JPS62137402A - Rotary actuator - Google Patents

Rotary actuator

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JPS62137402A
JPS62137402A JP27682885A JP27682885A JPS62137402A JP S62137402 A JPS62137402 A JP S62137402A JP 27682885 A JP27682885 A JP 27682885A JP 27682885 A JP27682885 A JP 27682885A JP S62137402 A JPS62137402 A JP S62137402A
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JP
Japan
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shaft
pinion
stop
rack
drive shaft
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Application number
JP27682885A
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Japanese (ja)
Inventor
Junnosuke Nakamura
中村 準之助
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Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To improve a function of an actuator by providing a stop shaft parallel to a driving shaft, bringing a rack of the stop shaft into engagement with a pinion shaft, and providing a stopper on each of both ends of the stop shaft. CONSTITUTION:A stop shaft 38 is disposed parallel to a driving shaft 31, and a pinion shaft 34 engaged with the driving shaft 31 is engaged with a rack 39 of the stop shaft 38. Stopper heads 29, 30 as a stopper are mounted on both ends of the stop shaft 38. In this arrangement, the stop shaft 38 is brought into contact with the stopper heads 29, 30 to regulate the movement of the driving shaft 31 and backlashes between a pinion 37 and both racks 33, 39 are generated in the opposite directions to each other with respect to the rotating direction of the pinion 37, so that there is no clearance in the turning direction in the pinion shaft 34. Accordingly, a function of an actuator can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は流体圧によるラックの往復動を、このラックと
噛合うビニオンの回動に変換して出力を得るロータリア
クチュエータに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a rotary actuator that obtains an output by converting the reciprocating motion of a rack caused by fluid pressure into rotation of a pinion that meshes with the rack.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

流体圧アクチュエータの一種として、流体圧によるラッ
クの往復動を、このラックと噛合うビニオンの回転動に
変換して駆動力を得るロータリアクチュエータが知られ
ており、例えば回転弁または自動加工組立装置における
ワークの位置決め等に広く用いられている。
A known type of fluid pressure actuator is a rotary actuator that obtains driving force by converting the reciprocating motion of a rack caused by fluid pressure into the rotational motion of a binion that meshes with the rack. Widely used for positioning workpieces, etc.

第6図は従来におけるこの種のロータリアクチュエータ
の左半部を破断して示す正面図、第2図は同じく左半部
を破断して示す平面図であって、これを同図に基いて説
明すると、シリンダヘッド1.2で両端間口部を閉塞さ
れたシリンダボディ3内には、円板状に形成された両端
のピストン4と、これらの間で平行する2枚の板状ブラ
ケット5とが割ビンで連結されて往復動自在に嵌合され
ており、2枚のブラケット5間の片側にはラック6が挾
持されてリベットで固定されている。7はシリンダボデ
ィ3の中央部にラック6と直交して軸受8を介し軸支さ
れたピニオン軸であって、これにはラック6と噛合うピ
ニオン9が一体形成されており、ピニオン軸7はシリン
ダボディ3外へ突出している。なお、ブラケット5には
その往復動時にピニオン軸7を避ける長孔1oが設けら
れている。ピニオン軸γの突出部にキー11で固定され
た図示しない揺動部材には、直接または連結部材を介し
て従動部材が連結されており、また、両端のシリンダヘ
ッド1.2に開口されたボート12(一方は図示せず)
には、切替弁を介してエア源が接続されている。
FIG. 6 is a front view with the left half of a conventional rotary actuator of this type cut away, and FIG. 2 is a plan view with the left half cut away. This will be explained based on this figure. Then, inside the cylinder body 3 whose openings at both ends are closed by the cylinder head 1.2, there are disk-shaped pistons 4 at both ends and two plate-shaped brackets 5 parallel to each other between them. They are connected by split bins and fitted so as to be reciprocally movable, and a rack 6 is held between the two brackets 5 on one side and fixed with rivets. A pinion shaft 7 is rotatably supported in the center of the cylinder body 3 via a bearing 8 perpendicular to the rack 6. A pinion 9 that meshes with the rack 6 is integrally formed on this pinion shaft. It protrudes outside the cylinder body 3. Note that the bracket 5 is provided with a long hole 1o that avoids the pinion shaft 7 during reciprocating movement. A driven member is connected directly or via a connecting member to a swinging member (not shown) fixed to a protrusion of the pinion shaft γ with a key 11, and a boat opening in the cylinder head 1.2 at both ends 12 (one not shown)
is connected to an air source via a switching valve.

このように構成されていることにより、シリンダヘッド
1側のボート12ヘエアを供給すると、ピストン4が図
の右方へ移動し、これと一体のラック6と噛合うピニオ
ン9すなわちピニオン軸7が第6図の時計方向へ回動す
る。また、シリンダヘッド2側のボートへエアを供給す
るとピニオン軸7が第6図の反時計方向へ回動する。こ
の場合、ピニオン軸7の両回動端限は、各ピストン4が
各シリンダヘッド1.2に当接することによって規制さ
れる。
With this configuration, when air is supplied to the boat 12 on the cylinder head 1 side, the piston 4 moves to the right in the figure, and the pinion 9, that is, the pinion shaft 7 that meshes with the rack 6 integrated with the piston 4 moves to the right in the figure. Rotate clockwise as shown in Figure 6. Furthermore, when air is supplied to the boat on the cylinder head 2 side, the pinion shaft 7 rotates counterclockwise in FIG. 6. In this case, both rotation end limits of the pinion shaft 7 are regulated by each piston 4 coming into contact with each cylinder head 1.2.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、このように構成された従来のロータリア
クチュエータにおいては、上記のように各ピストン4が
各シリンダヘッド1.2にai−t−ることによって回
転範囲の両端が規制されるので、このときにラック6と
ピニオ/9との間のバックラッシュによってピニオン軸
7に遊びが生じ、例えばワークの位置決装置の場合など
には、ワークの位置が不安定になるという問題があった
However, in the conventional rotary actuator configured in this way, both ends of the rotation range are regulated by the ai-t of each piston 4 to each cylinder head 1.2 as described above. Backlash between the rack 6 and the pinio/9 causes play in the pinion shaft 7, causing a problem in that, for example, in the case of a workpiece positioning device, the position of the workpiece becomes unstable.

また、との回動範囲を変えたい場合には、第8図に縦断
面図を示すように、シリンダヘッド1人の厚みを厚くし
てそのねじ孔に調節ねじ13を螺入し、調節後ナツト1
4で固定するという構造がとられているが、調節ねじ1
3の長さはもとよυ、その回動部からのエア洩れを防止
するためにOIJング15などのシール部材が必要とな
ってアクチュエータの長さが軸方向に長くなるという問
題があった。
In addition, if you want to change the rotation range of the cylinder head, as shown in the vertical cross-sectional view in Figure 8, increase the thickness of one cylinder head and screw the adjustment screw 13 into the screw hole. Natsu 1
4, but the adjustment screw 1
In addition to the length of the actuator 3, there was a problem in that a sealing member such as an OIJ ring 15 was required to prevent air leakage from the rotating part, which increased the length of the actuator in the axial direction. .

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

このような問題点を解決するために、本発明では・流体
圧で軸方向に移動する駆動軸と、そのラックと噛合うピ
ニオンを有して駆動軸と直交するピニオン軸とを備え、
駆動軸側からピニオン軸を回動させて回転出力を生じさ
せるロータリアクチュエータにおいて、ピニオン軸に対
する駆動軸の反対側においてこれと平行する摺動自在な
ストップ軸を設けてそのラックをピニオン軸のピニオン
と噛合させ、ストップ軸の進退勤端限を規制するストッ
パを設けた。
In order to solve these problems, the present invention includes a drive shaft that moves in the axial direction using fluid pressure, and a pinion shaft that is orthogonal to the drive shaft and has a pinion that meshes with the rack thereof.
In a rotary actuator that rotates a pinion shaft from the drive shaft side to generate a rotational output, a slidable stop shaft is provided on the opposite side of the drive shaft to the pinion shaft and parallel to the stop shaft, and the rack is connected to the pinion of the pinion shaft. A stopper is provided that engages with the stopper and regulates the forward and backward movement limits of the stop shaft.

〔作用〕[Effect]

流体圧で駆動軸を進退させると駆動軸のラックと噛合う
ピニオンを備えたピニオン軸が回転して回転出力が生じ
る。このときピニオンとラックとの噛合によりストップ
軸が摺動し、ストッパに当接することによりピニオン軸
の回動端唄が規制されるとともに、このときのピニオン
と両方のラックとのバックラッシュは、ピニオンの回転
方向に対して互に逆方向に発生するので、ピニオン軸に
回動方向の遊隙が生じない。
When the drive shaft is moved back and forth using fluid pressure, the pinion shaft, which is equipped with a pinion that engages with the rack of the drive shaft, rotates, producing rotational output. At this time, the stop shaft slides due to the engagement between the pinion and the rack, and by coming into contact with the stopper, the end of rotation of the pinion shaft is regulated, and the backlash between the pinion and both racks at this time is Since they occur in opposite directions to the rotational direction, there is no play in the rotational direction of the pinion shaft.

〔実施例〕〔Example〕

第1図ないし第3図は本発明に係るロータリアクチュエ
ータの実施例を示し、第1図はその縦断面図、第2図は
第1図のAA断面図、第3図はピニオンとラックとのバ
ックラッシュを説明するために示すラックとピニオンの
拡大断面図である。
1 to 3 show an embodiment of the rotary actuator according to the present invention, FIG. 1 is a longitudinal sectional view thereof, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a rack and pinion shown to explain backlash.

図においてロークリアクチュエータ20は、はソ立方形
のボディ21を備えており、このボディ21は、中央部
の隔壁部22で画成されて互に平行する駆動シリンダ2
3とストップシリンダ24とを備えており、駆動シリン
ダ23には、ブツシュ25が嵌着されている。またスト
ップシリンダ24には、軸方向に2分割されたブツシュ
26が嵌着されている。駆動シリンダ230両端間口部
は、シリンダヘッド27.28で閉塞されており、これ
らのシリンダヘッド27.28とブツシュ25の両端部
との間には、シール材としてのQ IJング29−が介
装されている。27a、28mはシリンダヘッド27.
28にそれぞれ設けられたボートであって、圧力流体源
としてのエア源との間を切替弁を介して接続されたプラ
グが螺入されており、切替弁の切替によりボー) 27
a、28aのいずれかよシェアが送入されるように構成
されている。29 、30ハ有底円筒状に形成されてス
トップシリンダ24の両端開口部をそれぞれ閉塞するス
トッパヘッドである。さらに、31はフリシュ25の内
孔内VC収納された駆動軸であって、その両端部には、
ブツシュ25の内孔と摺動自在に嵌合するピストン32
が一体形成されてお9、また、駆動軸31の隔壁部22
側にはラック33が設けられている。
In the figure, the low reactor actuator 20 is equipped with a cubic body 21, and this body 21 is defined by a partition wall 22 in the center and has drive cylinders 2 parallel to each other.
3 and a stop cylinder 24, and a bushing 25 is fitted into the drive cylinder 23. Further, a bushing 26 that is divided into two parts in the axial direction is fitted into the stop cylinder 24. The openings at both ends of the drive cylinder 230 are closed by cylinder heads 27 and 28, and between these cylinder heads 27 and 28 and both ends of the bushing 25, a QIJ ring 29- is interposed as a sealing material. has been done. 27a and 28m are cylinder heads 27.
A plug is screwed into the boat, which is connected to an air source as a pressure fluid source via a switching valve, and when the switching valve is switched, the boat is connected to the air source as a pressure fluid source (27).
The configuration is such that the share is sent to either of a and 28a. Stopper heads 29 and 30 are formed in a cylindrical shape with a bottom and close the openings at both ends of the stop cylinder 24, respectively. Furthermore, 31 is a drive shaft which is housed in the inner hole of the frisch 25, and at both ends thereof,
Piston 32 slidably fits into the inner hole of bush 25
are integrally formed 9, and the partition wall portion 22 of the drive shaft 31
A rack 33 is provided on the side.

ボディ21の中心部である隔壁部22の中央に設けられ
た軸孔には、鍔付きのピニオン軸34が軸受35を介し
軸支されてナンド36で固定されており、このピニオン
軸34には、ラック33と噛合ウヒニオン37が一体形
成されている。ピニオン軸34の鍔部には図示しない従
動部材が連結されている。一方、前記ストップシリンダ
24のブツシュ26には、ストップ軸38が摺動自在に
嵌合されておシ、このストップ軸38には、ビニオン3
7と噛合うランク39が設けられている。そして例えば
図示の状態においてポート27aから圧力エアを送入す
ると、ピストン32を摺動させながら駆動軸31が下方
へ移動し、ピニオン軸34が反時計方向へ回動するとと
もに、ストンフ軸38が上方へ移動するが、ピニオン軸
34の回動限においては、ストップ軸38がストップへ
ンド29に当接してもピストン32の下端がシリンダヘ
ッド28に当接しないように駆動軸31.ストップ軸3
8の長さが設定されている。−また、図示のようにスト
ップ軸3Bが下部のストップヘッド3゜に当接するとき
にも、ピストン32の上端がシリンダヘッド2Tに当接
しない。
A pinion shaft 34 with a flange is supported via a bearing 35 and fixed with a NAND 36 in a shaft hole provided in the center of the partition wall 22 which is the center of the body 21. , the rack 33 and the engaging gear 37 are integrally formed. A driven member (not shown) is connected to the collar of the pinion shaft 34. On the other hand, a stop shaft 38 is slidably fitted into the bush 26 of the stop cylinder 24, and a pinion 38 is fitted onto the stop shaft 38.
A rank 39 meshing with 7 is provided. For example, when pressurized air is introduced from the port 27a in the illustrated state, the drive shaft 31 moves downward while sliding the piston 32, the pinion shaft 34 rotates counterclockwise, and the stonf shaft 38 moves upward. However, at the rotation limit of the pinion shaft 34, the drive shaft 31. Stop axis 3
A length of 8 is set. -Also, even when the stop shaft 3B contacts the lower stop head 3° as shown, the upper end of the piston 32 does not contact the cylinder head 2T.

以上のように構成されたロータリアクチュエータ20の
動作を説明する。図示の状態においてボート27息から
圧力エアを送入すると、ピストン32が押されてこれと
一体の駆動軸31が下方へ移動し、駆動軸31のラック
33と噛合うビニオン3γと一体のピニオン軸34が図
の反時計方向へ回動するので、ピニオン軸34の鍔部に
連結された従動部材が所定の運動をする。ピニオン軸3
4の回動によυピニオン37と噛合うランク39と一体
のストップ軸38が上方へ移動し、その上端がストップ
ヘッド29に当接することによってピニオン軸34の回
動限が規制され、従動部材の運動が所定位置で停止する
。この場合のランク33.39とピニオン37との噛合
状態を第3図に基いて説明すると、ストップ軸38がス
トップヘッド29に当接して移動を規制されたときには
、前述したように駆動軸31側のピストン32がシリン
ダヘッド28に当接しておらず、駆動軸31がエア圧で
シリンダヘッド28側へ付勢されているので、ピニオン
37がラック33で回動力を付勢されラック39で回動
を規制されることになって、バンクラッシュB、、B、
はビニオフ3フ0回転方向に対し互に歯の反対側に生じ
る。したがってピニオン軸34は正逆いずれの方向にも
遊隙がなく安定し、ピニオン軸34に連結された従動部
材の停止位置が安定する。そして、ボート:Zaa側か
らエアを送入すると、駆動@31とストップ軸3Bとが
図示の位置へ移動し、ピニオン軸34は図の時計方向へ
回動する。
The operation of the rotary actuator 20 configured as above will be explained. When pressurized air is supplied from the boat 27 in the illustrated state, the piston 32 is pushed and the drive shaft 31 integrated therewith moves downward, and the pinion shaft integrated with the pinion 3γ that meshes with the rack 33 of the drive shaft 31 34 rotates counterclockwise in the figure, the driven member connected to the collar of the pinion shaft 34 makes a predetermined movement. pinion shaft 3
4, the stop shaft 38 integrated with the rank 39 that engages with the υ pinion 37 moves upward, and its upper end abuts against the stop head 29, thereby restricting the rotation limit of the pinion shaft 34, and the driven member The movement of stops at a predetermined position. The meshing state between the ranks 33 and 39 and the pinion 37 in this case will be explained based on FIG. Since the piston 32 is not in contact with the cylinder head 28 and the drive shaft 31 is biased toward the cylinder head 28 by air pressure, the pinion 37 is biased by rotational force by the rack 33 and rotated by the rack 39. Bank crash B,,B,
occur on opposite sides of the teeth with respect to the direction of rotation of the 3rd and 0th rotations. Therefore, the pinion shaft 34 is stable with no play in either the forward or reverse direction, and the stopped position of the driven member connected to the pinion shaft 34 is stable. Then, when air is introduced from the boat: Zaa side, the drive @ 31 and the stop shaft 3B move to the illustrated position, and the pinion shaft 34 rotates clockwise in the figure.

第4図は本発明の他の実施例としてのロータリアクチュ
エータの縦断面図であって、第1図と同構成の部材には
これと同符号を付してその説明を省略する。本実施例に
おけるロータリアクチュエータ20Aでは、ストップヘ
ッド29.30に設けたねじ孔に調節ねじ40が螺入さ
れており、その調節位置においてナンド41で固定され
ている。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a rotary actuator as another embodiment of the present invention, and members having the same configuration as those in FIG. In the rotary actuator 20A of this embodiment, an adjustment screw 40 is screwed into a screw hole provided in the stop head 29, 30, and is fixed with a Nand 41 at the adjustment position.

こうすることによりストップ軸38は調節ねじ40に当
接することによって移動が規制され、この規制位置は、
調節ねじ40の回動によって自由に調節することができ
る。この場合、ストップシリンダ24にはエアが導入さ
れていないのでシール部材を必要とせず、また調節ねじ
40が原動シリンダ23と同軸上でないから、調節機構
を設けてもアクチュエータ全体の長さがさして長くなる
ことがない。
By doing this, the movement of the stop shaft 38 is regulated by coming into contact with the adjustment screw 40, and this regulated position is
It can be freely adjusted by rotating the adjustment screw 40. In this case, since no air is introduced into the stop cylinder 24, a sealing member is not required, and since the adjustment screw 40 is not coaxial with the driving cylinder 23, the entire length of the actuator is not very long even if an adjustment mechanism is provided. It never becomes.

さらに第5図は本発明の他の実施例としてのロータリア
クチュエータの縦断面図であって第1図と同構成の部材
にはこれと同符号を付してその説明を省略する。本実施
例におけるロークリアクチュエータ20Bには、ショッ
クアブゾーバ42が設けられている。すなわち、ストッ
プシリンダ24の一端開口部には、開口端をカバー43
で閉塞された円筒状のアプゾーバシリンダ44が接合固
定されており、その内部には絞り弁45を有する配管4
6によって圧油47が導入されている。また、ストップ
軸38に一体形成されたコンド4B先端のピストン49
は、アプゾーバシリンダ44に摺動自在に嵌合されてい
る。こうすることにより、ピニオン軸34の回動端唄に
おいてストップ軸3Bの急停止による衝撃がショックア
ブゾーバ42によって緩和されるので、ピニオン軸34
に連結された従動部材が緩やかに停止する。
Further, FIG. 5 is a longitudinal cross-sectional view of a rotary actuator as another embodiment of the present invention, and members having the same configuration as those in FIG. A shock absorber 42 is provided in the low reactuator 20B in this embodiment. That is, one end opening of the stop cylinder 24 is covered with a cover 43.
A cylindrical absorber cylinder 44 is connected and fixed, and a piping 4 having a throttle valve 45 is installed inside the cylinder.
6, pressure oil 47 is introduced. Also, a piston 49 at the tip of the condo 4B integrally formed with the stop shaft 38
is slidably fitted into the absorber cylinder 44. By doing this, the impact caused by the sudden stop of the stop shaft 3B at the end of rotation of the pinion shaft 34 is alleviated by the shock absorber 42, so that the pinion shaft 34
The driven member connected to stops slowly.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の説明により明らかなように、本発明によれば、流
体圧で軸方向に移動する駆動軸と、そのランクと噛合う
ピニオンを有して駆動軸と直交するピニオン軸とを備え
、駆動軸側からピニオン軸を回動させて回転出力を生じ
させるロータリアクチュエータにおいて、ピニオン軸に
対する駆動軸の反対側においてこれと平行する摺動自在
なストップ軸を設けてそのラックをピニオン軸のピニオ
ンと噛合させ、ストップ軸の移動を規制するストッパを
設けたことにより、流体圧で駆動軸を移動させてピニオ
ン軸を回動させると、ストップ軸が駆動軸と反対方向へ
移動しストッパに当接することによシピニオン軸の回動
限が規制されるが、このとき駆動軸の移動がストッパで
規制されないようにしておけば、駆動軸側ラックの歯が
ピニオンの歯を押し、ピニオンの歯がストップ軸側ラン
クの歯を押すことによシ、バンクラッシュが生じないの
で、ピニオン軸の回動端限位置が安定し、ピニオン軸に
連結された従動部材の停止位置が安定してアクチュエー
タとしての機能が向上する。また、ピニオン軸の回動限
を規制するためのストップ機構を駆動用流体圧シリンダ
外に設けたことにより、このストップ機構に回動限の調
節機構を設けても、シール部材を必要とせず、この調節
機構が流体圧シリンダよりも軸方向へ大きく突出するこ
とがないので、アクチュエータの全長を縮小することが
できる。
As is clear from the above description, the present invention includes a drive shaft that moves in the axial direction using fluid pressure, and a pinion shaft that is orthogonal to the drive shaft and has a pinion that meshes with the rank of the drive shaft. In a rotary actuator that rotates a pinion shaft from the side to generate rotational output, a slidable stop shaft is provided on the opposite side of the drive shaft to the pinion shaft and parallel to the drive shaft, and the rack is engaged with the pinion of the pinion shaft. By providing a stopper that restricts the movement of the stop shaft, when the drive shaft is moved by fluid pressure and the pinion shaft is rotated, the stop shaft moves in the opposite direction to the drive shaft and comes into contact with the stopper. The rotation limit of the pinion shaft is regulated, but if the movement of the drive shaft is not restricted by the stopper at this time, the teeth of the rack on the drive shaft side will push the teeth of the pinion, and the teeth of the pinion will press the teeth of the pinion on the stop shaft side. By pressing the teeth, bank lash does not occur, so the rotation end position of the pinion shaft is stabilized, and the stopped position of the driven member connected to the pinion shaft is stabilized, improving the function as an actuator. . In addition, by providing a stop mechanism for regulating the rotation limit of the pinion shaft outside the driving fluid pressure cylinder, even if the stop mechanism is provided with a rotation limit adjustment mechanism, no sealing member is required. Since this adjustment mechanism does not protrude further in the axial direction than the hydraulic cylinder, the overall length of the actuator can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図ないし第5図は本発明に係るロークリアクチュエ
ータの実施例を示し、第1図はその縦断面図、第2図は
第1図のAA断面図、第3図はピニオ/とランクとのバ
ンクラッシュを説明するために示すラックとピニオンと
の拡大断面図、第4図および第5図はそれぞれ本発明の
他の実施例としてのロータリアクチュエータの縦断面図
、第6図ないし第8図は従来のロータリアクチュエータ
を示し、第6図はその左半部を破断して示す正面図、第
7図は同じく左半部を破断して示す平面図、第8図は調
節ねじ付のものの要部を破断して示す正面図である。 20.2OA、20B @・・・ロータリアクチュエー
タ、27&、27b−−Φmボート、29.30−−・
・ストップヘッド、31・・・・駆動軸、33゜39・
@e@ラック、348・・会ピニオン軸、37−・・・
ピニオン、38・・・・ストップ軸、Bled!・・・
・バックラッシュ。
1 to 5 show an embodiment of the low reactor according to the present invention, FIG. 1 is a longitudinal sectional view thereof, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is a pinio/rank 4 and 5 are longitudinal sectional views of a rotary actuator as other embodiments of the present invention, respectively. The figures show a conventional rotary actuator, Fig. 6 is a front view with the left half cut away, Fig. 7 is a plan view with the left half cut away, and Fig. 8 is a rotary actuator with an adjustment screw. FIG. 3 is a front view showing a main part cut away. 20.2OA, 20B @...Rotary actuator, 27&, 27b--Φm boat, 29.30--
・Stop head, 31... Drive shaft, 33° 39.
@e@Rack, 348... Pinion shaft, 37-...
Pinion, 38...stop shaft, Bled! ...
・Backlash.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 駆動軸のラックとこの駆動軸と直交するピニオン軸のピ
ニオンとを噛合させ、前記駆動軸を流体圧で軸方向へ進
退させることにより前記ピニオン軸を回動させてこのピ
ニオン軸に回転出力を生じさせるロータリアクチュエー
タにおいて、前記ピニオン軸に対する前記駆動軸の反対
側に位置してこの駆動軸と平行する進退自在なストップ
軸を設け、このストップ軸に設けたラックと前記ピニオ
ン軸のピニオンとを噛合させることによりこのストップ
軸を前記駆動軸と逆方向に進退させるとともにこのスト
ップ軸の進退動端限を規制するストッパを設けたことを
特徴とするロータリアクチュエータ。
A rack of a drive shaft and a pinion of a pinion shaft perpendicular to the drive shaft are engaged with each other, and the drive shaft is moved forward and backward in the axial direction using fluid pressure, thereby rotating the pinion shaft and producing a rotational output on the pinion shaft. In the rotary actuator, a stop shaft is provided which is located on the opposite side of the drive shaft to the pinion shaft and can move forward and backward parallel to the drive shaft, and a rack provided on the stop shaft and a pinion of the pinion shaft are engaged with each other. A rotary actuator characterized in that a stopper is provided for moving the stop shaft back and forth in a direction opposite to the drive shaft and for regulating the limits of the forward and backward movement of the stop shaft.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6626055B2 (en) * 2000-04-12 2003-09-30 Smc Corporation Rack and pinion type swing actuator

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6626055B2 (en) * 2000-04-12 2003-09-30 Smc Corporation Rack and pinion type swing actuator

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