JPS62118431U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62118431U JPS62118431U JP512886U JP512886U JPS62118431U JP S62118431 U JPS62118431 U JP S62118431U JP 512886 U JP512886 U JP 512886U JP 512886 U JP512886 U JP 512886U JP S62118431 U JPS62118431 U JP S62118431U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machine body
- top cover
- workbench
- attached
- top lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の上蓋インタロツクの第２図
の―線断面図、第２図は同上の概要平面図で
ある。 主要な図面符号の説明、１…機体、５…半導体
開口部、１７…作業台、３５…第１上蓋、３７…
第２上蓋、４５…ロツク部材。
の―線断面図、第２図は同上の概要平面図で
ある。 主要な図面符号の説明、１…機体、５…半導体
開口部、１７…作業台、３５…第１上蓋、３７…
第２上蓋、４５…ロツク部材。
Claims (1)
- 半導体開口部の作業台で露出した機体に、該機
体の上面をカバーする第１上蓋を開閉自在に装着
支持し、該第１上蓋に、前記作業台の上方を解放
又は閉塞する第２上蓋を設け、閉扉時の前記第１
上蓋と第２上蓋とを機体に装着されたロツク部材
によつて一緒にロツクしたことを特徴とするオー
プナー装置の上蓋インタロツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP512886U JPS62118431U (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP512886U JPS62118431U (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62118431U true JPS62118431U (ja) | 1987-07-28 |
Family
ID=30786424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP512886U Pending JPS62118431U (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62118431U (ja) |
-
1986
- 1986-01-20 JP JP512886U patent/JPS62118431U/ja active Pending