JPS62111529U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62111529U JPS62111529U JP19942285U JP19942285U JPS62111529U JP S62111529 U JPS62111529 U JP S62111529U JP 19942285 U JP19942285 U JP 19942285U JP 19942285 U JP19942285 U JP 19942285U JP S62111529 U JPS62111529 U JP S62111529U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- introduction port
- semiconductor
- pressure introduction
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は歪ゲージ組立体の断面図、第2図は第
1図を組み込んだ、半導体圧力変換器の正面図、
第3図は第2図のA―A線断面図、第4図は他の
実施例の断面図である。 1……半導体歪ゲージ、2……ガラスダイ、3
……リードフレーム、4……通気孔、5……ケー
シング、6……歪ゲージ組立体、7……ハウジン
グ、8……回路基板、9……圧力導入用ポート、
10……肉薄突起部、11……所定空間。
1図を組み込んだ、半導体圧力変換器の正面図、
第3図は第2図のA―A線断面図、第4図は他の
実施例の断面図である。 1……半導体歪ゲージ、2……ガラスダイ、3
……リードフレーム、4……通気孔、5……ケー
シング、6……歪ゲージ組立体、7……ハウジン
グ、8……回路基板、9……圧力導入用ポート、
10……肉薄突起部、11……所定空間。
Claims (1)
- 圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージをダ
イに接合し、通気孔を有するケーシングに前記ダ
イを位置決め固定してゲージ組立体を構成し、圧
力導入用ポートが形成されたハウジング内に前記
ゲージ組立体を固定し、前記圧力導入用ポートか
ら前記通気孔を通して前記半導体歪ゲージに圧力
を導入する半導体圧力変換器において、前記圧力
導入用ポートの内端部に薄肉の突起部を形成し、
さらに該圧力導入用ポートと前記通気孔とを偏心
配置したことを特徴とする半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19942285U JPS62111529U (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19942285U JPS62111529U (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62111529U true JPS62111529U (ja) | 1987-07-16 |
Family
ID=31161031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19942285U Pending JPS62111529U (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62111529U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122182A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Hitachi Ltd | 圧力センサ装置及び圧力センサ容器 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP19942285U patent/JPS62111529U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122182A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Hitachi Ltd | 圧力センサ装置及び圧力センサ容器 |
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