JPS6196424A - Optical semiconductor module structure - Google Patents

Optical semiconductor module structure

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JPS6196424A
JPS6196424A JP59218018A JP21801884A JPS6196424A JP S6196424 A JPS6196424 A JP S6196424A JP 59218018 A JP59218018 A JP 59218018A JP 21801884 A JP21801884 A JP 21801884A JP S6196424 A JPS6196424 A JP S6196424A
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JP
Japan
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optical semiconductor
ring
optical
semiconductor package
tapered
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JP59218018A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroki Okujima
奥島 裕樹
Shoichi Miura
三浦 省一
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0203Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To improve coupling efficiency by deforming an elastic ring through a taper ring by clamping a set screw, grasping a semiconductor optical package in the radius direction and adjusting the position of the optical axis direction. CONSTITUTION:An optical semiconductor package fixing means 21 is constituted of a taper ring 22 forming a conical surface on its inside and a taper ring 23 having a slitting and forming a conical surface on its outside and the ring 22 is engaged with the outer periphery of the ring 23 between a lens holder 2 and a spacer 3. The optical semiconductor package 4 is fixed on the leading end of an optical axis adjusting cylinder 27 and the ring 23 is opposed to the outer periphery of the leading end of the adjusting cylinder 27. For example, the Y axis is adjusted by an adjusting pin 162 inserted into a hole 15C and a micrometer 172 in a hole 15D, the Z axis (optical axis) is adjusted by a fine movement board 29, and after determining an optical position by irradiating light, the set screw 12 is clamped and the optical package 4 is fixed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光半導体モジュール構体の改良に関するもので
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to improvements in optical semiconductor module structures.

近時光ファイバを用いた各種の機器が開発され、この中
に半導体レーザ等の発光素子、APD(アバランシェホ
トダイオード)等の受光素子と光ファイバとを一体形成
した光半導体モジュールがある。
Recently, various devices using optical fibers have been developed, including optical semiconductor modules in which a light emitting element such as a semiconductor laser, a light receiving element such as an APD (avalanche photodiode), and an optical fiber are integrally formed.

これは、光ファイバのコア径が小さいため、光ファイバ
と光半導体素子とを一体形成して固定することにエリ発
光素子から出力された光を光ファイバに効率良く入射し
、光ファイバから出射した光を受光素子により効率良く
受光することを可能としている。
Since the core diameter of the optical fiber is small, the optical fiber and the optical semiconductor element are integrally formed and fixed, so that the light output from the light emitting element can efficiently enter the optical fiber and exit from the optical fiber. This allows the light to be efficiently received by the light receiving element.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

この種の従来の光半導体モジュール構体100ヲ第12
.13図に示す。第12図は正面図、@15図は側面図
で、図中、1は外筒、2はレンズホルダ、3は光ファイ
バ、4は光半導体パッケージである。
12th conventional optical semiconductor module structure 100 of this kind
.. It is shown in Figure 13. FIG. 12 is a front view, and FIG. 15 is a side view. In the figures, 1 is an outer cylinder, 2 is a lens holder, 3 is an optical fiber, and 4 is an optical semiconductor package.

レンズホルダ2は、中心部に貫通孔5を備えてお “リ
、該貫通孔5内にはレンズ6が圧入、固定されている。
The lens holder 2 has a through hole 5 in the center, and a lens 6 is press-fitted and fixed into the through hole 5.

このレンズホルダ2は、外筒1 tD 穴7 (D底部
に装着されている。光ファイバ3は、フェルール8の中
心部に挿着され、フェルール8は外筒1の隔壁9の中心
部の貫通孔10に挿着されて先端面がレンズホルダ2の
一方の側面FC接しテイル。
This lens holder 2 is attached to the bottom of the outer tube 1 tD hole 7 (D). The tail is inserted into the hole 10 and its tip end is in contact with one side surface FC of the lens holder 2.

光半導体パッケージ4はAPDや半導体レーザ等の光半
導体素子を内蔵し、外筒1のへ7内に装着されている。
The optical semiconductor package 4 contains an optical semiconductor element such as an APD or a semiconductor laser, and is mounted inside the sleeve 7 of the outer cylinder 1.

この光半導体パッケージ4は、穴7の入口部に形成され
た雌ねじ11に蝋付する中空状止めねじ12ヲ締め付け
ることにより、穴7内に円周方向に係止して装着された
スペーサ13.穴7内に装着されたアダプタ14を介し
押圧されてレンズホルダ2の他方の側面に圧接して固定
されている。
This optical semiconductor package 4 is fitted with a spacer 13 which is secured in the circumferential direction within the hole 7 by tightening a hollow set screw 12 which is brazed to a female thread 11 formed at the entrance of the hole 7. It is pressed and fixed to the other side surface of the lens holder 2 through an adapter 14 installed in the hole 7 .

このように構成された光半導体モジュール構体100の
光半導体パッケージ4のx、y軸方向(光軸と直交する
面上で互いに直交する方向)の位置調整は次の要領で行
われる。
Position adjustment of the optical semiconductor package 4 of the optical semiconductor module assembly 100 configured as described above in the x and y axis directions (directions perpendicular to each other on a plane orthogonal to the optical axis) is performed in the following manner.

外f#i1には、第16図に詳細を示すように、この位
置調整を行うための4つの穴15A、15B、15C。
As shown in detail in FIG. 16, outside f#i1 has four holes 15A, 15B, and 15C for performing this position adjustment.

15Dが設けられている。位置調整は、第14図に示す
ようにこれらの穴に挿入される2つの調整ピン161.
16*及び2つのマイクロメータ17t−17gを用い
て行う。すなわち、光半導体パッケージ4を、X軸方向
ではスプリング181に賦勢される調整ピン161とマ
イクロメータ171のスピンドルにより、Y軸方向では
スプリング18鵞に賦勢される調整ピン16!トマイク
ロメータ17zのスピンドルにエリ、それぞれ挟圧、保
持し、マイクロメータ17..17mを操作してそれぞ
れのスピンドルを進退させることにより位置調整が行わ
れる。この場曾、光ファイバ3かも光を入れる(受光素
子の場−8−)か、または光ファイバ3から出力光を外
部に取り出しく発光素子の場合)て測定しながら位置調
整を行って最適位置を見つける。この位置調整時(、止
めねじ12は完全に締め付けずに光半導体パッケージ4
が移動可能な状態としておいて位置調整を行い、その後
止めねじ12ヲ完全に締め付けて光半導体パッケージ4
を固定することは勿論である。
15D is provided. Position adjustment is performed using two adjustment pins 161. inserted into these holes as shown in FIG.
16* and two micrometers 17t-17g. That is, the optical semiconductor package 4 is moved in the X-axis direction by the adjustment pin 161 biased by the spring 181 and the spindle of the micrometer 171, and in the Y-axis direction by the adjustment pin 16 biased by the spring 18! Press and hold the micrometer 17z on the spindle of the micrometer 17z. .. Position adjustment is performed by operating the 17m to move each spindle forward or backward. In this case, the optical fiber 3 is also used to introduce light (in the case of a light-receiving element -8- or in the case of a light-emitting element that outputs output light from the optical fiber 3 to the outside), and adjust the position while measuring to find the optimal position. Find. During this position adjustment (do not completely tighten the setscrew 12)
Adjust the position with the optical semiconductor package 4 in a movable state, and then completely tighten the setscrew 12 to remove the optical semiconductor package 4.
Of course, it is necessary to fix the .

この止めねじ12の締め付けに際し、スペーサ13は円
周方向に係止されていて回転せず光軸方向に移動するだ
けなので、行われた調整が狂うことはなく、光半導体パ
ッケージ4は正確に固定される。
When tightening the set screw 12, the spacer 13 is locked in the circumferential direction and does not rotate but only moves in the optical axis direction, so the adjustment made will not be disturbed and the optical semiconductor package 4 will be accurately fixed. be done.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来の光半導体モジュール構体は上述のように構成され
、X、Y方向の位置調11を完了した光半導体パッケー
ジがレンズホルダに押し付けらtして固定されるように
なっている。従って、光半導体X’子と光フアイバ間の
間隔はレンズホルダの厚さの寸法精度にJり左石されて
おり、結合効率を保証するためにはレンズホルダの厚さ
の寸法精Wwきびしく管理するしか方法がなかった。
The conventional optical semiconductor module structure is constructed as described above, and the optical semiconductor package that has completed the position adjustment 11 in the X and Y directions is pressed against the lens holder and fixed. Therefore, the distance between the optical semiconductor X' element and the optical fiber is determined by the dimensional accuracy of the lens holder's thickness, and in order to guarantee the coupling efficiency, the dimensional accuracy of the lens holder's thickness must be strictly controlled. I had no choice but to do it.

しかし、レンズホルダのレンズ圧入位置にはばらつきが
あり、高い結合効率を得るためにはこのばらつきに曾せ
て上記間隔を変えることが必要になるが、従来の構造で
はこれに対処することができず、改善策が要望されてい
る。そしてこの要望は、近時、受光素子はS/N向上の
ため受光径を小さくすることが要求され、またコア径の
小さい光ファイバ(シングルモード光ファイバ)が使わ
れる(これにより発光素子からの光ファイバに入れにく
くなる)ようになってきたため、更に強いものとなって
いる。
However, there are variations in the lens press-fitting position of the lens holder, and in order to obtain high coupling efficiency, it is necessary to change the above-mentioned spacing to account for this variation, but the conventional structure cannot deal with this. Therefore, improvement measures are requested. This demand has recently been met by the need for light-receiving elements to have smaller light-receiving diameters in order to improve S/N, and optical fibers with small core diameters (single-mode optical fibers) are being used (this allows light-emitting elements to As it has become difficult to insert into optical fibers, it has become even stronger.

また、これらの問題を解決するため、光半導体パッケー
ジとレンズホルダ間に接着剤を充填し、上記間隔の調整
完了後に該接着剤を硬化させて光半導体パッケージを固
定することも従来試みられているが、接着剤を使用して
いるために温度上昇時の信頼性に問題があり、光半導体
モジュールのアースをとることも難しくリード線が長く
なって電気的特性にも悪影響を与える等の欠点があった
Additionally, in order to solve these problems, attempts have been made in the past to fill adhesive between the optical semiconductor package and the lens holder, and to cure the adhesive after completing the adjustment of the above-mentioned distance to fix the optical semiconductor package. However, because adhesive is used, there are problems with reliability when the temperature rises, and it is difficult to ground the optical semiconductor module, leading to long lead wires that adversely affect electrical characteristics. there were.

〔問題点を解決するだめの手段〕[Failure to solve the problem]

本発明は上述の各種の問題点を解決できる光半導体、、
モジュール構体を提供することを目的としたもので、そ
のための手段として、光ファイバと、レンズを保持する
レンズホルダと、光半導体素子を内蔵する光半導体パッ
ケージとを、該レンズホルダを真中にして光軸をそろえ
て外筒内に装着し、かつ前記外筒内に前記光半導体パッ
ケージと間隙を介して光軸方向に移動可能なスペーサを
設けるとともに、前記間隙内に光半導体パッケージ固定
手段を設けてなり、前記スペーサの外側で前記外筒に螺
合する止めねじを締め付けることにより前記スペーサを
押圧、移動させ、て前記光半導体パッケージ固定手段を
介して前記光半導体パッケージを固定する光半導体モジ
ュール構体において、前記光半導体パッケージ固定手段
が、内面にテーパ円すい面を備えたテーパリングと、外
周が前記テーパリングのテーパ円すい面と係合し、罰記
止めねじ締め付けによる前記スペーサの移動時に前記テ
ーパリングとともに前記スペーサと前記レンズホルダと
にエリ挟圧され内径が減少する方向に弾性変形して前記
光半導体パッケージを半径方向の把持にエリ固定する弾
性リングとよりなる構成を採用している。
The present invention provides an optical semiconductor that can solve the various problems mentioned above.
The purpose is to provide a module structure, and as a means for that purpose, an optical fiber, a lens holder that holds a lens, and an optical semiconductor package that contains an optical semiconductor element are connected to each other, with the lens holder in the middle. The optical semiconductor package is mounted in an outer cylinder with its axes aligned, and a spacer is provided in the outer cylinder that is movable in the optical axis direction through a gap with the optical semiconductor package, and an optical semiconductor package fixing means is provided in the gap. In the optical semiconductor module structure, the optical semiconductor package is fixed via the optical semiconductor package fixing means by pressing and moving the spacer by tightening a set screw screwed into the outer cylinder on the outside of the spacer. , the optical semiconductor package fixing means includes a tapered ring having a tapered conical surface on its inner surface, and an outer periphery thereof engages with the tapered conical surface of the tapered ring, and when the spacer is moved by tightening the set screw, the tapered ring The optical semiconductor package is configured to include an elastic ring which is compressed between the spacer and the lens holder and is elastically deformed in a direction in which the inner diameter is reduced to securely hold the optical semiconductor package in the radial direction.

〔作用] 止めねじを締め付けることによりスペーサを押圧、移動
し、これによりテーパリングを今しすり割り付テーパリ
ング等の弾性リングを内側に弾性変形させて光半導体パ
ッケージの外周を半径方向に把持して固定するようにな
っており?光半導体パッケージの光軸方向の位置調整が
可能である。
[Function] By tightening the setscrew, the spacer is pressed and moved, which causes the tapered ring to be cut and elastic rings such as slotted tapered rings to be elastically deformed inward to grip the outer periphery of the optical semiconductor package in the radial direction. Is it supposed to be fixed? It is possible to adjust the position of the optical semiconductor package in the optical axis direction.

従って、結合効率が大きくかつそのばらつきの小さい光
半導体モジュール構体ヲ得ることができる。
Therefore, it is possible to obtain an optical semiconductor module assembly with high coupling efficiency and small variations in coupling efficiency.

〔実施例〕〔Example〕

以下、第1図乃至第11図に関連して本発明の詳細な説
明する。
The present invention will now be described in detail with reference to FIGS. 1-11.

第1図乃至第6図は第1の実施例を示すもので、従来と
同一構成の部材には同一符号を付している。
FIGS. 1 to 6 show a first embodiment, and members having the same structure as the conventional one are given the same reference numerals.

第1図は光半導体モジュール構体101の正面図、第2
図は第1図のト■断面図で、図中、21は光半導体パッ
ケージ固定手段である。
FIG. 1 is a front view of the optical semiconductor module structure 101, and FIG.
The figure is a cross-sectional view of FIG. 1, and in the figure, 21 is an optical semiconductor package fixing means.

光半導体パッケージ固定手段21は、テーパリング22
と、すり割り付テーパリング(弾性リング)26とより
なる。テーパリング22は、第3図(a)。
The optical semiconductor package fixing means 21 includes a tapered ring 22
and a slotted taper ring (elastic ring) 26. The taper ring 22 is shown in FIG. 3(a).

(b)(第3図(a+は正面図、第3図(b)は側面図
)に詳細を示すように、内面に形成されたテーパ円すい
面24を備えている。また、すり割り付テーパリング2
3は、$4図(a) 、 (b) (第4図(&)は正
面図、第4図(b)は側面図)に詳細を示すように、外
面にテーパ円すい面24と同一テーパで形成されたテー
パ円すい面25とすり割り26とを備えている。テーパ
リング22は、レンズホルダ2とスペーサ15の間です
り割り付テーパリング23の外周に嵌合している。すな
わち、テーパリング22とすり割り付テーパリング23
はテーパ円すい面24 、25を介し係合している。
(b) (As shown in detail in Fig. 3 (a+ is a front view, Fig. 3 (b) is a side view), it is provided with a tapered conical surface 24 formed on the inner surface. ring 2
3 has the same taper as the tapered conical surface 24 on the outer surface, as shown in detail in Figures 4 (a) and 4 (b) (Figure 4 (&) is a front view, Figure 4 (b) is a side view). It has a tapered conical surface 25 and a slot 26 formed by. The tapered ring 22 is fitted onto the outer periphery of a slotted tapered ring 23 between the lens holder 2 and the spacer 15. That is, the taper ring 22 and the slotted taper ring 23
are engaged through tapered conical surfaces 24 and 25.

また、光半導体パッケージ4は、光軸調整筒27の先端
にはんだ付は等により固定されており、光半導体パッケ
ージ4を覆うすり割り付テーパリング25は、この光軸
調整筒27の先端部の外周に微小間隙を介し対向してい
る。
Further, the optical semiconductor package 4 is fixed to the tip of the optical axis adjustment tube 27 by soldering or the like, and the slotted taper ring 25 covering the optical semiconductor package 4 is attached to the tip of the optical axis adjustment tube 27. They face each other with a small gap on the outer periphery.

光半導体素子(光半導体パッケージ4)の位置調整は次
の要領で行われる。
The position adjustment of the optical semiconductor element (optical semiconductor package 4) is performed in the following manner.

X、Y軸方向のii!l整は、第14図で説明した従来
方法と同様に調整ビン、マイクロメータにより行う。但
し、従来は調整ビン、マイクロメータにより光半導体パ
ッケージを直接挾持して調整を行うのに対し、本発明の
場合は光半導体パッケージ固定手段21を介して光半導
体パッケージを挾持する。第5図ではY軸方向の調整要
領を示しており、穴15Cに挿入されてスプリングによ
り賦勢される調整ビン16暑と、穴15Dにスピンドル
が挿入されるマイクロメータ17!とにより調整が行わ
れる。
ii in the X and Y axis directions! The adjustment is performed using an adjustment bin and a micrometer in the same manner as in the conventional method explained in FIG. However, whereas conventionally the optical semiconductor package is directly held and adjusted using an adjustment bottle and a micrometer, in the present invention, the optical semiconductor package is held via the optical semiconductor package fixing means 21. FIG. 5 shows the adjustment procedure in the Y-axis direction, with an adjustment bottle 16 inserted into the hole 15C and biased by a spring, and a micrometer 17 inserted into the hole 15D with a spindle. Adjustments are made by

第5図の紙面と直交するX軸方向については、図示を省
略したが同様に!!l整ビンとマイクロメータにより1
瞥が行われる。
Although the illustration of the X-axis direction perpendicular to the plane of FIG. 5 is omitted, the same applies! ! 1 with a regular bottle and a micrometer
A look is made.

2軸(光軸)方向の調整は、@5図に示す固設マイクロ
メ−8夕28を操作することにより行われる。マイクロ
メータ28のスピンドルに接続される微動台29は、マ
イクロメータ28を操作することにより2軸方向に移動
するよう罠なっており、微動台29は微動台30を介し
アーム51に接続されている。アーム61はねじ32に
より光軸調整筒27に固定され、微動台30は、アーム
31に固定され微動台29に対しX、Y軸方向に相対移
動可能になっている。すなわち、微動台29 、50は
2軸方向に対してのみ結合されており、X、Y軸方向の
調整を妨げない工5になっている。2軸方向の調整に際
しマイクロメータ28を操作すると、微動台29は2軸
方向に移動し、これによりアーム31が光軸調整筒27
とともに2軸方向に微動して調整が行われる。なお、こ
れらの位置調整は、止めねじ121に完全に締め付けず
に行い、最適位置の決定は、光ファイバ6から光を入れ
る(受光素子の場合)かまたは光ファイバ5から出力光
な外部に取り出しく発光素子の場合)て測定しながら行
う。そして、位置調整が完了した後、止めねじ12 f
jt完全に締め付けるが、この場合、この締め付けによ
り押圧されて第5図の左方に移動するスペーサ13とレ
ンズホルダ2とによりテーバリング22とすり割り付チ
ーパリ/グ23が挾圧されてテーバリング22が左方に
移動する。これにエリ、すり割り26を有するすり割り
付テーパリング23が半径が減少する方向に弾性変形し
て光軸調整筒27の外周を半径方向に把持し、光半導体
パッケージ4が固定される。
Adjustment in the two-axis (optical axis) direction is performed by operating the fixed micrometer 28 shown in Figure 5. A fine movement table 29 connected to the spindle of the micrometer 28 is configured to move in two axial directions by operating the micrometer 28, and the fine movement table 29 is connected to an arm 51 via a fine movement table 30. . The arm 61 is fixed to the optical axis adjustment tube 27 with a screw 32, and the fine movement table 30 is fixed to the arm 31 and is movable relative to the fine movement table 29 in the X and Y axis directions. In other words, the fine movement tables 29 and 50 are connected only in the two-axis directions, so that adjustment in the X and Y-axis directions is not hindered. When the micrometer 28 is operated during adjustment in the two-axis directions, the fine movement table 29 moves in the two-axis directions, thereby causing the arm 31 to align with the optical axis adjustment tube 27.
At the same time, adjustments are made by making slight movements in two axial directions. Note that these position adjustments are made without completely tightening the setscrew 121, and the optimum position is determined by either inputting the light from the optical fiber 6 (in the case of a light receiving element) or extracting the output light from the optical fiber 5 to the outside. (For light-emitting devices) After the position adjustment is completed, set screw 12 f
jt is completely tightened, but in this case, the spacer 13 and the lens holder 2, which are pressed by this tightening and move to the left in FIG. Move to the left. The slotted taper ring 23 having the slots 26 is elastically deformed in a direction in which the radius decreases to grip the outer periphery of the optical axis adjustment tube 27 in the radial direction, and the optical semiconductor package 4 is fixed.

このように、光半導体パッケージは半径方向に把持、固
定されるようになっているため、該光半導体パッケージ
を光軸方向に位置調整することが可能になり、高性能の
光半導体モジュール構体な得ることができる。
In this way, since the optical semiconductor package is gripped and fixed in the radial direction, it is possible to adjust the position of the optical semiconductor package in the optical axis direction, and a high-performance optical semiconductor module structure can be obtained. be able to.

なお、すり割り付テーバリング250代りに第6図に示
す切り込み付テーパリング(弾性リング)33を用いて
も同様の効果を奏することができる。
Note that the same effect can be obtained by using a notched tapered ring (elastic ring) 33 shown in FIG. 6 instead of the slotted tapered ring 250.

このすり割り付テーパリング33は、コレットチック式
構造のもので、外面にテーバ円すい面24と同テーパで
形成されたテーバ円すい面34と切り込み35とを備え
ている。切り込み55は、円周方向に等間隔に4個形成
され、軸線方向の途中までで止めである。
The slotted tapered ring 33 has a collet-like structure and has a taper conical surface 24, a taper conical surface 34 formed by the same taper, and a notch 35 on the outer surface. Four notches 55 are formed at equal intervals in the circumferential direction, and stop halfway in the axial direction.

第7図に第2の実施例を示す。FIG. 7 shows a second embodiment.

本例の光半導体モジュール構体102の場合は、テーバ
リング22とすり割り付テーパリング26の配置を前例
と逆にしたもので、テーバリング22がレンズホルダ2
側に配置され、すり割り付テーパリング23がスペーサ
13側に配置されている。
In the case of the optical semiconductor module structure 102 of this example, the arrangement of the tapered ring 22 and slotted taper ring 26 is reversed from the previous example, and the tapered ring 22 is attached to the lens holder 2.
The slotted taper ring 23 is arranged on the spacer 13 side.

本例の場6合も、スペーサ13の左方への移動により両
リング22.23が挾圧され、すり割り付テーパリング
25が弾性変形して光軸調整筒27を把持する。
Also in case 6 of this example, both rings 22 and 23 are pinched by the leftward movement of the spacer 13, and the slotted taper ring 25 is elastically deformed to grip the optical axis adjustment tube 27.

第8図乃至第11図に第3の実施例を示す。A third embodiment is shown in FIGS. 8 to 11.

第8図は光半導体モジュール構体103の正面図である
0図中、41.41は1対のテーバリング、42はすり
割り付テーパリング(弾性リング)で、これらは光半導
体パッケージ固定手段47を構成する。
FIG. 8 is a front view of the optical semiconductor module structure 103. In FIG. do.

テーバリング41は、第9図(a) + (b) (第
9図(a)は正面図、第9図(b)は側面図)に詳細を
示すように、内面に形成されたテーバ円すい面43を備
えている。
The taber ring 41 has a tapered conical surface formed on the inner surface, as shown in detail in FIGS. 9(a) + (b) (FIG. 9(a) is a front view and FIG. 9(b) is a side view). It is equipped with 43.

また、すり割り付テーパリング42は、第10図(al
 、 (b) (第10図tmlは正面図、第101g
(b)は側面図)に詳細を示すように、外周両側にテー
バ円゛すい面43と同一テーバで形成されたテーバ円す
い面44とすり割り45とを備えている。
In addition, the slotted taper ring 42 is shown in FIG. 10 (al.
, (b) (Figure 10 tml is a front view, 101g
As shown in detail in (b) is a side view, there are provided on both sides of the outer periphery a taber conical surface 44 formed of the same taber as the taber conical surface 43, and a slot 45.

この場合は、すり割り付テーパリング42が両側からテ
ーバリング41.41に押圧されて弾性変形する点が異
なるだけで、光半導体パッケージ4の位置調整及び固定
要領は前例と同様である。
In this case, the only difference is that the slotted tapered ring 42 is pressed by the tapered rings 41 and 41 from both sides and is elastically deformed, and the position adjustment and fixing procedures of the optical semiconductor package 4 are the same as in the previous example.

なお、すり割り付テーパリング420代りに、第11図
(a) 、 (b) (@ 11図(a)は正面図、第
11図(b)ハ側面図)に示すCリング(弾性リング)
46を用いても良い。この場合は、Cリング46は断面
円形の線材を湾曲させるだけで容易に形成できるため、
価格を低減することができる。
In addition, instead of the slotted taper ring 420, a C ring (elastic ring) shown in Fig. 11 (a) and (b) (Fig. 11 (a) is a front view, Fig. 11 (b) is a side view)
46 may also be used. In this case, the C-ring 46 can be easily formed by simply curving a wire rod with a circular cross section.
The price can be reduced.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明は以上のように構成されているので、次の各種の
優れた効果を奏することが可能である。
Since the present invention is configured as described above, it is possible to achieve the following various excellent effects.

(1)光半導体パッケージの固定が半径方向の保持によ
り行われるようになっているため、従来のX、Y軸方向
の他に2軸(光軸)方向の位置調整も行って固定するこ
とが可能となり、高性能な光半導体モジュール構体な得
ることができる。
(1) Since the optical semiconductor package is now fixed by holding it in the radial direction, it is now possible to fix it by adjusting the position in two axes (optical axis) in addition to the conventional X and Y axes. This makes it possible to obtain a high-performance optical semiconductor module structure.

(2)接着剤を使用せずに機械的に固定を行うため、温
度特性、信頼性が優れている。
(2) Since it is mechanically fixed without using adhesives, it has excellent temperature characteristics and reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図乃至第11図は本発明の実施例を示すもので、第
1図及び第2図は第1の実施例の光半導体モジ・ニール
構体の正面図及び側面図、第3図(a)。 (b)は同テーパリングの正面図及び側面図、$4図(
al 、 (blは同すり割り付テーパリングの正面図
及び側面図、第5図は同光半導体パッケージの位置調整
要領説明図、第6図は同すり割り付テーバリングに代る
切り込み付テーパリングの正面図、第7図は第2の実施
例の光半導体モジュール構体の正面図、第8図は第6の
実施例の光半導体モジュール構体の正面図、第9図(a
) 、 (b)は同テーバリングの正面図及び側面図、
第10因(a) 、 (b)は同すり割り付テーパリン
グの正面図及び側面図、第11図(a)。 (b)は同すり割り付テーバリングに代わるCリングの
正面図及び側面図である。 第12図は従来の光半導体モジュール構体の正面図、第
16図は同側面図、第14図は同光半導体パッケージの
位置調整要領説明図である。 図中、1は外筒、2はレンズホルダ、6は光ファイバ、
4は光半導体パッケージ、6はレンズ、8はフェルール
、12は中空状止めねじ、15はスペーサ、15A、1
5B、15C,15Dは穴、21.47は半導体パッケ
ージ固定手段、 22.41はテーパリング、23゜4
2はすり割り付テーパリング(弾性リング) 、 24
゜25.54,45.44はテーバ円すい面、26.4
5はすり割り、27は光軸調整筒、33は切り込み付テ
ーパリング(弾性リング)、46はCリング(弾性リン
グ)、101.102,103は光半導体モジュール構
体なそれぞれ示す。 特許比・願人 富士通株式会社
1 to 11 show embodiments of the present invention, and FIGS. 1 and 2 are front and side views of the optical semiconductor module structure of the first embodiment, and FIG. ). (b) is a front view and side view of the same taper ring, $4 figure (
al, (bl is a front view and side view of the same slotted taper ring, Fig. 5 is an explanatory diagram of the position adjustment procedure of the same optical semiconductor package, and Fig. 6 is a diagram of the slotted taper ring as an alternative to the slotted taper ring. 7 is a front view of the optical semiconductor module structure of the second embodiment, FIG. 8 is a front view of the optical semiconductor module structure of the sixth embodiment, and FIG.
), (b) is a front view and side view of the same taber ring,
The tenth factor (a) and (b) are a front view and a side view of the tapered ring with the same slot, and FIG. 11 (a). (b) is a front view and a side view of a C ring that replaces the slotted taber ring. FIG. 12 is a front view of a conventional optical semiconductor module assembly, FIG. 16 is a side view of the same, and FIG. 14 is an explanatory diagram of the position adjustment procedure of the optical semiconductor package. In the figure, 1 is an outer cylinder, 2 is a lens holder, 6 is an optical fiber,
4 is an optical semiconductor package, 6 is a lens, 8 is a ferrule, 12 is a hollow set screw, 15 is a spacer, 15A, 1
5B, 15C, 15D are holes, 21.47 is a semiconductor package fixing means, 22.41 is a taper ring, 23°4
2 is a slotted taper ring (elastic ring), 24
゜25.54, 45.44 are Taber conical surfaces, 26.4
5 is a slot, 27 is an optical axis adjusting tube, 33 is a taper ring with a notch (elastic ring), 46 is a C ring (elastic ring), and 101, 102, and 103 are optical semiconductor module structures, respectively. Patent ratio/applicant Fujitsu Limited

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  光ファイバと、レンズを保持するレンズホルダと、光
半導体素子を内蔵する光半導体パッケージとを、該レン
ズホルダを真中にして外筒内に装着してなり、かつ前記
外筒内に前記光半導体パッケージと間隙を介して光軸方
向に移動可能に設けられたスペーサと、前記間隙内に設
けられた光半導体パッケージ固定手段とを備えた光半導
体モジュール構体であつて、前記光半導体パッケージ固
定手段が、内面にテーパ円すい面を備えたテーパリング
と、外周が前記テーパリングのテーパ円すい面と係合す
る弾性リングとで構成され、前記スペーサの光軸方向の
移動とともに前記テーパリングが移動して前記弾性リン
グの内径が弾性変形して前記光半導体パッケージを半径
方向の把持により固定することを特徴とする光半導体モ
ジュール構体。
An optical fiber, a lens holder for holding a lens, and an optical semiconductor package containing an optical semiconductor element are installed in an outer cylinder with the lens holder in the middle, and the optical semiconductor package is installed in the outer cylinder. an optical semiconductor module assembly comprising: a spacer provided movably in the optical axis direction through a gap; and an optical semiconductor package fixing means provided within the gap, the optical semiconductor package fixing means comprising: It is composed of a tapered ring having a tapered conical surface on its inner surface, and an elastic ring whose outer periphery engages with the tapered conical surface of the tapered ring, and as the spacer moves in the optical axis direction, the tapered ring moves and the elastic ring moves. An optical semiconductor module structure, wherein the inner diameter of the ring is elastically deformed to fix the optical semiconductor package by gripping it in a radial direction.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63310233A (en) * 1987-06-12 1988-12-19 Toshiba Corp Optical transmitter
JP2010507110A (en) * 2006-10-20 2010-03-04 ラーソス レーザーテヒニク ゲーエムベーハー Device for introducing light into an optical fiber
JP2013077768A (en) * 2011-09-30 2013-04-25 Hitachi Via Mechanics Ltd Semiconductor laser module for direct drawing exposure device
KR20220116830A (en) * 2021-02-15 2022-08-23 광주과학기술원 Fiber directioning device and laser beam combining apparatus for the same

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