in this way, and it is also given the role of the second piezoelectric element in the first embodiment, the same effects as in the first embodiment can be obtained and , the number of parts can be reduced.

[第3実施例] 第7図は本発明の第3の実施例を説明するもので本実施
例にあっては2つの挾持片31.32の基端間に圧電素
子38を設けた構造を採用している。このような構造を
採用すれば1個の圧電素子で挾持片31.32を作動さ
せることができ、さらに構造は簡略化される。
[Third Embodiment] FIG. 7 explains a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a piezoelectric element 38 is provided between the base ends of two clamping pieces 31 and 32. We are hiring. If such a structure is adopted, the clamping pieces 31 and 32 can be operated with one piezoelectric element, and the structure is further simplified.

[第4実施例] 第8図(A)、(B)は本発明の第4の実施例を説明す
るもので、本実施例にあってはガイドバー24の断面形
状は円形のものとし、第1の圧TfL素子25の形状を
方形状の積層体のものとして構成してあり、第8図(B
)に示す例ではガイドバー24の断面形状を四辺形状の
ものとし、第1の圧電素子25の形状を角形のものとし
である。
[Fourth Embodiment] FIGS. 8(A) and 8(B) illustrate a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, the cross-sectional shape of the guide bar 24 is circular, The shape of the first pressure TfL element 25 is configured as a rectangular laminate, as shown in FIG.
In the example shown in ), the guide bar 24 has a quadrilateral cross-sectional shape, and the first piezoelectric element 25 has a rectangular shape.

上述したような構造を採用しても前述した実施例と同様
の効果が得られる。
Even if the structure as described above is employed, the same effects as those of the embodiments described above can be obtained.

[第5実施例] S9図は本発明の第5の実施例を説明するもので、本実
施例にあってはガイドバー24の両端に第1の圧電素子
25.25aが設けられている。
[Fifth Embodiment] FIG. S9 illustrates a fifth embodiment of the present invention, in which first piezoelectric elements 25.25a are provided at both ends of the guide bar 24.

そして、これら圧電素子25.25aは位相をπだけず
らして駆動するようにしである。
These piezoelectric elements 25, 25a are driven with their phases shifted by π.

このような構造を採用するとガイドバー24に沿った振
動をより確実に得ることができる。
If such a structure is adopted, vibrations along the guide bar 24 can be obtained more reliably.

[効 果] 以上の説明から明かなように本発明によれば。[effect] According to the present invention, as is clear from the above description.

ヘッドキャリッジなどの被送り部材を直線方向に高精度
に送る駆動源としてガイドバーを軸方向に振動させる第
1の圧電素子と、この第1の圧電素子を位相をずらして
駆動されると共に、被送り部材に直接または間接に挾持
力を午える第2の圧電素子を設けた構造を採用している
ため、モータやベルトなどの駆動部材を用いることなく
被送り部材を高精度に送ることができ、装置を小型化し
、部品点数を少なくすることができる。
A first piezoelectric element that vibrates a guide bar in the axial direction serves as a drive source for linearly moving a member such as a head carriage with high precision. Since the structure includes a second piezoelectric element that directly or indirectly applies a clamping force to the feeding member, it is possible to feed the feeding member with high precision without using drive members such as motors or belts. , the device can be made smaller and the number of parts can be reduced.

【図面の簡単な説明】 第1図〜第5図は本発明の第1の実施例を説明するもの
で、第1図は駆動系の斜視図、第2図は駆動系の側面図
、第3図は駆動系の正面図、第4図(A)〜(C)は圧
電素子の駆動方法を説明するタイミングチャート図、第
5図(A)〜(C)はガイドバーの変位およびキャリ・
ンジの変位を説明するm図、第6図(A)〜(D)は本
発明の第2の実施例を説明する駆動状態の説明図、第7
図は本発明の第3の実施例を説明する駆動系の正面図、
第8図(A)、(B)は本発明の第4の実施例を説明す
るガイドバー側の斜視図、第9図は本発明の第5の実施
例を説明するガイドバ一部分の側面図 第10図は従来
構造を説明する平面図、第11図(A)〜(C)は従来
の他の例を説明す(、eQ る#考で、同図(A)は駆動系の平面図、同図(B)、
(C)はスチールベルトの41視図である。 20・・・キャリッジ  24・・・ガイド/九−25
・・・第1の圧電素子 35・・・第2の圧電素子 ■ (A)          (B) 馬V重7J4天専ミの分也口呂口 第6図
[Brief Description of the Drawings] Figures 1 to 5 explain the first embodiment of the present invention, in which Figure 1 is a perspective view of the drive system, Figure 2 is a side view of the drive system, and Figure 2 is a side view of the drive system. 3 is a front view of the drive system, FIGS. 4(A) to 4(C) are timing charts for explaining the method of driving the piezoelectric element, and FIGS. 5(A) to 5(C) are diagrams showing the displacement and carry of the guide bar.
6(A) to 6(D) are explanatory diagrams of the driving state explaining the second embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a front view of a drive system illustrating a third embodiment of the present invention.
8(A) and 8(B) are perspective views of the guide bar side explaining the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a side view of a portion of the guide bar explaining the fifth embodiment of the present invention. Figure 10 is a plan view for explaining the conventional structure, and Figures 11 (A) to (C) are for explaining other conventional examples. Same figure (B),
(C) is a 41 perspective view of the steel belt. 20... Carriage 24... Guide/9-25
...First piezoelectric element 35...Second piezoelectric element■ (A) (B) Figure 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)ガイドバーに沿って被送り部材を微小距離ずつ送る
精密送り装置において、ガイドバーの一端にガイドバー
を軸方向に振動させる第1の圧電素子を設け、被送り部
材側に第1の圧電素子と位相をずらして駆動されると共
に被送り部材を直接または間接に挾持する第2の圧電素
子を設けたことを特徴とする精密送り装置。 2)被送り部材側にはガイドバーを両側から挾持する1
組の挾持片が設けられ、第2の圧電素子はこれら挾持片
の外側と被送り部材との間に設けられていることを特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載の精密送り装置。 3)被送り部材側にはガイドバーを両側から挾持する1
組の挾持片が設けられ、第2の挾持片がこれら挾持片間
に設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の精密送り装置。 4)第2の圧電素子はガイドバーを囲んで環状に形成さ
れた状態で被送り部材側に設けられていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の精密送り装置。 5)第1の圧電素子はガイドバーの両端に設けられると
共に位相をずらして駆動されるように構成したことを特
徴とする特許請求の範囲第1項から第4項までのいずれ
か1項に記載の精密送り装置。
[Scope of Claims] 1) In a precision feeding device that feeds a member to be sent by small distances along a guide bar, a first piezoelectric element that vibrates the guide bar in the axial direction is provided at one end of the guide bar, and A precision feeding device characterized in that a second piezoelectric element is provided on the side thereof, the second piezoelectric element being driven out of phase with the first piezoelectric element and directly or indirectly clamping a member to be fed. 2) Hold the guide bar from both sides on the side of the transported member.
2. A precision feeding device according to claim 1, wherein a pair of clamping pieces are provided, and the second piezoelectric element is provided between the outside of the clamping pieces and the member to be fed. 3) On the side of the material to be transported, a guide bar is held from both sides.
2. The precision feeding device according to claim 1, wherein a pair of clamping pieces are provided, and a second clamping piece is provided between the clamping pieces. 4) The precision feeding device according to claim 1, wherein the second piezoelectric element is provided on the side of the member to be fed in an annular shape surrounding the guide bar. 5) The first piezoelectric element is provided at both ends of the guide bar and is configured to be driven with a phase shift. Precision feed device as described.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5017820A (en) * 1990-04-23 1991-05-21 Rockwell International Corporation Piezoelectric rotary union system
US5136201A (en) * 1990-04-27 1992-08-04 Rockwell International Corporation Piezoelectric robotic articulation
US5994819A (en) * 1997-06-02 1999-11-30 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer

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JPS49101812A (en) * 1973-01-31 1974-09-26
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