JPS6171955A - Grinding method and its device - Google Patents

Grinding method and its device

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JPS6171955A
JPS6171955A JP59189762A JP18976284A JPS6171955A JP S6171955 A JPS6171955 A JP S6171955A JP 59189762 A JP59189762 A JP 59189762A JP 18976284 A JP18976284 A JP 18976284A JP S6171955 A JPS6171955 A JP S6171955A
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polishing
processing
pieces
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Abstract

PURPOSE:To hold the flatness of a grinding wheel within a specific range without requiring interruption of processing by changing the processing point on a work, which is pressed to the grinding wheel being rotated, in accordance with the section form of the wheel, and by arranging so that the mean acting area of the wheel is approx. equal in the radial direction. CONSTITUTION:Tendency of the flatness of a grinding wheel 11 worsening is sensed by preciseness of the current sectional form calculated on the basis of the displacement data from a displacement sensor entered into a calculation control part. That is, if this preciseness of section form is going to exceed a certain allowable limit, the central position of processing is shifted immediately before. The flatness of the grinding wheel 11 can be maintained within a certain preciseness range both because the central position of processing is thus changed and because the grinding action area in the radial direction of wheel 11 is so set as to be constant approximately. Thus there is no need to interrupt the processing just in order to correct the form preciseness of the wheel 11, which will enable automation of processing as well as performance with high efficiency.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、高精度の平面加工を行うことのできる研磨方
法及びその装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a polishing method and apparatus capable of performing highly accurate planar processing.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

たとえば、第7図に示すようなボス(5)が突設された
円柱状の被加工物(5)の加工面(均を研磨加工する場
合、第8図に示すように、平面ホーニング装置により加
工していた。この装置においては、回転軸(S)に固着
された砥石(Qを上向きで回転させて係 図示せぬ加圧回転軸によりチャック(至)によりm持さ
れた被加工物Wを矢印P)方向に一定圧力で押し付けて
いる。このとき、被加工物(ロ)は、加圧回転軸の軸線
とチャック(旬の軸線との偏心による強制回転(公転)
と砥石00回転によるつれまわり(自転)運動を行い、
砥石(Qの平面形状が転写されるようになっている。
For example, when polishing the machined surface (even surface) of a cylindrical workpiece (5) with a protruding boss (5) as shown in FIG. 7, a flat honing device is used as shown in FIG. In this device, a grindstone (Q) fixed to a rotating shaft (S) is rotated upward, and a workpiece W is held by a chuck (to) by a pressure rotating shaft (not shown). is pressed with constant pressure in the direction of arrow P). At this time, the workpiece (B) is forced to rotate (revolution) due to the eccentricity between the axis of the pressurizing rotation shaft and the axis of the chuck.
The whetstone rotates around 00 times, causing a spinning motion.
The planar shape of the whetstone (Q) is transferred onto it.

しかるに、上記従来の加工方法によれば、砥石(C)の
内側の方が外側よシも摩耗量が多く、この偏摩耗により
使用頻度の増加に伴ない砥石(Qが中門となって平面度
が悪化し、これに伴なって被加工物(W)も除々に中凸
と々って平面度が悪化する。
However, according to the conventional processing method described above, the inside of the whetstone (C) wears more than the outside, and due to this uneven wear, as the frequency of use increases, the whetstone (Q becomes the middle gate and becomes flat) Along with this, the workpiece (W) also gradually becomes convex and its flatness deteriorates.

それゆえ、砥石0の平面度が悪化するたびに、加工を一
時中断し砥石(Qの形状修正を行う必要がある。この形
状修正作業は、通常単石ドレッシングあるいはリング状
の修正治具により行うため、すこぶる非能率である欠点
をもっている。しだがって、このことは平面ホーニング
加工の自動化と合理化を妨む大きな問題となっている。
Therefore, every time the flatness of grinding wheel 0 deteriorates, it is necessary to temporarily stop machining and correct the shape of the grinding wheel (Q).This shape correction work is usually done with a single stone dressing or a ring-shaped correction jig. Therefore, it has the disadvantage of being extremely inefficient.Therefore, this has become a major problem that hinders the automation and rationalization of flat honing processing.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、上記事情に着目してなされたもので、砥石面
の修正を行うことなく、砥石の平面度を安定して維持す
ることのできる研磨方法及びその装置を提供することを
目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and aims to provide a polishing method and an apparatus therefor capable of stably maintaining the flatness of a grindstone without modifying the surface of the grindstone. .

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明の研磨方法は、平面ホーニング加工において、回
転駆動され回転中心を通る径方向の研磨作用面若がほぼ
等しくなるように配置された複数方向に相対的に変位さ
せるようにしたものである。
In the polishing method of the present invention, in flat honing processing, the polishing surface is rotated and relatively displaced in a plurality of directions arranged so that the polishing surface width in the radial direction passing through the center of rotation is approximately equal.

また、本発明の研磨装置は、上記砥石に被加工物を押し
付けて平面ホーニング加工を行う加工部と、平面ホーニ
ング加工後の被加工物の研磨面の断面形状を測定する測
定部と、この測定部における測定結果に基づいて上記加
工部に制御信号を出力して上記砥石に対する被加工物の
加工位置を砥石の研磨作用面の平面度を向上させる方向
に相対的に移動させる演算制御部とからなるものである
Further, the polishing apparatus of the present invention includes a processing section that performs flat honing by pressing the workpiece against the grindstone, a measuring section that measures the cross-sectional shape of the polished surface of the workpiece after flat honing, and a measuring section that measures the cross-sectional shape of the polished surface of the workpiece after flat honing. an arithmetic control section that outputs a control signal to the processing section based on the measurement results in the processing section and moves the processing position of the workpiece relative to the grindstone in a direction that improves the flatness of the polishing surface of the grindstone; It is what it is.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図及び第2図は、この実施例の研磨装置を示してい
る。この研磨装置は、平面ホーニング加工を行う加工部
(1)と、この加工部(1)にて加工された被加工物(
5)の形状精度を測定する測定部(2)と、この測定部
(2)及び加工部(1)を統御する演算制御部(3)と
からなっている。しかして、上記加工部(1)は、平面
ホーニング加工を行う平面ホーニング機構(4)と、こ
の平面ホーニング機構(4)に被加工物(ロ)(形状に
ついては第8図参照)を搬出入する移載機構(5)とか
らなっている。上記平面ホーニング機構(4)は、基台
(6)と、この基台(6)に設けられ矢印(7)方向に
移動自在なテーブル(3)と、このテーブル(3)に取
付けられたモータを主体とする砥石回転駆動部(9)と
、この砥石回転駆動部(9)の上方に突出した円柱状の
回転軸00の上端部に連結された基台(10a)上に固
着され例えばダイヤモンドペレットからなるセグメント
状砥石α刀と(第3図参照)、テーブル(3)に添設さ
れテーブル(3)の移動体(8a)の矢印(7)方向の
変位量を検出する変位測定部04と、基台(6)に固定
され基台(6)上方を覆う支持体03と、この支持体Q
4に垂設された加圧回転駆動部αψとからなっている。
1 and 2 show the polishing apparatus of this embodiment. This polishing device includes a processing section (1) that performs flat honing processing, and a workpiece (1) processed in this processing section (1).
5), and a calculation control section (3) that controls the measurement section (2) and the processing section (1). The processing section (1) includes a plane honing mechanism (4) that performs plane honing, and a workpiece (B) (see Fig. 8 for the shape) that is carried into and out of the plane honing mechanism (4). and a transfer mechanism (5). The planar honing mechanism (4) includes a base (6), a table (3) provided on the base (6) and movable in the direction of the arrow (7), and a motor attached to the table (3). A grindstone rotation drive unit (9) mainly consisting of a diamond drive unit (9), and a base (10a) connected to the upper end of a cylindrical rotating shaft 00 projecting upward from the grindstone rotation drive unit (9). A segment-shaped grindstone made of pellets (see Fig. 3), and a displacement measurement unit 04 attached to the table (3) to detect the amount of displacement of the movable body (8a) of the table (3) in the direction of the arrow (7). , a support 03 fixed to the base (6) and covering the top of the base (6), and this support Q
4 and a pressurizing rotation drive section αψ vertically installed.

そして、テーブル(3)は、基台(6)に固定された案
内支持体(ハ)と、この案内支持体OI′9に矢印(7
)方向に摺動自在(で支持された移動体(8a)と、移
動体(8a)に螺合された送りねじαOと、この送シね
じQeの一端部に取付けられた第1のブーIJ (J’
/)と、基台(6)の下部に設けられたモータ08と、
このモータ08の回転軸(18a)に取付けられた第2
のブーv QcJと、第1及び第2のブー!JQ71.
Q1に巻き掛けられたベルトに)とからなっている。そ
して、移動体(8a)は、ベルト(イ)を介して伝達さ
れたモータrmの回転により送如ねじ0Qが回転するこ
とにより矢印(7)方向に駆動されるようになっている
。さらに、変位測定部a3は、基台(6)上に案内支持
体09に隣接して固設された支持台Cυと、この支持台
Cυ上に矢印(7)方向に沿って複数個列設されたリミ
ットスイッチに)・・・とからなっている。これらリミ
ットスイッチ四・・・は、移動体(8a)に側面に突設
されている突片(図示せず)に係合して、その位置を示
す位置検出信号を出力するようになっている。また、第
3図囚に示すように、砥石aυは、(円弧状の)状砥石
片(11a)・・・からなっている。これら砥石片(1
1a)・・・は、基台(log)上にその回転中心を中
心Aする内側、中央部、外側の三つの同心円上に同数個
配設されている。そうL7て、内側、中央部。
The table (3) has a guide support (c) fixed to the base (6) and an arrow (7) at the guide support OI'9.
) direction, a moving body (8a) supported by a moving body (8a), a feed screw αO screwed to the moving body (8a), and a first boob IJ attached to one end of the feed screw Qe. (J'
/), a motor 08 provided at the bottom of the base (6),
The second motor attached to the rotating shaft (18a) of this motor 08
Boo v QcJ and the first and second Boo! JQ71.
It consists of a belt wrapped around Q1). The moving body (8a) is driven in the direction of the arrow (7) by the rotation of the feed screw 0Q due to the rotation of the motor rm transmitted via the belt (a). Further, the displacement measurement unit a3 includes a support stand Cυ fixedly installed on the base (6) adjacent to the guide support 09, and a plurality of support stands Cυ installed in a row along the direction of the arrow (7). (to the limit switch)... These limit switches 4... engage with protrusions (not shown) protruding from the side surface of the moving body (8a), and output a position detection signal indicating the position thereof. . Further, as shown in FIG. 3, the grindstone aυ is composed of (arc-shaped) grindstone pieces (11a). These grindstone pieces (1
1a)... are arranged in equal numbers on three concentric circles around the rotation center A on the base (log): inside, center, and outside. That's right, L7, inside, center part.

外側の各砥石片(11a)・・・の研磨作用面若の和は
、等しくなるように設定されている。つまり、砥石αυ
が回転しても、被加工物(5)に対する研磨作用面若が
径方向でほぼ同じとなるように設けられている。なお、
この場合の砥石占拠率(砥石面積/ブランク面イ★×1
00は、第3図(13)に示すように、外側から内側に
かけて直線的に変化している。
The sum of the polishing surfaces of the outer grindstone pieces (11a) is set to be equal. In other words, the grindstone αυ
Even when the workpiece (5) is rotated, the polishing surface area on the workpiece (5) remains approximately the same in the radial direction. In addition,
In this case, the grinding wheel occupancy rate (grinding wheel area/blank surface I★×1
00 changes linearly from the outside to the inside, as shown in FIG. 3 (13).

さらに、加圧回転駆動部0ψは、支持体03に取付けら
れた軸受体(ト)と、この軸受体(ハ)に軸支された加
圧旋回軸(ハ)と、軸受体(ト)に内股されこの加圧旋
回軸ψ警を回転駆動させるこの加圧旋回モータ(図示せ
ず)と、この加圧旋回軸3◆の下端部に連結された円筒
状のチャック(に)と、加圧旋回軸(ハ)の上端部に係
合するとともに支持体03に固定された例えば油圧シリ
ンダ、空気圧シリンダ等からなる加圧装置(至)と、加
圧装置に)に設けられ加圧旋回軸(ハ)の軸方向の変位
量を検出する切込み量検出部(26a)と、軸受体(ハ
)に取付けられたカバー支持体翰と、このカバー支持体
(イ)に懸吊され加圧旋回軸CΦ及び砥石αの近傍を囲
繞するカバー(至)と、加圧旋回軸(ハ)に近接して設
けられ加工部位に加工液を供給するノズル(2)とから
なっている。しかして、加圧旋回軸(ハ)の軸線と回転
軸00との軸線は、互に平行となるように設定されてい
る。また、加圧旋回軸(ハ)は、例えばスプライン機構
を介して、矢印(至)方向に前記モータにより回転する
とともに、矢印6υ方向に前記加圧装置により加圧され
るようになっている。
Furthermore, the pressure rotation drive unit 0ψ is connected to a bearing body (G) attached to the support body 03, a pressure rotation shaft (C) pivotally supported by this bearing body (C), and a bearing body (G). This pressurizing rotation motor (not shown) that rotationally drives the pressurizing rotation shaft ψ, which is folded inwardly, a cylindrical chuck connected to the lower end of this pressurizing rotation shaft 3◆, and a pressurizing A pressurizing device (to) consisting of, for example, a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, etc., which engages with the upper end of the pivot shaft (c) and is fixed to the support body 03; A cutting depth detection part (26a) that detects the amount of displacement in the axial direction of (c), a cover support wing attached to the bearing body (c), and a pressurizing pivot shaft suspended from this cover support (a). It consists of a cover (2) that surrounds CΦ and the vicinity of the grindstone α, and a nozzle (2) that is provided close to the pressurizing rotation axis (3) and supplies machining liquid to the machining area. Therefore, the axis of the pressurizing rotation shaft (c) and the axis of the rotating shaft 00 are set to be parallel to each other. Further, the pressurizing pivot shaft (c) is rotated by the motor in the direction of the arrow (to), for example, via a spline mechanism, and is pressurized by the pressurizing device in the direction of the arrow 6υ.

さらに、チャックに)の軸線は、加圧旋回軸(ハ)の軸
線とは、同軸でなく偏心して設けられている。また、カ
バー支持体(ロ)は、例えば空気圧シリンダを有し、こ
の空気圧シリンダにより適時にカバーに)を矢印(イ)
方向に昇降させるようになっている。
Further, the axis of the chuck (c) is not coaxial with the axis of the pressurizing rotation shaft (c), but is eccentrically provided. In addition, the cover support (B) has, for example, a pneumatic cylinder, and the pneumatic cylinder allows the cover to be moved in a timely manner to the arrow (A).
It is designed to move up and down in the direction.

一方、移載機構(4)は、被加工物(5)を砥石Q′D
上に搬入する搬入部■と、砥石α1上の被加工物(ロ)
を測定部(2) (7) 水切プローステーション(ト
)に搬出する搬出部■とからなっている。しかして、搬
入部に)は、基台(6)上にテーブル(3)に近接して
載設された架台(至)と、この架台(至)上に固設され
たローダ(ロ)とからなっている、このローダ(イ)は
、本体(至)と、この本体(至)に突設されたアームに
)と、このアーム(イ)の先端部に取付けられ被加工物
尚を着脱自在に握持するグリップ00とからなっている
。そして、アーム(至)の軸線は、矢印(7)方向に平
行かつ回転軸00の軸線と直交するように設定されてい
る。そして、アーム(至)は、その軸線のまわりに回転
駆動されるようになっているとともに例えば空気圧シリ
ンダにより軸線方向に進退駆動されるようになっている
On the other hand, the transfer mechanism (4) transfers the workpiece (5) to the grindstone Q'D.
The loading section (■) that carries the workpiece onto the grindstone α1 (b)
It consists of a measuring section (2), (7) and an unloading section (■) for transporting the water to the draining pro-station (g). Therefore, in the loading section), there is a pedestal (to) placed on the base (6) in close proximity to the table (3), and a loader (b) fixed on this pedestal (to). This loader (A) consists of a main body (to), an arm protruding from this main body (to)), and is attached to the tip of this arm (a) for attaching and detaching the workpiece. It consists of a grip 00 that can be held freely. The axis of the arm (to) is set to be parallel to the direction of arrow (7) and perpendicular to the axis of the rotating shaft 00. The arm is rotatably driven around its axis, and is also driven forward and backward in the axial direction by, for example, a pneumatic cylinder.

また、本体(至)は矢印10方向に旋回駆動されるよう
になっていて、図示せぬ被加工物置台より砥石Ql)上
に被加工物Wを移載するように設けられている。
Further, the main body (to) is rotatably driven in the direction of arrow 10, and is provided to transfer a workpiece W onto a grindstone Ql from a workpiece stand (not shown).

さらに、搬出部■は、基台(6)上にテーブル(3)を
挾んで搬入部(イ)に対置して載設された架台03と、
この架台(74つ上に固設されたアンローダ(ト)とか
らなっている。このアンローダ(転)は、本体(ト)と
、この本体−に突設されたアーム@Qと、このアーム@
6の先端部に取付けられ被加工物(ロ)を着脱自在に握
持するグリップOOとからなっている。そして、アーム
四の軸線は回転軸00の軸線と直交するように設定され
ている。そして、アーム曲は、その軸線のまわりに回転
駆動されるようになっているとともに例えば空気圧シリ
ンダにより軸線方向に進退駆動されるようになっている
。また、本体@Φは、矢印@り方向に旋回駆動されるよ
うになっていて、砥石(ill上から被加工物Wを水切
プローステーション(ト)に移載するように設けられて
いる。他方、測定部(2)は、被加工物Wを矢印(7)
方向に沿って搬送する148〕 トランスファ機構−と、このトランスファ機興ρ搬送始
点位置において基台(6)に設置された水切プローステ
ーション(至)ト、トランスファ機構−に沿って水切プ
ローステーション(ト)の次に基台(6)に設置された
位相決めステーション09と、トランスファ機構(ト)
に沿ってこの位相決めステーション(ト)の次に基台(
6)に設置された測定ステーション(至)と、トランス
ファ機構0栓に沿って測定ステーションに)の次に基台
(6)に設置され測定ステーションに)にて形状測定が
完了した被加工物(5)を一時的に載置しておく待期ス
テーション6])とからなっている。しかして、トラン
スファ機構(ト)は、基台(6)に設置された案内駆動
体6つと、この案内駆動体6つに保合保持された3台の
搬送体に)・・・とからなっている。上記案内駆動体も
2は、搬送体□□□・・・を適時に矢印(7)方向に進
退駆動するようになっている。また、搬送体(至)・・
・は、被加工物(ロ)を着脱自在に保持するグリップ部
(図示せず)を有しているとともに、このグリップ部を
矢印61)方向に適時に昇降駆動するようになっている
。さらに、水切プローステーション(へ)は、被加工物
(5)が載置される載置台(へ)と、載置台(ロ)上方
に配設された空気圧シリンダ■と、この空気圧シリンダ
曽のピストンロンドに)!’i付f’)られ適時に載置
台■を覆うカバー1571と、このカバ−6゛θ内部に
設けられ洗浄液を噴射するノズル(58a)と、同じく
カバー67)内部に設けられ空気を噴射するノズル(5
8b)とからなっている。また、位相決めステーション
0→は、被加工物(5)を載置して所定量回転させるも
のである。さらに、測定ステーションに)は、逆り字状
の支持具69と、この支持具0に矢印(7)方向に沿っ
て列設された複数の例−ば差動トランスなどからなる変
位検出器に)・・・と、被加工物(5)を載置して適時
に昇降駆動する昇降台61)とからなっている。上記変
位検出器6)・・・の測定子((図示せず)は、下方に
配向され、昇降台6◇により上昇している被加工物(5
)の加工面(ロ)の変位量を測定するようになっている
。しかして、前記演算制御部(3)は、支持体Q1に垂
設されている。そして、この演算制御部(3)は、例え
ばマイクロコンピ−タなどの演算・記憶・制御機能を有
していて、変位検出器(至)・・・及びリミットスイッ
チの・・・に電気的に接続されている。そうして、後述
する加ニブログラムに基づいて、加工部(1)と測定部
(2)とを制御するようになっている。
Further, the unloading section (■) includes a pedestal 03 placed on the base (6) with the table (3) sandwiched therebetween, and facing the loading section (A).
It consists of an unloader (T) fixed on top of this frame (74).This unloader (T) consists of a main body (T), an arm @Q protruding from this main body, and
It consists of a grip OO that is attached to the tip of 6 and detachably grips the workpiece (b). The axis of the arm 4 is set to be orthogonal to the axis of the rotating shaft 00. The bent arm is driven to rotate around its axis, and is also driven forward and backward in the axial direction by, for example, a pneumatic cylinder. Further, the main body @Φ is configured to be driven to rotate in the direction of the arrow @, and is provided so as to transfer the workpiece W from the grindstone (ill) to the water cutter plow station (g). , the measurement unit (2) moves the workpiece W along the arrow (7)
148] transfer mechanism -, a drain pull station (to) installed on the base (6) at the transfer starting point position, and a drain pull station (to) along the transfer mechanism -. ), then the phase determining station 09 installed on the base (6) and the transfer mechanism (g)
This phasing station (G) is followed by the base (
6), and the workpiece (to which the shape measurement has been completed along the transfer mechanism 0 plug), and then the measuring station installed on the base (6)). 5) and a waiting station 6]) for temporarily placing the items. Thus, the transfer mechanism (G) consists of six guide drive bodies installed on the base (6), and three conveyance bodies held by the six guide drive bodies. ing. The guide drive body 2 is adapted to drive the transport bodies □□□... forward and backward in the direction of arrow (7) in a timely manner. Also, the conveyor (to)...
* has a grip part (not shown) for detachably holding the workpiece (b), and is adapted to move the grip part up and down in the direction of arrow 61 at appropriate times. In addition, the draining plow station (2) consists of a mounting table (5) on which the workpiece (5) is placed, a pneumatic cylinder located above the mounting table (2), and a piston of this pneumatic cylinder. to Rondo)! A cover 1571 that covers the mounting table ('i with f') in a timely manner, a nozzle (58a) provided inside this cover 6゛θ that sprays cleaning liquid, and a nozzle (58a) that is also provided inside the cover 67) that sprays air. Nozzle (5
8b). Further, the phase determining station 0→ is used to place the workpiece (5) and rotate it by a predetermined amount. Furthermore, at the measurement station) there is provided a displacement detector consisting of an inverted-shaped support 69 and a plurality of displacement detectors, such as differential transformers, arranged on this support 0 along the direction of the arrow (7). )... and a lifting table 61) on which the workpiece (5) is placed and driven up and down at appropriate times. The measuring element (not shown) of the displacement detector 6) is oriented downward, and the workpiece (5
) is designed to measure the displacement of the machined surface (b). Thus, the arithmetic control section (3) is vertically installed on the support Q1. The calculation control unit (3) has calculation, storage and control functions such as a microcomputer, and electrically connects the displacement detector (to) and the limit switch. It is connected. The processing section (1) and the measuring section (2) are then controlled based on the cannibal program to be described later.

つぎに、上記構成の研磨装置に基づいて、この実施例の
研磨方法について述べる。
Next, the polishing method of this embodiment will be described based on the polishing apparatus having the above configuration.

まず、この実施例の研磨方法の原理について述べる。第
3図(5)に示す砥石Qi1面上において、被加工物(
5)の軸線が、内周側の点6本にあるとき、砥石αυは
内周側がより多く摩耗するので、砥石Qllの断面形状
は、第4図に示すように、内周部が外周部よシもつっこ
む傾向、つまり中凹となる傾向をもっている。逆に、被
加工物(5)の軸線が砥石(II)面上において外周側
の点Hにあるとき砥石αルは外周側がよシ多く摩耗する
ので砥石の断面形状は、第5図に示すように、外周部が
内周部よりもつっこむ傾向、つまり中凸となる傾向をも
っている。このことは、加工中心位置を砥石0υの径方
向に変化させることにより、砥石αυの断面形状つまり
平面度を制御できることを示している。すなわち、砥石
α〃の断面形状が中凸となったときには、加工中心位置
を内周側に移動させ、逆に、中凹となったときは加工中
心位置を外周側に移動させることにより砥石α漫の研磨
作用面の平面度をほぼ一定に維持することが可能となる
。かくして、本実施例は、以上の原理に立脚しているも
のであって、以下に順を迫って述べる。まず、図示せぬ
被加工物置台上の被加工物(5)をローダ■のグリップ
に)により把持して、砥石01上に移載する。このとき
、被加工物(5)の軸線が砥石0υの点6Φにて交わる
ようにテーブル(3)の移動体(8a)の位置決めをあ
らかじめ行っておく。上記点6ψは、点ea、63の中
間位置となっている。ついで、加圧旋回軸3Φを下降さ
せると、被加工物Wのボス(5)がチャックに)により
保持されるとともに、砥石0のに対して被加工物Wが押
圧される。ついで、砥石回転駆動部(9)と加圧回転駆
動部04を起動して、砥石αυ及び加圧旋回軸(ハ)を
回転させる。これと同時に、カバー(イ)を下降させ、
ノズル(ト)から加工液を被加工物Wに向けて噴射する
First, the principle of the polishing method of this embodiment will be described. The workpiece (
When the axes of 5) are located at six points on the inner circumference side, the inner circumference side of the whetstone αυ wears more, so the cross-sectional shape of the whetstone Qll is such that the inner circumference is closer to the outer circumference as shown in Fig. 4. It has a tendency to become concave, or concave. Conversely, when the axis of the workpiece (5) is at point H on the outer periphery of the surface of the grinding wheel (II), the outer periphery of the grinding wheel will wear more, so the cross-sectional shape of the grinding wheel is shown in Figure 5. As shown, the outer periphery tends to be more crowded than the inner periphery, that is, it tends to be convex. This shows that the cross-sectional shape, that is, the flatness of the grindstone αυ can be controlled by changing the processing center position in the radial direction of the grindstone αυ. That is, when the cross-sectional shape of the whetstone α becomes convex in the center, the processing center position is moved to the inner circumferential side, and conversely, when the cross-sectional shape becomes concave in the center, the processing center position is moved to the outer circumferential side. It becomes possible to maintain the flatness of the polishing surface at a substantially constant level. The present embodiment is thus based on the above principle, and will be described in detail below. First, a workpiece (5) on a workpiece stand (not shown) is gripped by the grip of the loader (2) and transferred onto the grindstone 01. At this time, the movable body (8a) of the table (3) is positioned in advance so that the axis of the workpiece (5) intersects at the point 6Φ of the grindstone 0υ. The point 6ψ is located midway between the points ea and 63. Then, when the pressurizing rotation shaft 3Φ is lowered, the boss (5) of the workpiece W is held by the chuck) and the workpiece W is pressed against the grindstone 0. Next, the grindstone rotation drive unit (9) and the pressure rotation drive unit 04 are activated to rotate the grindstone αυ and the pressure rotation shaft (c). At the same time, lower the cover (A) and
The machining fluid is injected toward the workpiece W from the nozzle (g).

すると、被加工物(5)は、加圧旋回軸C4とチャック
(6)との偏心による強制回転(公転)と、砥石(11
)の周速差によるつれまわり(自転)を行ない、砥石0
1)の平面形状が転写される。このときの加工量の制御
は、前記切込み量検出部(26a)まだは外部タイマに
より行う。しかして、一定量切込んだ後、上述の一連の
加工作業を停止し、加圧旋回軸(ハ)を上昇させる。つ
いで、加工が終了した被加工物(5)をアンローダ(ト
)により反転し、加工面(ト)を上にした状態で水切プ
ローステーション(至)の載置台0上に移載する。そし
て、カバーG′?)を下降させて、ノズル(58a)よ
り洗浄液を被加工物(5)の加工面(ロ)に噴射させ洗
浄する。つぎに、ノズル(58b) ヨ、9圧縮空気を
噴射し、加工面(3)に付着している洗浄液を飛散させ
る。さらに、トランスファ機構−の搬送体−により、被
加工物(ロ)を水切プローステーション(至)から位相
決めステーション09まで搬送する。
Then, the workpiece (5) undergoes forced rotation (revolution) due to eccentricity between the pressurizing rotation axis C4 and the chuck (6), and the grinding wheel (11
) due to the circumferential speed difference, and the grinding wheel
The planar shape of 1) is transferred. The processing amount at this time is controlled by the cutting amount detection section (26a) or an external timer. After making a certain amount of cut, the series of machining operations described above is stopped, and the pressurizing rotation axis (c) is raised. Next, the processed workpiece (5) is turned over by the unloader (T) and transferred onto the mounting table 0 of the draining plow station (to) with the processed surface (T) facing up. And cover G'? ) is lowered, and the cleaning liquid is sprayed from the nozzle (58a) onto the processing surface (b) of the workpiece (5) for cleaning. Next, the nozzle (58b) injects compressed air to scatter the cleaning liquid adhering to the processing surface (3). Furthermore, the workpiece (b) is transported from the draining pull station (to) to the phase determining station 09 by the transport body of the transfer mechanism.

ついで、この位相決めステーションa→にては、被加工
物(5)は所定角度回動する。その結果、次の測定ステ
ーション■において変位検出器OL・・の測定子が加工
穴に入ることによる誤測定を防止できる。
Then, at this phase determining station a→, the workpiece (5) is rotated by a predetermined angle. As a result, it is possible to prevent erroneous measurements caused by the probes of the displacement detectors OL entering the machined holes at the next measuring station (2).

なお、被加工物Wに、誤測定を惹き起す加工穴が穿設さ
れてい々いときは、位相決めステーション(至)を飛び
越してもよい。ついで、搬連体(ハ)にょシ水切プロー
ステーションに)より測定ステーション(至)の昇降台
61.lに被加工物Wを搬送する。そして、昇降台6υ
を上昇させ、加工面([ツを変位検出器…・・の測定子
に当接させる。その結果、これら変位検出器6(ト・・
からは、加工面但形状を示す検出信号が演算制御部(3
)に出力される。ついで、昇降台6υを下降させ、搬送
体(へ)により被加工物Wを待期ステーション6漫に移
載する。かくして、加工の1サイクルが終了する。この
ような加工サイクルを繰返しているうちに、前述したよ
うに砥石ovの平面度が劣化する。このような砥石αυ
の平面度劣化傾向は演算制御部(3)に入力した変位検
出器(ト)・・・からの変位量データに基づいて算出さ
れた断面形状精度により検出される。たとえば、第6図
に示すように求められた断面形状精度が許容限(至)を
越えるようとしているときは、その直前で、加工中心位
置をずらすように制御する。すなわち、第6図の黒丸で
示すように、被加工物(ロ)が中凸傾向を示し続けてい
る場合は、砥石αυは中門となっているのであるから、
加工中心位置が外周側の点−となるようにテーブル(3
)の移動体(8a)の位置修正を行う。
Incidentally, when a machined hole that causes an erroneous measurement is drilled in the workpiece W, the phase determining station (to) may be skipped. Next, the lifting platform 61 of the measurement station (to) is moved by the conveyance unit (c) to the draining pro-station. The workpiece W is transported to l. And the lifting platform 6υ
is raised, and the machining surface ([t] is brought into contact with the measuring head of the displacement detector 6).
The detection signal indicating the shape of the machined surface is sent to the calculation control section (3
) is output. Next, the lifting table 6υ is lowered, and the workpiece W is transferred to the waiting station 6 by the conveyor. Thus, one cycle of machining is completed. As such machining cycles are repeated, the flatness of the grindstone ov deteriorates as described above. Such a whetstone αυ
The flatness deterioration tendency is detected by the cross-sectional shape accuracy calculated based on the displacement amount data from the displacement detector (g) inputted to the arithmetic and control unit (3). For example, when the obtained cross-sectional shape accuracy is about to exceed the permissible limit as shown in FIG. 6, the processing center position is controlled to be shifted just before that. In other words, as shown by the black circle in Fig. 6, if the workpiece (b) continues to show a tendency to have a convex center, the grinding wheel αυ is in the middle.
Set the table (3
) the position of the moving body (8a) is corrected.

しかして、この状態で再び加工を継続すると通常被加工
物(5)は、徐々に中門傾向を示す。したがって断面形
状精度が許容限輪を越える直前で加工中心位置を反対方
向にずらす。この場合、砥石は、中凸となっているので
あるから、第6図白丸で示すように、加工中心位置が点
6aとなるようにテーブル(3)の移動体(8a)の位
置修正を行う、このような砥石Ql)による加工中心位
置の修正を順次繰り返す。
If the machining is continued again in this state, the normal workpiece (5) will gradually show a tendency toward the middle. Therefore, the machining center position is shifted in the opposite direction just before the cross-sectional shape accuracy exceeds the allowable limit. In this case, since the grindstone has a convex shape, the position of the movable body (8a) of the table (3) is corrected so that the processing center position is at point 6a, as shown by the white circle in Figure 6. , such correction of the machining center position using the grindstone Ql) is repeated one after another.

かくして、砥石α〃の平面度は、加工中心位置を変更す
ることと、砥石αVの径方向の研磨作用面若がほぼ一定
となるように設定されていることが相俟って、一定の精
度範囲内に維持される。しだがって、砥石αυの形状精
度を修正するために、加工を中断する必要がなくなり、
平面ホーニング加工の自動化及び高能率化が可能となる
In this way, the flatness of the grinding wheel α can be maintained at a certain level of precision by changing the processing center position and by setting the grinding surface of the grinding wheel αV in the radial direction to be approximately constant. kept within range. Therefore, there is no need to interrupt machining to correct the shape accuracy of the grinding wheel αυ.
Automation and high efficiency of flat honing becomes possible.

上記実施例においては、砥石片(ha)・・・の数は、
内側、外側、中央部で同数としているが、外側にいくほ
ど大きさを小さく、且つ数を増やすことにより、砥石片
(11a)・・・間の距離を短くして各砥石片(lla
)・・・間の距離かはなれすぎ被加工物(5)が落ち込
むことを防止できる。さらに、内側の砥石片(X1a)
・・・の摩耗を軽減するために、砥粒集中度を内側に行
くほぼ高めるようにしてもよい。さら邑砥石片(ha)
・が配設される同心円の数は、適宜設定してよい、また
、砥石片(11a)・・は、同心円上に沿って配設する
ことなく、平均的研磨作用面若が径方向でほぼ等しくな
るように無作為に配設してもよい。さらにまた、砥石片
(xia)・・・の形状に、移載機構(5)及びトラン
スファ機構曲の代りに、被加工物Wの搬送をすべてロボ
ットにより行わせてもよい。さらにまた、加圧旋回軸(
ハ)は、単に被加工物(5)を砥石αのに加圧して、単
につれまわり(自ツカ)のみを行わせるようにしてもよ
い。さらに、被加工物(ロ)の加工位置の修正を、砥石
αDの断面形(ロ)の直接測定によってもよい。さらに
また、上記実施例においては、加工中心位置は3点ea
、a3゜曽であるが、とのようなポイント設定の他に、
外側と内側の限界点を定めておき、これらの間を連続的
に任意の間隔で変位させるようにしてもよい。
In the above embodiment, the number of grindstone pieces (ha)...
The number is the same on the inside, outside, and center, but by decreasing the size and increasing the number toward the outside, the distance between the whetstone pieces (11a) is shortened, and each whetstone piece (lla)
)...It is possible to prevent the workpiece (5) from falling due to the distance between the workpieces (5) being too far apart. Furthermore, the inner whetstone piece (X1a)
In order to reduce the wear of..., the concentration of abrasive grains may be increased toward the inside. Saramura whetstone piece (ha)
The number of concentric circles in which the grinding wheels (11a) are arranged may be set as appropriate, and the grindstone pieces (11a) are not arranged along the concentric circles, but have an average polishing surface area approximately radial. They may be arranged randomly so that they are equal. Furthermore, in the shape of the grindstone piece (xia)..., instead of the transfer mechanism (5) and the transfer mechanism, the workpiece W may be entirely transferred by a robot. Furthermore, the pressurized pivot shaft (
In c), the workpiece (5) may be simply pressed against the grinding wheel α so that only the grinding (self-sharpening) is performed. Furthermore, the processing position of the workpiece (b) may be corrected by directly measuring the cross-sectional shape (b) of the grindstone αD. Furthermore, in the above embodiment, the machining center position is at three points ea
In addition to point settings such as , a3゜so, but,
It is also possible to set outer and inner limit points and to continuously displace them at an arbitrary interval.

さらに、上記実施例においては、砥石aD側を動かすこ
とにより加工中心位置を変化させているが、砥石α◇側
を固定し被加工物(ロ)を動すようにしてもよい。
Further, in the above embodiment, the processing center position is changed by moving the grinding wheel aD side, but it is also possible to fix the grinding wheel α◇ side and move the workpiece (b).

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の研磨方法及びその装置は、回転駆動される砥石
に押圧される被加工物の加工位置を砥石の断面形状に応
じて変化させるとともに、砥石のα9 W・・・被加工物。
The polishing method and device of the present invention change the processing position of a workpiece pressed by a rotationally driven grindstone according to the cross-sectional shape of the grindstone, and also change the processing position of the workpiece pressed by a rotationally driven grindstone, and the α9 W of the grindstone... the workpiece.

平均的研磨作用面若が径方向でほぼ等しく々るようにし
ていることにより、砥石の平面度を加工を中断すること
なく一定範囲内に維持することができる。したがって、
高精度を維持し、かつ加工能率が#M著に向上するとと
もに、自動化が容易となる。
By making the average polishing surface area approximately equal in the radial direction, the flatness of the grindstone can be maintained within a certain range without interrupting machining. therefore,
High precision is maintained, machining efficiency is significantly improved, and automation is facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の研磨装置の正面図、第2図
は同じく平面図、第3図(5)は第1図に示す砥石の拡
大平面図、第3図(ト)は砥石占拠率を示すグラフ、第
4図及び第5図は本発明の一実施例の研磨方法の説明図
、第6図は同じく加工数と被加工物の断面形状精度との
関係を示すグラフ、第7図は被加工物の斜視図、第8図
は従来の平面ホーニング加工の説明図である。 (1)・・・加工部、(2)・・・測定部、(3)・・
・演算制御部、(5)・・・移載機#4(搬送部)、(
3)・・・テーブル、 (9)・・・砥石回転駆動部、
0υ・・・砥石、 Q41・・・加圧回転駆動部(加圧
部)、に)・・・トランスファ機構(搬送部)、(イ) 代理人 弁理士 則 近 愈 術 (ほか1名) V式19誓懸葦(豐紹を 頃屯−LC−乾草←\
Fig. 1 is a front view of a polishing device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a plan view thereof, Fig. 3 (5) is an enlarged plan view of the grindstone shown in Fig. 1, and Fig. 3 (g) is A graph showing the grindstone occupancy rate, FIGS. 4 and 5 are explanatory diagrams of a polishing method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a graph showing the relationship between the number of processes and the cross-sectional shape accuracy of the workpiece. FIG. 7 is a perspective view of a workpiece, and FIG. 8 is an explanatory diagram of a conventional plane honing process. (1)...Processing section, (2)...Measuring section, (3)...
・Calculation control unit, (5)...Transfer machine #4 (transport unit), (
3)...table, (9)...grinding wheel rotation drive unit,
0υ...Whetstone, Q41...Pressure rotation drive part (pressure part), ni)...Transfer mechanism (conveyance part), (a) Agent Patent attorney Noriyoshi Kon (and 1 other person) V Ceremony 19 Pledge Reed

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)回転軸線に直交する平面状の研磨作用面を有し且
つ複数個の砥石片により形成され且つ上記砥石片は上記
回転軸線を通る径方向の研磨作用面積がほぼ等しくなる
位置に配設された砥石を回転させる方法と、上記研磨作
用面に被加工物を押し付け上記砥石により研磨する方法
と、上記研磨作用面若しくは上記砥石による上記被加工
物の研磨面の断面形状を測定する方法と、上記断面形状
測定結果に基づいて上記砥石に対する上記被加工物の加
工位置を上記回転軸線に直交し上記研磨作用面の平面度
を向上させる方向に相対的に変位させる方法とを具備す
ることを特徴とする研磨方法。
(1) It has a planar polishing surface perpendicular to the rotational axis and is formed by a plurality of grindstone pieces, and the grindstone pieces are arranged at positions where the polishing action areas in the radial direction passing through the rotational axis are approximately equal. a method of rotating a polished grindstone; a method of pressing a workpiece against the polishing surface and polishing it with the grindstone; and a method of measuring the cross-sectional shape of the polishing surface of the workpiece or the surface polished by the grindstone. and a method of relatively displacing the processing position of the workpiece with respect to the grindstone in a direction perpendicular to the rotation axis and improving the flatness of the polishing surface based on the cross-sectional shape measurement result. Characteristic polishing method.
(2)砥石片の数を内側から外側にいくにつれて増加さ
せることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の研磨
方法。
(2) The polishing method according to claim 1, characterized in that the number of grindstone pieces is increased from the inside to the outside.
(3)下記構成を具備することを特徴とする研磨装置。 (イ)平面状の研磨作用面を有する砥石と、この砥石を
保持し上記研磨作用面に直交する回転軸線のまわりに上
記砥石を回転駆動する砥石回転駆動部と、この砥石回転
駆動部を上記回転軸線に直交する方向に進退駆動自在に
支持するテーブルと、被加工物を保持して上記研磨作用
面に押し付ける加工部とからなり、上記砥石は複数個の
砥石片により形成され且つ上記砥石片は上記砥石の回転
中心を通る径方向の研磨作用面積がほぼ等しくなる位置
に配設されている加工部。 (ロ)上記加工部にて研磨加工された上記被加工物の上
記砥石による研磨面の断面形状を測定して電気信号に変
換する測定部。 (ハ)研磨加工前の上記被加工物を上記砥石上に搬入す
るとともに研磨加工後の上記被加工物を上記測定部に搬
出する搬送部。 (ニ)上記測定部から出力された電気信号に基づいて上
記テーブルを上記砥石に対する上記被加工物の加工位置
が上記研磨作用面の平面度を向上させる方向に移動させ
る制御信号を上記加工部に出力する演算制御部。
(3) A polishing device characterized by having the following configuration. (a) A grindstone having a planar polishing surface, a grindstone rotation drive section that holds this grindstone and rotates the grindstone around a rotational axis perpendicular to the polishing surface, and a grindstone rotation drive section that It consists of a table supported so as to be movable forward and backward in a direction perpendicular to the axis of rotation, and a processing section that holds a workpiece and presses it against the polishing surface, and the grindstone is formed of a plurality of pieces of the grindstone, and the grindstone is formed of a plurality of pieces of the grindstone. denotes a processing section arranged at a position where the polishing action areas in the radial direction passing through the center of rotation of the grindstone are approximately equal. (b) A measurement unit that measures the cross-sectional shape of the surface polished by the grindstone of the workpiece polished in the processing unit and converts it into an electrical signal. (c) A transport unit that transports the workpiece before polishing onto the grindstone and transports the workpiece after polishing to the measurement unit. (d) Based on the electrical signal output from the measuring section, a control signal is sent to the processing section to move the table in a direction that improves the flatness of the polishing surface so that the processing position of the workpiece relative to the grindstone is improved. Arithmetic control unit that outputs.
(4)砥石片の数は内側から外側にいくにつれて増加し
ていることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の研
磨装置。
(4) The polishing device according to claim 3, wherein the number of grindstone pieces increases from the inside to the outside.
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JP2007319994A (en) * 2006-06-01 2007-12-13 Disco Abrasive Syst Ltd Polishing pad

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