JPS62144555A - Positioning device for clean room - Google Patents
Positioning device for clean roomInfo
- Publication number
- JPS62144555A JPS62144555A JP28439385A JP28439385A JPS62144555A JP S62144555 A JPS62144555 A JP S62144555A JP 28439385 A JP28439385 A JP 28439385A JP 28439385 A JP28439385 A JP 28439385A JP S62144555 A JPS62144555 A JP S62144555A
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- bellows
- linear
- pipe
- positioning device
- motor
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- Pending
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造工場などのクリーンルームあるい
は真空学内の位置決め装置、特に直線運動１代溝による
位置決め装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a positioning device in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory or in vacuum engineering, and particularly to a positioning device using a linear motion single generation groove.
従来の技術
クリーンルーム内の位置決め装置、特に直線運動機構に
よるものどじでは従来一般的にモータ駆動とラック・ビ
ニオンの組合Ｉや、シリンダ駆動とポールスライダある
いはローラガイドなどがある。BACKGROUND OF THE INVENTION Conventional positioning devices in clean rooms, especially those using linear motion mechanisms, have conventionally generally used combinations of motor drive and rack/binion, cylinder drive and pole sliders, or roller guides.
発明が解決しようとする問題点
上ｊホのような従来の装置においては、いずれも磨耗が
介在しており、従って発塵源を皆無にすることは困難で
ある。Problems to be Solved by the Invention In all conventional devices such as the above, there is wear and tear, and therefore it is difficult to completely eliminate dust generation sources.
また、ロボッ１−のグリップやウェハーの位置決めなど
矯いストロークの直線ガイド機構において、駆動源と直
線ガイド機構を帽合せる必要があるため、組合せ部品に
よりコンパクト化が制限される。Furthermore, in the linear guide mechanism for straightening strokes such as the grip of the robot 1- and the positioning of wafers, it is necessary to match the drive source and the linear guide mechanism, which limits the ability to make the device compact due to the combination of parts.
さらに位置決め精度をよくするために、従来の装置では
クローズド制御となるため、部品点数も多く仕り、コン
パクト性に欠けるという問題点があった。Furthermore, in order to improve positioning accuracy, conventional devices use closed control, which results in a large number of parts and a lack of compactness.
問題点を解決するための・１段
上記問題点を解決するために本発明は、円筒状リニア直
流七−夕にベローズ′をパイプで連結し、べ「１−ズの
先端に接触機を取付（プ、前記バイブ内に流体を封入し
、リニア直流モータの電流を操作することにＪ：す、前
記パイプ内に圧力を生じさせて、前記ベローズの力とス
トロークを制御するクリーンルーム用位置決め装置であ
る。Step 1 for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention connects a bellows to a cylindrical linear DC Tanabata with a pipe, and attaches a contactor to the tip of the bellows. (P) A positioning device for a clean room that controls the force and stroke of the bellows by enclosing fluid in the vibrator and controlling the current of the linear DC motor by generating pressure in the pipe. be.
また、ベローズの内部に伸縮用ガイドを設けたものであ
る。Furthermore, an expansion/contraction guide is provided inside the bellows.
作 用
リニア直流モータの電流操作により、ベローズの伸縮を
Ｈｉ制御して位置決めをする。Operation: By controlling the current of the linear DC motor, the expansion and contraction of the bellows is controlled to Hi for positioning.
また、ベローズの内部に設けた伸縮用ガイドにより、ベ
ローズは正しく上下に伸縮する。Further, the bellows can be expanded and contracted up and down correctly by an expansion and contraction guide provided inside the bellows.
実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。Example Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図は本発明のクリーンルーム用位置決め装置の要部
縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a main part of a positioning device for a clean room according to the present invention.
第１図にｄ３いて、フランジ付円筒状鉄心１の外側へ、
さらに円筒容器１６に巻付けた円筒状コイル５どマグネ
ット２および鉄心３をはめて、片側の連結した２重円筒
状にりる。７ランジ付円筒状鉄心１と円筒容器１６との
間にできた隙間６にコイル５が挿入されているので、２
重円筒で作られる磁器回路をコイル５が横切るためリニ
ア直流モータが竹られる。づなわら、コイル５の端子へ
に流す電流により、コイル５を可動させることができる
。円筒容器１６の内側には２重円筒の内部と摺Ｖ）自在
なピストン４を装着し、反対側には鉄心７が装着しであ
る。該鉄心７は、ケース８の底面に固着した円筒１７に
巻付けた円筒上コイル１０の中を可８するので、直流ソ
レノイド形成することになる。そしてピストン４の移動
量を取出づ。At d3 in FIG. 1, to the outside of the flanged cylindrical core 1,
Further, the cylindrical coil 5, the magnet 2 and the iron core 3 wound around the cylindrical container 16 are fitted to form a double cylindrical shape with one side connected. 7 Since the coil 5 is inserted into the gap 6 created between the cylindrical core 1 with flange and the cylindrical container 16,
Since the coil 5 crosses a magnetic circuit made of heavy cylinders, a linear DC motor is installed. In other words, the coil 5 can be moved by the current flowing to the terminal of the coil 5. Inside the cylindrical container 16, a piston 4 that can freely slide against the inside of the double cylinder is installed, and on the opposite side, an iron core 7 is installed. The iron core 7 passes through a cylindrical coil 10 wound around a cylinder 17 fixed to the bottom of the case 8, thereby forming a DC solenoid. Then, find the amount of movement of the piston 4.
なお、円筒状コイル１０のＤｉ：子はＢである。 ベロ
ーズ１５の片側に口を開けて、固定座１３を介して前記
フランジ付円筒状鉄心１の上部との門にバイブ１１を接
続する。バイブ１１の中には流体１２を充填しである。Note that the Di: child of the cylindrical coil 10 is B. An opening is opened on one side of the bellows 15, and the vibrator 11 is connected to the upper part of the flanged cylindrical core 1 via the fixed seat 13. The inside of the vibrator 11 is filled with a fluid 12.
ベローズ１５は内部圧力の変化によって一方向のみ伸縮
できる。リニア直流モータとベローズ１５を接続するバ
イブ１１は流体１２の圧力を伝達させる。The bellows 15 can expand and contract in only one direction depending on changes in internal pressure. A vibrator 11 connecting the linear DC motor and the bellows 15 transmits the pressure of the fluid 12.
なお、前記円筒容器１６の下面とケース８の底面の間に
スプリング９を挿入し、該スプリング９の一端を前記円
筒容器１６の下面に固着し、他端を前記ケース８の底面
に固着する。A spring 9 is inserted between the lower surface of the cylindrical container 16 and the bottom surface of the case 8, and one end of the spring 9 is fixed to the lower surface of the cylindrical container 16, and the other end is fixed to the bottom surface of the case 8.
端子Ａよりの電流１直を上げて行くと、ピストン４の上
昇と一緒にピストン４に固定されている円筒容器１６ら
上品し、スプリング９が伸びるが、スプリング９の弾性
により縮もうとする力と釣合った所でピストン４は上昇
を停＋１−する。電流値を下げるとピストン４は下降す
る。When the current from the terminal A is increased, the cylindrical container 16 fixed to the piston 4 moves upward as the piston 4 rises, and the spring 9 stretches, but the elastic force of the spring 9 causes it to contract. The piston 4 stops rising when it is balanced with +1-. When the current value is lowered, the piston 4 descends.
ザなわら、端子Ａよりの電流を操Ｖ［することににす、
ピストン４は往復直線運動を起す。ピストン４の移動に
Ｊ：り流体１２を圧縮づる。圧縮された流体１２は伸縮
可能になっているベローズ１５を仲ばづ。従ってべ［１
−ズ１５の先端に取付けられた接触機１４が移動する。However, I decided to manipulate the current from terminal A by V.
The piston 4 causes a reciprocating linear motion. The movement of the piston 4 compresses the fluid 12. The compressed fluid 12 closes the bellows 15 which can be expanded and contracted. Therefore be [1
- The contactor 14 attached to the tip of the lens 15 moves.
すなわら、端子Ａの電？Ｑ操作によりベローズ１５の伸
縮を制御づることかできる１゜
さらに端子Ｂからの電流値により、ピストン４の移動量
を測定することができる。In other words, the power at terminal A? The expansion and contraction of the bellows 15 can be controlled by 1° by the Q operation, and the amount of movement of the piston 4 can be measured based on the current value from the terminal B.
なお、べ１−１−ズ１５は正しく上下に伸縮けず、倒れ
つねじれを伴う恐れがあるので、第２図＜ａ ）、（ｂ
）、（Ｃ）に示す縦断面図のようにベローズ１５の内部
に伸縮用ガイドを設ける。第２図（ａ ）はベローズ１
５の下端に７ランジ付円筒状ベース１８を固着し、ベロ
ーズ１５のＬ端からピストン１つをベローズ１５の内部
に装入し、ベローズ１５の上端でピストン１９を固着し
、ベローズ１５の伸縮に伴い、ピストン１つがベース１
８の内部を摺動できるようにしたものである。In addition, since the bell 1-1-1-1-1 may not be able to expand and contract up and down correctly and may fall down and be twisted,
) and (C), an expansion/contraction guide is provided inside the bellows 15. Figure 2 (a) shows bellows 1.
A cylindrical base 18 with a 7 flange is fixed to the lower end of the bellows 15, one piston is inserted into the bellows 15 from the L end of the bellows 15, a piston 19 is fixed to the upper end of the bellows 15, and the bellows 15 expands and contracts. Accordingly, one piston is one base
The inside of 8 can be slid.
第２図（ｂ ）はベローズ１５の下端から内６ｔ＋、に
、円筒を設けたベース１８を挿入し、ベローズ１５の上
端からピストン１つをベローズ１５の内部に挿入し、ベ
ローズ１５の伸縮に伴い、ピストン１つがベース１８に
設けた円筒内を摺動するようにしたものである。また、
第２図（Ｃ）は第２図（Ｉ））を上下に抱き合せた形に
し、流体がベース１８の横方向から入るようｔこしたも
のである。In FIG. 2(b), a base 18 provided with a cylinder is inserted into the inner 6t+ from the lower end of the bellows 15, one piston is inserted into the inside of the bellows 15 from the upper end of the bellows 15, and the bellows 15 expands and contracts. , one piston slides inside a cylinder provided on the base 18. Also,
In FIG. 2(C), the configurations shown in FIG. 2(I) are arranged vertically so that the fluid enters from the side of the base 18.
本発明のクリーンルーム用位置決め装置は、クリーンル
ーム内の口・ドラ１〜グリツプウウエハ−（イノ置決め
装置、リフター用アクヂエータなどにｊ商用できる。The clean room positioning device of the present invention can be used commercially as a mouth/drill 1 to grip wafer (inno positioning device, lifter actuator, etc.) in a clean room.
第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれディスク２０の内ｉ￥
把持グリップと外形把持グリップを示したしのである。Figures 3 (a) and (b) each show i\\ out of the disk 20.
I have shown a grip grip and a contour grip.
発明の効果
以上述べたように、本発明のクリーンルーム用位置決め
装置は、流体を圧縮するピストン部分が完全にケース内
に入っているので、１ｇ擦部位置決め部分はベローズの
みであり、短いストローク位置決め装置としては部品点
数も少なくコンパクトである。Effects of the Invention As described above, in the clean room positioning device of the present invention, the piston portion that compresses the fluid is completely contained within the case, so the 1g friction portion positioning portion is only the bellows, making it a short stroke positioning device. It is compact with fewer parts.
流体圧をリニア直流モータで昇圧させるため、圧力・ス
トロークとも制御が容易であることがらベローズの力と
ストローク制御ができる。Since the fluid pressure is increased by a linear DC motor, it is easy to control both pressure and stroke, making it possible to control the force and stroke of the bellows.
なお、ベローズの内部に設けた伸縮用ガイドによりベロ
ーズは正しく上下に伸縮し、倒れやねじれを防止できる
。Note that the bellows can be properly expanded and contracted up and down by an expansion/contraction guide provided inside the bellows, thereby preventing it from falling over or twisting.
第１図は本発明のクリーンルーム用位置決め装置の型部
縦断面図、第２図（ａ ）、 （ｂ ）、 （ｃ
）は内部に伸縮用ガイドを設けｌこベローズの縦断面図
、第３図（ａ）、（１））はディスク把持グリップへの
適用例を示す図である。
１．３．７・・・鉄心、４，１９・・・ピストン、５．
１０・・・コイル、８・・・ケース、１１・・・パイプ
、１２・・・流体、１５・・・ベローズ、１８・・・ベ
ース。FIG. 1 is a vertical sectional view of the mold part of the clean room positioning device of the present invention, and FIGS. 2(a), (b), (c)
) is a vertical cross-sectional view of a bellows with a telescopic guide provided therein, and FIGS. 3(a) and (1) are views showing an example of application to a disc grip. 1.3.7... Iron core, 4,19... Piston, 5.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Coil, 8... Case, 11... Pipe, 12... Fluid, 15... Bellows, 18... Base.
Claims (2)
結し、ベローズの先端に接触機を取付け、前記パイプ内
に流体を封入し、リニア直流モータの電流を操作するこ
とにより、前記パイプ内に圧力を生じさせて、前記ベロ
ーズの力とストロークを制御することを特徴とするクリ
ーンルーム用位置決め装置。(1) A bellows is connected to a cylindrical linear DC motor with a pipe, a contactor is attached to the tip of the bellows, fluid is sealed in the pipe, and the current of the linear DC motor is manipulated to create pressure inside the pipe. A positioning device for a clean room, characterized in that the force and stroke of the bellows are controlled by controlling the force and stroke of the bellows.
の範囲第１項記載のクリーンルーム用位置決め装置。(2) A positioning device for a clean room according to claim 1, wherein an expansion/contraction guide is provided inside the bellows.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28439385A JPS62144555A (en) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | Positioning device for clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28439385A JPS62144555A (en) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | Positioning device for clean room |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62144555A true JPS62144555A (en) | 1987-06-27 |
Family
ID=17677990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28439385A Pending JPS62144555A (en) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | Positioning device for clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62144555A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010501989A (en) * | 2006-08-25 | 2010-01-21 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Electromagnetic drive unit and electromechanical switchgear |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP28439385A patent/JPS62144555A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010501989A (en) * | 2006-08-25 | 2010-01-21 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Electromagnetic drive unit and electromechanical switchgear |
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