JPS62129733A - 気体の多点サンプリング装置 - Google Patents
気体の多点サンプリング装置Info
- Publication number
- JPS62129733A JPS62129733A JP26942185A JP26942185A JPS62129733A JP S62129733 A JPS62129733 A JP S62129733A JP 26942185 A JP26942185 A JP 26942185A JP 26942185 A JP26942185 A JP 26942185A JP S62129733 A JPS62129733 A JP S62129733A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- sampling
- clean room
- air
- room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルーム等内の複数点の雰囲気を自動的
にサンプリングする気体の多点サンプリング装置に係る
ものである。
にサンプリングする気体の多点サンプリング装置に係る
ものである。
（従来の技術）
従来この種の気体サンプリング装置においては、−測点
毎に一装置が設置された。
毎に一装置が設置された。
（発明が解決しようとする問題点）
従って従来の装置によれば、多数点を同時に測定しよう
とする場合、測定点の数だけの装置が必要であシ、その
ためコストが嵩むという問題点があった。
とする場合、測定点の数だけの装置が必要であシ、その
ためコストが嵩むという問題点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明はこのような問題点を解決するために提案された
もので、複数個所にサンプリングチューブがｆ：成され
た固定筐体、同固定筐体に連通し且つ可摺的に装架され
た可動筐体、同町ｒＡ筐本に装着され同筐体の移動に伴
って前記各サンプリングチューブに順次連通するように
構成された吸気・冴、及び前記可動筐体の排気装置より
なることを特徴とする気体の多点サンプリング装置に係
るものである。
もので、複数個所にサンプリングチューブがｆ：成され
た固定筐体、同固定筐体に連通し且つ可摺的に装架され
た可動筐体、同町ｒＡ筐本に装着され同筐体の移動に伴
って前記各サンプリングチューブに順次連通するように
構成された吸気・冴、及び前記可動筐体の排気装置より
なることを特徴とする気体の多点サンプリング装置に係
るものである。
（作用）
本発明は前記したように構成されているので、複数個所
にす／プリ／グチスープが接続された固定筐体に可動筐
体を摺動させ、同町１１ｉ、！＋筐本にＶ：：着された
吸気管を前記複数のサンプリングチューブに順次連通さ
せることによって、同各サンプリングチューブよシ順次
室内の被測定気体を吸引するものである。
にす／プリ／グチスープが接続された固定筐体に可動筐
体を摺動させ、同町１１ｉ、！＋筐本にＶ：：着された
吸気管を前記複数のサンプリングチューブに順次連通さ
せることによって、同各サンプリングチューブよシ順次
室内の被測定気体を吸引するものである。
この除、前記可動筐体の排気装置によって同一体に連通
ずる前記固定筐体におけるサンプリングポイントの気体
が前記各筐体を経て吸引されるので、測定と同時にｉｔ
ぼ室内と等質の気体が吸気管を介して測定器に導入され
る。
ずる前記固定筐体におけるサンプリングポイントの気体
が前記各筐体を経て吸引されるので、測定と同時にｉｔ
ぼ室内と等質の気体が吸気管を介して測定器に導入され
る。
（発明の効果）
このように本発明によれは簡単な構成で被測定空間内に
おける多点の雰囲気を単一の装置でサンプリングし、連
続して且つ高精度で測定しうるものであって、コストを
大幅に節減しうるものである。
おける多点の雰囲気を単一の装置でサンプリングし、連
続して且つ高精度で測定しうるものであって、コストを
大幅に節減しうるものである。
（実施例）
以下本発明をクリーンルーム内の雰囲気のサンプリング
に適用した図示の実施例について説明する。
に適用した図示の実施例について説明する。
（１）は下端中央が開口した溝型断面の固定筐体で、そ
の上端面に長手方向に沿って複数の吸気口（２）が列設
され、同各吸気口（２）には夫々クリーンルーム内の所
要の個所に連絡されたサンプリングチューブ（３）が接
続されている。
の上端面に長手方向に沿って複数の吸気口（２）が列設
され、同各吸気口（２）には夫々クリーンルーム内の所
要の個所に連絡されたサンプリングチューブ（３）が接
続されている。
（４）は０Ｔ励筐体で上端が開口した溝型断面ンこ形成
され、同開口部の両側縁に設けられた摺動部片（５）が
、前記固定筐体（１）の下部開口縁に町摺動的に係合し
ている。
され、同開口部の両側縁に設けられた摺動部片（５）が
、前記固定筐体（１）の下部開口縁に町摺動的に係合し
ている。
図中（６）は固定筐体（１）より突設された案内軌条、
（７）は可動筐体（４）に装着され前記案内軌条（６）
に沿って移動するリニアモータ等の駆動装置である。
（７）は可動筐体（４）に装着され前記案内軌条（６）
に沿って移動するリニアモータ等の駆動装置である。
前記可動筐体（４）には吸気管（８）が縦貫され、同筐
体（４）の摺動に伴って上端吸気口（８α）が順次前記
固定筐体（１１の吸気口（２）に連通ずるように構成さ
れている。
体（４）の摺動に伴って上端吸気口（８α）が順次前記
固定筐体（１１の吸気口（２）に連通ずるように構成さ
れている。
図中（９）は吸気口密着用ソレノイドで、吸気管（８）
の吸気口（８ＩＩＢ）を前記吸気口（２）に密着させ、
可動筐体（４）の移動中は同吸気口（２）より吸気管（
８）の吸気口（８α）を離隔させて、摩擦による微粒子
の発生を防止するものである。
の吸気口（８ＩＩＢ）を前記吸気口（２）に密着させ、
可動筐体（４）の移動中は同吸気口（２）より吸気管（
８）の吸気口（８α）を離隔させて、摩擦による微粒子
の発生を防止するものである。
前記吸気管（８）は更にチューブ（１０１を介してパー
ティクルカウンタαυに接続されている。
ティクルカウンタαυに接続されている。
更Ｋまた前記可動筐体（４）には排気口αａに接続され
れたチューブへ２を介して排気ポンプ叫に連絡されてい
る。
れたチューブへ２を介して排気ポンプ叫に連絡されてい
る。
図示の実施例は前記したように構成されているので、排
気ポンプαＪを作動するとともに駆動装置（７）によっ
て可動筐体（４）を固定筐体（１）の長手方向に沿って
移動させ、順次吸気管（８）を固定筐体（１）の各吸気
口（２）に連通させることによって各サンプリングチュ
ーブ（３）よりｉ内空気を吸引し、・ξ−ティクルカウ
ンタ（Ｉｌｌに導き、クリーンルーム内の複数点の雰囲
気の測定を行なうものである。
気ポンプαＪを作動するとともに駆動装置（７）によっ
て可動筐体（４）を固定筐体（１）の長手方向に沿って
移動させ、順次吸気管（８）を固定筐体（１）の各吸気
口（２）に連通させることによって各サンプリングチュ
ーブ（３）よりｉ内空気を吸引し、・ξ−ティクルカウ
ンタ（Ｉｌｌに導き、クリーンルーム内の複数点の雰囲
気の測定を行なうものである。
この際、クリーンルーム内の各サンプリングポイントの
空気は常に前記各筐体（１１（４）を経て排気ポンプ（
１３）によって吸引排気されているので、測定開始と同
時（ｃ室内とほぼ等質の空気をパーティクルカウンタ（
１υに導くことができる。
空気は常に前記各筐体（１１（４）を経て排気ポンプ（
１３）によって吸引排気されているので、測定開始と同
時（ｃ室内とほぼ等質の空気をパーティクルカウンタ（
１υに導くことができる。
このように前記実施例によれば単一のサンプリング装置
によってクリーンルーム内における多点の雰囲気を連続
して高精度で測定し、コストを大・陽に節減しうるもの
である。
によってクリーンルーム内における多点の雰囲気を連続
して高精度で測定し、コストを大・陽に節減しうるもの
である。
第１図は本発明に係る多点サンプリング装置の一実施例
を示す縦断面図、第２図は第１図の矢視■−■図である
。 （１）・・・固定筐体、（２）・・・吸気口、（３）・
・・サンプリングチューブ、（４）・・・可動筐体、（
８）・・・吸気管、Ｕ・・・排気ポンプ。
を示す縦断面図、第２図は第１図の矢視■−■図である
。 （１）・・・固定筐体、（２）・・・吸気口、（３）・
・・サンプリングチューブ、（４）・・・可動筐体、（
８）・・・吸気管、Ｕ・・・排気ポンプ。
Claims (1)
- 複数個所にサンプリングチューブが接続された固定筐体
、同固定筐体に連通し且つ可摺的に装架された可動筐体
、同可動筐体に装着され同筐体の移動に伴って前記各サ
ンプリングチューブに順次連通するように構成された吸
気管、及び前記可動筐体の排気装置よりなることを特徴
とする気体の多点サンプリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26942185A JPS62129733A (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 気体の多点サンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26942185A JPS62129733A (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 気体の多点サンプリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62129733A true JPS62129733A (ja) | 1987-06-12 |
Family
ID=17472185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26942185A Pending JPS62129733A (ja) | 1985-12-02 | 1985-12-02 | 気体の多点サンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62129733A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021162598A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | ダイキン工業株式会社 | 検知ユニット、収容容器、検知装置 |
| CN114563548A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-31 | 中煤科工集团沈阳研究院有限公司 | 一种无人巡检抽采数据智能精细化采集系统与方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60230032A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-15 | Nitta Kk | 多点モニタリングサンプラ− |
| JPS60230033A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-15 | Nitta Kk | 多点モニタリングサンプラ− |
| JPS6183932A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-28 | Fujita Corp | 気体の多点サンプリング装置 |
-
1985
- 1985-12-02 JP JP26942185A patent/JPS62129733A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60230032A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-15 | Nitta Kk | 多点モニタリングサンプラ− |
| JPS60230033A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-15 | Nitta Kk | 多点モニタリングサンプラ− |
| JPS6183932A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-28 | Fujita Corp | 気体の多点サンプリング装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021162598A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | ダイキン工業株式会社 | 検知ユニット、収容容器、検知装置 |
| CN114563548A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-05-31 | 中煤科工集团沈阳研究院有限公司 | 一种无人巡检抽采数据智能精细化采集系统与方法 |
| CN114563548B (zh) * | 2022-01-19 | 2023-11-17 | 中煤科工集团沈阳研究院有限公司 | 一种无人巡检抽采数据智能精细化采集系统与方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Fromherz | Instrumentation for handling monomolecular films at an air–water interface | |
| US7562595B2 (en) | Dust proof sliding device | |
| US4818489A (en) | Device for sampling breath air at the workplace | |
| KR890002669A (ko) | 액체처리 시스템 | |
| JPS62129733A (ja) | 気体の多点サンプリング装置 | |
| EP0384217B1 (de) | Vorrichtung zur Förderung einer Messprobe in die Messkammer eines Messfühlers und Messverfahren dazu | |
| KR950015709A (ko) | 흡착식 이송금형 | |
| EP2226629A1 (de) | Gassensor enthaltend ein Festelektrolytplättchen und drei poröse metallische Elektroden | |
| CN211415221U (zh) | 一种机械手夹具及其分流阀 | |
| CN110215937B (zh) | 一种大气模拟设备 | |
| DK82590A (da) | Apparat til rensning af afloeb | |
| CN220724335U (zh) | 一种前驱体供应装置 | |
| CN217163227U (zh) | 一种加样板干燥装置 | |
| DE3769036D1 (de) | Analysegeraet fuer abgase. | |
| SU1350514A1 (ru) | Способ определени места течи в издели х | |
| CN218180907U (zh) | 变频器检测流水线用自动装夹载具 | |
| CN219726627U (zh) | 一种移动式门板装夹机构 | |
| CN219232397U (zh) | 一种基于微舱法测试svoc释放量的测试舱 | |
| CN218885944U (zh) | 适用于双通道的样本管交替夹持机构 | |
| GB2182475A (en) | Valve arrangement | |
| CN212514503U (zh) | 一种微型空气质量监测仪的气路系统 | |
| CN215525826U (zh) | 一种用于免疫分析仪的血样转运装置 | |
| CN220650206U (zh) | 一种定量检测装置 | |
| SU1280475A1 (ru) | Устройство дл отбора газообразных проб | |
| JPS6183932A (ja) | 気体の多点サンプリング装置 |