JPS62102255U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62102255U JPS62102255U JP19483685U JP19483685U JPS62102255U JP S62102255 U JPS62102255 U JP S62102255U JP 19483685 U JP19483685 U JP 19483685U JP 19483685 U JP19483685 U JP 19483685U JP S62102255 U JPS62102255 U JP S62102255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion implantation
- condition
- implantation conditions
- control signal
- storage means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 10
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第１図はこの考案の構成を示すブロツク図、第
２図はイオン注入条件の登録動作を示すフローチ
ヤート、第３図はイオン注入条件設定をするため
の表示画面構成を示す図、第４図はイオン注入制
御動作を示す表示画面構成を示す図、第５図はイ
オン注入装置の構成を示すブロツク図である。 １……イオン注入装置、３０……イオン注入監
視制御装置、３１……監視制御用コンソール、３
２……条件入力手段、３３……条件記憶手段、３
４……条件読取手段、３５……制御信号出力手段
。
２図はイオン注入条件の登録動作を示すフローチ
ヤート、第３図はイオン注入条件設定をするため
の表示画面構成を示す図、第４図はイオン注入制
御動作を示す表示画面構成を示す図、第５図はイ
オン注入装置の構成を示すブロツク図である。 １……イオン注入装置、３０……イオン注入監
視制御装置、３１……監視制御用コンソール、３
２……条件入力手段、３３……条件記憶手段、３
４……条件読取手段、３５……制御信号出力手段
。
Claims (1)
- 複数の設定項目からなる複数のイオン注入条件
を設定するための条件入力手段と、この条件入力
手段から入力された前記複数のイオン注入条件を
記憶する条件記憶手段と、この条件記憶手段から
所定順序で前記複数のイオン注入条件のうち１つ
を読み取る条件読取手段と、この条件読取手段に
よつて読み取られたイオン注入条件に基づいてイ
オン注入制御信号を出力する制御信号出力手段と
を備えたイオン注入監視制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19483685U JPS62102255U (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19483685U JPS62102255U (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102255U true JPS62102255U (ja) | 1987-06-29 |
Family
ID=31152178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19483685U Pending JPS62102255U (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62102255U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5671949A (en) * | 1979-11-15 | 1981-06-15 | Nissin Electric Co Ltd | Specimen carrier for charge particle injector |
| JPS60187017A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Hitachi Ltd | イオン打込み装置 |
| JPS62117247A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入方法 |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP19483685U patent/JPS62102255U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5671949A (en) * | 1979-11-15 | 1981-06-15 | Nissin Electric Co Ltd | Specimen carrier for charge particle injector |
| JPS60187017A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Hitachi Ltd | イオン打込み装置 |
| JPS62117247A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62102255U (ja) | ||
| JPS62133362U (ja) | ||
| JPS5899619U (ja) | 計測装置 | |
| JPH02149451U (ja) | ||
| JPS61172388U (ja) | ||
| JPS582098U (ja) | 車両用デ−タ収録装置 | |
| JPS62149476U (ja) | ||
| JPH01178608U (ja) | ||
| JPS62162760U (ja) | ||
| JPS62195851U (ja) | ||
| JPS60179997U (ja) | タイマ−装置 | |
| JPS6380627U (ja) | ||
| JPH01173854U (ja) | ||
| JPH033020U (ja) | ||
| JPS58166687U (ja) | 多目的数字表示装置 | |
| JPS635541U (ja) | ||
| JPH01173833U (ja) | ||
| JPS5953222U (ja) | Ｘ−ｙ記録計 | |
| JPS6327821U (ja) | ||
| JPS5839791U (ja) | 電子カウンタ装置 | |
| JPS59126360U (ja) | 稼動計 | |
| JPS59131067U (ja) | メモリスコ−プ機能付きプリンタ装置 | |
| JPS635422U (ja) | ||
| JPS6228272U (ja) | ||
| JPS5827265U (ja) | エレベ−タ動作状態記録装置 |