JPS6189853U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6189853U JPS6189853U JP1984174260U JP17426084U JPS6189853U JP S6189853 U JPS6189853 U JP S6189853U JP 1984174260 U JP1984174260 U JP 1984174260U JP 17426084 U JP17426084 U JP 17426084U JP S6189853 U JPS6189853 U JP S6189853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- membrane
- attached
- pellicle membrane
- adhesion prevention
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Description
第１図は本考案に係るペリクル膜保護カバーの
断面図であり、第２図は本考案に係る別の態様の
ペリクル膜保護カバーの断面図である。 １…固定フレーム、２…ペリクル膜、３…接着
剤、４…ゴミ付着防止カバー、６…ゴミ付着防止
カバー部、７…補助フレーム部、９…接着テープ
、１１…補助フレーム、１２…接着剤、１３…ゴ
ミ付着防止カバー、１４…接着テープ。
断面図であり、第２図は本考案に係る別の態様の
ペリクル膜保護カバーの断面図である。 １…固定フレーム、２…ペリクル膜、３…接着
剤、４…ゴミ付着防止カバー、６…ゴミ付着防止
カバー部、７…補助フレーム部、９…接着テープ
、１１…補助フレーム、１２…接着剤、１３…ゴ
ミ付着防止カバー、１４…接着テープ。
Claims (1)
- ペリクル膜を取り付けた固定フレームに、その
ペリクル膜のない側のフレーム下面にて接着剤に
よつて膜内側表面ゴミ付着防止カバーが取り付け
られ、かつペリクル膜のある側のフレーム上面に
て膜外側表面ゴミ付着防止カバーを有する補助フ
レームが載置され、この補助フレームと前記固定
フレームとがシール材で締結されているペリクル
膜保護カバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984174260U JPS6189853U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984174260U JPS6189853U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6189853U true JPS6189853U (ja) | 1986-06-11 |
Family
ID=30731886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984174260U Pending JPS6189853U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6189853U (ja) |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP1984174260U patent/JPS6189853U/ja active Pending